RU2616225C1 - Самочувствительный многослойный пьезоэлектрический актюатор - Google Patents
Самочувствительный многослойный пьезоэлектрический актюатор Download PDFInfo
- Publication number
- RU2616225C1 RU2616225C1 RU2015152353A RU2015152353A RU2616225C1 RU 2616225 C1 RU2616225 C1 RU 2616225C1 RU 2015152353 A RU2015152353 A RU 2015152353A RU 2015152353 A RU2015152353 A RU 2015152353A RU 2616225 C1 RU2616225 C1 RU 2616225C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- electrodes
- flat
- piezoelectric element
- section
- piezoceramic
- Prior art date
Links
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 12
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 208000035126 Facies Diseases 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000010411 cooking Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000005662 electromechanics Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/04—Constructional details
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области метрологии. Пьезоэлектрический актюатор содержит пьезокерамические секции, каждая из которых состоит из пары соединенных механически друг с другом пьезоэлементов, имеющих на одной плоской поверхности грани по одному плоскому электроду, а на другой противоположной плоской поверхности по два плоских электрода, установленных так, что два плоских электрода одного пьезоэлемента обращены к двум плоским электродам другого пьезоэлемента внутри пьезокерамической секции. Причем два электрода одного пьезоэлемента электрически соединены с двумя электродами другого пьезоэлемента соответственно и являются измерительными электродами пьезокерамической секции, которые подключены к измерительным входам формирователя электрического сигнала, состоящего из измерительного преобразователя емкостного типа, последовательно соединенного с блоком установки и саморегулирования управляющего напряжения, имеющего управляющий вход. Входными управляющими электродами пьезокерамической секции являются одиночный плоский электрод одного пьезоэлемента и одиночный плоский электрод другого пьезоэлемента, расположенные снаружи такой секции, которые подключены к выходу блока установки и саморегулирования управляющего напряжения. Технический результат – повышение надежности и точности управления. 5 ил.
Description
Изобретение относится к области электромеханики и пьезотехники, оно может быть использовано для привода различных устройств в прецизионном приборостроении, в оптических системах, в системах нанотехнологий.
Известна пьезокерамическая многослойная деталь для измерительных приборов [1], которая выполнена из пьезоэлектрических элементов пакетным способом. Она предназначена для создания пьезоэлектрических приводов или сенсорных элементов и исключает асимметрию формы электродов, при которой на одной стороне предусмотрена выступающая часть для соединения с шиной, а на противоположенной стороне имеется изолированный зазор для другой шины, что повышает величину относительного коэффициента трансверсальной трансформации. Ее недостатком является невозможность одновременного использования в качестве исполнительного механизма (актюатора) и в качестве сенсорного элемента (датчика).
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому решению является твердотельное исполнительное устройство [2] (прототип). Оно содержит многослойный блок из сегнетоэлектрических керамических элементов, две консоли, закрепленные на рабочем органе (элементе конструкции механической системы), и узел предварительного поджатия, закрепляющий многослойный блок. Многослойный блок электрически разделен на две секции, элементы которых соединены электрически параллельно. Первая секция (электромеханический преобразователь) подключена к выходу регулятора, содержащего процессор и усилитель. Вторая секция (механоэлектрический преобразователь) подключена к измерителю емкости, содержащему генератор и детектор. Выход измерителя емкости подключен к одному из входов процессора. К другому входу процессора подключен выход акселерометра, установленного на рабочем органе. Элементы многослойного блока снабжены электродами из воженного серебра и соединены термодиффузионной варкой. Механоэлектрическая секция, совместно с измерителем емкости, включена в цепь обратной связи, позволяющую учитывать обратимые изменения характеристик. Таким образом, прототип представляет собой пьезоэлектрический электромеханический преобразователь (самочувствительный многослойный пьезоэлектрический актюатор), состоящий из пьезокерамических секций с входными электродами для подключения к источнику питания и выходными электродами, подключенными к формирователю электрического сигнала, включающий поляризованное керамическое тело - пьезоэлемент в виде пластины с электродами, нанесенными на его противоположные плоские поверхности (грани).
