RU2798772C2 - Способ присоединения кремниевого кристалла к кристаллодержателю полупроводникового прибора - Google Patents
Способ присоединения кремниевого кристалла к кристаллодержателю полупроводникового прибора Download PDFInfo
- Publication number
- RU2798772C2 RU2798772C2 RU2021116178A RU2021116178A RU2798772C2 RU 2798772 C2 RU2798772 C2 RU 2798772C2 RU 2021116178 A RU2021116178 A RU 2021116178A RU 2021116178 A RU2021116178 A RU 2021116178A RU 2798772 C2 RU2798772 C2 RU 2798772C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- aluminum
- layer
- chip
- crystal
- base
- Prior art date
Links
Abstract
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Целью изобретения является повышение надежности контакта кристалла с основанием корпуса и стабильности процесса присоединения. Сущность способа заключается в том, что температура пайки в пределах 420±30°С и длительность процесса - 3,5±2 с. Далее на поверхность слоя сплава Ge-Al наносят напылением в вакууме слой алюминия толщиной 35÷155 нм; далее разделяют пластину на отдельные кристаллы скрайбированием с помощью алмазных дисков; производят пайку кристалла при 420±30°С в течение 3,5±2 с к кристаллодержателю, покрытому металлизированным слоем алюминия или золота.
Description
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.
Известны различные способы посадки кремниевого кристалла на основание корпуса [1-3].
Сущность способа заключается в напылении на обратную сторону пластин слоя металлов хром-никель, между поверхностями кристалла и основания размещают припойную прокладку оловянно-свинцовую, нагревают детали до формирования паяного соединения [4].
Недостатком способа является сложная технология, высокие температуры, низкая производительность процесса и ненадежность контактного соединения.
Целью изобретения является повышение надежности контакта кристалла с основанием корпуса и стабильности процесса присоединения.
Сущность способа заключается в том, что на контактную поверхность кристаллов, наносят слой алюминия, для чего напылением в вакууме осаждают алюминий на обратную сторону кремниевой пластины. Затем формируют слой сплава на основе германия и алюминия одновременным осаждением германия и алюминия из паровой фазы, напылением Аl и Ge из двух источников германия и алюминия или из одного источника Ge-Al сплава, причем толщина слоя алюминия и слоя сплава Ge-Al.
Температура пайки в пределах 420±30°С, и длительность процесса - 3,5±2 с. Далее на поверхность слоя сплава Ge-Al наносят напылением в вакууме слой алюминия толщиной 35÷155 нм; далее разделяют пластину на отдельные кристаллы скрайбированием с помощью алмазных дисков; производят пайку кристалла при 420±30°С в течение 3,5±2 с. к кристаллодержателю, покрытому металлизированным слоем алюминия или золота.
Сущность изобретения подтверждается следующими примерами.
ПРИМЕР 1. Процесс проводят на установке вакуумного напыления 01НЭ-7-004 ("Оратория-9"). Нанесение слоев алюминия и сплава (Се-Аl) производят методом электронно-лучевого напыления в вакууме. На кремниевые пластины наносят слой алюминия толщиной 0,4 мкм, затем одновременным осаждением германия и алюминия из двух раздельных источников проводят формирование слоя сплава Ge-Al толщиной 1,0 мкм при концентрации алюминия в слое 20%, далее наносят на поверхность слоя сплава (Ge-Al) слой алюминия толщиной 35 нм. После разделения кремниевые пластины на отдельные кристаллы проводят пайку кристаллов к кристаллодержателям, выполненным в виде рамок при 400°С в течение 2 с.
Процент выхода годных на операции «Посадка кристалла» составляет 94-96%.
ПРИМЕР 2. Способ осуществляют аналогично примеру 1. Задают режимы напыления металлов: титан-германий. На кремниевые пластины наносят слой алюминия толщиной 0,8 мкм, затем одновременным осаждением германия и алюминия из двух раздельных источников проводят формирование слоя сплава Ge-Al толщиной 1,5 мкм при концентрации алюминия в слое 15%, далее наносят на поверхность слоя сплава (Ge-Al) слой алюминия толщиной 100 нм. После разделения кремниевые пластины на отдельные кристаллы проводят пайку кристаллов к кристаллодержателям, выполненным в виде рамок при 420°С в течение 3 с.
Процент выхода годных на операции «Посадка кристалла» составляет 96-98%.
ПРИМЕР 3. Процесс проводят в установке вакуумного напыления, в которой размещены кремниевые пластины. Задают режимы напыления металлов: титан-германий. На кремниевые пластины наносят слой алюминия толщиной 1,2 мкм, затем одновременным осаждением германия и алюминия из двух раздельных источников проводят формирование слоя сплава Ge-Al толщиной 3,0 мкм при концентрации алюминия в слое 10%, далее наносят на поверхность слоя сплава (Ge-Al) слой алюминия толщиной 150 нм. После разделения кремниевые пластины на отдельные кристаллы проводят пайку кристаллов к кристаллодержателям, выполненным в виде рамок при 450°С в течение 4 с.
Процент выхода годных на операции «Посадка кристалла» составляет 98-100%.
