RU2707665C1 - Термостатирующее устройство для проведения нанокалориметрических измерений в контролируемой атмосфере - Google Patents

Термостатирующее устройство для проведения нанокалориметрических измерений в контролируемой атмосфере Download PDF

Info

Publication number
RU2707665C1
RU2707665C1 RU2018141511A RU2018141511A RU2707665C1 RU 2707665 C1 RU2707665 C1 RU 2707665C1 RU 2018141511 A RU2018141511 A RU 2018141511A RU 2018141511 A RU2018141511 A RU 2018141511A RU 2707665 C1 RU2707665 C1 RU 2707665C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sensor
housing
nanocalorimetric
base
cooling system
Prior art date
Application number
RU2018141511A
Other languages
English (en)
Inventor
Андрей Александрович Рычков
Дмитрий Анатольевич Иванов
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова" (МГУ)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова" (МГУ) filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова" (МГУ)
Priority to RU2018141511A priority Critical patent/RU2707665C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2707665C1 publication Critical patent/RU2707665C1/ru

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y35/00Methods or apparatus for measurement or analysis of nanostructures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K17/00Measuring quantity of heat
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K17/00Measuring quantity of heat
    • G01K17/006Microcalorimeters, e.g. using silicon microstructures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G01N25/20Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating the development of heat, i.e. calorimetry, e.g. by measuring specific heat, by measuring thermal conductivity

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

Заявляемое термостатирующее устройство для проведения нанокалориметрических измерений в контролируемой атмосфере позволяет размещать внутри корпуса нанокалориметрический сенсор. Устройство может быть интегрировано в приборы для измерения теплофизических и структурных параметров образцов. Устройство включает корпус, выполненный с возможностью подключения к коннектору и снабженный окнами из рентгенопрозрачного материала, в котором размещен нанокалориметрический сенсор, элемент Пельтье прямоугольной формы, теплоотводящая пластина, изготовленная из материала с хорошей теплопроводностью, система жидкостного охлаждения, вмонтированная в корпус. Теплоотводящая пластина снабжена отверстием для прохождения излучения, а сенсор с исследуемым образцом расположен на этой пластине с обеспечением размещения активной части сенсора в проекции отверстия. В корпус встроена электрическая плата для возможности подключения нанокалориметрических сенсоров. Технический результат - расширение возможности методов нанокалориметрии за счет реализации возможности нагрева образца до 450°С и охлаждения образца до -20°С, а также благодаря возможности создания контролируемой атмосферы внутри устройства (регулирование влажности и состава газовой смеси). 11 з.п. ф-лы, 4 ил.

