RU2761813C1 - Additive method for obtaining dimension products from conductive ceramics by spark plasma sintering - Google Patents
Additive method for obtaining dimension products from conductive ceramics by spark plasma sintering Download PDFInfo
- Publication number
- RU2761813C1 RU2761813C1 RU2021106469A RU2021106469A RU2761813C1 RU 2761813 C1 RU2761813 C1 RU 2761813C1 RU 2021106469 A RU2021106469 A RU 2021106469A RU 2021106469 A RU2021106469 A RU 2021106469A RU 2761813 C1 RU2761813 C1 RU 2761813C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- powder
- spark plasma
- plasma sintering
- additive method
- parts
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 238000002490 spark plasma sintering Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 30
- 239000000654 additive Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 title claims abstract description 18
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 55
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 10
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 14
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 9
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 3
- 230000013011 mating Effects 0.000 claims description 3
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 18
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract description 18
- 229910007948 ZrB2 Inorganic materials 0.000 abstract description 11
- VWZIXVXBCBBRGP-UHFFFAOYSA-N boron;zirconium Chemical compound B#[Zr]#B VWZIXVXBCBBRGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 5
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 abstract description 5
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 abstract description 4
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 abstract description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 4
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 abstract description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 abstract description 3
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 abstract description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 abstract description 2
- 229910003862 HfB2 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910034327 TiC Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000010892 electric spark Methods 0.000 abstract 1
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910003468 tantalcarbide Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 20
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 9
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 238000005056 compaction Methods 0.000 description 4
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229920005596 polymer binder Polymers 0.000 description 2
- 239000002491 polymer binding agent Substances 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003245 coal Substances 0.000 description 1
- 238000007596 consolidation process Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 238000013001 point bending Methods 0.000 description 1
- 239000012713 reactive precursor Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
- B22F10/20—Direct sintering or melting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
- B22F10/20—Direct sintering or melting
- B22F10/25—Direct deposition of metal particles, e.g. direct metal deposition [DMD] or laser engineered net shaping [LENS]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
- B22F10/40—Structures for supporting workpieces or articles during manufacture and removed afterwards
- B22F10/47—Structures for supporting workpieces or articles during manufacture and removed afterwards characterised by structural features
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
- B22F3/10—Sintering only
- B22F3/105—Sintering only by using electric current other than for infrared radiant energy, laser radiation or plasma ; by ultrasonic bonding
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/25—Process efficiency
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
Description
Предлагаемое изобретение (далее - Изобретение) относится к области производства материалов с повышенной температурой эксплуатации, а также к области техники горячего прессования, при котором происходит одновременно прессование и спекание порошков, что позволяет получать фактически беспористые изделия не только из металлов, но и изделия из карбидов, боридов и других сверхтвердых материалов; и к термомеханическому классу сварки, осуществляемому с использованием тепловой энергии и давления.The proposed invention (hereinafter referred to as the Invention) relates to the field of production of materials with an elevated operating temperature, as well as to the field of hot pressing technology, in which simultaneously pressing and sintering of powders occurs, which makes it possible to obtain virtually non-porous products not only from metals, but also products from carbides , borides and other superhard materials; and to a thermomechanical class of welding carried out using heat energy and pressure.
Изобретение предполагает получение готовых изделий путем объединения нескольких последовательно припекаемых деталей в одно целое и может быть использовано при изготовлении габаритных и изделий сложного профиля. Наибольший эффект от применения изобретения ожидается в производстве высокотемпературных изделий из бескислородных типов керамики, таких как карбиды, нитриды и бориды, а также металлов W, Мо, Та, Nb и их сплавов, в том числе высокоэнтропийных.The invention involves the production of finished products by combining several sequentially baked parts into one whole and can be used in the manufacture of dimensional and complex profile products. The greatest effect from the application of the invention is expected in the production of high-temperature products from oxygen-free types of ceramics, such as carbides, nitrides and borides, as well as metals W, Mo, Ta, Nb and their alloys, including high-entropy ones.
Традиционные методы спекания таких типов керамики и металлов весьма затруднительны. Поэтому используют новый, инновационный метод искрового плазменного спекания (SPS) - впервые разработанный японской компанией Sumitomo Coal Mining Co., Ltd. и широко распространенный в США, ФРГ и других развитых странах. В основе процесса лежит модифицированный метод горячего прессования, при котором электрический ток от специального генератора импульсов постоянного тока пропускается непосредственно через пресс-форму и прессуемую заготовку. Длительность одиночного импульса составляет 3 мс. Используется последовательность из 12 импульсов, а затем выключение тока на время, равное по длительности продолжительности двух импульсов.Traditional sintering methods for these types of ceramics and metals are very difficult. Therefore, they use a new, innovative method of spark plasma sintering (SPS) - first developed by the Japanese company Sumitomo Coal Mining Co., Ltd. and widespread in the USA, Germany and other developed countries. The process is based on a modified hot pressing method, in which an electric current from a special DC pulse generator is passed directly through the mold and the blank to be pressed. The duration of a single pulse is 3 ms. A sequence of 12 pulses is used, and then the current is turned off for a time equal to the duration of the two pulses.
