SU629444A1 - Устройство дл измерени смещени контролируемой поверхности - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  бесконтактного измерени  малых перемещений контролируемой поверхности.

Известны ycTpoiteTBa, предназначенные дл  контрол  положени  изображени  и со держащие последовательно установленные объектив с сервосистемой, призму Волас тона, дифракционную решетку и пол{физаци- онную светоделительную призму, у смежных граней которой установлено ifo фото- приемнику, выходы которых подключены к , оифференциальным входам усвлвтел  ij.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изоб- ретению  вл етс  устройство дл  измерени  смещени  контролируемой поверхности, содержащее оптически св занные источник монохроматического излучени , светодели- твлы1ый кубик, объектив, зеркало, установлевкое на электрическом вибраторе, и дру гой светоделительный кубик у смежных граней которого установлено по объективу, в фокальных плоскост х которых расположены , соответственно, контролируема  поверхность и микродиа | агма. За мнкродиафрагмой установлен фотоприемник, выход которого подключен к синхронному детек- тору 2.

Дл  повышени  быстродействи  измерени  источник излучени  выполнен с вращающейс  плоскостью пол1физаиии, а напротив двух других граней светоделительного кубика размешены соответственно кристал- лооптическа  бифокальна  линза и последовательно установленные пол роид и дополнительный фотопрнемник, выход которого подключен к управл ющему входу синхронного детектора.

Дл  обеспечени  линейности измерени  микродиафрагма расположена между фокальными плоскост ми кристаллической бифокальной линзы.

Claims (2)

1. Кроме того, с целью расширени  диапазона производимых измерений между кристаллической бифокальной линзой, микродиа4рагмой и соответствующими гран ми светоделительного кубика установлено по объективу. 362 На чертеже дана принципиальна  схема предлагаемого устройства, Оно состоит из оптически св занных даухчастотного 1, светоделительного кубика 2, последовательно с которым установлены кристаллооптическа  би фокальна  линза 3 и объектив 4. У одной из боковых, граней светоделительного кубика установлены последовательно пол роид 5, и фотоприемник 6, а у другой граШ - объектив 7, микродиафрагма 8 и второй фотоприемник 9. Его вы од подключен ко входу синхронного детектора lOj в то врем  как выход первого ((ютоприемника в подк;почен к управл ющему входу синхронного детектора 1О. Устройство работает следующим образом . Световой поток от двухчастотного лазе ра 1 поступает на светоделительный ку- бик 2. Часть сйетового потока отражаетс  в сторону пол роида 5 и фотоприемника в. При прохождении  инейно-пол изо- ванного света с вращающейс  плоскостью пол ризации через пол роид 5 интенсивность прошедшего света, воспринимаема  топриемником 6, а также электрический сигнал на его выходе будут промодулированы по синусоидальному закону. Друга  часть светового потока поступает на крис таллооптическую бифокальную линзу 3 и обьектив 4. Эта оптическа  система имеет две фокальные плоскех:ти. Световые потоки , фокусируемые в этих плоскост х, пол физованы ортогонально, а их интенсив- иости мен ютс  во времен  по синусоидаль ному закону с посто нным взаимным фазовым сдвигом в полпериода и&-за враще- киа плоскости пол$физа ии. Контролируема  поверхность 11 устанавливаетс , например , посередине между этими плоскоет ми . Отраженный от нее световой поток постртает обратно на светоделительный кубик 2 и далее к объективу 7, в фокальной плоскости которого установлена микро 8. Плоскость микродиафрагмы 8 оптически сопр жена с плоскостью исходного положени  контролируемой поверхности . Выходное напр жение фотоприемника 9 при смещении контролируемой поверх ности 11 от исходного положени  с достаточной степенью точности линейно зависит от величины смещени . Предлагаемое устройство более эффективно , чем известные, так как его высокое быстродействие в сочетании с большой точностью измерени  позвол ет регистрировать бьютротекущне процессы, а также обеспечивает высокую производительность контрол . Формула изобретение 1.Устройство дл  измерени  смещени  контролируемой поверхности, содержащее оптически св занные источник монохроматического излучени , светоделительный кубик , расположенные напротив одной из граней кубика микродиафрагму и фотоп ж- емник, сш1хронный детектор, вход которо- . го подключен к выходу фотопрдаемннка, отличающеес  тем, что, с аелью повышени  быстродействи  измерени , истошик излучени  выполнен с вращающейс  плоскостью пол ризации, а cianpoTHB двух другах граней светоделительного ку. бика размещены соответственно кристалле- оптическа  бифокальна  Л1шза и последовательно установленные пол роид и дополнительный фотоприемиик, выход которого подключен к управл ющему входу синхронного детектора. 2.Устро&;тво по п. 1, о т л в ч а ю щ е е с   тем, что микродка( расположена между передним  фокальными плоскост ми кристаллической бифокальной 3.Устройство по пп. 1 и 2, о т л и- чающеес  тем, что, с целью ширенй  диапазона производимых измерений , между кристаллической бифокальной линзой микродиа4 агмой и соответствующими гран ми светоделительного кубика установлено по объективу. Источники информации, прин тые во внимание прк экспертизе: 1.Патент Великобритании №1396712, кл. q 1 А, 1975.
2. 2.Патент США № 3768910, кл, 356-167, 1973.