RU2665939C1 - Способ металлизации керамических изделий - Google Patents

Способ металлизации керамических изделий Download PDF

Info

Publication number
RU2665939C1
RU2665939C1 RU2017125872A RU2017125872A RU2665939C1 RU 2665939 C1 RU2665939 C1 RU 2665939C1 RU 2017125872 A RU2017125872 A RU 2017125872A RU 2017125872 A RU2017125872 A RU 2017125872A RU 2665939 C1 RU2665939 C1 RU 2665939C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
metallization
layer
manganese
molybdenum
carried out
Prior art date
Application number
RU2017125872A
Other languages
English (en)
Inventor
Юрий Кондратьевич Непочатов
Петр Михайлович Плетнев
Светлана Аликовна Кумачева
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет путей сообщения" (СГУПС)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет путей сообщения" (СГУПС) filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет путей сообщения" (СГУПС)
Priority to RU2017125872A priority Critical patent/RU2665939C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2665939C1 publication Critical patent/RU2665939C1/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/51—Metallising, e.g. infiltration of sintered ceramic preforms with molten metal
    • C04B41/5133—Metallising, e.g. infiltration of sintered ceramic preforms with molten metal with a composition mainly composed of one or more of the refractory metals
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/51—Metallising, e.g. infiltration of sintered ceramic preforms with molten metal
    • C04B41/5183—Metallising, e.g. infiltration of sintered ceramic preforms with molten metal inorganic
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81—Coating or impregnation
    • C04B41/89—Coating or impregnation for obtaining at least two superposed coatings having different compositions
    • C04B41/90—Coating or impregnation for obtaining at least two superposed coatings having different compositions at least one coating being a metal

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)

Abstract

Изобретение относится к технологии изготовления металлокерамических изделий, в частности к металлизации корундовой керамики, и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности, вакуумной технике, электротехнике и других областях техники при пайке керамики с металлами. Заявляемый способ заключается в том, что нанесение металлизационного покрытия на керамическое изделие осуществляют в два слоя, содержащих молибден и марганец с различными модифицирующими добавками, толщиной 35-40 мкм. Первый металлизационный слой содержит молибден и марганец с добавкой гидрида титана, взятых в соотношении, мас.%: Мо 70-90; Mn 5-15; TiH5-15. Второй металлизационный слой содержит молибден и марганец с добавками кремния и оксида молибдена, взятых в соотношении, мас.%: Мо 66-77; Mn 14-21; Si 3-7; MoO3-6. Далее проводят вжигание при температуре 1380-1400°С в водородной среде, а затем наносят гальванический слой никеля, толщина которого составляет не более 3 мкм. Припекание никелевого покрытия проводят при температуре 850°С в течение 15 минут в среде водорода. Такой способ металлизации обеспечивает высокую прочность на отрыв металлизационной структуры и качественную пайку высококорундовой керамики с металлами. 2 з.п. ф-лы, 1 табл., 9 пр.

