RU2818181C1 - Способ и устройство формирования набора лазерных мишеней - Google Patents

Способ и устройство формирования набора лазерных мишеней Download PDF

Info

Publication number
RU2818181C1
RU2818181C1 RU2023132275A RU2023132275A RU2818181C1 RU 2818181 C1 RU2818181 C1 RU 2818181C1 RU 2023132275 A RU2023132275 A RU 2023132275A RU 2023132275 A RU2023132275 A RU 2023132275A RU 2818181 C1 RU2818181 C1 RU 2818181C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
targets
target
laser
container
radiation
Prior art date
Application number
RU2023132275A
Other languages
English (en)
Inventor
Алексей Яковлевич Лопатин
Андрей Николаевич Нечай
Алексей Евгеньевич Пестов
Александр Андреевич Соловьев
Михаил Викторович Стародубцев
Николай Николаевич Цыбин
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИПФ РАН)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИПФ РАН) filed Critical Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИПФ РАН)
Application granted granted Critical
Publication of RU2818181C1 publication Critical patent/RU2818181C1/ru

Links

Abstract

Изобретение относится к средствам для изучения взаимодействия мощного лазерного излучения с газовыми средами, в частности эффектов генерации в газах гармоник высокого порядка, ускорения электронов в сопровождающем лазерный импульс электрическом поле, генерации в лазерных плазмах бетатронного излучения и коротковолнового излучения многозарядных ионов. Устройство формирования набора лазерных мишеней включает мишени, поочередно доставляемые в зону взаимодействия с излучением, блок доставки мишени в зону реакции, причем каждая мишень представляет собой емкость для рабочего газа. Корпус емкости имеет отполированную поверхность с отверстием, приводимую в контакт с газовым клапаном, при этом корпусы емкостей равномерно размещены на ленточном транспортере, снабженном блоком позиционирования корпуса на газовый клапан. Объем выходного канала газового клапана соизмерим с объемом емкости мишени. Все части устройства, в том числе контейнер для сбора корпусов отработанных мишеней, расположены в условиях высокого вакуума. Техническим результатом является предотвращение потери газа, связанной с диффузией через тонкопленочную стенку капсулы. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 3 ил.

