RU2730461C1 - Способ получения нанокристаллического кубического карбида вольфрама - Google Patents

Способ получения нанокристаллического кубического карбида вольфрама Download PDF

Info

Publication number
RU2730461C1
RU2730461C1 RU2020112384A RU2020112384A RU2730461C1 RU 2730461 C1 RU2730461 C1 RU 2730461C1 RU 2020112384 A RU2020112384 A RU 2020112384A RU 2020112384 A RU2020112384 A RU 2020112384A RU 2730461 C1 RU2730461 C1 RU 2730461C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
tungsten
tip
tungsten carbide
carbon
electrically
Prior art date
Application number
RU2020112384A
Other languages
English (en)
Inventor
Александр Анатольевич Сивков
Иван Игоревич Шаненков
Юлия Леонидовна Шаненкова
Дмитрий Сергеевич Никитин
Александр Сергеевич Ивашутенко
Original Assignee
федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Томский политехнический университет»
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Томский политехнический университет» filed Critical федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Томский политехнический университет»
Priority to RU2020112384A priority Critical patent/RU2730461C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2730461C1 publication Critical patent/RU2730461C1/ru

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/90Carbides
    • C01B32/914Carbides of single elements
    • C01B32/949Tungsten or molybdenum carbides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01GCOMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
    • C01G41/00Compounds of tungsten

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Abstract

Изобретение может быть использовано в машиностроении. Способ получения нанокристаллического кубического карбида вольфрама включает предварительное вакуумирование камеры, наполнение ее газообразным аргоном при нормальном атмосферном давлении и комнатной температуре. Вольфрам- и углеродсодержащую электроразрядную плазму генерируют с помощью коаксиального магнитоплазменного ускорителя с графитовым стволом и составным центральным электродом, включающим хвостовик из стали и наконечник, выполненный из вольфрама, с   электрически плавкой перемычкой из прессованной смеси вольфрамосодержащего прекурсора. Электрически плавкая перемычка размещена между графитовым стволом и наконечником. В качестве электрически плавкой перемычки используют спрессованный рудный вольфрамосодержащий концентрат, представляющий собой исходное сырьё для производства вольфрама. Зарядная энергия накопителя энергии от 28 до 37 кДж. Изобретение позволяет получить продукт с содержанием нанокристаллического кубического карбида вольфрама 90-95,1 мас.% с размерами частиц до 80 нм, минимальным содержанием побочных фаз, при использовании низкосортного сырья для производства вольфрама. 3 ил., 1 табл.