Description

Изобретение относится к технологии изготовления металлокерамических изделий, в частности к металлизации корундовой керамики и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности, вакуумной технике, электротехнике и других областях техники при пайке керамики с металлами.
Металлокерамические конструкции давно нашли широкое применение в различного рода электронных приборах и аппаратах благодаря их механической прочности, изоляционным свойствам и способностью поддержания высокого вакуума. Спаи металла с керамикой активно используются в атомной промышленности, где служат вакуумплотными выводами для силовых и сигнальных кабелей из грязной зоны реактора через защитные оболочки.
Известен способ металлизации корундовой керамики, в котором обожженную керамическую заготовку из высокочистого корунда пропитывают солью никеля, высушивают, пропитывают водным раствором MoO3. Затем окончательно обжигают керамику в неокисляющей атмосфере при температуре 1750±20°С. Металлизацию керамики, обработанной в растворах с содержанием никеля и марганца, проводят мелкодисперсным порошком молибдена с добавкой марганца (авт. свидетельство СССР №992494, МПК C04B 41/14).
Недостатками способа являются высокая температура вжигания и низкая прочность на отрыв.
Известен также способ металлизации керамики под пайку путем нанесения на ее поверхность двухслойного покрытия, в котором первый слой покрытия формируют при помощи сжатого воздуха из смеси порошков металлов с керамикой. Затем формируют второй слой покрытия из другого порошкового материала на основе меди или никеля, обеспечивающие пайку второго слоя покрытия (патент РФ №2219145, МПК C04B 41/88).
Недостатком способа является пористость первого слоя, нанесенного сжатым воздухом, за счет которого в процессе пайки сквозь поры проникает жидкий припой, разрушающий поверхностный слой. Кроме того полученный контактный слой обладает высоким электрическим сопротивлением и низкой теплопроводностью, что сказывается на проводимости и качестве спая.
Наиболее близким к предлагаемому объекту является способ металлизации керамики пастами на основе молибден-марганца путем нанесения двух слоев и последующего одновременного их вжигания. На образцы керамикимарки 22ХС наносят слой молибден-марганцевой пасты и после высыхания его - слой на основе меди. Затем проводят вжигание при 800-1100°С. (авт. свидетельство СССР №564293, МПК C04B 41/14). Вжигание в указанном температурном диапазоне обеспечивает расплавление меди и проникновение ее в промежутки между зернами молибден-марганцевого слоя с образованием шпинели. В результате полученный металлический слой имеет достаточно прочное соединение с керамикой. Полученное покрытие позволяет осуществлять пайку припоями на основе меди и серебра, олова, свинца.
Данный состав обеспечивает сцепление с керамикой, содержащей в своем составе большое количество стекла, которое в процессе спекания вытесняется металлическими компонентами пасты на поверхность. В связи с этим данный способ не применим для керамики с высоким содержанием корунда и малым количеством стеклофазы (менее 1 мас.%). Кроме того, нанесение слоя меди на тугоплавкий слой с последующим одновременным спеканием приводит к частичному расплавлению меди и проникновению ее в поры молибден-марганцевого слоя и, как следствие, к его разрушению и отслоению металлизации.
Задачей данного изобретения является получение надежного сцепления металлизационного покрытия с высококорундовой керамикой и достижение высокого значения прочности на отрыв керамики с металлом.
Предложенный способ заключается в том, что нанесение металлизационного покрытия осуществляют в два слоя, содержащих молибден и марганец с различными модифицирующими добавками. Сначала наносят первый металлизационный слой, содержащий молибден и марганец с добавкой гидрида титана. Затем наносят второй металлизационный слой, содержащий молибден и марганец с добавками кремния и оксида молибдена. Первый тугоплавкий слой предпочтительно имеет состав, мас. %: Mo - 70-90; Mn - 5-15; TiH2 - 5-15. Второй тугоплавкий слой предпочтительно имеет состав, мас. %: Мо - 66-77; Mn - 14-21; Si - 3-7; MoO3 - 3-6. Толщина каждого из металлизационных слоев составляет 35-40 мкм. Далее проводят вжигание при температуре 1380-1400°С. Вжигание каждого металлизационного слоя может проводиться отдельно, либо одновременно в водородной среде. После вжигания металлизационных слоев наносят гальванический слой никеля, который обеспечивает пайку полученного покрытия с металлами. Толщина слоя никеля составляет 4±1 мкм. Припекание никелевого покрытия проводятпри температуре 850°С в течение 15 минут в среде водорода.
