RU51031U1

RU51031U1 - SIZE HOLDER

Info

Publication number: RU51031U1
Application number: RU2005124010/22U
Authority: RU
Inventors: Владимир Николаевич Курлов; Юрий Меерович Дымшиц
Original assignee: Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова Российской академии наук
Priority date: 2005-07-28
Filing date: 2005-07-28
Publication date: 2006-01-27

Abstract

Предлагаемая полезная модель относится к области выращивания монокристаллов методом Чохральского и Степанова, а именно к затравкодержателям установок для выращивания монокристаллов. Затравкодержатель содержит цилиндрический корпус с полками, на которых свободно размещен затравочный кристалл. Затравочный кристалл выполнен в виде пластины с выступом по центру последней, проходящим между полками корпуса за его пределы. Выполнение корпуса с полками, на которых свободно размещен затравочный кристалл, позволяет избежать возникновение в последнем напряжений и, соответственно, избежать его растрескивание. Частичное размещение выступа затравочного кристалла между полками корпуса позволяет сохранить постоянной ориентацию затравочного кристалла в процессе роста монокристалла, это положительно скажется на его качестве - уменьшится количество дефектов и повысится его оптическая однородность.The proposed utility model relates to the field of growing single crystals by the Czochralski and Stepanov method, namely, to the seed holders of plants for growing single crystals. The seed holder contains a cylindrical body with shelves on which the seed crystal is freely placed. The seed crystal is made in the form of a plate with a protrusion in the center of the latter, passing between the shelves of the housing beyond. The execution of the housing with shelves on which the seed crystal is freely placed, avoids the occurrence of stresses in the latter and, accordingly, avoids cracking thereof. Partial placement of the protrusion of the seed crystal between the shelves of the housing allows you to maintain a constant orientation of the seed crystal during the growth of the single crystal, this will positively affect its quality - the number of defects will decrease and its optical uniformity will increase.

Description

Предлагаемая полезная модель относится к области выращивания монокристаллов, премущественно методом Чохральского, а именно к затравкодержателям установок для выращивания монокристаллов.The proposed utility model relates to the field of growing single crystals, mainly by the Czochralski method, and in particular to the seed holders of plants for growing single crystals.

Как правило, затравочные кристаллы жестко фиксируются на держателе либо при помощи проволоки, либо штифта, изготовленных из иридия или платины.As a rule, seed crystals are rigidly fixed on the holder either with a wire or a pin made of iridium or platinum.

Так известны затравкодержатели, выполненные в виде траверсы с двумя платами, на которых размещены зажимные винты, при этом между платами и затравочным кристаллом установлены гофрированные прокладки, впадины которых расположены против зажимных винтов, а выступы помещены в бороздки затравочного кристалла (см. авторское свидетельство СССР №159795, МПК С 30 В 15/32, 1962).So known seed holders made in the form of a traverse with two boards on which clamping screws are placed, while between the boards and the seed crystal there are corrugated gaskets, the depressions of which are located against the clamping screws, and the protrusions are placed in the grooves of the seed crystal (see USSR author's certificate No. 159795, IPC C 30 V 15/32, 1962).

Однако в известном затравкодержателе из-за жесткого крепления затравочного кристалла может возникнуть его растрескивание вследствие возникающих в нем напряжений, что может привести к падению растущего кристалла в расплав.However, in the known seed holder, due to the rigid attachment of the seed crystal, cracking may occur due to stresses arising in it, which may lead to the fall of the growing crystal into the melt.

Известны также затравкодержатели, содержащие корпус в виде керамического штока и штифт, расположенный в соосных поперечных отверстиях штока и затравочного кристалла, при этом затравочный кристалл частично размещен внутри корпуса, а частично снаружи (см. авторское свидетельство СССР №1604868, МПК С 30 В 15/32,1988).Also known are seed holders comprising a ceramic rod body and a pin located in coaxial transverse holes of the rod and the seed crystal, the seed crystal being partially placed inside the housing and partially outside (see USSR copyright certificate No. 1604868, IPC C 30 V 15 / 32.1988).

Данный известный затравкодержатель является наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату.This known seed holder is the closest to the proposed technical essence and the achieved result.