Description

Изобретение относится к области материаловедения и нанотехнологий и может быть использовано в водородной энергетике и машиностроении.
Известен способ синтеза метастабильной фазы нанокристаллического кубического карбида вольфрама [Tanaka, S., Bataev, I., Oda, H., & Hokamoto, K. Synthesis of metastable cubic tungsten carbides by electrical explosion of tungsten wire in liquid paraffin // Advanced Powder Technology. - 2018. - V. 29(10). - P. 2447-2455] путем электрического взрыва вольфрамовых проволочек при их сублимации за счет прикладываемого импульса напряжения амплитудой 40 кВ в жидком парафине, который используют в качестве источника углерода. Для выделения нанокристаллического карбида вольфрама полученный продукт смешивают с керосином, после чего производят отбор с помощью фильтровальной бумаги.
Данный способ характеризуется широким распределением частиц нанокристаллического кубического карбида вольфрама по размерам (до 500 нм) и необходимостью дополнительной очистки продукта.
Известен способ синтеза кубического карбида вольфрама в графитовой оболочке С@WC1-x при химическом взаимодействии метавольфрамата аммония, сахарозы и материала МСМ-41 (W:C:Si=1:1:1) [Zheng, H.J., Yu, A.M., & Ma, C.A. Polyporous C@WC1-x composite and its electrocatalytic activity for p-nitrophenol reduction // Chinese Chemical Letters. - 2011. - V. 22(4). - P. 497-500]. Указанные исходные материалы смешивают в дистиллированной воде, измельчают механическим путем и подвергают одновременному восстановлению и карбонизации при нагревании до 800°C в смеси газов CH4 и H2.
Данный способ является многостадийным и включает в себя сложные химические реакции с использованием многочисленных прекурсоров и взрывоопасных газов.
Известен способ получения нанокристаллического кубического карбида вольфрама на многослойных углеродных нанотрубках сонохимическим методом [Kim, J., Jang, J.H., Lee, Y.H., & Kwon, Y.U. Enhancement of electrocatalytic activity of platinum for hydrogen oxidation reaction by sonochemically synthesized WC1-x nanoparticles // Journal of Power Sources. - 2009. - Vol. 193(2). - P. 441-446]. Прекурсор W(CO)6 и многослойные углеродные нанотрубки диспергируют в 30 мл гексадекана, обрабатывают ультразвуком при температурах 85÷95°C в потоке аргона в течение 3 часов. Полученный порошок фильтруют, промывают пентаном под вакуумом и подвергают термической обработке в течение 12 часов при температуре 450°C в водородной среде.
Для осуществления этого способа необходимо обязательное использование носителя в виде многослойных углеродных нанотрубок. Способ является многостадийным и осуществляется в среде взрывоопасных газов при термическом воздействии.
Известен способ синтеза нанокристаллического кубического карбида вольфрама путем плазмодинамического синтеза [Pak, A., Sivkov, A., Shanenkov, I., Rahmatullin, I., & Shatrova, K. Synthesis of ultrafine cubic tungsten carbide in a discharge plasma jet // International Journal of Refractory Metals and Hard Materials. - 2015. - Vol. 48. - P. 51-55], принятый за прототип, в котором в качестве прекурсора используют смесь металлического вольфрама и технического углерода. Нанокристаллический кубический карбид вольфрама получают при распылении высокоскоростной струи вольфрам- и углеродсодержащей электроразрядной плазмы, генерируемой коаксиальным магнитоплазменным ускорителем с графитовым стволом и составным центральным электродом, состоящим из графитового наконечника и хвостовика из стали, в среде аргона при нормальном атмосферном давлении и при зарядной энергии 27 кДж.
Этот способ синтеза позволяет получать продукт с содержанием кубического карбида вольфрама до 95,0 мас. % с размером частиц от нескольких нм до 200 нм в матрице из аморфного углерода, однако в качестве прекурсора используют микронный порошок металлического вольфрама, полученный трудоемкими и дорогостоящими плазмохимическими методами.
Техническим результатом предложенного изобретения является разработка способа синтеза нанокристаллического кубического карбида вольфрама, позволяющего использовать низкосортное и дешевое исходное сырье для производства вольфрама.
Предложенный способ получения нанокристаллического кубического карбида вольфрама, также как в прототипе, включает предварительное вакуумирование камеры, наполнение ее газообразным аргоном при нормальном атмосферном давлении и комнатной температуре, генерирование вольфрам- и углеродсодержащей электроразрядной плазмы с помощью коаксиального магнитоплазменного ускорителя с графитовым стволом и с составным центральным электродом из наконечника и хвостовика из стали, с электрически плавкой перемычкой из прессованной смеси вольфрамосодержащего прекурсора, размещенной между графитовым стволом и наконечником.
Согласно изобретению генерируют вольфрам- и углеродсодержащую плазму с помощью коаксиального магнитоплазменного ускорителя, в котором наконечник составного центрального электрода выполнен из вольфрама, а в качестве электрически плавкой перемычки используют спрессованный рудный вольфрамосодержащий концентрат, представляющий собой исходное сырье для производства вольфрама, при зарядной энергии от 28 кДж до 37 кДж накопителя энергии.
При разрядке емкостного накопителя энергии между вольфрамовым наконечником центрального электрода и внутренним цилиндром из графита цилиндрического электропроводящего ствола ускорителя происходит инициирование дугового разряда, вследствие чего электрически плавкая перемычка из спрессованного рудного вольфрамосодержащего концентрата переходит в плазменное состояние, ускоряется до сверхзвуковых скоростей, участвует в плазмохимической реакции с углеродом, эродированным с внутренней поверхности внутреннего цилиндра из графита цилиндрического электропроводящего ствола, что обеспечивает образование нанокристаллического кубического карбида вольфрама. Преимуществом такого способа является использование прекурсора низкой стоимости по сравнению с прототипом, а также возможность сокращения количества этапов производства кубического карбида вольфрама.
Увеличение зарядной энергии емкостного накопителя энергии более 37 кДж приводит к механическому разрушению внутреннего цилиндра из графита цилиндрического электропроводящего ствола, а уменьшение зарядной энергии менее 28 кДж не обеспечивает достаточную электроэрозию углерода с внутреннего цилиндра из графита цилиндрического электропроводящего ствола для удаления примесных оксидных фаз посредством образования газообразного диоксида углерода.
Предложенный способ позволил получить продукты с содержанием нанокристаллического кубического карбида вольфрама от 90 до 95,1 мас. % с размерами частиц до 80 нм.
На фиг. 1 показана установка для синтеза нанокристаллического кубического карбида вольфрама.