Технический результат данного способа заключается в том, что он позволяет обеспечить высокую адгезионную прочность сцепления металлизационного покрытия с высококорундовой керамикой. Благодаря первому слою, имеющему высокую адгезию к высококорундовой керамике, достигается прочный контакт металлизации с керамикой. Второй тугоплавкий слой с другими добавками и нанесенное никелевое покрытие обеспечивают качественное смачивание поверхности припоем и позволяют получить надежное паяное соединение керамики с металлами.
Пример 1.
Проводили металлизацию алюмооксидной керамики марки ВК 100-2. На первом этапе осуществлялась подготовка поверхности: травление в 60%-ной азотной кислоте в течение 5 мин, с последующей промывкой в деионизованной воде и прокалкой при температуре 1350°С в течение 30 мин. Далее на подготовленную поверхность подложек наносили первый слой молибденомарганцевой пасты, содержащей гидрид титана, при следующем соотношении компонентов в мас. %: Мо - 70; Mn - 15; TiH2 - 15 толщиной 35 мкм. Далее проводилась сушка слоя при температуре 180°С на воздухе и вжигание при температуре 1380°С в течение 2 часов в среде водорода. Затем наносился второй слой пасты толщиной 35 мкм, имеющей состав Мо - 66; Mn - 21; Si - 7; MoO3 - 6 мас. %. Далее осуществлялась сушка при температуре 180°С на воздухе с последующим вжиганием второго слоя при температуре 1380°С (среда - водород) в течение 2 часов. После этого осуществляли гальваническое покрытие никелем толщиной 4±1 мкм и его припекание при температуре 850°С в течение 15 минут.
Пример 2
Проводили металлизацию алюмооксидной керамики марки ВК 100-2. Подготовку поверхности подложек проводили как в примере 1. Далее на подготовленную поверхность подложек наносили первый слой молибденомарганцевой пасты, содержащей гидрид титана, при следующем соотношении компонентов в мас.%: Мо - 70; Mn - 15; TiH2 - 15 толщиной 40 мкм. Далее проводилась сушка слоя при температуре 180°С на воздухе. Затем наносился второй слой пасты толщиной 35 мкм, имеющей состав Мо - 66; Mn - 21; Si - 7; MoO3 - 6 мас.%. Проводилась сушка как в примерах 1 и одновременное вжигание первого и второго слоя при температуре 1380°С в течение 2 часов в водороде. После этого осуществляли гальваническое покрытие никелем толщиной 4±1 мкм и его припекание при температуре 850°С в течение 15 минут в водороде.
Пример 3
Данным способом получены металлокерамические изделия на основе подложек из алюмооксидной керамики марки ВК 100-2. Подготовку поверхности подложек проводили как в примере 1. На подготовленную поверхность подложек наносился первый слой Мо-Mn пасты, содержащий гидрид титана толщиной 35 мкм при следующем соотношении компонентов: Mo - 90; Mn - 5; TiH2 - 5 мас. %. Далее проводилась сушка слоя при температуре 180°С на воздухе и вжигание при температуре 1380°С в водороде в течение 2 часов. Затем наносился второй слой пасты толщиной 35 мкм, имеющей состав компонентов Mo-Mn-Si-MoO3, взятых в соотношении 77-14-3-6 мас.%. Проводились сушка как в примере 1 и вжигание второго слоя при температуре 1400°С в течение 2 часов в водороде. Затем осуществлялось гальваническое покрытие никелем как в примере 1.
Пример 4
Данным способом получены металлокерамические изделия на основе подложек из алюмооксидной керамики марки ВК 100-2. Подготовку поверхности подложек проводили как в примере 1. На подготовленную поверхность подложек наносился первый слой Мо-Mn пасты, содержащей гидрид титана, толщиной 35 мкм при следующем соотношении компонентов: Mo - 90; Mn - 5; TiH2 - 5 мас.%. Проводилась сушка пасты при температуре 180°С на воздухе. Затем наносился второй слой пасты толщиной 40 мкм, имеющей состав компонентов Mo-Mn-Si-MoO3, взятых в соотношении 77-14-3-6 мас.%. Проводились сушка и одновременное вжигание двух слоев как в примере 2. Затем осуществлялось гальваническое покрытие никелем как в примере 1.
Пример 5