Спекание проводят в вакууме или в защитной атмосфере аргона при высоких температурах при одновременном приложении к образцу давления по одноосной схеме, что позволяет осуществлять очень быстрый нагрев и исключительно малую продолжительность рабочего цикла. При этом не происходит рост зерна и открывается возможности для создания материалов с ранее недоступными композициями и наномасштабным зерном, что придает им необычные свойства. Электрический ток проходит непосредственно через спекаемый порошковый образец, обладающий электрической проводимостью, между частицами порошка происходят разряды и возникает искровая плазма, которая способствует их очистке и разогреву и при последующем одноосном сжатии образуется заготовка высокой плотности и прочности. Нагрев контактов происходит за малый промежуток времени, так что спекание образца в целом происходит при температурах на (200÷400)°С ниже температур спекания такого же образца обычными методами.Sintering is carried out in a vacuum or in a protective argon atmosphere at high temperatures while simultaneously applying pressure to the sample according to a uniaxial scheme, which allows very fast heating and an extremely short operating cycle. At the same time, grain growth does not occur and it opens up opportunities for creating materials with previously inaccessible compositions and nanoscale grains, which gives them unusual properties. An electric current passes directly through the sintered powder sample, which has electrical conductivity, discharges occur between the powder particles and a spark plasma arises, which contributes to their cleaning and heating, and with subsequent uniaxial compression, a workpiece of high density and strength is formed. The contacts are heated in a short period of time, so that the sintering of the sample as a whole occurs at temperatures (200 ÷ 400) ° C lower than the sintering temperatures of the same sample by conventional methods.
Известно, что при выполнении операции прессования высота засыпки исходного порошка в разы превосходит высоту спрессованного изделия. В случае искрового плазменного спекания высота засыпки примерно в два раза больше высоты образца, уплотненного после спекания. Именно это обстоятельство, ввиду небольшого объема рабочей камеры установки SPS, является ограничением для получения габаритных изделий большой высоты.It is known that when performing the pressing operation, the height of the initial powder filling is several times higher than the height of the pressed product. In the case of spark plasma sintering, the filling height is approximately twice the height of the sample compacted after sintering. It is this circumstance, in view of the small volume of the working chamber of the SPS installation, that is a limitation for obtaining large-sized items of great height.
Крупногабаритные изделия сложной формы обычно изготавливают из керамических компонентов простой формы, а затем соединяют эти компоненты для получения требуемого окончательного изделия. Любое соединение является не только критическим местом, в котором требуется соблюдение прочности равной основному материалу, но и, в экстремальных условиях применения высоких температур, близких значений коэффициентов термического расширения соединяемых компонентов. Таким образом, идеальное соединение должно иметь близкие значения всех прочностных и физико-механических свойств.Large, complex shaped articles are typically made from simple shaped ceramic components and then assembled together to form the desired final article. Any connection is not only a critical place, in which it is required to maintain the strength equal to the base material, but also, in extreme conditions of high temperatures, close values of the coefficients of thermal expansion of the components to be joined. Thus, an ideal joint should have close values of all strength and physical and mechanical properties.
Известен ряд способов соединения керамических деталей, например, таких, как пайка, диффузионная сварка, горячее прессование. Общим недостатком всех этих способов является то, что соединение по своим термомеханическим характеристикам уступает основной керамике.A number of methods of joining ceramic parts are known, for example, such as brazing, diffusion welding, hot pressing. A common disadvantage of all these methods is that the connection is inferior to the basic ceramics in terms of its thermomechanical characteristics.
Ввиду вышесказанного, существует потребность в способе соединения керамических деталей с помощью искрового плазменного спекания, который позволяет соединять керамические детали без применения материалов отличных по химическому составу от состава основной керамики. Сохранение химического состава по объему всего изделия обеспечивает ему высокие термомеханические характеристики, соответствующие требованиям новой техники.In view of the above, there is a need for a method of joining ceramic parts using spark plasma sintering, which allows joining ceramic parts without using materials that differ in chemical composition from the composition of the base ceramic. The retention of the chemical composition in the volume of the entire product provides it with high thermomechanical characteristics that meet the requirements of new technology.
На практике известно несколько способов выполнения таких соединений.In practice, several methods are known for making such connections.
Существует способ, основанный на использовании в качестве соединительных материалов реагирующих прекурсоров, которые при нагревании взаимодействуют между собой, образуя тонкодисперсный хорошо спекающийся материал, по химическому составу идентичный материалу соединяемой керамики. Таким образом авторы соединяли детали из карбида кремния в (RU 2604530, МПК С04В 37/00, 2016) и из ZrB2 в работах (CN 110041090, МПК С04В 37/00, 2019).There is a method based on the use of reactive precursors as connecting materials, which, when heated, interact with each other, forming a finely dispersed, well-sintered material, chemically identical to the material of the ceramics being joined. Thus, the authors connected parts made of silicon carbide in (RU 2604530, IPC С04В 37/00, 2016) and from ZrB 2 in works (CN 110041090, IPC С04В 37/00, 2019).