Description

Группа изобретений относится к разделу экспериментальной физики, изучающему взаимодействие мощного лазерного излучения с газовыми средами, в частности, эффекты генерации в газах гармоник высокого порядка, ускорения электронов в сопровождающем лазерный импульс электрическом поле, генерации в лазерных плазмах бетатронного излучения и коротковолнового излучения многозарядных ионов.
Газовые мишени разных типов широко используются при создании современных лазерно-плазменных источников ускоренных частиц. Внутри вакуумного объема размещается газовая мишень, на границу которой фокусируется лазерное излучение. Лазерно-плазменное взаимодействие, приводящее к генерации пучков ускоренных электронов, происходит при распространении сфокусированного лазерного излучения через газовую среду.
Основными типами используемых в настоящее время газовых мишеней являются: газовые струи, формируемые с помощью импульсных клапанов и газовых сопел специального профиля, и газовые ячейки, представляющие собой небольшую камеру, размещаемую в вакуумном объеме.
Один из вариантов газовых мишеней - мишень, представляющая собой герметичную капсулу, содержащую газ с характерным давлением около одной атмосферы, причем со стороны ввода лазерного излучения в качестве стенки капсулы используется ультратонкая металлическая фольга (толщина порядка 100 нм). При воздействии лазерного импульса фольга разрушается, причем в силу своей малой толщины не искажает существенным образом эффекты взаимодействия излучения лазера с содержащимся в капсуле газом. Пример такой мишени описан в патенте RU 2776420 «Газонаполненная лазерная мишень» (публ. 19.07.2022 г., МПК G21G 4/02). Такая мишень в отличие от мишеней других известных типов (твердотельная, струйная) является одноразовой из-за того, что разрушается первым импульсом лазера. Однако в некоторых экспериментах, чтобы собрать достаточное количество данных, необходимо обеспечить серию последовательных взаимодействий мишеней с лазерным импульсом. Кроме того, практическое использование таких капсульных мишеней может быть затруднено быстрой потерей газа из объема капсулы из-за диффузии через тонкую пленку. Для преодоления указанной трудности возможно наполнять капсулу газом непосредственно перед использованием - в вакуумной камере за короткий временной промежуток до лазерного импульса.
В качестве прототипа выбраны способ и устройство для генерации капельных мишеней для лазерно-плазменных источников экстремального ультрафиолетового излучения, описанные в патенте US 9232624 «Target for laser produced plasma extreme ultraviolet light source» (МПК G03F 7/20, H05G 2/00, публ. 05.01.2016 г.). Отдельные капли рабочего вещества, представляющие собой мишени, поочередно поступают в область взаимодействия с лазерным импульсом. Капли перемещаются баллистически. Недостатком известных способа и устройства для его реализации является невозможность реализовать доставку в область взаимодействия набора мишеней, рабочим веществом в которых является газ.
Задачей, на решение которой направлено данное изобретение, является разработка способа и устройства формирования набора лазерных мишеней, представляющих собой корпуса, наполненные рабочим газом.
Технический результат в части способа достигается за счет того, что разработанный способ формирования набора лазерных мишеней так же, как и способ-прототип включает поочередную доставку мишеней в зону взаимодействия с излучением. Новым является то, что применяют мишени в виде емкостей, заполненных рабочим газом, причем их наполнение осуществляют непосредственно перед использованием, при этом емкости доставляют в зону взаимодействия ленточным транспортером, а доставку мишеней в зону взаимодействия с излучением и наполнение мишеней рабочим газом осуществляют в условиях высокого вакуума.
Технический результат в части устройства достигается за счет того, что разработанное устройство формирования набора лазерных мишеней так же, как и устройство-прототип включает в себя мишени, поочередно доставляемые в зону взаимодействия с излучением, блок доставки мишени в зону реакции. Новым является то, что каждая мишень представляет собой емкость для рабочего газа, при этом корпус емкости имеет поверхность с отверстием, которая приводится в контакт с газовым клапаном и отполирована для обеспечения вакуумного уплотнения, при этом корпуса равномерно размещены на ленточном транспортере, снабженном блоком позиционирования корпуса на газовый клапан, объем выходного канала газового клапана соизмерим с объемом емкости мишени, при этом все части устройства, в том числе контейнер для сбора корпусов отработанных мишеней, расположены в условиях высокого вакуума.
В частном случае реализации разработанного устройства блок позиционирования корпуса мишени представляет собой размещенную на моторизированном 2D приводе вилку.
В другом частном случае лента ленточного транспортера имеет магнитное покрытие, а корпуса мишеней выполнены из ферромагнитного материала.
Группа изобретений поясняется следующими фигурами.
На фиг. 1 приведена схема предлагаемого устройства.
На фиг. 2 схематично изображен корпус мишени и два его взаимно перпендикулярных поперечных сечения.
На фиг. 3 схематично представлен вариант конструкции газового клапана.
Разработанное устройство формирования набора лазерных мишеней включает в себя корпуса 1 лазерных мишеней, поочередно доставляемые в зону взаимодействия с излучением, ленточный транспортер 2, снабженный блоком позиционирования 3 корпуса 1 лазерной мишени на газовый клапан 4, а также контейнер 5 для сбора корпусов 1 отработанных мишеней. Все части устройства расположены в условиях высокого вакуума.
Лазерные мишени (фиг. 2) состоят из металлического корпуса 1 и одной или двух тонкопленочных стенок 6, разрушаемых под воздействием лазерного излучения.
Принцип работы заявленного устройства (фиг. 1) в соответствии с разработанным способом заключается в следующем.
Незаправленные (пустые) корпуса 1 лазерных мишеней с равным интервалом друг относительно друга устанавливают на ленточный транспортер 2. Производят откачку воздуха из вакуумной камеры, в которой установлено разработанное устройство. В частном случае конструкция ленточного транспортера 2 может предусматривать в качестве меры по недопущению смещения корпусов 1 мишеней в процессе транспортировки дополнительную фиксацию за счет применения ленты с магнитным покрытием и выполнения корпусов 1 мишеней из ферромагнитного материала. Транспортер 2 движется прерывисто с равным шагом, учитывая расстояние между корпусами 1. В момент остановки ленты корпус 1, достигший края транспортера 2, с помощью блока позиционирования 3 размещают над отверстием газового клапана 4.
В частном случае блок позиционирования 3 корпуса 1 мишени представляет собой размещенную на моторизированном 2D приводе вилку 7. Блок позиционирования 3, в том числе 2D приводы перемещения, и ленточный транспортер 2 разработаны в соответствии с требованиями работы в условиях высокого вакуума: применяется тефлоновая изоляция проводов, смазка с низким давлением насыщенного пара. Вилка 7 опускается на корпус 1 сверху, а затем движется с ним в горизонтальном направлении до позиционирования отверстия в корпусе 1 по центру газового клапана 4. Затем вилка 7 подачи корпуса 1 мишени вертикальным перемещением поджимает его к уплотнительному кольцу 8 клапана 4. После обеспечения герметичности соединения клапан 4 открывается, в результате чего в корпусе 1 устанавливается давление, равное давлению на входе в клапан 4. После закрытия клапана 4 производится облучение мишени сфокусированным лазерным импульсом. Лазерный импульс разрушает тонкопленочную стенку 6 корпуса 1 (см. фиг. 2) и взаимодействует с плазмой, образованной продуктами абляции стенки 6 и содержащимся в корпусе 1 газом. Регистрируются физические результаты взаимодействия, представляющие интерес для конкретного эксперимента (рентгеновское излучение, потоки ускоренных частиц и т.п.). Далее ленточный транспортер 2 совершает перемещение еще на один шаг, привод вилки 7 подачи перемещает ее и захватывает следующий корпус 1. Следующим движением по перемещению корпуса 1 на газовый клапан 4, ранее отработанный корпус 1 сталкивается в контейнер 5 для сбора корпусов 1 отработанных мишеней.
Газовый клапан 4, используемый в разработанном устройстве (фиг. 3), может включать в себя корпус с входным 9 и выходным 10 газовыми каналами, подвижный шток 11 с запорным элементом 12 на конце. Подвижная часть клапана приводится в действие электромагнитом 13, позволяющим работать в импульсном режиме, а ее герметичность обеспечивается гибким сильфоном 14. Уплотнительное кольцо 8 обеспечивает вакуумно-плотное соединение клапана 4 и корпуса 1 лазерной мишени. Подпружиненная площадка 15 позволяет перемещать корпус 1 мишени до оси выходного канала 10 без трения по уплотнительному кольцу 8. Объем выходного канала 10 газового клапана 4 ограничен величиной, сравнимой с объемом корпуса 1 мишени, для минимизации рисков выхода из строя вакуумных насосов при разрыве тонкопленочной стенки 6 корпуса 1 мишени. Для этой же цели газовый клапан 4 обеспечивает малый расход газа за счет малого сечения каналов 9 и 10 и малой длительности открывающего клапан 4 импульса - это необходимо в случае разрыва тонкопленочной стенки 6 в процессе наполнения корпуса 1. Прижим корпуса 1 мишени к уплотнительному кольцу 8 осуществляется вертикальным перемещением вилки 7 подачи корпуса 1 моторизованного 2D привода. Вакуумное уплотнение обеспечивается также полировкой грани корпуса 1 мишени, которая приводится в контакт с газовым клапаном 4. При ходе вилки 7 подачи корпуса 1 мишени вниз площадка 15 также смещается вниз за счет сжатия пружины, обеспечивая возможность прилегания корпуса 1 к уплотнительному кольцу 8. Для того чтобы избежать жесткого упора края площадки 15, прилегающего к ленточному транспортеру 2, в ролик транспортера 2 при смещении площадки 15 вниз, она выполнена из достаточно тонкой пластины, способной изгибаться при контакте с роликом. А для минимизации риска поломки турбомолекулярного вакуумного насоса при выходе из строя клапана 4 его корпус и трубопровод подачи газа имеют малый внутренний объем.
Таким образом, разработанные способ и устройство позволяют формировать набор лазерных мишеней, представляющих собой корпуса, поочередно наполняемые рабочим газом. Предложенные способ и устройство дают возможность избежать потери газа, связанной с диффузией через тонкопленочную стенку корпуса мишени, за счет минимизации промежутка времени между наполнением корпуса газом и применением его в качестве лазерной мишени.