Данным способом получены металлокерамические изделия на основе подложек из алюмооксидной керамики марки ВК 100-2. Подготовку поверхности подложек проводили как в примере 1. На подготовленную поверхность подложек наносился первый металлизационной пасты толщиной 35 мкм при следующем соотношении компонентов: Мо - 80; Mn - 10; TiH2 - 10 мас.%. Далее проводились сушка слоя (180°С, воздух) и вжигание при температуре 1400°С в водороде в течение 2 часов. Затем наносился второй слой пасты толщиной 35 мкм, имеющей состав компонентов Mo-Mn-Si-MoO3, взятых в соотношении 72-17-6-5 мас.%. Проводились сушка как в примере 1 и вжигание второго слоя при температуре 1400°С в течение 2 часов в водороде. Затем осуществлялось гальваническое покрытие никелем как в примере 1.
Пример 6
Данным способом получены металлокерамические изделия на основе подложек из алюмооксидной керамики марки ВК 100-2. Подготовку поверхности подложек проводили как в примере 1. На подготовленную поверхность подложек наносился первый металлизационной пасты толщиной 40 мкм при следующем соотношении компонентов: Мо - 80; Mn - 10; TiH2 - 10 мас. %. Далее проводились сушка слоя (180°С, воздух) и вжигание при температуре 1400°С в водороде в течение 2 часов. Затем наносился второй слой пасты толщиной 40 мкм, имеющей состав компонентов Mo-Mn-Si-MoO3, взятых в соотношении 72-17-6-5 мас.%. Проводились сушка как в примере 1 и вжигание второго слоя при температуре 1400°С в течение 2 часов в водороде. Затем осуществлялось гальваническое покрытие никелем как в примере 1.
Пример 7
Данным способом получены металлокерамические изделия на основе подложек из алюмооксидной керамики марки ВК 100-2. Подготовку поверхности подложек проводили как в примере 1. На подготовленную поверхность подложек наносился первый металлизационной пасты толщиной 40 мкм при следующем соотношении компонентов: Мо - 80; Mn - 10; TiH2 - 10 мас.%. Далее проводились сушка слоя (180°С, воздух) и вжигание при температуре 1380°С в водороде в течение 2 часов. Затем наносился второй слой пасты толщиной 40 мкм, имеющей состав компонентов Mo-Mn-Si-MoO3, взятых в соотношении 72-17-6-5 мас.%. Проводились сушка как в примере 1 и вжигание второго слоя при температуре 1380°С в течение 2 часов в водороде. Затем осуществлялось гальваническое покрытие никелем как в примере 1.
Пример 8
Данным способом получены металлокерамические изделия на основе подложек из алюмооксидной керамики марки ВК 100-2. Подготовку поверхности подложек проводили как в примере 1. На подготовленную поверхность подложек наносился первый слой Мо-Mn пасты, содержащий гидрид титана толщиной 35 мкм при следующем соотношении компонентов: Мо - 95; Mn - 2,5; TiH2 - 2,5 мас.%. Далее проводилась сушка слоя при температуре 180°С на воздухе и вжигание при температуре 1380°С в водороде в течение 2 часов. Затем наносился второй слой пасты толщиной 35 мкм, имеющей состав компонентов Mo-Mn-Si-MoO3, взятых в соотношении 77-14-3-6 мас.%. Проводились сушка как в примере 1 и вжигание второго слоя при температуре 1380°С в течение 2 часов в водороде. Затем осуществлялось гальваническое покрытие никелем как в примере 1.
Пример 9
Данным способом получены металлокерамические изделия на основе подложек из алюмооксидной керамики марки ВК 100-2. Подготовку поверхности подложек проводили как в примере 1. На подготовленную поверхность подложек наносился первый слой Мо-Mn пасты, содержащий гидрид титана толщиной 35 мкм при следующем соотношении компонентов: Мо - 80; Mn - 10; TiH2 - 10 мас.%. Далее проводилась сушка слоя при температуре 180°С на воздухе и вжигание при температуре 1380°С в водороде в течение 2 часов. Затем наносился второй слой пасты толщиной 35 мкм, имеющей состав компонентов Mo-Mn-Si-MoO3, взятых в соотношении 80-15-2-3 мас.%. Проводились сушка как в примере 1 и вжигание второго слоя при температуре 1380°С в течение 2 часов в водороде. Затем осуществлялось гальваническое покрытие никелем как в примере 1.
Проводилась экспериментальная проверка адгезионной прочности (прочности на отрыв) металлизации изделий. Припаивание никелевого штапика осуществлялось припоем ПСР 72, после чего проводилось испытание на отрыв на разрывной машине P100 при скорости перемещения рабочего зажима разрывной машины 10 мм/мин. Значение прочности на отрыв металлизационной структуры, полученной по предложенному способу, приведены в табл. 1.
Figure 00000001
При испытании образцов 1-7 происходил когезионный отрыв по керамике, что свидетельствует о получении надежного сцепления металлизационного покрытия с высококорундовой керамикой.
Образцы примеров 8 и 9 имеют более низкие значения прочности на отрыв. Таким образом, составы металлизационных слоев, выходящие за установленные соотношения компонентов, не обеспечивают надежного сцепления высококорундовой керамики с металлизационным слоем.

