RU93036702A - Способ определения неоднородности пленок - Google Patents
Способ определения неоднородности пленокInfo
- Publication number
- RU93036702A RU93036702A RU93036702/09A RU93036702A RU93036702A RU 93036702 A RU93036702 A RU 93036702A RU 93036702/09 A RU93036702/09 A RU 93036702/09A RU 93036702 A RU93036702 A RU 93036702A RU 93036702 A RU93036702 A RU 93036702A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- current
- probe
- constant voltage
- tunnel
- tunneling
- Prior art date
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims 3
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 claims 3
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 claims 1
- 230000000051 modifying Effects 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Claims (1)
- Способ оносится к электронной технике и может быть использован для контроля качества туннельно-прозрачных диэлектрических пленок, проводящих слоев с поверхностей проводящих полупроводниковых подложек, применяемых при изготовлении изделий микроэлектроники, например интегральных микросхем. Сущность изобретения заключается в том, что в способе, включающем создание системы зонд - зазор - образец, подачу постоянного напряжения на образец, измерение тока в этой системе и сканирование по поверхности пленки, в качестве зонда используют иглу туннельного микроскопа, постоянное напряжение модулируют с частотой fв < f ≤ 3 кГц, где fв - верхняя граница полосы пропускания туннельного микроскопа, измеряют величину туннельного тока на частоте 3f, а об однородности пленки судят на основании срезания измеряемого тока с измеренным в тех же условиях током эталона. Способ позволяет повысить локальность, достоверность измерения и расширить класс исследуемых материалов, включая туннельно-прозрачные диэлектрики.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU93036702A RU2072587C1 (ru) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | Способ определения неоднородности пленки |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU93036702A RU2072587C1 (ru) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | Способ определения неоднородности пленки |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU93036702A true RU93036702A (ru) | 1996-02-27 |
| RU2072587C1 RU2072587C1 (ru) | 1997-01-27 |
Family
ID=20145194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU93036702A RU2072587C1 (ru) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | Способ определения неоднородности пленки |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2072587C1 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU173996U1 (ru) * | 2016-11-03 | 2017-09-25 | Акционерное Общество "ТЕЛЕКОМ-СТВ" | Устройство контроля параметров полупроводниковых слоев на диэлектрической подложке |
-
1993
- 1993-07-15 RU RU93036702A patent/RU2072587C1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4000458A (en) | Method for the noncontacting measurement of the electrical conductivity of a lamella | |
| US6448804B2 (en) | Contactless total charge measurement with corona | |
| Yamins et al. | A new method of studying the electrical properties of monomolecular films on liquids | |
| US5309110A (en) | Differential dielectric analyzer | |
| US5969532A (en) | Method of inspecting crack in ceramic substrate | |
| US5363052A (en) | Permittivity spectroscopy apparatus and method | |
| US3373353A (en) | Electron beam scanning system for quality control of materials | |
| US4620145A (en) | Non-destructive detection of voids in plastic materials | |
| RU93036702A (ru) | Способ определения неоднородности пленок | |
| Fodor et al. | On the detection of flow-induced fractionation in melts of homopolymers by normal-mode microdielectrometry | |
| JPS60253209A (ja) | 電解コンデンサ用アルミニウム箔上に形成された酸化物の厚さを連続的に監視する方法 | |
| RU2107257C1 (ru) | Устройство для измерения толщины плоского изделия и способ его реализации | |
| RU2234075C2 (ru) | Бесконтактный способ определения диэлектрической проницаемости твердых и жидких диэлектриков | |
| RU1806418C (ru) | Способ контрол однородности распределени электрического потенциала поверхности полупроводниковых материалов | |
| JPH11108608A (ja) | 誘電体の膜厚測定方法及びその装置 | |
| RU2195002C2 (ru) | Способ определения электрической прочности, времени релаксации и проводимости изоляции электрических проводов и кабелей | |
| RU93036701A (ru) | Способ оценки годности проводящих пленок | |
| RU2072587C1 (ru) | Способ определения неоднородности пленки | |
| RU1775753C (ru) | Способ определени профил подвижности носителей зар да в полупроводниковых сло х | |
| JPH08248082A (ja) | 電位分布測定方法および走査型顕微鏡 | |
| JPH0685024A (ja) | 半導体ウエハの電荷量測定方法 | |
| SU853513A1 (ru) | Способ определени диэлектрическихСВОйСТВ МАТЕРиАлА | |
| Lockhart et al. | Apparatus for dielectric measurements on fluids and dispersions | |
| SU669430A1 (ru) | Зондова головка | |
| SU1634988A1 (ru) | Емкостный способ измерени толщины покрытий на провод щем основании |