RU93036701A - Способ оценки годности проводящих пленок - Google Patents
Способ оценки годности проводящих пленокInfo
- Publication number
- RU93036701A RU93036701A RU93036701/09A RU93036701A RU93036701A RU 93036701 A RU93036701 A RU 93036701A RU 93036701/09 A RU93036701/09 A RU 93036701/09A RU 93036701 A RU93036701 A RU 93036701A RU 93036701 A RU93036701 A RU 93036701A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- sample
- noise
- measured
- tunnel
- evaluating
- Prior art date
Links
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 claims 1
- 238000009659 non-destructive testing Methods 0.000 claims 1
Claims (1)
- Способ относится к электронной технике и может быть использован для контроля качества различных слоев и активных поверхностей при операционном контроле в процессе производства изделий микроэлектроники. Сущность изобретения заключается в том, что в способе оценки пригодности проводящих пленок, включающем приложение к образцу постоянного напряжения, измерение 1 / шума, протекающего через образец тока, и отбраковку пленок на основании измеренного шума, напряжение на образец подают с помощью иглы туннельного растрового микроскопа, 1 / шум туннельного тока измеряют в полосе частот от 0,5 до 1,5 кГц, а о пригодности образца судят на основе сравнения измеренного шума с измеренным в тех же условиях шумом эталонного образца. Способ позволяет производить неразрушающий контроль с повышенной экспрессностью измерений, а также расширить класс исследуемых материалов до туннельно-прозрачных диэлектриков.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU93036701A RU2072586C1 (ru) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | Способ оценки годности проводящей пленки |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU93036701A RU2072586C1 (ru) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | Способ оценки годности проводящей пленки |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU93036701A true RU93036701A (ru) | 1996-02-27 |
| RU2072586C1 RU2072586C1 (ru) | 1997-01-27 |
Family
ID=20145193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU93036701A RU2072586C1 (ru) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | Способ оценки годности проводящей пленки |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2072586C1 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2507525C2 (ru) * | 2010-10-15 | 2014-02-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" | Способ разделения транзисторов по надежности |
-
1993
- 1993-07-15 RU RU93036701A patent/RU2072586C1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5469066A (en) | Method and apparatus for measuring deterioration of power cable insulation | |
| KR950702707A (ko) | 표본의 특성을 결정하는 방법 및 장치(method of and apparatus for determining a property of a sample) | |
| Tian et al. | Acoustic emission techniques for partial discharge detection within cable insulation | |
| Bishay | Numerical methods for the calculation of the Cole-Cole parameters | |
| RU93036701A (ru) | Способ оценки годности проводящих пленок | |
| CA1233513A (en) | Non-destructive detection of voids in plastic materials | |
| JP3176335B2 (ja) | 部分放電測定装置 | |
| Sam et al. | Surface discharge measurements of polymeric materials | |
| SU1188621A2 (ru) | Способ контрол дефектов слоев материалов | |
| RU93036702A (ru) | Способ определения неоднородности пленок | |
| Liu et al. | Measurements of the DC electric field in liquid impregnated pressboard using the pressure wave propagation technique | |
| JPH0352247A (ja) | 半導体試験装置 | |
| RU2064677C1 (ru) | Способ контроля качества бетона | |
| SU1746296A1 (ru) | Способ контрол готовности твердеющих материалов | |
| SU783669A1 (ru) | Способ неразрушающего контрол диэлектрических материалов | |
| SU1177778A1 (ru) | Способ определени координат дефектов в электроизол ционных материалах | |
| JPS6457163A (en) | Method and apparatus for measuring impregnating depth of impregnating material | |
| SU855553A1 (ru) | Способ определени времени релаксации эффекта пол | |
| RU2133999C1 (ru) | Способ определения напряжения плоских зон полупроводника в мдп-структурах | |
| SU1056027A1 (ru) | Способ определени дефектов в материале | |
| JPS61218959A (ja) | 半導体レ−ザの測定装置 | |
| SU1597777A1 (ru) | Устройство дл измерени тангенса угла диэлектрических потерь и определени относительной диэлектрической проницаемости | |
| SU1201750A1 (ru) | Устройство дефектоскопии пьезокерамических преобразователей | |
| SU1635102A1 (ru) | Способ оценки степени разрушени сло металлизации электродов конденсаторных электроизол ционных конструкций | |
| SU1550407A1 (ru) | Способ дефектометрии плоских диэлектрических материалов |