На фиг. 2 представлена рентгеновская дифрактограмма и снимок просвечивающей электронной микроскопии рудного вольфрамосодержащего концентрата, использованного для получения нанокристаллического кубического карбида вольфрама предложенным способом.
На фиг. 3 представлены рентгеновские дифрактограммы и снимки просвечивающей электронной микроскопии продуктов плазмодинамического синтеза, полученные при разных значениях зарядной энергии емкостного накопителя энергии, где а) - при 32 кДж; б), - при 28 кДж; в) - при 37 кДж.
В таблице 1 представлены результаты рентгеноструктурного анализа продуктов плазмодинамического синтеза, полученных при разных значениях зарядной энергии емкостного накопителя энергии.
Синтез нанокристаллического кубического карбида вольфрама был реализован с использованием установки (фиг. 1), содержащей коаксиальный магнитоплазменный ускоритель, в котором цилиндрический электропроводящий ствол выполнен из двух электропроводящих цилиндров: внутреннего цилиндра 1 из графита и внешнего цилиндра 2 из прочного немагнитного материала (из нержавеющей стали), центрального электрода, состоящего из вольфрамового наконечника 3 и хвостовика 4 из стали. Ствол и центральный электрод соединены электрически плавкой перемычкой 5, выполненной из спрессованного рудного вольфрамосодержащего концентрата, представляющего собой исходное сырье для производства вольфрама, помещенного поверх токопроводящего углеродного слоя, нанесенного на поверхность изолятора 6, отделяющего электропроводящий ствол от центрального электрода. Корпус 7 выполнен из магнитного материала, сопряжен с внешним металлическим цилиндром 2 и перекрывает зону размещения плавкой перемычки 5. Длина части, перекрывающей зону размещения плавкой перемычки 5, составляет 40÷50 мм, а ее внешняя поверхность выполнена конусообразной. Соленоид 8 выполнен за одно целое с фланцем 9 и цилиндрической частью 10, в которой размещен корпус 7 и укреплен резьбовой заглушкой 11. Соленоид 8 укреплен прочным стеклопластиковым корпусом 12 и стянут мощными токопроводящими шпильками 13 между фланцем 9 и стеклопластиковым упорным кольцом 14. Токопроводящие шпильки 13 электрически соединены токопроводящим кольцом 15, а к токопроводящим шпилькам 13 присоединен шинопровод 16 внешней схемы электропитания. Второй шинопровод 17 схемы электропитания присоединен к хвостовику 4. Ко второму шинопроводу 17 последовательно присоединены ключ 18 и конденсаторная батарея 19, связанная с шинопроводом 16.
Свободный конец ствола ускорителя вставлен в камеру 20 через осевое отверстие в первой металлической боковой крышке 21 и герметично зафиксирован с помощью уплотнительных колец 22, расположенных между фланцем 9 и боковой крышкой 21, и шпилек 23, соединяющих кольцо 24, упирающееся во фланец 9, и первую боковую крышку 21. Камера 20 через первый вентиль 25 соединена с форвакуумным насосом. Камера 20 через второй вентиль 26 соединена с баллоном, наполненным аргоном и снабженным манометром. Объем камеры 20 ограничен двумя боковыми крышками 21 и 27, которые прикреплены к ней болтовыми соединениями.
Между внутренним цилиндром 1 ствола ускорителя и вольфрамовым наконечником центрального электрода 3 помещают электрически плавкую перемычку 5, выполненную из спрессованного рудного вольфрамосодержащего концентрата, представляющего собой исходное сырье для производства вольфрама, которое содержит: 48,3 мас. % MnWO4; 5,4 мас. % CaWO4; 4,4 мас. % CaF2; 15,3 мас. % FeWO4; мас. % 1,8 FeS2; 17,3 мас. % Fe3O4; 0,1 мас. % ZrSiO4; 1,9 мас % SiO2; 1,5 мас. % TiO2; 0,6 мас. % Al2O3; 1,6 мас. % PbO (марка КВГФ 1 сорта согласно ГОСТ 213-83 «Концентрат вольфрамовый. Технические условия»). Электрически плавкую перемычку закладывают поверх токопроводящего углеродного слоя, предварительно нанесенного на поверхность изолятора 6 путем распыления углеродного спрея марки Graphit 33. Ускоритель плотно состыковывают с внешней стороной первой крышкой 21 с помощью кольца 24 и уплотнительных колец 22. Первую крышку 21 с зафиксированным на ней ускорителем плотно состыковывают с помощью болтовых соединений с камерой 20. Противоположную сторону камеры 20 закрывают второй крышкой 27. После этого камеру 20 вакуумируют через первый вентиль 25, после чего через второй вентиль 26 заполняют аргоном при нормальном атмосферном давлении и при комнатной температуре.
Конденсаторную батарею 19 емкостного накопителя энергии заряжают до величины зарядной энергии от 28 кДж до 37 кДж. Ключ 18 замыкают, после чего в контуре электропитания ускорителя начинает протекать ток от конденсаторной батареи 19 по шинопроводу 16, токопроводящему кольцу 15, шпилькам 13, фланцу 9, виткам соленоида 8, корпусу 7, внешнему металлическому цилиндру 2, внутреннему цилиндру 1, плавкой перемычке 5, вольфрамовому наконечнику 3, хвостовику 4, второму шинопроводу 17. При этом плавкая перемычка 5 разогревается, плавится, и ее материал переходит в плазменное состояние с образованием дугового разряда. Конфигурация плазменной структуры типа Z-пинч с круговой плазменной перемычкой задается формой плавкой перемычки 5 и наличием цилиндрического канала в изоляторе 6. Далее плазма разряда сжимается магнитным полем собственного тока и аксиальным полем соленоида 8 и существует в ускорительном канале в виде удлиняющегося Z-пинча с круговой плазменной перемычкой на конце, через которую ток переходит на цилиндрическую поверхность ускорительного канала внутреннего цилиндра 1, в процессе ускорения плазменной перемычки под действием силы Лоренца. Ускорение плазменной струи сопровождается электроэрозионной наработкой второго прекурсора - углерода - за счет высокой температуры (104 К). Эродированный материал поступает в плазменный поток, где начинает протекать плазмохимическая реакция с участием рудного вольфрамосодержащего концентрата, представляющего собой исходное сырье для производства вольфрама. Плазменная струя истекает из ускорительного канала внутреннего цилиндра 1 в камеру 20, заполненную аргоном, и распыляется со свободной границы головной ударной волны. После осаждения синтезированного материала на внутренней поверхности камеры 20, открывают крышку 27 и производят сбор продукта плазмодинамического синтеза.
Результаты получения нанокристаллического кубического карбида вольфрама при использовании рудного вольфрамосодержащего концентрата, представляющего собой исходное сырье для производства вольфрама вышеуказанного состава, приведены в таблице 1.
Полученный продукт плазмодинамического синтеза исследовали с помощью методов рентгеновской дифрактометрии и просвечивающей электронной микроскопии. Рентгеновские дифрактограммы синтезированных продуктов (фиг. 3), результаты количественного рентгеноструктурного анализа (таблица 1) и микроснимки (фиг. 3) показали преимущественное содержание нанокристаллического кубического карбида вольфрама WC1-x от 90 до 95,1 мас. % с размерами частиц до 80 нм при минимальном содержании побочных фаз гексагональных карбидов вольфрама W2C и WC, углерода C и вольфрама W.