Claims (7)

1. Способ металлизации керамических изделий путем нанесения на керамическую поверхность металлизационных паст на основе тугоплавких металлов молибдена и марганца с последующим вжиганием, отличающийся тем, что нанесение металлизационных паст осуществляют в два слоя, при этом первый слой дополнительно содержит гидрид титана при следующем соотношении компонентов, мас. %:
Молибден 70÷90 Марганец 5÷15 Гидрид титана 5÷15,
второй слой дополнительно содержит кремний и оксид молибдена при следующем соотношении компонентов, мас.%:
Молибден 66÷77 Марганец 14÷21 Кремний 3÷7 Оксид молибдена 3÷6,
а затем наносят гальваническое покрытие никеля.
2. Способ металлизации керамических изделий по п. 1, отличающийся тем, что вжигание металлизационных слоев осуществляют при температуре 1380-1400°С.
3. Способ металлизации керамических изделий по пп. 1-4, отличающийся тем, что толщина первого и второго металлизированных покрытий составляет преимущественно 35-40 мкм.
RU2017125872A 2017-07-18 2017-07-18 Способ металлизации керамических изделий RU2665939C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017125872A RU2665939C1 (ru) 2017-07-18 2017-07-18 Способ металлизации керамических изделий

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017125872A RU2665939C1 (ru) 2017-07-18 2017-07-18 Способ металлизации керамических изделий

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2665939C1 true RU2665939C1 (ru) 2018-09-05

Family

ID=63459705

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017125872A RU2665939C1 (ru) 2017-07-18 2017-07-18 Способ металлизации керамических изделий

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2665939C1 (ru)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111548193A (zh) * 2020-05-18 2020-08-18 宜宾红星电子有限公司 特高纯氧化铝陶瓷金属化方法
RU2732485C1 (ru) * 2019-12-27 2020-09-17 Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации Способ изготовления керамического основания с тонкоплёночными микрополосковыми элементами
RU2803271C1 (ru) * 2022-12-27 2023-09-11 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет путей сообщения" (СГУПС) г. Новосибирск Состав для металлизации керамики
CN117623807A (zh) * 2023-11-28 2024-03-01 湖南省新化县长江电子有限责任公司 一种新能源领域应用真空封接陶瓷及其制备方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU471344A1 (ru) * 1973-07-04 1975-05-25 Предприятие П/Я Р-6024 Паста дл металлизации керамики
SU564293A1 (ru) * 1971-12-27 1977-07-05 Предприятие П/Я В-2604 Способ металлизации керамики
SU1435573A1 (ru) * 1987-04-24 1988-11-07 Организация П/Я Х-5263 Состав дл металлизации керамики
JPH03146486A (ja) * 1989-11-01 1991-06-21 Ngk Spark Plug Co Ltd アルミナ磁器
JP3146486B2 (ja) * 1990-06-28 2001-03-19 住友化学工業株式会社 メタクリル酸製造用触媒の製造方法
JP4095748B2 (ja) * 2000-01-26 2008-06-04 日本特殊陶業株式会社 接合用セラミック部材の製造方法、接合用セラミック部材、真空スイッチ、及び真空容器
RU2336249C1 (ru) * 2007-01-09 2008-10-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП НПП "Исток") Паста для металлизации диэлектрических материалов и изделий из них

