RU94044801A - Method for recrystallization in different directions
- Google Patents
Method for recrystallization in different directions
Info
Publication number
RU94044801A
RU94044801ARU94044801/25ARU94044801ARU94044801ARU 94044801 ARU94044801 ARU 94044801ARU 94044801/25 ARU94044801/25 ARU 94044801/25ARU 94044801 ARU94044801 ARU 94044801ARU 94044801 ARU94044801 ARU 94044801A
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by А.Л. Шумский, А.Б. КрысинfiledCriticalА.Л. Шумский
Priority to RU94044801/25ApriorityCriticalpatent/RU94044801A/en
Publication of RU94044801ApublicationCriticalpatent/RU94044801A/en
Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof
(AREA)
Abstract
FIELD: microelectronics, in particular, production of instruments using Josephson effect, for example, Josephson interferometers and SQIDs (Superconducting Quantum Interference Devices). SUBSTANCE: method involves application of power flows to substrate different angles to its physical size. Ratio of size of power flow and size of substrate is greater than 50. Flows of power are applied in direction of parallel lines. EFFECT: increased quality.
Claims (1)
Способ относится к микроэлектронике и может быть использован для изготовления приборов на основе эффекта Джозефсона, в частности джозефсоновских интерферометров или сквидов (SQID - Superconbucting Quantom Interference Device - сверхпроводящее квантовое интерференционное устройство). Цель изобретения - повышение качества разнонаправленной перекристаллизации. Предлагаемый способ включает в себя следующую основную операцию: под разными углами к геометрическим подложкам воздействуют на нее потоками энергии с соотношением размеров его пятна на поверхности подложки, превышающем 50, причем воздействуют на подложку потоком энергии по взаимно-параллельным линиям. Новым в предлагаемом способе является то, что под разными углами к геометрическим размерам подложки воздействуют на нее потоком энергии с соотношением размеров его пятна на поверхности подложки, превышающим 50, причем воздействуют на подложку потоком энергии по взаимно-параллельным линиям.The method relates to microelectronics and can be used to manufacture devices based on the Josephson effect, in particular Josephson interferometers or squids (SQID - Superconbucting Quantom Interference Device - superconducting quantum interference device). The purpose of the invention is to improve the quality of multidirectional recrystallization. The proposed method includes the following main operation: at different angles to geometric substrates, it is exposed to energy flows with a ratio of its spot sizes on the surface of the substrate exceeding 50, and they are applied to the substrate by an energy flow in mutually parallel lines. New in the proposed method is that, at different angles to the geometric dimensions of the substrate, it is exposed to an energy flow with a ratio of its spot sizes on the surface of the substrate exceeding 50, and they are applied to the substrate by an energy flow in mutually parallel lines.
RU94044801/25A1994-12-211994-12-21Method for recrystallization in different directions
RU94044801A
(en)