Description

Область техники, к которой относится изобретение
Изобретение относится к научному приборостроению и представляет собой устройство, которое может быть использовано для сочетания методов нанокалориметрии и рентгеновской дифракции и проведения комбинированных in-situ исследований структуры и теплофизических свойств материалов различного типа в широком температурном интервале, в т.ч. и при отрицательных температурах. В заявляемом решении реализованы конструкционные особенности, позволяющие использовать нанокалориметрические сенсоры. Термостатирующее устройство позволяет создавать контролируемую атмосферу вокруг нанокалориметрического сенсора, что позволяет реализовать сложные нанокалориметрические эксперименты, ранее недоступные научному сообществу.
Уровень техники
Из уровня техники известны устройства, описанные в патентах US 5288147 A «Датчик дифференциального термического анализатора на основе термопар» и US 5788373 A «Способ и устройство для дифференциального термического анализа». Указанные патенты лежат в основе коммерческого прибора компании Mettler Toledo «Flash DSC1». Также известен патент RU 2620028 C1 «Термостатирующее устройство для нанокалориметрических измерений на чипе со сверхбыстрыми скоростями нагрева и охлаждения», в котором описано наиболее близкое решение к заявляемому устройству.
В патенте US 5288147 A представлен дифференциальный датчик для термического анализа, состоящий из двух низкоомных дифференциальных термоэлектрических батарей. Каждая термобатарея состоит из серии последовательно соединенных термопар. Контакты измерительных термопар расположены равномерно как вокруг измерительной области, так и вокруг аналогичной области для образца сравнения (эталонной). Дифференциальный термоаналитический датчик может быть использован, например, для дифференциальных измерений тепловых потоков ячейки с исследуемым образцом и эталонной (т.е. пустой) ячейки, при этом измерение разности тепловых потоков реализуется на основе принципа компенсации мощности.
В патенте US 5788373 A описаны метод и устройство для проведения дифференциальных термоаналитических экспериментов с использованием исследуемого образца и образца сравнения. Образец сравнения может быть представлен, например, пустым тиглем с известным весом, либо может заменяться расчетами с использованием математической модели, принимающей во внимание реальное поведение теплофизического устройства. Термоаналитические кривые исследуемого образца и эталонного образца сравниваются для определения разности температур, при этом ошибка измерения сильно зависит от положения обоих образцов по отношению к нагревательным элементам.
Из уровня техники известно устройство «Термостатирующее устройство для нанокалориметрических измерений на чипе со сверхбыстрыми скоростями нагрева и охлаждения» (патент RU 2620028 C1), выбранное в качестве прототипа. Термостатирующее устройство содержит корпус, выполненный с возможностью подключения к коннектору, для соединения с блоком электроники, и размещенные в корпусе нанокалориметрический сенсор, элемент Пельтье, выполненный в виде пластины, электронную плату, предназначенную для передачи сигнала с сенсора на коннектор, систему жидкостного охлаждения элемента Пельтье, при этом в корпусе выполнены соосные рентгенопрозрачные окна для прохождения излучения, система жидкостного охлаждения выполнена в качестве отдельного блока, изготовленного из медной пластины, а активная область сенсора для исследуемого образца расположена в проекции упомянутых отверстий. Использование данного устройства возможно в различных измерительных системах, включающих, как правило, платы цифро-аналогового преобразователя и усилителей сигналов, подаваемых на нанокалориметрические сенсоры и снимаемых с нанокалориметрических сенсоров, а также контролирующее программное обеспечение, позволяющее проводить нанокалориметрические измерения не только в режимах линейных нагревов (так называемая DC-калориметрия), но и в режимах температурной модуляции (АС-калориметрия). Возможность температурной модуляции позволяет достигнуть достаточной точности измерений в режиме относительно низких скоростей нагрева / охлаждения. В свою очередь, в DC-режиме возможно достичь скорости нагрева активной области нанокалориметрического сенсора до 1000000°С/сек, а скорость охлаждения - до 5000°С/сек за счет герметичности устройства и наличия специальной системы охлаждения. Также в данном устройстве реализована возможность использования дополнительного (эталонного) нанокалориметрического сенсора для проведения дифференциальных нанокалориметрических измерений.
Однако прототип имеет ряд недостатков, один из которых - относительно большая толщина прибора в активной области. Это обусловлено наличием системы жидкостного охлаждения выполненной в качестве отдельного блока, наличием керамических тепловых экранов и воздушных прослоек между окнами и внутренними элементами устройства. Существенным недостатком также является необходимость использования двух нанокалориметрических сенсоров, из-за чего усложняется процесс синхронного считывания сигналов с сенсоров, а полученные экспериментальные данные сильно зависят от положения этих сенсоров на элементе Пельтье. Размещение двух сенсоров предполагает наличие необходимого пространства внутри устройства, что также сказывается на габаритных размерах прибора. При работе в области отрицательных температур устройство-прототип имеет недостаток, связанный с конденсацией влаги на мембранах, закрывающих конструкционные корпусные отверстия. Данная влага препятствует проведению экспериментов с использованием оптической микроскопии или рентгеновской дифракции. Также данное устройство не позволяет создавать атмосферу с контролируемой влажностью вокруг нанокалориметрического сенсора.
