RU84020U1 - Установка для выращивания монокристаллов, например сапфиров - Google Patents
Установка для выращивания монокристаллов, например сапфиров Download PDFInfo
- Publication number
- RU84020U1 RU84020U1 RU2009106430/22U RU2009106430U RU84020U1 RU 84020 U1 RU84020 U1 RU 84020U1 RU 2009106430/22 U RU2009106430/22 U RU 2009106430/22U RU 2009106430 U RU2009106430 U RU 2009106430U RU 84020 U1 RU84020 U1 RU 84020U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- chamber
- cover
- crucible
- column
- heat shields
- Prior art date
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Установка для выращивания монокристаллов, например сапфиров, содержащая цилиндрическую камеру с крышкой и поддоном, установленный в камере блок верхних и нижних тепловых экранов, тигель для расплава с размещенным над ним затравкодержателем, связанным со штоком, несущую поворотный кронштейн колонну с приводами вращения и перемещения штока, вакуумную систему, систему питания со шкафом управления и систему охлаждения, отличающаяся тем, что она снабжена механизмом подъема крышки, представляющим собой привод, установленный на поворотном кронштейне и связанный с крышкой камеры гибким элементом, выполненным в виде цепи, причем привод механизма подъема крышки имеет регулируемую муфту предельного момента, настроенную на усилие, достаточное для подъема крышки, но проскальзывающую при подъеме штока и неподвижной крышке, кроме того, установка снабжена установленным на колонне с возможностью поворота вокруг оси колонны подъемником для подъема тигля и нижних тепловых экранов, причем подъемник снабжен съемником для установки и съема тигля, при этом верхние тепловые экраны закреплены на внутренней стороне крышки камеры, имеющей снаружи три смотровых окна, а поддон камеры имеет водоохлаждаемую заглушку с каналом подачи инертного газа, при этом шкаф управления оснащен дистанционным пультом в виде электронного маховичка, установленного на боковой поверхности шкафа.
Description
Полезная модель относится к устройствам выращивания объемных монокристаллов из расплавов, например, сапфира методом Чохральского, Киропулоса, и может быть использована в электронной и полупроводниковой промышленности.
Известно устройство для выращивания монокристаллов (разработка "Редмет-С" института ГИРЕДМЕТ, г.Москва, Б. Толмачевский пер., д.5) содержащее цилиндрическую камеру с крышкой, внутри которой установлены тигель, тепловые экраны, нагреватели, затравкодержатель связанный со штоком. Однако оно имеет некоторые недостатки:
- подъем крышки производится совместно со штоком. Это не позволяет снимать выращенный кристалл из тигля, не разрушая затравку;
- верхние тепловые экраны устанавливаются непосредственно на тигель, что при высоких температурах приводит к диффузии (слипанию) экранов с тиглем;
- устройство не имеет механизма, позволяющего обслуживать установку: съем и установку тигля, тепловых экранов, монтаж и демонтаж камеры.
Задача полезной модели - устранение вышеперечисленных недостатков, а также повышение производительности, возможности выращивания объемных монокристаллов цилиндрической формы в автоматическом режиме, повышение совершенства структуры монокристалла и обеспечение постоянства его размеров по всей длине за счет применения высокоточных механизмов управления на базе промышленного компьютера.
Технический результат достигается тем, что установка для выращивания монокристаллов, например, сапфиров, содержащая цилиндрическую камеру с крышкой и поддоном, установленный в камере блок верхних и нижних тепловых экранов, тигель для расплава с размещенным над ним затравкодержателем связанным со штоком, несущую поворотный кронштейн, колонну с приводами вращения и перемещения штока, вакуумную систему, систему питания со шкафом управления, систему охлаждения. Кроме того, установка снабжена механизмом подъема крышки, который представляет собой привод, установленный на поворотном кронштейне колонны, связанный с крышкой камеры гибким элементом, выполненным в виде цепи, причем привод механизма подъема имеет регулируемую муфту предельного момента, настроенную на усилие достаточное для подъема крышки, но проскальзывающую при подъеме штока и неподвижной крышке. А также установка снабжена, установленным на колонне с возможностью поворота вокруг оси колонны подъемником для подъема тигля и нижних тепловых экранов, причем подъемник снабжен съемником для установки и съема тигля, при этом верхние тепловые экраны закреплены на внутренней стороне крышки, имеющей снаружи три смотровых окна. Кроме того, поддон камеры имеет водоохлаждаемую заглушку с каналом подачи инертного газа, а шкаф управления оснащен дистанционным пультом в виде электронного маховичка установленного на его боковой поверхности.