Недостатками такого технического решения являются: высокие требования к не плоскостности соединяемых сторон, сложность равномерного размещения порошка прекурсора в месте соединения, отсутствие контроля степени превращения прекурсора в конечный продукт, сложность достижения одинаковой плотности вновь образовавшегося разделительного слоя с таковой для предварительно обожженных деталей, что может привести к возникновению напряжений и дефектов в месте стыковки.The disadvantages of this technical solution are: high requirements for non-flatness of the joined sides, the complexity of uniform placement of the precursor powder at the junction, the lack of control over the degree of conversion of the precursor into the final product, the difficulty of achieving the same density of the newly formed separating layer with that for pre-fired parts, which can lead to to the occurrence of stresses and defects at the junction.
В способе (CN 101516804, МПК С04В 37/00, 2009) предлагается выполнять соединение предварительно обожженных деталей непосредственно между собой методом искрового плазменного спекания путем приложения высокого давления на стадии «размягчения» керамики с последующим повышением температуры для полного завершения процесса соединения в твердой фазе.In the method (CN 101516804, IPC S04B 37/00, 2009), it is proposed to connect the pre-fired parts directly to each other by the method of spark plasma sintering by applying high pressure at the stage of “softening” the ceramics, followed by an increase in temperature to complete the solid phase joining process.
Недостатками этого технического решения являются: высочайшие требования к не плоскостности сторон (менее 100 мкм), применение повышенного давления в условиях высоких температур, что усложняет технологическую оснастку для проведения искрового плазменного спекания, превышение конечной температуры соединения температуры спекания соединяемых деталей из порошков, что способствует росту кристаллов и ухудшению свойств ранее обожженных изделий.The disadvantages of this technical solution are: the highest requirements for the non-flatness of the sides (less than 100 microns), the use of increased pressure at high temperatures, which complicates the technological equipment for carrying out spark plasma sintering, the excess of the final temperature of the connection, the sintering temperature of the joined parts made of powders, which promotes the growth crystals and deterioration of the properties of previously fired products.
Примером реализации следующего способа соединения является (EN 200700052, МПК С04В 37/00, 2008), в котором предварительно обожженные детали соединяют при помощи композиционной пленки, состоящей из керамических частиц исходного порошка и органического связующего. В качестве керамического порошка используется материал основы. Конечный результат соединения достигается путем твердофазного спекания с приложением давления.An example of the implementation of the following joining method is (EN 200700052, IPC S04B 37/00, 2008), in which pre-fired parts are joined using a composite film consisting of ceramic particles of the original powder and an organic binder. The base material is used as the ceramic powder. The final bonding result is achieved by solid phase sintering with the application of pressure.
Недостатками технического решения являются: высокие требования к плоскостности сторон, особенно в случаях, когда толщина соединительной пленки составляет несколько микрон, сложность и длительность операции приготовления сырой пленки, применение дополнительного обжига с целью удаления органической составляющей керамической пленки.The disadvantages of the technical solution are: high requirements for the flatness of the sides, especially in cases where the thickness of the connecting film is several microns, the complexity and duration of the operation for preparing the green film, the use of additional firing in order to remove the organic component of the ceramic film.
Наиболее близким к предлагаемому техническому решению (прототипом) является способ соединения деталей (патент EN №200700052, МПК С04В 37/00, 2008), в котором предварительно обожженные детали соединяют при помощи композиционной пленки, состоящей из керамических частиц исходного порошка удерживаемых вместе пластифицированным полимерным связующим.The closest to the proposed technical solution (prototype) is a method of joining parts (patent EN No. 200700052, IPC С04В 37/00, 2008), in which pre-fired parts are joined using a composite film consisting of ceramic particles of the original powder held together by a plasticized polymer binder ...
Недостатком прототипа является прежде всего наличие этой пленки и других органических компонентов, которые включают полимерные связующие, пластификаторы, диспергаторы, растворители и т.д., требующие своего удаления для получения прочного соединения керамических частиц. Кроме того, у прототипа существуют следующие ограничения:The disadvantage of the prototype is, first of all, the presence of this film and other organic components, which include polymer binders, plasticizers, dispersants, solvents, etc., requiring their removal to obtain a strong bond of ceramic particles. In addition, the prototype has the following limitations:
1) на величину давления (меньше 5 Мпа), чтобы не разрушить пленку с керамическими частицами в сыром виде;1) by the amount of pressure (less than 5 MPa), so as not to destroy the film with ceramic particles in their raw state;
2) на удельную поверхность керамических частиц, которая должна быть в диапазоне от 2 до 10 м2/г;2) on the specific surface of ceramic particles, which should be in the range from 2 to 10 m2 / g;
3) на средний размер керамических частиц от 0,1 до 1,0 мкм;3) for the average size of ceramic particles from 0.1 to 1.0 microns;
4) на максимальное отклонение от плоскостности соединяемых спеченных деталей, которое должно быть меньше 500 мкм;4) the maximum deviation from flatness of the sintered parts to be joined, which should be less than 500 microns;
5) на предпочтительную толщину сырого соединительного материала от 5 мкм до 1 мм;5) for the preferred thickness of the raw joint material from 5 μm to 1 mm;
6) на температуру соединения, которая должна быть меньше температуры спекания примерно на 100°С.6) for the temperature of the joint, which should be less than the sintering temperature by about 100 ° C.