Раскрытие изобретения
Технической проблемой, решаемой настоящим изобретением является разработка термостатирующего устройства с малой толщиной в зоне активной области сенсора для возможности интеграции с микро- и нанофокусной линией рентгеновской дифракции на синхротроне. Устройство должно быть выполнено в виде отдельного блока с возможностью размещения нанокалориметрических сенсоров, а также с возможностью регулирования температуры сенсора, влажности вокруг сенсора, а также состава газовой смеси внутри устройства. Устройство может быть интегрировано в экспериментальное оборудование для измерения теплофизических и структурных параметров образцов.
Техническим результатом является повышение качества проводимых исследований за счет создания конструкции термостатирующего устройства со ступенчатым профилем для уменьшения его толщины в зоне активной области сенсора, позволяющем его размещать в современном нанокалориметрическом оборудовании и проводить исследования физико-химических параметров образца с реализацией возможности нагрева образца до 450°С и охлаждения образца до -20°С, а также за счет создания электронной платы для осуществления связи с коннектором. Кроме того, конструкция устройства позволяет создавать контролируемую атмосферу вокруг нанокалориметрического сенсора (влажность, состав газовой смеси).
Технический результат достигается тем, что заявляемое устройство включает корпус, содержащий основание и крышку, выполненный с возможностью подключения к коннектору контрольно-измерительного блока нанокалориметра и снабженный рентгенопрозрачными окнами - мембранами из рентгенопрозрачного материала, закрывающими конструкционные отверстия. В данном корпусе предусмотрена возможность размещения нанокалориметрического сенсора, элемента Пельтье прямоугольной формы, системы жидкостного охлаждения и теплоотводящей пластины. Теплоотводящая пластина предназначена для отвода тепла с сенсора на элемент Пельтье и расположена между упомянутыми конструктивными элементами, и выполнена с возможностью фиксации к основанию. Теплоотводящая пластина изготовлена из материала с высокой теплопроводностью (например, со значением коэффициента теплопроводности не менее 350 Вт/(м⋅К)) и снабжена сквозным отверстием для беспрепятственного прохождения излучения, используемого при изучении образцов методами рентгеновской дифракции или оптической микроскопии. В корпус встроена электронная плата для возможности подключения нанокалориметрического сенсора. При этом конструкция устройства выполнена таким образом, что активная область нанокалориметрического сенсора располагается непосредственно в проекции отверстия теплоотводящей пластины. Для подключения нанокалориметрических сенсоров предусмотрен соответствующий коннектор. Основание корпуса выполнено с разделением на три зоны по длине, где первая зона предназначена для размещения электронной платы, вторая - для размещения системы жидкостного охлаждения, третья - является рабочей, предназначенной для размещения сенсора; основание имеет меньшую толщину в рабочей зоне; а система охлаждения выполнена в виде каналов в основании корпуса для прохождения охлаждающей среды.
В корпус встроены специальные газовые и жидкостные штуцеры для осуществления жидкостного охлаждения и создания контролируемой газовой атмосферы внутри устройства.
Система жидкостного охлаждения может быть выполнена в виде выреза в форме меандра в нижней части корпуса устройства. Над данным вырезом размещается элемент Пельтье и уплотняется по периметру специальной прокладкой, прижим которой осуществляется с помощью медного теплоотвода, необходимого для теплового контакта между нанокалориметрическим сенсором и системой охлаждения.
Электронная плата представляет собой пластину, изготовленную из двустороннего фольгированного стеклотекстолита с проводящими дорожками, покрытыми иммерсионным золотом. Корпус выполнен из алюминиевого сплава и в рабочей зоне имеет толщину от 5 мм до 7 мм. Основание имеет ступенчатый профиль в поперечном сечении, выполнено с углублением, обеспечивающим размещение и фиксацию сенсора и электронной платы в одной плоскости. Основание также снабжено вырезами для установки коннектора и отверстиями для установки жидкостных и газовых штуцеров подвода среды в систему охлаждения и полость корпуса. Корпус снабжен отверстиями для обдува окон инертным газом.
Таким образом, поставленная задача решается размещением в корпусе модуля охлаждения, состоящего из системы жидкостного охлаждения (7), элемента Пельтье (5) и теплоотводящей пластины (4). Система жидкостного охлаждения нужна для отвода тепла, генерируемого элементом Пельтье. Для обеспечения возможности проведения исследований с использованием методов оптической микроскопии и рентгеновской дифракции, в корпус и крышку устройства встроены мембраны из нитрида кремния.