Однако использование в этом затравкодержателе штифта для крепления затравочного кристалла приводит к необходимости увеличения поперечного сечения затравочного кристалла. К тому же платина, из However, the use of a pin in this seed holder for attaching the seed crystal necessitates an increase in the cross section of the seed crystal. In addition, platinum, from

которой выполнен штифт, при высоких температурах становится пластичной, что при большом весе выращиваемого кристалла может привести к его провисанию и искривлению и, следовательно, к снижению качества выращиваемого кристалла.which the pin is made at, becomes plastic at high temperatures, which with a large weight of the grown crystal can lead to sagging and curvature and, consequently, to a decrease in the quality of the grown crystal.

Задача, поставленная при создании полезной модели, состояла в том, чтобы при его использовании повысить качество выращиваемых кристаллов и выход годных кристаллов.The task set when creating a useful model was to use it to increase the quality of the grown crystals and the yield of suitable crystals.

Поставленная задача решается тем, что в затравкодержателе, содержащем цилиндрический корпус, в котором частично размещен затравочный кристалл, на торце корпуса со стороны затравочного кристалла выполнены полки для свободного размещения на них затравочного кристалла, при этом последний выполнен в виде пластины с выступом по центру, проходящим между полками корпуса за пределы последнего.The problem is solved in that in the seed holder containing a cylindrical housing in which the seed crystal is partially placed, shelves are made on the end of the housing on the side of the seed crystal for free placement of the seed crystal on them, the latter being made in the form of a plate with a protrusion in the center passing between shelves outside the latter.

Далее полезная модель поясняется чертежом, на котором схематично изображен затравкодержатель в продольном разрезе.Next, a utility model is illustrated by a drawing, which schematically shows a seed holder in longitudinal section.

Затравкодержатель содержит цилиндрический корпус 1 с полками 2, на которых свободно размещен затравочный кристалл 3. Затравочный кристалл 3 выполнен в виде пластины с выступом 4, проходящим между полками 2 наружу корпуса.The seed holder comprises a cylindrical housing 1 with shelves 2, on which the seed crystal 3 is freely placed. The seed crystal 3 is made in the form of a plate with a protrusion 4 extending between the shelves 2 to the outside of the housing.

Затравкодержатель работает следующим образом.The seed holder works as follows.

Изготавливают затравочный кристалл 3 в виде пластины с выступом 4. Затравочный кристалл свободно помещают на полки 2 корпуса 1, при этом выступ 4 затравочного кристалла 3 проходит между полками 2 за пределы корпуса 1. Затем затравкодержатель помещают в ростовую печь и осуществляют выращивание кристалла методом Чохральского. Предлагаемый затравкодержатель может быть использован и при выращивании кристалла методом Степанова.A seed crystal 3 is made in the form of a plate with a protrusion 4. The seed crystal is freely placed on the shelves 2 of the housing 1, while the protrusion 4 of the seed crystal 3 passes between the shelves 2 outside the housing 1. Then, the seed holder is placed in a growth furnace and the crystal is grown by the Czochralski method. The proposed seed holder can be used when growing the crystal by the Stepanov method.

Выполнение корпуса с полками, на которых свободно размещен затравочный кристалл, позволяет избежать возникновение в последнем напряжений и, соответственно, избежать его растрескивание и увеличить выход годных кристаллов. Частичное размещение выступа затравочного кристалла между полками корпуса позволяет сохранить постоянной ориентацию затравочного кристалла вThe execution of the housing with shelves, on which the seed crystal is freely placed, avoids the occurrence of stresses in the latter and, accordingly, avoids cracking and increases the yield of suitable crystals. Partial placement of the protrusion of the seed crystal between the shelves of the housing allows you to maintain a constant orientation of the seed crystal in

процессе роста монокристалла, что положительно сказывается на качестве последнего - уменьшается количество дефектов и повышается его оптическая однородность.the process of single crystal growth, which positively affects the quality of the latter - the number of defects decreases and its optical uniformity increases.

Claims

A seed holder comprising a cylindrical housing in which a seed crystal is partially placed, characterized in that the housing at the end side of the seed crystal has shelves for free placement of the seed crystal on them, the latter being made in the form of a plate with a protrusion in the center located between the shelves of the housing and partially outside the latter.