Таким образом, предлагаемый способ по сравнению с прототипом позволяет повысить надежность контакта кристалла с основанием корпуса и стабильности процесса присоединения.
ЛИТЕРАТУРА
1. Пат. РФ №2343586 «Способ формирования контактного слоя титан-германий»/Т.А. Исмаилов, А.Р. Шахмаева, Б.А. Шангереева.
2. Пат. РФ №2375787 «Способ посадки кремниевого кристалла на основание корпуса»/Т.А. Исмаилов, Б.А. Шангереева, А.Р. Шахмаева.
3. Исмаилов Т.А., Алиев Ш.Д., Шахмаева А.Р., Шангереева Б.А. Контроль качества посадки кристалла на основание корпуса (тезисы докладов). Измерение, контроль, информатизация: сборник трудов Международной научно-технической конференции. -Барнаул: АГТУ, 2004. - С. 55-56.
4. Мазель Е.З., Пресс Ф.П. Планарная технология кремниевых приборов. Москва, «Энергия», 1974 г., стр. 318-321.
Claims (1)
- Способ присоединения кремниевого кристалла к кристаллодержателю полупроводникового прибора, включающий нанесение алюминиевой пленки на контактную поверхность кристаллодержателя и пайку кристалла с кристаллодержателем, отличающийся тем, что выполняют структуру в виде внутреннего слоя из алюминия и промежуточного слоя из сплава германий-алюминий, а также наружного слоя алюминия, причем толщину наружного слоя алюминия выбирают равной 30-150 нм, а пайку осуществляют при 420±30°С в течение 3,5±2 с.
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2021116178A RU2021116178A (ru) | 2022-12-02 |
RU2798772C2 true RU2798772C2 (ru) | 2023-06-27 |
Family
ID=
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2485628C1 (ru) * | 2012-01-19 | 2013-06-20 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук | Способ изготовления чипов наногетероструктуры и травитель |
RU2641601C2 (ru) * | 2016-02-24 | 2018-01-18 | Акционерное Общество "Новосибирский Завод Полупроводниковых Приборов С Окб" (Ао "Нзпп С Окб") | Способ пайки силовых полупроводниковых приборов |
RU2737722C1 (ru) * | 2020-04-03 | 2020-12-02 | Акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ" | Способ изготовления полупроводникового прибора |
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2485628C1 (ru) * | 2012-01-19 | 2013-06-20 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук | Способ изготовления чипов наногетероструктуры и травитель |
RU2641601C2 (ru) * | 2016-02-24 | 2018-01-18 | Акционерное Общество "Новосибирский Завод Полупроводниковых Приборов С Окб" (Ао "Нзпп С Окб") | Способ пайки силовых полупроводниковых приборов |
RU2737722C1 (ru) * | 2020-04-03 | 2020-12-02 | Акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ" | Способ изготовления полупроводникового прибора |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8472208B2 (en) | Submount and method of manufacturing the same | |
JP3485390B2 (ja) | 静電チャック | |
US5171712A (en) | Method of constructing termination electrodes on yielded semiconductor die by visibly aligning the die pads through a transparent substrate | |
US3316628A (en) | Bonding of semiconductor devices to substrates | |
RU2798772C2 (ru) | Способ присоединения кремниевого кристалла к кристаллодержателю полупроводникового прибора | |
US3566207A (en) | Silicon-to-gold bonded structure and method of making the same | |
TW200410304A (en) | Process for manufacturing thin semiconductor chip | |
JPH06177178A (ja) | 半導体チップの構造 | |
RU2375787C2 (ru) | Способ посадки кремниевого кристалла на основание корпуса | |
RU2786366C2 (ru) | СПОСОБ ПОСАДКИ КРИСТАЛЛА ТИТАН-ГЕРМАНИЙ (Ti-Ge) | |
JPH02186645A (ja) | 集積回路用の真空式ダイ取り付け方法 | |
RU2792837C2 (ru) | Способ посадки кристалла на основание корпуса | |
RU2815323C1 (ru) | Способ монтажа кристалла кремниевого транзистора | |
RU2534439C2 (ru) | Способ формирования контакта к стоковой области полупроводникового прибора | |
RU2359360C1 (ru) | Способ посадки кремниевого кристалла | |
RU2534449C2 (ru) | Способ формирования контакта к коллекторной области кремниевого транзистора | |
RU2691152C1 (ru) | Способ пайки лазерных диодов | |
JP4744015B2 (ja) | ウエハ支持部材 | |
JP6590961B2 (ja) | 接触面の少なくとも一方において、接触面の一方に施与された犠牲層を溶解させながら金属接触面を接合する方法 | |
RU2714538C1 (ru) | Способ монтажа полупроводниковых кристаллов на покрытую золотом поверхность | |
RU2343586C1 (ru) | Способ формирования контактного слоя титан-германий | |
KR20070059842A (ko) | 전기도금법에 의한 골드 범프 및 그 제조 방법 | |
JPS6210317B2 (ru) | ||
RU2803020C1 (ru) | Способ пайки полупроводниковых кристаллов | |
RU1533135C (ru) | Способ присоединения кремниевого кристалла к кристаллодержателю полупроводникового прибора |