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU564293A1 (ru) * 1971-12-27 1977-07-05 Предприятие П/Я В-2604 Способ металлизации керамики
SU471344A1 (ru) * 1973-07-04 1975-05-25 Предприятие П/Я Р-6024 Паста дл металлизации керамики
SU1435573A1 (ru) * 1987-04-24 1988-11-07 Организация П/Я Х-5263 Состав дл металлизации керамики
JPH03146486A (ja) * 1989-11-01 1991-06-21 Ngk Spark Plug Co Ltd アルミナ磁器
JP3146486B2 (ja) * 1990-06-28 2001-03-19 住友化学工業株式会社 メタクリル酸製造用触媒の製造方法
JP4095748B2 (ja) * 2000-01-26 2008-06-04 日本特殊陶業株式会社 接合用セラミック部材の製造方法、接合用セラミック部材、真空スイッチ、及び真空容器
RU2336249C1 (ru) * 2007-01-09 2008-10-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП НПП "Исток") Паста для металлизации диэлектрических материалов и изделий из них

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2732485C1 (ru) * 2019-12-27 2020-09-17 Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации Способ изготовления керамического основания с тонкоплёночными микрополосковыми элементами
CN111548193A (zh) * 2020-05-18 2020-08-18 宜宾红星电子有限公司 特高纯氧化铝陶瓷金属化方法
RU2803271C1 (ru) * 2022-12-27 2023-09-11 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет путей сообщения" (СГУПС) г. Новосибирск Состав для металлизации керамики
CN117623807A (zh) * 2023-11-28 2024-03-01 湖南省新化县长江电子有限责任公司 一种新能源领域应用真空封接陶瓷及其制备方法
CN117623807B (zh) * 2023-11-28 2024-06-11 湖南省新化县长江电子有限责任公司 一种新能源领域用真空封接陶瓷及其制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3620799A (en) Method for metallizing a ceramic body
US4409079A (en) Method of metallizing sintered ceramics
RU2665939C1 (ru) Способ металлизации керамических изделий
CN104402533A (zh) 一种在碳化硅表面真空熔覆金属涂层的方法
JPS6227037B2 (ru)
CN107162640B (zh) 一种氧化锰-二氧化钛系活化剂金属化层及其制备工艺
JP3208438B2 (ja) 金属層を備えたセラミックス基板とその製造方法
EP3799965A1 (en) Metallized ceramic substrate and method for manufacturing same
RU2759248C1 (ru) Способ металлизации алюмонитридной керамики
SU564293A1 (ru) Способ металлизации керамики
US2805944A (en) Lead alloy for bonding metals to ceramics
Krasniy et al. Research of the DBC joining interface
RU2819952C1 (ru) Способ металлизации керамических подложек
JPS6111912B2 (ru)
KR100285789B1 (ko) 메탈라이징용 금속페이스트 조성물
JPH03146488A (ja) 金属化層を有する窒化アルミニウム焼結体の製造方法
JPH118447A (ja) 配線基板
JPH03146487A (ja) 金属化層を有する窒化アルミニウム焼結体の製造方法
JP2591649B2 (ja) セラミック基板表面に金属層を形成する方法
KR900006680B1 (ko) 질화물 형태의 세라믹으로 구성된 회로기판, 그 제조방법 및 그에 사용되는 금속화용 조성물
JPH059396B2 (ru)
JPS6261556B2 (ru)
JP3928645B2 (ja) 絶縁ペースト及び絶縁ペーストを用いた絶縁層の形成方法
JPS6356196B2 (ru)
JPS6357394B2 (ru)

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200719