На фиг.1 изображен общий вид установки;
на фиг.2 - общий вид камеры;
на фиг.3 - привод механизма подъема с муфтой;
на фиг.4 - съемник для выемки и установки тигля;
на фиг.5 - разрез В-В, крышка с блоком верхних тепловых экранов;
на фиг.6 - разрез Б-Б, схема заглушки.
Установка содержит цилиндрическую камеру 1 с крышкой 2 и поддоном 3, блок боковых верхних и нижних тепловых экранов 4, 5, 6, тигель 7 для
расплава с размещенным над ним затравкодержателем 8 связанным со штоком 9, колонну 10 несущую поворотный кронштейн 11, с приводами 12, 13 вращения и перемещения штока 9, вакуумную систему 14, систему питания со шкафом 15 управления и систему 16 охлаждения.
Камера 1 выполнена двухсекционной 17, 18. В нижней секции 17 на поддоне 3 установлены нижние тепловые экраны 6 и тигель 7. В верхней секции 18 камеры 1 установлены два охлаждаемых токоввода 19, на которых закреплены нагреватели 20. А верхние тепловые экраны 5 закреплены на внутренней стороне крышки 2 камеры 1 для предотвращения слипания экранов 5 и тигля 7.
Для наблюдения за технологическим процессом крышка 2 камеры 1 имеет три смотровых окна 21, причем одно из окон 22 предназначено для установки видеокамеры.
Открытие и закрытие крышки 2 осуществляется механизмом подъема крышки, который представляет собой привод 23 установленный на поворотном кронштейне 11 колонны 10, связанный с крышкой 2 камеры 1 гибким элементом 24, выполненным в виде цепи.
Привод 23 механизма подъема имеет регулируемую муфту 25 предельного момента, настроенную на усилие достаточное для подъема крышки 2, но проскальзывающую при подъеме штока 9 и неподвижной крышке 2.
Установка снабжена подъемником 26, установленным на колонне 10 с возможностью поворота вокруг оси колонны 10 для подъема экранов 5, 6, тигля 7 и других целей. Подъемник 26 снабжен съемником 27 для установки и съема тигля 7.
Поддон 3 камеры 2 имеет водоохлаждаемую заглушку 28 для регулирования теплового поля растущего кристалла. В заглушке 28 выполнен канал 29 подачи инертного газа для удаления выделений из расплава.
Для оперирования затравкой 8 шкаф 15 управления оснащен пультом 30 дистанционного управления, в виде электронного маховичка.
Установка работает следующим образом.
В тигель 7 загружают исходный материал, герметизируют камеру 2, вакууммируют ее и, включив нагреватель 20 поднимают температуру, расплавляя загрузку. Затем, включив привод 12 перемещения штока 9, опускают затравку к расплаву, прогревают ее и контактируют с расплавом. Далее, подобрав необходимую скорость роста, перемещают шток 9 затравки вверх и вращают его. Оператор контролирует процесс затравления через смотровое окно 21, или видеокамерой, манипулируя затравкой при помощи пульта 30 дистанционного управления, оснащенного электронным маховичком. После затравления оператор включает программу роста. Процесс выращивания кристалла производится в автоматическом режиме.