Предлагаемый нами аддитивный способ получения габаритных изделий из токопроводящей керамики методом искрового плазменного спекания свободен от этих недостатков и ограничений.The proposed by us additive method for producing dimensional products from conductive ceramics by the method of spark plasma sintering is free from these disadvantages and limitations.
Разработка предлагаемого аддитивного способа направлена на решение технической проблемы: обеспечить способ образования соединения между первым спеченным изделием, из проводящего материала и порошковым слоем того же материала (без посторонних добавок), который, бы спекался при этом соединении, образуя химически и механически единое целое с первым спеченным изделием. Кроме того, желательно, чтобы после образования такого соединения не оставалось различимого межфазного слоя и полученный двухслойный материал проявлял сравнимую стабильность в термодинамических циклах.The development of the proposed additive method is aimed at solving a technical problem: to provide a method for the formation of a connection between the first sintered product, from a conductive material and a powder layer of the same material (without foreign additives), which would be sintered with this connection, forming a chemically and mechanically integral whole with the first sintered product. In addition, it is desirable that no discernible interfacial layer remains after the formation of such a bond and that the resulting bilayer material exhibits comparable stability in thermodynamic cycles.
Техническим результатом предлагаемого решения является:The technical result of the proposed solution is:
- наращивание первой предварительно обожженной электропроводящей детали, используемой как один из электродов, слоем из керамических частиц исходного порошка, зажатым вторым электродом из графита и совместно спеченных при пропускании импульсного электрического тока. При этом тепловая энергия выделяется в основном в порошковом слое и определяется как:- building up the first pre-fired electrically conductive part, used as one of the electrodes, with a layer of ceramic particles of the initial powder, clamped by the second graphite electrode and sintered together by passing a pulsed electric current. In this case, thermal energy is released mainly in the powder layer and is defined as:
где I(τ) - электрический ток, изменяющийся от времени, R(τ) - электрическое сопротивление компакта, изменяющееся от времени, М - масса компакта.where I (τ) is the electric current that varies with time, R (τ) is the electrical resistance of the compact, that changes with time, and M is the mass of the compact.
- получение габаритных изделий сложной геометрической формы из токопроводящей керамики при максимальном использовании объема (размеров) рабочей камеры установки SPS.- obtaining large-sized products of complex geometric shape from conductive ceramics with maximum use of the volume (dimensions) of the working chamber of the SPS installation.
В качестве токопроводящей керамики могут быть использованы карбиды, бориды SiC, TiC, ТаС, Zr2B, HfB2, а также металлы W, Мо, Та, Nb и их сплавы, в том числе высокоэнтропийные.Carbides, borides SiC, TiC, TaC, Zr 2 B, HfB 2 , as well as metals W, Mo, Ta, Nb and their alloys, including high-entropy ones, can be used as conductive ceramics.
В способе первую деталь получают из исходного порошка методом SPS, помещают ее в пресс-форму и наращивают ее высоту путем засыпки порошка близкого по массе порошку, который использовался для формования первой детали. Порошок располагают между торцом первой спеченной детали и графитовым электродом и проводят повторно операцию искрового плазменного спекания. Вновь полученную деталь, объединенную из двух частей, помещают в пресс-форму, насыпают порошок такой же массы и вновь проводят операцию искрового плазменного спекания и т.д.In the method, the first part is obtained from the initial powder by the SPS method, it is placed in a mold and its height is increased by filling the powder with a powder similar in mass, which was used to form the first part. The powder is placed between the end face of the first sintered part and the graphite electrode, and the spark plasma sintering operation is repeated. The newly obtained part, combined from two parts, is placed in a mold, a powder of the same mass is poured, and the operation of spark plasma sintering is carried out again, etc.
В способе активное соединение спеченной детали и исходного порошка происходит за счет того, что у порошка более высокое электросопротивление по сравнению с электросопротивлением уже спеченной детали. Поэтому происходит его нагревание на контактных границах частиц до более высоких температур, а консолидация активированной сплошной и порошковой частей происходит в результате одноосного сжатия.In the method, the active connection of the sintered part and the original powder occurs due to the fact that the powder has a higher electrical resistance compared to the electrical resistance of the already sintered part. Therefore, it is heated at the contact boundaries of the particles to higher temperatures, and the consolidation of the activated solid and powder parts occurs as a result of uniaxial compression.
Подлежащую в предлагаемом способе соединению поверхность обожженной детали активируют либо химическим методом, либо пескоструйной или электроэрозионной обработкой и очищают спиртом.The surface of the fired part to be joined in the proposed method is activated either by a chemical method, or by sandblasting or electroerosive processing and cleaned with alcohol.
Такой аддитивный способ позволяет изготавливать габаритные изделия сложной геометрической формы с максимально возможным использованием объема рабочей камеры установки SPS с достижением высоких прочностных и физико-химических свойств, присущих основному материалу соединяемых деталей.Such an additive method makes it possible to manufacture large-sized products of complex geometric shapes with the maximum possible use of the volume of the working chamber of the SPS installation with the achievement of high strength and physicochemical properties inherent in the base material of the parts to be joined.