Заявляемое устройство имеет ряд преимуществ перед прототипом, из которых наиболее важным является возможность проведения экспериментов с использованием нанокалориметрических сенсоров с различной архитектурой активной области. Это особенно актуально в связи с развитием технологий, используемых в области нанокалориметрии и выходом на коммерческий рынок новых типов нанокалориметрических сенсоров. Кроме того, превосходством предлагаемого термостатирующего устройства является компактность конструкции и эргономичность в процессе эксплуатации. Небольшие размеры термостатирующего блока упрощают адаптацию устройства к различным лабораторным условиям, что ускоряет процесс калибровки устройства и его интегрирования в различные экспериментальные установки. В устройстве, выбранном за прототип, система жидкостного охлаждения выполнена в качестве отдельного блока, изготовленного из медной пластины, в то время как в заявляемом устройстве система жидкостного охлаждения располагается непосредственно в корпусе, благодаря чему достигается максимально возможная компактность прибора, а ступенчатый профиль устройства в поперечном сечении обеспечивает минимальную толщину прибора в рабочей зоне. Также, геометрия отверстия в термостатирующем устройстве обеспечивает возможность проведения экспериментов по МУРР (малоугловое рассеяние рентгеновских лучей) и ШУРР (широкоугловое рассеяние рентгеновских лучей) как в геометрии на просвет, так и с использованием отраженного скользящего пучка рентгеновских лучей.
Значительным преимуществом также является отсутствие необходимости использования дополнительного эталонного нанокалориметрического сенсора, что существенно уменьшает габариты прибора. В заявляемом изобретении проблема конденсации влаги на рентген прозрачных мембранах решается за счет размещения в непосредственной близости к мембранам специальных отверстий, через которые производится обдув инертным газом.
Заявляемое устройство является универсальным, его конструкция позволяет использовать прибор в любых устройствах, основанных на использовании как отдельных методов исследования материалов, например, нанокалориметрических методов, оптической микроскопии, сканирующей зондовой микроскопии, рентгеновской дифракции, так и приборах, совмещающих два и более из вышеупомянутых методов.
При монтаже заявляемого устройства в экспериментальную установку для измерения структурных параметров образца необходимо учитывать высокую чувствительность нанокалориметрического сенсора к любым побочным электрическим сигналам. Так, в экспериментах может использоваться широкий диапазон частот модуляции температуры - от 1.0 Гц до 40 кГц, при этом точность измерения фазового смещения температурного отклика образца, обеспечиваемого контрольно-измерительным блоком нанокалориметра, лучше 0.05°. В предлагаемом устройстве реализована стабильная передача аналогового сигнала, получаемого нанокалориметрическим сенсором до контрольно-измерительного блока нанокалориметра без каких-либо потерь интенсивности сигнала и без внесения дополнительных шумов благодаря использованию электрической платы (2) с покрытием контактных площадок иммерсионным золотом.
Краткое описание чертежей
Изобретение поясняется чертежами.
На фиг. 1 представлен вид устройства с разнесенными конструктивными элементами.
На фиг. 2 изображен общий вид термостатирующего устройства с размещенным внутри сенсором типа XEN-40002.
На фиг. 3 изображен общий вид электронной платы с электрической разводкой.
На фиг. 4 прадставлена электрическая схема соединений.
Позициями на чертежах обозначены: 1 - крышка, 2 - нанокалориметрический сенсор, 3 - теплоотводящая пластина, 4 - модуль Пельтье, 5 - электронная плата с коннектором, 6 - основание корпуса, 7 - каналы жидкостного охлаждения, 8 - коннектор, 9 - штуцеры для подвода или отвода сред, 10 - рентгенопрозрачные окна.
Осуществление изобретения.
Ниже представлено более подробное описание заявляемого устройства, не ограничивающее сущность, представленную в независимом пункте формулы, а лишь демонстрирующее возможность реализации назначения с достижением заявленного технического результата.
Заявляемое устройство имеет конфигурацию, обеспечивающую его размещение в приборах для проведения исследований методами оптической микроскопии, дифракции рентгеновских лучей или сканирующей зондовой микроскопии. В частности, термостатирующее устройство совместимо с линиями МФРД и НФРД синхротрона ESRF (Гренобль, Франция). Для использования устройства на данных линиях особенно важна минимальная толщина в зоне активной области (т.е. в зоне размещения исследуемого образца), это связано с особенностями фокусировки рентгеновских лучей для получения пучка заданного размера, - фокусное расстояние в таких системах составляет несколько миллиметров и толщина устройства, которая составляет от 5 до 7 мм, соответствует данному требованию. Плоская конструкция устройства позволяет размещать его практически под любым оптическим микроскопом.
Устройство в сборке представляет собой прочный корпус (6) из дюрали. Внутри корпуса расположена система охлаждения, представленная вырезом в форме меандра (7), элементом Пельтье (4) и теплоотводящей пластиной (3) с отверстием для прохождения, например, рентгеновского пучка. Нанокалориметрический сенсор (2) подключается к электронной плате (5). Особое внимание уделено расположению активной области нанокалориметрических сенсоров с исследуемым образцом, положение ее строго инвариантно, и эта область располагается на одной оси с отверстием в теплоотводящей пластине (3) для прохождения излучения. Сверху основная часть корпуса - основание (6) накрывается крышкой (1), выполненной с вырезом для размещения мембраны из материала, прозрачного для рентгеновских и оптических лучей, что позволяет проводить in-situ измерения с использованием, в частности, методов рентгеноструктурного анализа и оптической микроскопии. По бокам устройства расположены штуцеры (9) для подачи охлаждающей жидкости и различных газов. При помощи коннектора micro-d-21 (8) основная плата (5) соединена с контрольно-измерительным блоком нанокалориметра, представляющим собой электронный контроллер, состоящий из платы усилителей сигналов и цифро-аналогового преобразователя, помещенных в прочный стальной экранирующий корпус. Электронный блок нанокалориметра соединен с ПК при помощи USB-коннектора.