Это устройство работает следующим образом. При возникновении вибрации в механической системе, в частности - в элементе конструкции, который является рабочим органом системы активного управления вибрациями, акселерометр, жестко связанный с элементом конструкции (системы активного управления вибрациями), выдает сигнал, пропорциональный ускорению. Сигнал с акселерометра поступает на вход процессора (регулятора). Процессор вырабатывает управляющий сигнал, амплитуда и фаза которого рассчитываются по заданному в регуляторе алгоритму. Усиленный управляющий сигнал с выхода усилителя поступает на первую секцию многослойного блока. В этой секции, вследствие электрострикционного эффекта, происходит электромеханическое преобразование энергии, результатом которого является усилие, развиваемое в многослойном блоке вдоль его оси и приложенное к двум консолям. Предварительное поджатие многослойного блока при помощи узла предварительного поджатия не допускает появления в многослойном блоке растягивающих механических напряжений, нежелательных в керамическом материале. Механическое воздействие многослойного блока на рабочий орган происходит в виде пары вращающих моментов в местах установки двух консолей. Величина вращающего момента равна произведению усилия, развиваемого многослойным блоком, на величину смещения h его оси относительно поверхности рабочего органа. Вращающие моменты создают в рабочем органе изгибные механические напряжения, которые способствуют гашению вибраций в механической системе. Одновременно с электромеханическим преобразованием в первой секции, воздействующим на рабочий орган, во второй секции многослойного блока происходит механоэлектрическое преобразование, изменяющее величину диэлектрической проницаемости сегнетоэлектрического материала с размытым фазовым переходом и величину емкости второй секции. Вторая секция является частотно-задающим элементом генератора измерителя емкости. При увеличении механического напряжения в многослойном блоке величина емкости второй секции уменьшается и соответственно увеличивается частота генератора и величина сигнала на выходе детектора. Сигнал с выхода измерителя емкости, пропорциональный усилию, развиваемому многослойным блоком, поступает на вход регулятора. В соответствии с реальным значением усилия, развиваемого многослойным блоком, происходит коррекция выходного сигнала регулятора, т.е. вводится обратная связь в систему активного управления вибрациями, учитывающая обратимые изменения электромеханических характеристик.
Недостатком прототипа является необходимость в дополнительной секции, которая используется в качестве сенсорного элемента (датчика) для получения сигнала обратной связи. Это приводит к увеличению габаритных размеров и стоимости устройства.
Задачей предлагаемого изобретения является создание самочувствительного многослойного пьезоэлектрического актюатора (пьезоактюатора), который имеет относительно простую конструкцию, уменьшенные габаритные размеры, высокую точность позиционирования без применения внешних датчиков, повышенную надежность и технологичность изготовления.
Техническим результатом изобретения является упрощение конструкции пьезоэлектрического актюатора, повышение надежности, уменьшение габаритных размеров, обеспечение высокой точности управления перемещением, расширение функциональных возможностей актюатора.
Это достигается тем, что в самочувствительном многослойном пьезоэлектрическом актюаторе - пьезоэлектрическом электромеханическом преобразователе, состоящем из пьезокерамических секций с входными электродами для подключения к источнику питания и выходными электродами, подключенными к формирователю электрического сигнала, включающем поляризованное керамическое тело - пьезоэлемент в виде пластины с электродами, нанесенными на его противоположные плоские поверхности (грани), в соответствии с предлагаемым изобретением каждая пьезокерамическая секция состоит из пары соединенных механически друг с другом пьезоэлементов, имеющих на одной плоской поверхности (грани) по одному (одиночному) плоскому электроду, а на другой противоположной плоской поверхности (грани) по два плоских электрода, установленных так, что два плоских электрода одного пьезоэлемента обращены к двум плоским электродам другого пьезоэлемента, причем смежные электроды внутри секции соединены электрически и являются выходными (измерительными) электродами пьезокерамической секции, которые подключены к измерительным входам формирователя электрического сигнала, состоящего из измерительного преобразователя емкостного типа, последовательно соединенного с блоком установки и саморегулирования управляющего напряжения, имеющего управляющий вход, при этом входными (управляющими) электродами пьезокерамической секции являются одиночный плоский электрод одного пьезоэлемента и одиночный плоский электрод другого пьезоэлемента, расположенные снаружи такой секции, которые подключены к выходу блока установки и саморегулирования управляющего напряжения.