Сущность технического решения поясняется нижеследующим описанием и прилагаемыми фигурами.The essence of the technical solution is illustrated by the following description and the attached figures.
На Фиг. 1 показана спеченная методом SPS деталь 1 из порошка на основе диборида циркония (после электроэрозионной обработки).FIG. 1 shows a SPS sintered zirconium diboride powder part 1 (eroded).
На Фиг. 2 показан припеченный аддитивным методом SPS порошок на основе диборида циркония к детали 1 (после электроэрозионной обработки).FIG. 2 shows zirconium diboride-based powder baked by the additive SPS method to part 1 (after EDM).
На Фиг. 3 показан припеченный аддитивным методом SPS порошок на основе диборида циркония к детали 2 (без электроэрозионной обработки).FIG. 3 shows zirconium diboride-based powder baked by the additive SPS method to part 2 (without EDM).
На Фиг. 4 показана микроструктура спеченного методом SPS порошка на основе диборида циркония.FIG. 4 shows the microstructure of an SPS sintered zirconium diboride powder.
На Фиг. 5. показана спеченная методом SPS деталь с полусферической поверхностью из порошка диборида циркония.FIG. 5 shows an SPS sintered part with a hemispherical surface of zirconium diboride powder.
На Фиг. 6 показано изделие из порошка на основе диборида циркония, полученное из двух деталей (сплошной и пористой) аддитивным способом SPS (без электроэрозионной обработки).FIG. 6 shows an article made of zirconium diboride powder, obtained from two parts (solid and porous) by the additive SPS method (no electrical discharge machining).
Достижение технического результата, обеспечиваемого аддитивным способом получения изделий электропроводящей керамики методом искрового плазменного спекания, включающим предварительный обжиг соединяемых деталей, размещения между соединяемыми деталями порошка материала основы, базируется на том, что при получении изделия только первую соединяемую деталь подвергают предварительному спеканию, а вторую и последующие детали получают путем засыпки порошка исходной керамики в форму, в которой одним из электродов служит уже предварительно спеченная деталь, с последующим проведением совместного электроискрового плазменного спекания. Время спекания выбирается таким образом, чтобы успел произойти нагрев всего пористого слоя.Achievement of the technical result, provided by an additive method for producing electrically conductive ceramic products by the method of spark plasma sintering, including preliminary firing of the parts to be joined, placing the powder of the base material between the parts to be connected, is based on the fact that upon receipt of the product, only the first part to be connected is subjected to preliminary sintering, and the second and subsequent parts are obtained by pouring the original ceramic powder into a mold, in which one of the electrodes is already a previously sintered part, followed by joint electrospark plasma sintering. The sintering time is chosen in such a way that the entire porous layer can be heated.
Для многократного использования графитовой формы необходимо, чтобы величины коэффициентов теплового расширения проводящего спекаемого материала и графита были близки друг другу.For multiple use of the graphite mold, it is necessary that the values of the thermal expansion coefficients of the conductive sintered material and the graphite are close to each other.
Хотя на электрических контактах при прохождении мощных импульсов тока наблюдаются искры, поверхность соприкосновения обожженной детали с порошком дополнительно активируют электроэрозионным способом или путем пескоструйной обработки и очищают спиртом.Although sparks are observed on the electrical contacts during the passage of powerful current pulses, the contact surface of the fired part with the powder is additionally activated by electro-erosion or by sandblasting and cleaned with alcohol.
Проводящие детали с выпуклой криволинейной поверхностью должны сопрягаться с вогнутой криволинейной поверхностью графитового электрода, чтобы толщина слоя спекаемого порошка между ними сохранялась одинаковой. Наоборот, если у детали вогнутая поверхность, то у сопрягаемой поверхности электрода должна быть выпуклая криволинейная поверхность, чтобы толщина подлежащего спеканию слоя порошка между ними сохранялась одинаковой.Conductive parts with a convex curved surface must mate with the concave curved surface of the graphite electrode so that the thickness of the sintered powder layer between them remains the same. On the contrary, if the part has a concave surface, then the mating electrode surface must have a convex curved surface so that the thickness of the powder layer to be sintered between them remains the same.
Первую соединяемую деталь подвергают предварительному обжигу до плотности на (2÷6)% меньше конечной плотности готового изделия в зависимости от требуемого для него количества соединяемых деталей и числа соответствующих спеканий.The first part to be joined is pre-fired to a density (2 ÷ 6)% less than the final density of the finished product, depending on the required number of parts to be joined and the number of corresponding sintering.
Возможность воспроизведения настоящего изобретения и реализации способа с достижением указанного технического результата поясняют нижеследующие примеры конкретного выполнения изделий из токопроводящей керамики методом искрового плазменного спекания.The possibility of reproducing the present invention and implementing the method with the achievement of the specified technical result is illustrated by the following examples of specific execution of articles made of conductive ceramics by the method of spark plasma sintering.