Ниже представлено описание работы системы для нанокалориметрических измерений с используемым заявляемым термостатическим устройством.
Рабочий цикл начинается с задания температурной программы для контрольно-измерительного блока нанокалориметра, где производится автоматический пересчет ее параметров из температуры в напряжение, подаваемое на термопары и нагреватели нанокалориметрического сенсора. Если собственного температурного диапазона нанокалориметрического сенсора недостаточно, то программа подключает охлаждение или нагрев термостатирующего устройства. Для этого через элемент Пельтье (4) пропускается ток необходимого значения. Элемент Пельтье представляет собой полупроводниковое устройство, в котором градиент температур на нижней и верхней поверхностях создается за счет проходящего электрического тока. Для дополнительного охлаждения системы и вывода избыточного тепла из термостатируемой камеры нижняя поверхность элемента Пельтье (4) охлаждается путем прокачки охлаждающей жидкости через контур жидкостного охлаждения (7) сразу после подачи сигнала на включение насоса. При этом для нагрева исследуемого образца, размещенного в активной области сенсора достаточно подать на элемент Пельтье (4) обратное напряжение. После достижения теплового равновесия внутри термостатируемого объема программа передает рассчитанные параметры подаваемого напряжения цифро-аналоговому преобразователю контрольно-измерительного блока нанокалориметра через USB-соединение. Цифро-аналоговый преобразователь (ЦАП) генерирует выходной сигнал, который попадает в плату усилителей, и затем передается на соответствующие нагревательные элементы сенсора; одновременно начинается параллельный прием входящего сигнала от термопар сенсора. Анализируемый сигнал поступает с нанокалориметрического сенсора (2) на электронную плату (5), которая передает сигнал при помощи коннектора (8) на плату усилителей контрольно-измерительного блока нанокалориметра. Проходя через различные модули и усилительные каскады платы усилителей, сигнал попадает в ЦАП, откуда при помощи USB-коннектора передается на ПК, где регистрируется и записывается программой. Программа позволяет рассматривать как отдельные сигналы, так и производить простейшие действия с ними, например, вычитание базовой линии и производить визуализацию в разных системах координат.
Для реализации заявляемого устройства были выбраны нанокалориметрические сенсоры в корпусе XEN-40002, выпускаемые компанией Xensor Integration. Данные сенсоры обладают оптимальными характеристиками для проведения теплофизических исследований различных материалов в широком спектре температур с использованием высоких скоростей нагрева (до 1000000°С/с).
Представляемое устройство адаптировано для использования воды в качестве жидкого компонента системы охлаждения. Используемый элемент Пельтье в представляемом устройстве способен развивать и поддерживать постоянную отрицательную температуру до - 20°С. При этом используя модуль Пельтье в качестве системы нагрева, можно контролируемо увеличивать температуру нанокалорриметрического сенсора на дополнительные 100°С. Объем термостатируемой области пространства составляет 45 мл, что достаточно для размещения всех необходимых конструкционных элементов устройства.
Опытный образец устройства был испытан на линии МФРД синхротрона ESRF (Гренобль, Франция) при проведении in situ эксперимента дифракции рентгеновских лучей и нанокалориметрии. Устройство располагалось вертикально на XYZ столике, за счет чего обеспечивался доступ ко всем штуцерам и коннектору для подключения к контрольно-измерительному блоку. Благодаря малой толщине корпуса в зоне активной области сенсора удалось подвести фокусирующую апертуру на расстояние 3 мм до образца, - это позволило сфокусировать рентгеновский пучок до диаметра в 12 мкм. За счет экранированных проводов удалось обеспечить стабильную передачу аналогового сигнала с нанокалориметрического сенсора. В качестве исследуемого образца был взят изотактический полипропилен. Несколько микрограмм вещества размещались на активной области нанокалориметрического сенсора XEN-40002. Сенсор размещался на теплопроводящей пластине с последующим ее охлаждением до температуры -22°С с помощью системы охлаждения, при такой температуре образец переходил в стеклообразное состояние. Внутренняя камера устройства обдувалась сухим азотом. Выходом для газа служили отверстия для обдува окон, благодаря чему решалась проблема с конденсацией влаги на них. Нагрев образца до температуры плавления осуществлялся с помощью нанокалориметрического сенсора со скоростью 1000 К/с. Одновременно с нагревом производилась непрерывная съемка рентгеновским детектором каждые 1,5 мс. Весь эксперимент занял около 220 мс, после чего можно было сопоставлять данные рентгеновской дифракции и нанокалориметрии.