Claims (4)

1. Способ формирования набора лазерных мишеней, включающий поочередную доставку мишеней в зону взаимодействия с излучением, отличающийся тем, что применяют мишени в виде емкостей, заполненных рабочим газом, причем их наполнение осуществляют непосредственно перед использованием, при этом емкости доставляют в зону взаимодействия ленточным транспортером, а доставку мишеней в зону взаимодействия с излучением и наполнение мишеней рабочим газом осуществляют в условиях высокого вакуума.
2. Устройство формирования набора лазерных мишеней, использующее способ по п. 1, включающее в себя мишени, поочередно доставляемые в зону взаимодействия с излучением, блок доставки мишени в зону реакции, отличающееся тем, что каждая мишень представляет собой емкость для рабочего газа, при этом корпус емкости имеет поверхность с отверстием, которая приводится в контакт с газовым клапаном и отполирована для обеспечения вакуумного уплотнения, при этом корпусы равномерно размещены на ленточном транспортере, снабженном блоком позиционирования корпуса на газовый клапан, объем выходного канала газового клапана соизмерим с объемом емкости мишени, при этом все части устройства, в том числе контейнер для сбора корпусов отработанных мишеней, расположены в условиях высокого вакуума.
3. Устройство формирования набора лазерных мишеней по п. 2, отличающееся тем, что блок позиционирования корпуса мишени представляет собой размещенную на моторизированном 2D-приводе вилку.
4. Устройство формирования набора лазерных мишеней по п. 2 или 3, отличающееся тем, что лента ленточного транспортера имеет магнитное покрытие, а корпусы мишеней выполнены из ферромагнитного материала.
RU2023132275A 2023-12-07 Способ и устройство формирования набора лазерных мишеней RU2818181C1 (ru)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2818181C1 true RU2818181C1 (ru) 2024-04-25