На фиг. 1 показана структура и схема включения одной пьезокерамической секции (из двух пьезоэлементов) самочувствительного многослойного пьезоэлектрического актюатора.
На фиг. 2 показана структурная схема двухсекционного (четырехслойного) самочувствительного многослойного пьезоэлектрического актюатора, подключенного одновременно к управляющей цепи и к мостовой измерительной цепи.
На фиг. 3 показана 3D-модель двух отдельных слоев пьезоэлектрического актюатора.
На фиг. 4 показана 3D-модель самочувствительного многослойного пьезоэлектрического актюатора, состоящего из 12 секций (24 слоев), и схема расположения управляющих и измерительных электродов.
На фиг. 5 показан вариант структурной схемы управления самочувствительным многослойным пьезоэлектрическим актюатором.
Самочувствительный многослойный пьезоэлектрический актюатор - пьезоэлектрический электромеханический преобразователь - состоит из пьезокерамических секций (см. фиг. 1) с входными электродами 1 и 2 для подключения к источнику питания (электрического напряжения Uупр) и выходными электродами 3 и 4, подключенными к формирователю электрического сигнала 5 (состоящему из измерительного преобразователя емкостного типа 6 и блока установки и саморегулирования управляющего напряжения 7), как показано на фиг. 2. Каждая пьезокерамическая секция включает поляризованное керамическое тело 8 - пьезоэлемент в виде пластины с электродами 1-4 (см. фиг. 3), нанесенными на его плоские поверхности (грани). Каждая пьезокерамическая секция (фиг. 1) состоит из пары соединенных механически друг с другом пьезоэлементов, имеющих на одной плоской поверхности (грани) по одному (одиночному) плоскому электроду 1 и 2, а на другой противоположной плоской поверхности (грани) по два плоских электрода 3 и 4, установленных так, что два плоских электрода одного пьезоэлемента 3 и 4 обращены к двум плоским электродам 3 и 4 другого пьезоэлемента, причем два плоских электрода 3 и 4 одного пьезоэлемента электрически соединены внутри пьезокерамической секции с двумя такими же плоскими электродами 3 и 4 другого пьезоэлемента соответственно, то есть смежные электроды внутри секции соединены электрически и являются выходными (измерительными) электродами пьезокерамической секции (фиг. 1), которые подключены к измерительным входам формирователя электрического сигнала 5 (фиг. 2), состоящего из измерительного преобразователя емкостного типа 6, последовательно соединенного с блоком установки и саморегулирования управляющего напряжения 7, имеющего управляющий вход, на который подается сигнал управления. При этом входными (управляющими) электродами пьезокерамической секции являются одиночный плоский электрод 1 одного пьезоэлемента и одиночный плоский электрод 2 другого пьезоэлемента, расположенные снаружи такой секции, которые подключены к выходу блока установки и саморегулирования управляющего напряжения. Выходные электроды формирователя электрического сигнала 5 (выход блока установки и саморегулирования управляющего напряжения) для подачи электрического напряжения Uупр подключены к плоским электродам 1 и 2 пьезокерамической секции (пары пьезоэлементов со стороны их плоской поверхности (грани), на которой сформированы по одному плоскому электроду).
