RU94015048A - Двухчастотная лазерная интерферометрическая система для измерения линейных перемещений - Google Patents

Claims (1)

1. Изобретение относится к лазерной измерительной технике. Для повышения чувствительности измерения линейных перемещений на больших расстояниях устраняется влияние воздушной среды в протяженном измерительном плече системы и частотная нестабильность лазерного излучения. Интерферометрическая система содержит лазеры 1 и 2, излучающие световые потоки различной частоты, измерительное плечо, образованное концевым уголковым отражателем 3 и оптическим смесителем световых потоков, состоящим из зеркал 4 и 5, опорное оптическое плечо, образованное вторым уголковым отражателем 14 и оптическим смесителем, состоящим из другой пары зеркал 15 и 16, еще один смеситель, состоящий из зеркал 6 и 7, служащий для стабилизации разности частот световых потоков посредством электронного блока частотно-фазовой автоматической подстройки 11. На выходе оптических смесителей пространственно совмещенные световые потоки различной частоты детектируются с помощью фотоприемников 8, 9, 17. Сигналы с фотоприемников 8 и 9 поступают на первый реверсивный счетчик 10, который регистрирует фазовый сигнал, содержащий суммарную информацию о перемещении объекта и изменении длины волны излучения в воздушной среде. Сигналы с фотоприемников 9 и 17 поступают на второй реверсивный счетчик 8, который регистрирует фазовый сигнал, связанный только с изменением длины волны излучения в воздухе. Сигналы от обоих реверсивных счетчиков 8 и 10 анализируются электронным блоком вычитания 19, на выходе которого формируется сигнал измеряемого перемещения, свободный от влияния воздушной среды и частотной нестабильности лазерных источников. 1 п. ф-лы, 3 ил.