Claims (14)

1. Устройство для термостатирования нанокалориметрического сенсора, включающее корпус, содержащий основание и крышку, выполненный с возможностью подключения к коннектору для соединения с блоком электроники, и размещенные в корпусе нанокалориметрический сенсор, элемент Пельтье, выполненный в виде пластины, электронную плату, предназначенную для передачи сигнала с сенсора на коннектор, систему жидкостного охлаждения элемента Пельтье, при этом крышка и основание снабжены соосными рентгенопрозрачными окнами для прохождения излучения, а активная область сенсора для исследуемого образца расположена в проекции упомянутых отверстий,
отличающееся тем, что содержит теплоотводящую пластину, предназначенную для отвода тепла с сенсора на элемент Пельтье, и расположенную между сенсором и элементом Пельтье, снабженную отверстием для прохождения излучения, и выполненную с возможностью фиксации к основанию,
при этом основание корпуса выполнено с разделением на три зоны по длине, где первая зона предназначена для размещения электронной платы, вторая - для размещения системы жидкостного охлаждения, третья - является рабочей, предназначенной для размещения сенсора; и основание имеет меньшую толщину в рабочей зоне; а система охлаждения выполнена в виде каналов в основании корпуса для прохождения охлаждающей среды.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что электронная плата представляет собой пластину, изготовленную из двустороннего фольгированного стеклотекстолита с проводящими дорожками, покрытыми иммерсионным золотом.
3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что корпус выполнен из алюминиевого сплава.
4. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что основание выполнено с углублением, обеспечивающим размещение и фиксацию сенсора и электронной платы в одной плоскости.
5. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что корпус в рабочей зоне имеет толщину от 5 мм до 7 мм.
6. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что основание снабжено вырезами для установки коннектора и отверстиями для установки жидкостных и газовых штуцеров подвода среды в систему охлаждения и полость корпуса.
7. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что система жидкостного охлаждения представляет собой вырез в форме меандра, при этом герметичность жидкостного контура обеспечена посредством резинового уплотнения, размещенного между вырезом и элементом Пельтье.
8. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что теплоотводящая пластина изготовлена из материала со значением коэффициента теплопроводности не менее 350 Вт/(м⋅К).
9. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что сенсор расположен в контакте с теплоотводящей пластиной.
10. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что корпус снабжен отверстиями для обдува окон инертным газом.
11. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что основание имеет ступенчатый профиль в поперечном сечении.
12. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что содержит газовые вводы в виде штуцеров для создания контролируемой атмосферы.
RU2018141511A 2018-11-26 2018-11-26 Термостатирующее устройство для проведения нанокалориметрических измерений в контролируемой атмосфере RU2707665C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018141511A RU2707665C1 (ru) 2018-11-26 2018-11-26 Термостатирующее устройство для проведения нанокалориметрических измерений в контролируемой атмосфере