Направление поляризации пьезоэлементов в пьезокерамической секции (фиг. 1) одинаковое, а в соседних секциях - противоположное. Из фиг. 1-3 видно, что с одной стороны пьезоэлементов по всей площади выполнен управляющий плоский электрод 1 (2), а с противоположной стороны - два одинаковых симметрично расположенных измерительных плоских электрода 3 и 4. Пьезоэлементы в одной секции расположены так, что их измерительные плоские электроды совмещены друг с другом и образуют электрическое соединение. Управляющие плоские электроды 1 и 2 двух соседних секций также образуют электрическое соединение. Измерительные плоские электроды в каждой секции образуют четыре конденсатора (СI, СII, СIII, CIV), последовательно соединенные через управляющие электроды, емкость которых изменяется от расширения (сжатия) пьезоэлементов при подаче напряжения Uупр на их управляющие электроды (фиг. 1, фиг. 3). При использовании двух секций (фиг. 2) измерительные плоские электроды первой секции, образующие первые четыре конденсатора (СI', СII', СIII', СIV'), подключены к одному плечу мостовой измерительной цепи, а измерительные плоские электроды второй секции, образующие вторые четыре конденсатора (СI'', СII'', СIII'', СIV''), подключены к противоположному плечу мостовой измерительной цепи. Управляющие плоские электроды 1 и 2 пьезоэлементов электрически соединяются параллельно, причем электроды одной полярности выходят на поверхность пьезоактюатора с одной стороны, а противоположной полярности - с противоположной стороны (фиг. 2). Измерительные плоские электроды 3 и 4 пьезоэлементов также соединены параллельно таким образом, чтобы образовать два одинаковых измерительных конденсатора переменной емкости. Измерительные плоские электроды 3 и 4 гальванически не связаны с управляющим высоковольтным напряжением. Данная структура дает возможность подключения пьезоактюатора одновременно к высоковольтной управляющей цепи и к низковольтной измерительной цепи.
Самочувствительный многослойный пьезоэлектрический актюатор может состоять из различного количества секций. Так, на фиг. 4 показан самочувствительный многослойный пьезоэлектрический актюатор, состоящий из 12 секций (24 слоев), и схема расположения управляющих и измерительных (плоских) электродов.
Принцип действия самочувствительного многослойного пьезоактюатора основан на том, что пьезокерамика является диэлектриком с высокой диэлектрической проницаемостью, поэтому электроды (обкладки) на противоположных сторонах пьезокерамических пластин образуют конденсаторы с достаточно большой емкостью (от единиц пикофарад до сотен нанофарад). Емкость С между двумя параллельными поверхностями пропорциональна площади области между поверхностями и обратно пропорциональна расстоянию между поверхностями:
где ε0 - диэлектрическая постоянная в вакууме; εr - относительная диэлектрическая постоянная диэлектрика, A - площадь области между поверхностями, и h - расстояние между поверхностями.
При подаче к рабочим обкладкам пьезоактюатора управляющего напряжения он удлиняется в этом направлении на величину Δh:
где d33 - пьезомодуль, Uупр - управляющее напряжение. Соответственно изменяется расстояние между электродами (обкладками) измерительных конденсаторов на поверхности пьезоактюатора и их емкость.
В отличие от внешних емкостных датчиков в данной структуре практически отсутствует нелинейность, связанная с наклоном (угол между двумя параллельными пластинами) и прогибанием (глубина вогнутости или выпуклости) пьезоэлементов.
Для перемещения пьезоэлектрического актюатора на требуемое расстояние блок установки и саморегулирования управляющего напряжения формирователя электрического сигнала 5 в соответствии с заданным значением сигнала управления подает к управляющим плоским электродам 1 и 2 (обкладкам) пьезоактюатора высоковольтный управляющий сигнал Uупр (фиг. 2). При этом пьезоэлементы деформируются (удлиняются или укорачиваются), пьезоактюатор совершает перемещение и изменяется емкость конденсаторов, образованных измерительными плоскими электродами 3 и 4. Изменение емкости преобразуется с помощью измерительного преобразователя емкостного типа, например, состоящего из мостовой измерительной цепи и частотного измерительного преобразователя, в сигнал обратной связи, который подается на корректирующий вход блока установки и саморегулирования управляющего напряжения, где определяется отклонение реального перемещения от заданного и производится соответствующая коррекция управляющего сигнала.
