RU93038774A - Устройство для получения защитно-декоративных покрытий в вакууме методом ионно-плазменного напыления - Google Patents
Устройство для получения защитно-декоративных покрытий в вакууме методом ионно-плазменного напыленияInfo
- Publication number
- RU93038774A RU93038774A RU93038774/10A RU93038774A RU93038774A RU 93038774 A RU93038774 A RU 93038774A RU 93038774/10 A RU93038774/10 A RU 93038774/10A RU 93038774 A RU93038774 A RU 93038774A RU 93038774 A RU93038774 A RU 93038774A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- source
- anode
- vacuum
- ion
- sprayed material
- Prior art date
Links
- 238000010410 dusting Methods 0.000 title 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 4
Claims (1)
- Устройство содержит вакуумную камеру, внутри которой расположены мишень источника напыляемого материала, анод, термоэмиссионный катод, держатель покрываемых изделий, экран-заслонка, а также источник рабочего газа, N источников реакционных газов. Причем мишень источника напыляемого материала выполнена в виде электрически соединенных двух параллельных кругов и соосно-установленного между ними цилиндрического каркаса, а анод выполнен в виде одного или двух электрически соединенных колец, соосных цилиндрическому каркасу. При этом анод соединен с первым источником регулируемого постоянного напряжения, мишень источника напыляемого материала соединена с вторым источником регулируемого напряжения, катод соединен с источником регулируемого напряжения, а источники рабочего и реакционных газов соединены с внутренней полостью вакуумной камеры. Устройство отличается оригинальной конструкцией источника напыляемого материала и анода, наличием между термоэмиссионным катодом и держателем напыляемых изделий экрана-заслонки, а также источников реакционных газов.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU93038774A RU2065890C1 (ru) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | Устройство для получения защитно-декоративных покрытий в вакууме ионно-плазменным напылением |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU93038774A RU2065890C1 (ru) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | Устройство для получения защитно-декоративных покрытий в вакууме ионно-плазменным напылением |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU93038774A true RU93038774A (ru) | 1996-02-20 |
| RU2065890C1 RU2065890C1 (ru) | 1996-08-27 |
Family
ID=20145805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU93038774A RU2065890C1 (ru) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | Устройство для получения защитно-декоративных покрытий в вакууме ионно-плазменным напылением |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2065890C1 (ru) |
-
1993
- 1993-07-29 RU RU93038774A patent/RU2065890C1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ATE129378T1 (de) | Plasmaspritzgerät zum versprühen von pulverförmigem oder gasförmigem material. | |
| JPS64263A (en) | Method for forming high resistance layer by cathode sputtering and device therefor | |
| ATE332235T1 (de) | Flüssigkeitsausstosskopf | |
| ATE135493T1 (de) | Anzeigeanordnung | |
| JPS5367972A (en) | Electrode for elctric discharge lamp | |
| RU93038774A (ru) | Устройство для получения защитно-декоративных покрытий в вакууме методом ионно-плазменного напыления | |
| JPS5594474A (en) | Ion plating apparatus for tube inside using laser beam | |
| DE3065337D1 (en) | Glow discharge lamp for qualitative and quantitative spectral analysis | |
| JPS57162248A (en) | Rotary anode x-ray tube | |
| RU96115223A (ru) | Устройство для формирования поверхностных слоев на изделиях методом обработки в плазме газового разряда | |
| JPS57131363A (en) | Ion plating device | |
| JPS551543A (en) | Glow discharge apparatus for emission spectrochemical analysis | |
| JPS5689835A (en) | Vapor phase growth apparatus | |
| DE68916931D1 (de) | Mahlverfahren. | |
| JPS5612541A (en) | Removing device of contaminant | |
| GB2015581A (en) | Improvements in or relating to sputtering | |
| IT1250653B (it) | Enzimi fibrinolitici ammidati e loro precursori, e processi per la loro preparazione. | |
| SU566169A1 (ru) | Способ препарировани углеродистых реплик дл электронномикроскопических исследований | |
| RU2018122271A (ru) | Магнетронное распылительное устройство | |
| SU497097A1 (ru) | Установка дл получени порошка распылением вращающейс заготовки | |
| RU2002119440A (ru) | Способ получения углеродных нанотрубок | |
| JPS5418679A (en) | Electron impact type ion source device | |
| RU97115158A (ru) | Отражательный триод | |
| ES2102020T3 (es) | Procedimiento y planta para la fabricacion de resonadores piezoelectricos. | |
| JPS6438756U (ru) |