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018141511A RU2707665C1 (ru) 2018-11-26 2018-11-26 Термостатирующее устройство для проведения нанокалориметрических измерений в контролируемой атмосфере

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2707665C1 true RU2707665C1 (ru) 2019-11-28

Family

ID=68836251

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018141511A RU2707665C1 (ru) 2018-11-26 2018-11-26 Термостатирующее устройство для проведения нанокалориметрических измерений в контролируемой атмосфере

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2707665C1 (ru)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5788373A (en) * 1995-05-19 1998-08-04 Mettler-Toledo Gmbh Method and apparatus for performing single differential thermal analysis
US6079873A (en) * 1997-10-20 2000-06-27 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce Micron-scale differential scanning calorimeter on a chip
EP2053371A1 (de) * 2007-10-25 2009-04-29 Mettler-Toledo AG Thermostat
RU2485463C1 (ru) * 2011-12-22 2013-06-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Воронежский государственный университет инженерных технологий (ФГБОУ ВПО ВГУИТ) Устройство для воздушного термостатирования калориметрической ячейки
RU2620028C1 (ru) * 2015-12-31 2017-05-22 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова" (МГУ) Термостатирующее устройство для нанокалориметрических измерений на чипе со сверхбыстрыми скоростями нагрева и охлаждения
RU182474U1 (ru) * 2017-10-16 2018-08-20 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии Калориметрическая установка

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5788373A (en) * 1995-05-19 1998-08-04 Mettler-Toledo Gmbh Method and apparatus for performing single differential thermal analysis
US6079873A (en) * 1997-10-20 2000-06-27 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce Micron-scale differential scanning calorimeter on a chip
EP2053371A1 (de) * 2007-10-25 2009-04-29 Mettler-Toledo AG Thermostat
RU2485463C1 (ru) * 2011-12-22 2013-06-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Воронежский государственный университет инженерных технологий (ФГБОУ ВПО ВГУИТ) Устройство для воздушного термостатирования калориметрической ячейки
RU2620028C1 (ru) * 2015-12-31 2017-05-22 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова" (МГУ) Термостатирующее устройство для нанокалориметрических измерений на чипе со сверхбыстрыми скоростями нагрева и охлаждения
RU182474U1 (ru) * 2017-10-16 2018-08-20 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии Калориметрическая установка

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3877817A (en) Temperature stabilized photometer for kinetic analysis
US9459219B2 (en) Temperature control chamber for compact X-ray machine
US4730112A (en) Oxygen measurement using visible radiation
CN111279536B (zh) 对用于x射线衍射的扁平样品进行夹持和控温的装置
US4821303A (en) Combined thermal analyzer and x-ray diffractometer
US20110241711A1 (en) Method for verifying a test substrate in a prober under defined thermal conditions
JP2007033460A (ja) 旋光計
RU2620028C1 (ru) Термостатирующее устройство для нанокалориметрических измерений на чипе со сверхбыстрыми скоростями нагрева и охлаждения
RU2707665C1 (ru) Термостатирующее устройство для проведения нанокалориметрических измерений в контролируемой атмосфере
US10753889B2 (en) Cell for X-ray analysis and X-ray analysis apparatus
RU2711563C1 (ru) Термостатирующее устройство для проведения нанокалориметрических измерений
CA1228682A (en) Combined thermal analyzer and x-ray diffractometer
JP7193466B2 (ja) 複数温度光学分光計モジュール、システム、及びそれを使用する方法
CN208888121U (zh) 原位变温紫外可见红外光谱测试样品架
RU2620029C1 (ru) Блок держателей нанокалориметрических сенсоров для измерения теплофизических и структурных параметров образца
JP3669615B2 (ja) 試料加熱・冷却装置および熱分析装置
US11703388B2 (en) Optical spectrometer modules, systems and methods for optical analysis with multiple light beams
JPH09222404A (ja) 比熱容量測定方法及びその装置
RU191202U1 (ru) Устройство для измерения теплофизических свойств модифицированных грунтов
Nordmann et al. Sub-kelvin temperature management in ion traps for optical clocks
EP2105725A1 (en) Microchip testing device
US20020012379A1 (en) Thermal analysis apparatus
Hu et al. Development of an automatic sample changer with variable temperature for small-angle neutron scattering at China Spallation Neutron Source
RU178683U1 (ru) Устройство для измерения теплофизических свойств и структуры тонких пленок в контролируемой атмосфере на основе нанокалориметрического сенсора
Decker et al. The design and operation of a precise, high sensitivity adiabatic laser calorimeter for window and mirror material evaluation