Пример 1 - соединение двух деталейExample 1 - joining two pieces
Деталь 1Detail 1
Навеску композиционного порошка на основе ZrB2 в количестве 360 г помещают в графитовую форму диаметром 60 мм установки искрового плазменного спекания Labox 1575, откачивают воздух до 6Па, производят предварительное уплотнение до давления 5 МПа, выполняют нагрев со скоростью 20°С/мин до температуры 1600°С на поверхности графитовой пресс-формы при одновременном повышении давления до 30 МПа, производят выдержку таких условий в течение 7 мин, после чего установку плавно охлаждают с такой же скоростью 20°С/мин до комнатной температуры. Обожженная 1-я деталь (Фиг. 1) имеет размеры 30×60 мм и относительную плотность больше 90% и электрическую проводимость близкую по величине к электрической проводимости графита, используемого для изготовления формы и электродов.A weighed portion of a composite powder based on ZrB2 in an amount of 360 g is placed in a graphite mold with a diameter of 60 mm of a Labox 1575 spark plasma sintering unit, air is pumped out to 6 Pa, preliminary compaction is performed to a pressure of 5 MPa, heating is performed at a rate of 20 ° C / min to a temperature of 1600 ° C on the surface of the graphite mold while increasing the pressure to 30 MPa, maintain such conditions for 7 minutes, after which the installation is smoothly cooled at the same rate of 20 ° C / min to room temperature. The fired 1st part (Fig. 1) has dimensions of 30 × 60 mm and a relative density of more than 90% and an electrical conductivity close to the electrical conductivity of graphite used for making molds and electrodes.
Деталь 2 (Готовое изделие)Detail 2 (Finished product)
В графитовую форму с внутренним диаметром 60 мм помещают обожженную деталь 1, предварительно обработанную в месте будущего соединения электроэрозионным методом и очищенную этиловым спиртом, сверху засыпают 360 г композиционного порошка на основе ZrB2, помещают в установку Labox 1575, откачивают воздух до 6Па, производят предварительное уплотнение до давления 5МПа и выполняют нагрев со скоростью 20°С/мин до температуры 1600°С при одновременном повышении давления до 30 МПа, производят выдержку в течение 9 мин, после чего установку охлаждают с той же скоростью 20°С/мин до комнатной температуры. Готовое изделие, состоящее из двух деталей (Фиг. 2), имеет размеры 60×60 мм и относительную плотность более 90%.In a graphite mold with an inner diameter of 60 mm, a fired part 1 is placed, pretreated at the place of the future connection by the electroerosive method and purified with ethyl alcohol, 360 g of a composite powder based on ZrB2 are poured on top, placed in the Labox 1575 installation, air is evacuated to 6 Pa, preliminary compaction is performed to a pressure of 5 MPa and heating at a rate of 20 ° C / min to a temperature of 1600 ° C while increasing the pressure to 30 MPa, hold it for 9 minutes, after which the installation is cooled at the same rate of 20 ° C / min to room temperature. The finished product, consisting of two parts (Fig. 2), has dimensions of 60 × 60 mm and a relative density of more than 90%.
Пример 2 - соединение трех деталейExample 2 - joining three pieces
Деталь 1Detail 1
Навеску композиционного порошка на основе ZrB2 в количестве 360 г помещают в графитовую форму диаметром 60 мм установки искрового плазменного спекания Labox 1575, откачивают воздух до 6Па, производят предварительное уплотнение до давления 5 МПа и выполняют нагрев со скоростью 20°С/мин до температуры 1600°С при одновременном повышении давления до 30 МПа, производят выдержку в течение 5 мин, после чего установку плавно охлаждают до температуры 50°С. Обожженная 1-я деталь (Фиг. 1) имеет размеры 30×60 мм и относительную плотность более 90%.A weighed portion of a composite powder based on ZrB2 in an amount of 360 g is placed in a graphite mold with a diameter of 60 mm of a Labox 1575 spark plasma sintering unit, air is pumped out to 6 Pa, preliminary compaction is performed to a pressure of 5 MPa, and heating is performed at a rate of 20 ° C / min to a temperature of 1600 ° With a simultaneous increase in pressure to 30 MPa, hold for 5 minutes, after which the installation is smoothly cooled to a temperature of 50 ° C. The fired 1st part (Fig. 1) has dimensions of 30 × 60 mm and a relative density of more than 90%.
Деталь 2Detail 2
В графитовую форму помещают обожженную деталь 1, предварительно обработанную по форме электрода и в месте будущего соединения активированную электроэрозионным методом и очищенную спиртом, затем сверху засыпают 360 г композиционного порошка на основе ZrB2 и производят предварительное уплотнение под давлением 5МПа, откачивают воздух до 6Па и выполняют нагрев со скоростью 200°С/мин до температуры 1600°С при одновременном повышении давления до 30 МПа, производят выдержку в течение 7 мин, после чего установку плавно охлаждают до температуры 50°С. Обожженная деталь 2 (Фиг. 2), состоящая из двух деталей, имеет размеры 60×60 мм и относительную плотность 98%.A fired part 1 is placed in a graphite mold, pretreated in the shape of an electrode and activated by the electroerosive method and purified with alcohol at the place of the future connection, then 360 g of composite powder based on ZrB2 is poured on top and preliminary compaction is performed under a pressure of 5 MPa, air is pumped out to 6 Pa and heating is performed at a rate of 200 ° C / min to a temperature of 1600 ° C with a simultaneous increase in pressure to 30 MPa, hold for 7 minutes, after which the installation is smoothly cooled to a temperature of 50 ° C. The fired part 2 (Fig. 2), consisting of two parts, has dimensions of 60 × 60 mm and a relative density of 98%.