Claims (1)

  1. Способ получения нанокристаллического кубического карбида вольфрама, включающий предварительное вакуумирование камеры, наполнение ее газообразным аргоном при нормальном атмосферном давлении и комнатной температуре, генерирование вольфрам- и углеродсодержащей электроразрядной плазмы с помощью коаксиального магнитоплазменного ускорителя с графитовым стволом и с составным центральным электродом, включающим хвостовик из стали и наконечник с   электрически плавкой перемычкой из прессованной смеси вольфрамосодержащего прекурсора, размещенной между графитовым стволом и наконечником, отличающийся тем, что генерируют вольфрам- и углеродсодержащую плазму с помощью коаксиального магнитоплазменного ускорителя, в котором наконечник составного центрального электрода выполнен из вольфрама, а в качестве электрически плавкой перемычки используют спрессованный рудный вольфрамосодержащий концентрат, являющийся исходным сырьем для производства вольфрама, при зарядной энергии от 28 до 37 кДж накопителя энергии.
RU2020112384A 2020-03-26 2020-03-26 Способ получения нанокристаллического кубического карбида вольфрама RU2730461C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020112384A RU2730461C1 (ru) 2020-03-26 2020-03-26 Способ получения нанокристаллического кубического карбида вольфрама

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020112384A RU2730461C1 (ru) 2020-03-26 2020-03-26 Способ получения нанокристаллического кубического карбида вольфрама