Один из вариантов схемы управления самочувствительным многослойным пьезоэлектрическим актюатором (далее, пьезоактюатором) показан на фиг. 5, где измерительный преобразователь емкостного типа 6 формирователя электрического сигнала 5 представляет собой мостовую измерительную цепь с двумя рабочими плечами, образованными из конденсаторов пьезоэлектрического актюатора, которая подключена к частотному измерительному преобразователю. Изменение емкостей пьезоактюатора 9 с помощью мостовой измерительной цепи 10 преобразуется в напряжение, подаваемое на вход интегратора 11. На выходе компаратора 12 генерируется сигнал прямоугольной формы типа «меандр» с частотой, пропорциональной перемещению пьезоактюатора 9. Сигнал управления пьезоактюатором 9 поступает на него от блока установки и саморегулирования управляющего напряжения, состоящего из блока задания частоты 13 элемента сравнения 14, блока регулирования управляющего напряжения 15, блока формирования управляющего напряжения 16, усилителя напряжения 17. Изменение емкостей измерительных конденсаторов (СI, СII, СIII, CIV) пьезоактюатора 9 приводит к разбалансу мостовой измерительной цепи, в которую они включены. Питание мостовой измерительной цепи 10 осуществляется двухполярным напряжением питания типа «меандр» с выхода компаратора 12. Разбаланс мостовой измерительной цепи 10 вызывает изменение частоты сигнала на выходе компаратора 12, который далее поступает на усилитель тока 18 и затем на оптопару 19 (служит для гальванической развязки). С выхода оптопары 19 частотный сигнал поступает на блок задания частоты 13 и элемент сравнения 14, который сравнивает этот сигнал с частотой сигнала, поступающего с блока задания частоты 13.
Блок задания частоты 13 имеет два входа. На первый вход подается внешний сигнал управления (аналоговый или кодовый). На второй вход поступает частотный сигнал с выхода оптопары 19, который используется для установки начальной частоты выходного частотного сигнала блока задания частоты 13. Такая установка производится при включении питания, а также может быть осуществлена при каждом возврате пьезоактюатора в исходное состояние (нулевую точку или точку начала отсчета). То есть, по сигналу с выхода оптопары 19 производится коррекция управляющего сигнала на выходе блока задания частоты 13 (подстройка частоты начального управляющего сигнала с выхода блока задания частоты 13 под начальную частоту сигнала с выхода интегратора 11).
При последующем изменении управляющего сигнала на блоке задания частоты 13 сигнал с выхода оптопары 19 не используется. Элемент сравнения 14 выделяет разностный сигнал между управляющим сигналом от блока задания частоты 13 и сигналом обратной связи, поступающим от оптопары 19.
Далее разностный сигнал с элемента сравнения 14 подается на блок регулирования управляющего напряжения 15, на этот же блок подается сигнал с блока задания частоты 13. В блоке регулирования управляющего напряжения 15 корректируется сигнал управления на величину, пропорциональную сигналу от элемента сравнения 14. Далее, с блока регулирования управляющего напряжения 15 скорректированный сигнал поступает на блок формирования управляющего напряжения 16, который формирует аналоговый сигнал, поступающий на пьезоактюатор 9 через усилитель напряжения 17 (выход блока установки и саморегулирования управляющего напряжения 7 формирователя электрического сигнала 5).
В результате в самочувствительном многослойном пьезоэлектрическом актюаторе нелинейность зависимости его перемещения от управляющего напряжения, возникающая из-за гистерезиса, ползучести и последействия, устраняется путем коррекции частотного сигнала, поступающего на блок регулирования управляющего напряжения 15, на величину фактического отклонения частоты сигнала с выхода интегратора 11 от частоты сигнала управления с блока задания частоты 13.
Предлагаемый самочувствительный многослойный пьезоэлектрический актюатор по сравнению с прототипом имеет уменьшенные габаритные размеры, повышенную надежность, благодаря тому, что не требуется отдельный датчик перемещения, а для контроля перемещения (деформации) пьезоэлектрического актюатора используется сам пьезоэлектрический актюатор (самочувствительный пьезоактюатор). При этом обеспечивается высокая точность позиционирования, повышенная надежность и технологичность изготовления.
Таким образом, благодаря отличительным признакам изобретения упрощается конструкция пьезоэлектрического актюатора, повышается его надежность, уменьшаются габаритные размеры, обеспечивается высокая точность позиционирования.
Предлагаемое устройство выгодно отличается от известных ранее и может найти широкое применение в приводах различных устройств в прецизионном приборостроении, в оптических системах, в системах нано- и микропозиционирования.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Лопатин Сергей, Гетман Игорь, Панич Анатолий, Вусевкер Юрий. Патент №RU 2264678. Пьезокерамическая многослойная деталь для измерительных приборов и способ ее изготовления. Опубл. 20.11.2005.