Полученную деталь 2 обрабатывают со всех сторон электроэрозионным методом для плотного контакта с окружающим графитом и активации поверхности, к которой засыпают навеску композиционного порошка на основе ZrB2 в количестве 360 г. Затем производят предварительное уплотнение порошка электродом под давлением 5 МПа, откачивают воздух до 6 Па, выполняют нагрев со скоростью 20°С/мин до температуры 1600°С при одновременном повышении давления до 30 МПа, производят выдержку в течение 9 мин, после чего установку плавно охлаждают с такой же скоростью 20°С/мин до комнатной температуры. Готовое изделие, состоящее из трех деталей (Фиг. 3), имеет размер 90×60 мм и относительную плотность более 90%. Готовое изделие в местах соединения имеет однородную микроструктуру (Фиг. 4), не отличающуюся от микроструктуры основы. При испытаниях прочности на трехточечный изгиб разрушение происходило по основному материалу, а не по месту соединения и получены значения прочности (170÷200) МПа.The resulting part 2 is processed from all sides by the electroerosive method for close contact with the surrounding graphite and activation of the surface, to which a weighed portion of a composite powder based on ZrB 2 is poured in an amount of 360 g. , heating is performed at a rate of 20 ° C / min to a temperature of 1600 ° C with a simultaneous increase in pressure to 30 MPa, holding is carried out for 9 minutes, after which the installation is smoothly cooled at the same rate of 20 ° C / min to room temperature. The finished product, consisting of three parts (Fig. 3), has a size of 90 × 60 mm and a relative density of more than 90%. The finished product at the joints has a homogeneous microstructure (Fig. 4), which does not differ from the microstructure of the base. When testing the strength for three-point bending, fracture occurred along the base material, and not at the joint, and the strength values (170 ÷ 200) MPa were obtained.
Таким образом, предлагаемый аддитивный способ последовательного наращивания высоты заготовки исходным порошком и спеканием полученных слоев методом SPS, позволяет получать высококачественную токопроводящую керамику при максимальном использовании высоты рабочей камеры установки искрового плазменного спекания.Thus, the proposed additive method of sequentially increasing the height of the workpiece with the initial powder and sintering the obtained layers by the SPS method makes it possible to obtain high-quality conductive ceramics with the maximum use of the height of the working chamber of the spark plasma sintering installation.
Пример 3 - соединение деталей с криволинейной формойExample 3 - joining parts with a curved shape
Поверхность соприкосновения обожженной детали с порошком может иметь криволинейную форму, например, в виде полусферы (Фиг. 5).The contact surface of the fired part with the powder can have a curved shape, for example, in the form of a hemisphere (Fig. 5).
Дальнейший аддитивный способ спекания методом SPS такой детали можно осуществлять как с плоской, так и с криволинейной поверхностей после их активации и очистки. Добавление порошкового слоя к плоской поверхности детали происходит аналогично примеру 1. Для добавления порошкового слоя к выпуклой криволинейной поверхности порошок располагали между ней и графитовым электродом, поверхность которого, обращенная к порошку имела вогнутую криволинейную поверхность. Таким образом, толщина спекаемого слоя порошка сохранялась одинаковой между криволинейными поверхностями детали и электрода. В результате такого аддитивного способа SPS получено изделие, показанное на Фиг. 6.Further additive sintering by the SPS method of such a part can be carried out both from flat and curved surfaces after their activation and cleaning. The addition of the powder layer to the flat surface of the part is similar to example 1. To add the powder layer to the convex curved surface, the powder was placed between it and a graphite electrode, the surface of which, facing the powder, had a concave curved surface. Thus, the thickness of the sintered layer of powder was kept the same between the curved surfaces of the part and the electrode. As a result of this additive SPS method, the article shown in FIG. 6.
Предлагаемый аддитивный способ можно осуществлять на любом известном SPS оборудовании, что, наряду с достигнутым положительным техническим и экономическим результатом, позволяет сделать вывод о целесообразности его широкого внедрения.The proposed additive method can be carried out on any known SPS equipment, which, along with the achieved positive technical and economic result, allows us to conclude that its widespread implementation is advisable.
