RU94038953A - Адсорбционный высоковакуумный насос - Google Patents

Abstract

Изобретение относится к вакуумной технике и может использоваться в различного рода откачном и течеискательном оборудовании. Позволяет сократить время откачки и повысить предельный вакуум при работе насоса в режиме криоадсорбционной ловушки за счет конструктивного удлинения пути молекул откачиваемых газов между развитыми адсорбирующими поверхностями, образующими форвакуумную полость 11 и собирающуюся с ней высоковакуумную полость 12. Для образования этих полостей применяется адсорбент 14 на сосуде 3 с хладагентом 4, охлаждаемые криопанель 7 с закрепленным с двух сторон адсорбентом 9 и 10 и стакан 5 с закрепленным адсорбентом 6. Направляемые в насос газы адсорбируются по мере продвижения по откачивающим полостям, а также трудноадсорбируемые газы, как гелий, водород, неон, поступают в полость корпуса 1 и откачиваются внешним высоковакуумным насосом. В результате обеспечивается низкое парциальное давление гелия и других газов уже при форвакуумном режиме откачки, что сокращает общее время вакуумирования, например, при выполнении течеискания масс-спектрометрическим методом. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

Claims (1)

1. Изобретение относится к вакуумной технике и может использоваться в различного рода откачном и течеискательном оборудовании. Позволяет сократить время откачки и повысить предельный вакуум при работе насоса в режиме криоадсорбционной ловушки за счет конструктивного удлинения пути молекул откачиваемых газов между развитыми адсорбирующими поверхностями, образующими форвакуумную полость 11 и собирающуюся с ней высоковакуумную полость 12. Для образования этих полостей применяется адсорбент 14 на сосуде 3 с хладагентом 4, охлаждаемые криопанель 7 с закрепленным с двух сторон адсорбентом 9 и 10 и стакан 5 с закрепленным адсорбентом 6. Направляемые в насос газы адсорбируются по мере продвижения по откачивающим полостям, а также трудноадсорбируемые газы, как гелий, водород, неон, поступают в полость корпуса 1 и откачиваются внешним высоковакуумным насосом. В результате обеспечивается низкое парциальное давление гелия и других газов уже при форвакуумном режиме откачки, что сокращает общее время вакуумирования, например, при выполнении течеискания масс-спектрометрическим методом. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.