Claims (1)
- Установка для выращивания монокристаллов, например сапфиров, содержащая цилиндрическую камеру с крышкой и поддоном, установленный в камере блок верхних и нижних тепловых экранов, тигель для расплава с размещенным над ним затравкодержателем, связанным со штоком, несущую поворотный кронштейн колонну с приводами вращения и перемещения штока, вакуумную систему, систему питания со шкафом управления и систему охлаждения, отличающаяся тем, что она снабжена механизмом подъема крышки, представляющим собой привод, установленный на поворотном кронштейне и связанный с крышкой камеры гибким элементом, выполненным в виде цепи, причем привод механизма подъема крышки имеет регулируемую муфту предельного момента, настроенную на усилие, достаточное для подъема крышки, но проскальзывающую при подъеме штока и неподвижной крышке, кроме того, установка снабжена установленным на колонне с возможностью поворота вокруг оси колонны подъемником для подъема тигля и нижних тепловых экранов, причем подъемник снабжен съемником для установки и съема тигля, при этом верхние тепловые экраны закреплены на внутренней стороне крышки камеры, имеющей снаружи три смотровых окна, а поддон камеры имеет водоохлаждаемую заглушку с каналом подачи инертного газа, при этом шкаф управления оснащен дистанционным пультом в виде электронного маховичка, установленного на боковой поверхности шкафа.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2009106430/22U RU84020U1 (ru) | 2009-02-24 | 2009-02-24 | Установка для выращивания монокристаллов, например сапфиров |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2009106430/22U RU84020U1 (ru) | 2009-02-24 | 2009-02-24 | Установка для выращивания монокристаллов, например сапфиров |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU84020U1 true RU84020U1 (ru) | 2009-06-27 |
Family
ID=41027545
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2009106430/22U RU84020U1 (ru) | 2009-02-24 | 2009-02-24 | Установка для выращивания монокристаллов, например сапфиров |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU84020U1 (ru) |
-
2009
- 2009-02-24 RU RU2009106430/22U patent/RU84020U1/ru not_active IP Right Cessation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104451862B (zh) | 一种蓝宝石单晶炉和蓝宝石引晶方法 | |
CN104066874A (zh) | 单晶制造装置所使用的籽晶保持轴以及单晶制造方法 | |
CN206624946U (zh) | 一种用于制备磷化铟单晶的高压炉 | |
RU2404297C1 (ru) | Установка для выращивания монокристаллов, например, сапфиров | |
RU84020U1 (ru) | Установка для выращивания монокристаллов, например сапфиров | |
CN219772330U (zh) | 一种钽酸锂单晶生长自适应温场装置 | |
EP1686201B1 (en) | Pulling-down apparatus | |
JP2002226299A (ja) | 単結晶製造装置及び単結晶製造方法 | |
TW200419015A (en) | Process for producing single crystal of compound semiconductor and crystal growing apparatus | |
JP5497853B2 (ja) | サファイア単結晶成長装置 | |
CN204434766U (zh) | 一种蓝宝石单晶炉 | |
KR102136250B1 (ko) | 화합물 반도체용 금속소재의 고순도화 장치 | |
JP3642175B2 (ja) | シリコン単結晶の引上げ装置及びその引上げ方法 | |
CN102691103B (zh) | 一种采用双重控制技术生长蓝宝石晶体的方法 | |
CN102108558B (zh) | 一种热脱埚器及使用方法 | |
CN101294307A (zh) | 回旋式连续供料的晶体生长方法及其装置 | |
CN105803518B (zh) | 类提拉法单晶生长装置及方法 | |
CN215050852U (zh) | 一种泡生法蓝宝石晶体生长装置 | |
KR20040044146A (ko) | 플루오르화 금속용 단결정 인출 장치 | |
CN107557861A (zh) | 一种适用于bpoc单晶的生长方法及其生产装置 | |
KR20120138065A (ko) | 잉곳 성장장치 및 잉곳 성장방법 | |
JP2012101995A (ja) | サファイア製造装置 | |
CN207313742U (zh) | 一种超大晶体快速生长装置 | |
JP3642176B2 (ja) | シリコン単結晶の引上げ装置 | |
CN106854773B (zh) | 一种晶体生长坩埚、装置及其生长方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MG1K | Anticipatory lapse of a utility model patent in case of granting an identical utility model |
Ref document number: 2009106420 Country of ref document: RU Effective date: 20101120 |