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2730461C1 true RU2730461C1 (ru) 2020-08-24

Family

ID=72237782

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2020112384A RU2730461C1 (ru) 2020-03-26 2020-03-26 Способ получения нанокристаллического кубического карбида вольфрама

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2730461C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2747329C1 (ru) * 2020-11-19 2021-05-04 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Томский политехнический университет» Способ получения порошка, содержащего нанокристаллический кубический карбид вольфрама

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2349424C1 (ru) * 2007-10-18 2009-03-20 Институт металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова РАН Способ получения порошков на основе карбида вольфрама
RU2434807C1 (ru) * 2010-04-14 2011-11-27 Учреждение Российской академии наук Институт металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова РАН Способ получения нанопорошков систем элемент-углерод
JP2018165235A (ja) * 2017-03-28 2018-10-25 日本新金属株式会社 微粒炭化タングステン粉末
RU2707673C1 (ru) * 2019-07-11 2019-11-28 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Национальный исследовательский Томский политехнический университет Способ формирования покрытия из кубического карбида вольфрама

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2349424C1 (ru) * 2007-10-18 2009-03-20 Институт металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова РАН Способ получения порошков на основе карбида вольфрама
RU2434807C1 (ru) * 2010-04-14 2011-11-27 Учреждение Российской академии наук Институт металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова РАН Способ получения нанопорошков систем элемент-углерод
JP2018165235A (ja) * 2017-03-28 2018-10-25 日本新金属株式会社 微粒炭化タングステン粉末
RU2707673C1 (ru) * 2019-07-11 2019-11-28 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Национальный исследовательский Томский политехнический университет Способ формирования покрытия из кубического карбида вольфрама

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PAK A. et al., Synthesis of ultrafine cubic tungsten carbide in a discharge plasma jet, International Journal of Refractory Metals and Hard Materials, 2015, v. 48, pp. 51-55. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2747329C1 (ru) * 2020-11-19 2021-05-04 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Томский политехнический университет» Способ получения порошка, содержащего нанокристаллический кубический карбид вольфрама

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2234457C2 (ru) Способ получения фуллеренсодержащей сажи и устройство для его осуществления
JP2003509229A (ja) 電熱銃合成によるナノ粒径材料の大量製造法及び装置
RU2730461C1 (ru) Способ получения нанокристаллического кубического карбида вольфрама
Ivanov et al. High-efficiency synthesis of nanoparticles in a repetitive multigap spark discharge generator
EP1423332A2 (en) Apparatus and method for nanoparticle and nanotube production, and use therefor for gas storage
AU2002326021A1 (en) Apparatus and method for nanoparticle and nanotube production, and use therefor for gas storage
Wang et al. Synthesis of graphene nanosheets by the electrical explosion of graphite powder confined in a tube
Sivkov et al. Optimization of plasma dynamic synthesis of ultradispersed silicon carbide and obtaining SPS ceramics on its basis
US3738828A (en) Method of powder activation
Harbec et al. Carbon nanotubes from the dissociation of C2Cl4 using a dc thermal plasma torch
US3932760A (en) Powder activation in an inert atmosphere
RU2749736C1 (ru) Способ получения нанокристаллического диоксида титана со структурой анатаз
RU2747329C1 (ru) Способ получения порошка, содержащего нанокристаллический кубический карбид вольфрама
RU2707673C1 (ru) Способ формирования покрытия из кубического карбида вольфрама
Ilyin et al. Synthesis and characterization of metal carbides nanoparticles produced by electrical explosion of wires
CN114852996B (zh) 一种电爆炸法制备单壁碳纳米管的系统和方法
RU2807261C1 (ru) Способ получения порошкового металломатричного композита из меди и карбида кремния
Kim High energy pulsed plasma arc synthesis and material characteristics of nanosized aluminum powder
Zaikovskii et al. Tin–carbon nanomaterial formation in a helium atmosphere during arc-discharge
Hirano et al. Formation of gold and iron oxide nanoparticles encapsulated in boron nitride sheets
RU2752330C1 (ru) Способ получения нанокристаллической эпсилон-фазы оксида железа
JP5075899B2 (ja) カルシウムシアナミドを含む粉体、該粉体の製造方法及びその装置
RU2759314C1 (ru) Устройство для получения нанокристаллического диоксида титана со структурой анатаза
RU2753182C1 (ru) Устройство для получения нанокристаллической эпсилон фазы оксида железа
WO2010110694A1 (ru) Плазменная печь