Family

ID=

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4945251A (en) * 1988-03-17 1990-07-31 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh Gas target device
JP2005285675A (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Toudai Tlo Ltd ガスターゲット生成装置および生成方法
US6973164B2 (en) * 2003-06-26 2005-12-06 University Of Central Florida Research Foundation, Inc. Laser-produced plasma EUV light source with pre-pulse enhancement
US7239686B2 (en) * 2002-05-13 2007-07-03 Jettec Ab Method and arrangement for producing radiation
US7491954B2 (en) * 2006-10-13 2009-02-17 Cymer, Inc. Drive laser delivery systems for EUV light source
US7608846B2 (en) * 2006-01-24 2009-10-27 Komatsu Ltd. Extreme ultra violet light source device
US9232624B2 (en) * 2013-03-14 2016-01-05 Asml Netherlands B.V. Target for laser produced plasma extreme ultraviolet light source
RU2776420C1 (ru) * 2021-12-24 2022-07-19 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук" (ИПФ РАН) Газонаполненная лазерная мишень

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4945251A (en) * 1988-03-17 1990-07-31 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh Gas target device
US7239686B2 (en) * 2002-05-13 2007-07-03 Jettec Ab Method and arrangement for producing radiation
US6973164B2 (en) * 2003-06-26 2005-12-06 University Of Central Florida Research Foundation, Inc. Laser-produced plasma EUV light source with pre-pulse enhancement
JP2005285675A (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Toudai Tlo Ltd ガスターゲット生成装置および生成方法
US7608846B2 (en) * 2006-01-24 2009-10-27 Komatsu Ltd. Extreme ultra violet light source device
US7491954B2 (en) * 2006-10-13 2009-02-17 Cymer, Inc. Drive laser delivery systems for EUV light source
US9232624B2 (en) * 2013-03-14 2016-01-05 Asml Netherlands B.V. Target for laser produced plasma extreme ultraviolet light source
RU2776420C1 (ru) * 2021-12-24 2022-07-19 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук" (ИПФ РАН) Газонаполненная лазерная мишень
RU217355U1 (ru) * 2022-11-07 2023-03-29 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук" (ИПФ РАН) Устройство формирования импульсной струйной мишени, образуемой при истечении газового, жидкостного или кластерного пучка в вакуум

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7067822B2 (en) Bulk material irradiation system and method
TWI628979B (zh) 用於靶材供應及回收之方法及裝置
US8098796B2 (en) Target assembly with electron and photon windows
JP5059903B2 (ja) 電子ビーム加速器
CN107848288B (zh) 3d打印方法和装置
JP6566683B2 (ja) 基板洗浄方法および基板洗浄装置
RU2818181C1 (ru) Способ и устройство формирования набора лазерных мишеней
US4771447A (en) X-ray source
EP1935005B1 (en) Positive displacement pumping chamber
US3401249A (en) Apparatus for the machining of material by means of a beam of charge carriers
JP4885235B2 (ja) 接合装置および接合装置メンテナンス方法
JP2001242297A (ja) 電子線照射方法及び装置
JP6865417B2 (ja) 除電装置
US3210915A (en) Sorption pump for pumping off gases and vapors
Al-Dmour Fundamentals of vacuum physics and technology
KR101624863B1 (ko) 유기 박막 형성 장치
JP7072666B2 (ja) ターゲット搬送システム及びターゲット搬送方法
US9681846B1 (en) Catheterized plasma X-ray source
WO2020209758A1 (ru) Комплекс для исследования биологических объектов
JP2572787B2 (ja) X線発生装置
JP2002363758A (ja) 常圧プラズマ処理装置
TWI771939B (zh) 前驅物循環式原子層沉積設備與方法
RU191570U1 (ru) Герметизатор малых вакуумных объемов
JPH07253499A (ja) X線発生装置
WO2020145207A1 (ja) 真空処理装置、真空処理装置のクリーニング方法