Claims (5)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2021106469A RU2761813C1 (en) | 2021-03-11 | 2021-03-11 | Additive method for obtaining dimension products from conductive ceramics by spark plasma sintering |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2021106469A RU2761813C1 (en) | 2021-03-11 | 2021-03-11 | Additive method for obtaining dimension products from conductive ceramics by spark plasma sintering |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2761813C1 true RU2761813C1 (en) | 2021-12-13 |
Family
ID=79175099
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2021106469A RU2761813C1 (en) | 2021-03-11 | 2021-03-11 | Additive method for obtaining dimension products from conductive ceramics by spark plasma sintering |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2761813C1 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115057715A (en) * | 2022-06-17 | 2022-09-16 | 中广核研究院有限公司 | Silicon carbide cladding connecting material, silicon carbide ceramic connecting piece and manufacturing method and application thereof |
CN115519123A (en) * | 2022-09-23 | 2022-12-27 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | Tungsten skeleton and preparation method and application thereof |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9102015B2 (en) * | 2013-03-14 | 2015-08-11 | Siemens Energy, Inc | Method and apparatus for fabrication and repair of thermal barriers |
RU2582867C1 (en) * | 2014-12-23 | 2016-04-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВПО МГТУ "СТАНКИН") | Method of producing copper-titanium current-conducting element |
RU2598018C2 (en) * | 2011-03-07 | 2016-09-20 | Снекма | Process for local repair of damaged thermomechanical part and part thus produced, in particular turbine part |
DE102016004548A1 (en) * | 2016-04-13 | 2017-10-19 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Process for the production of metallic or ceramic components and components |
US20190024738A1 (en) * | 2015-11-21 | 2019-01-24 | Ats Mer, Llc | Systems and methods for forming a layer onto a surface of a solid substrate and products formed thereby |
RU2728166C2 (en) * | 2015-12-14 | 2020-07-28 | Сафран Эркрафт Энджинз | Abradable coating with variable density |
-
2021
- 2021-03-11 RU RU2021106469A patent/RU2761813C1/en active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2598018C2 (en) * | 2011-03-07 | 2016-09-20 | Снекма | Process for local repair of damaged thermomechanical part and part thus produced, in particular turbine part |
US9102015B2 (en) * | 2013-03-14 | 2015-08-11 | Siemens Energy, Inc | Method and apparatus for fabrication and repair of thermal barriers |
RU2582867C1 (en) * | 2014-12-23 | 2016-04-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВПО МГТУ "СТАНКИН") | Method of producing copper-titanium current-conducting element |
US20190024738A1 (en) * | 2015-11-21 | 2019-01-24 | Ats Mer, Llc | Systems and methods for forming a layer onto a surface of a solid substrate and products formed thereby |
RU2728166C2 (en) * | 2015-12-14 | 2020-07-28 | Сафран Эркрафт Энджинз | Abradable coating with variable density |
DE102016004548A1 (en) * | 2016-04-13 | 2017-10-19 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Process for the production of metallic or ceramic components and components |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115057715A (en) * | 2022-06-17 | 2022-09-16 | 中广核研究院有限公司 | Silicon carbide cladding connecting material, silicon carbide ceramic connecting piece and manufacturing method and application thereof |
CN115519123A (en) * | 2022-09-23 | 2022-12-27 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | Tungsten skeleton and preparation method and application thereof |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2761813C1 (en) | Additive method for obtaining dimension products from conductive ceramics by spark plasma sintering | |
JP6085256B2 (en) | Process of local repair of damaged thermomechanical parts and parts repaired according to the process, in particular turbine parts | |
US6371746B1 (en) | Method of electronic sintering method and mold for use in the method | |
US8956478B2 (en) | Process for joining refractory ceramic parts by spark plasma sintering (SPS) | |
KR20200032062A (en) | Manufacturing method of boroncarbide sintered body and shaping die | |
JP2014513207A5 (en) | ||
CN111285677A (en) | Preparation method of high-density laminated composite part | |
JP2020027945A (en) | Ring-shaped element for etcher and method for etching substrate using the same | |
JP2020525392A (en) | Method for producing pellets of sintered material such as boron carbide pellets | |
JP6540863B2 (en) | Thermal spray formed body | |
JP6654210B2 (en) | How to make a mold for sintering | |
US6187087B1 (en) | Method of bonding a particle material to near theoretical density | |
WO2022185009A1 (en) | Method for manufacturing a near net shape (nns) component of complex shape using pressure-assisted sintering | |
JPH0784352B2 (en) | Method of manufacturing functionally graded material | |
JP7519168B2 (en) | Manufacturing method of ceramic member | |
JP4596855B2 (en) | Metal-ceramic composite structure and electrode member for plasma generation comprising the same | |
JPH051304A (en) | Production of gradient function material | |
JP2022038259A (en) | Manufacturing method of oxide sintered product | |
JP2019019026A (en) | Sintering mold, and method for manufacturing the same | |
CN114193856A (en) | Tungsten/copper laminated composite material, preparation method and application thereof | |
JP2004169064A (en) | Copper-tungsten alloy, and method of producing the same | |
JP2017191910A (en) | Board holding device and manufacturing method thereof | |
JP7280059B2 (en) | Method for manufacturing electrode-embedded member | |
WO2001040138A1 (en) | Porous silicon carbide sintered compact and silicon carbide metal composite suitable for use in table for wafer polishing machine | |
JP2016132612A (en) | Die for sintering, and manufacturing method thereof |