2. Панич А.Е. (RU), Дудкин В.В. (RU), Житомирский Г.А. Патент № RU 2230353. Твердотельное исполнительное устройство. Опубл. 10.06.2004.
Claims (1)
- Самочувствительный многослойный пьезоэлектрический актюатор - пьезоэлектрический электромеханический преобразователь, состоящий из пьезокерамических секций с входными электродами и выходными электродами, подключенными к формирователю электрического сигнала, включающий поляризованное керамическое тело - пьезоэлемент в виде пластины с электродами, нанесенными на его противоположные плоские поверхности (грани), отличающийся тем, что каждая пьезокерамическая секция состоит из пары соединенных механически друг с другом пьезоэлементов, имеющих на одной плоской поверхности (грани) по одному (одиночному) плоскому электроду, а на другой противоположной плоской поверхности (грани) по два плоских электрода, установленных так, что два плоских электрода одного пьезоэлемента обращены к двум плоским электродам другого пьезоэлемента, причем смежные электроды внутри секции соединены электрически и являются выходными (измерительными) электродами пьезокерамической секции, которые подключены к измерительным входам формирователя электрического сигнала, состоящего из измерительного преобразователя емкостного типа, последовательно соединенного с блоком установки и саморегулирования управляющего напряжения, имеющего управляющий вход, при этом входными (управляющими) электродами пьезокерамической секции являются одиночный плоский электрод одного пьезоэлемента и одиночный плоский электрод другого пьезоэлемента, расположенные снаружи такой секции, которые подключены к выходу блока установки и саморегулирования управляющего напряжения.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015152353A RU2616225C1 (ru) | 2015-12-07 | 2015-12-07 | Самочувствительный многослойный пьезоэлектрический актюатор |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015152353A RU2616225C1 (ru) | 2015-12-07 | 2015-12-07 | Самочувствительный многослойный пьезоэлектрический актюатор |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2616225C1 true RU2616225C1 (ru) | 2017-04-13 |
Family
ID=58642754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2015152353A RU2616225C1 (ru) | 2015-12-07 | 2015-12-07 | Самочувствительный многослойный пьезоэлектрический актюатор |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2616225C1 (ru) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU190637U1 (ru) * | 2019-03-01 | 2019-07-05 | Российская Федерация, от имени которой выступает ФОНД ПЕРСПЕКТИВНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ | Высокотемпературный термостабильный чувствительный элемент акселерометра |
| CN110906852A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-03-24 | 宁波大学 | 一种压电执行器输出位移的自感知方法 |
| RU2801619C1 (ru) * | 2023-05-03 | 2023-08-11 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | Пьезоэлектрический актюатор |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1367487A (en) * | 1970-09-11 | 1974-09-18 | Siemens Ag | Piezoelectric motors |
| US6066911A (en) * | 1995-02-23 | 2000-05-23 | Robert Bosch Gmbh | Ultrasonic driving element |
| JP2000277823A (ja) * | 1999-03-24 | 2000-10-06 | Seiko Instruments Inc | 積層圧電振動子およびそれを用いた超音波モータおよび圧電アクチュエータ、ならびに超音波モータおよび圧電アクチュエータを用いた電子機器 |
| JP2001210886A (ja) * | 2000-01-28 | 2001-08-03 | Kyocera Corp | 積層型圧電アクチュエータ |
| RU2447544C1 (ru) * | 2010-12-01 | 2012-04-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ" | Пьезоэлектрический прибор |
| WO2012084334A1 (de) * | 2010-12-22 | 2012-06-28 | Epcos Ag | Aktor, aktorsystem und ansteuerung eines aktors |
-
2015
- 2015-12-07 RU RU2015152353A patent/RU2616225C1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1367487A (en) * | 1970-09-11 | 1974-09-18 | Siemens Ag | Piezoelectric motors |
| US6066911A (en) * | 1995-02-23 | 2000-05-23 | Robert Bosch Gmbh | Ultrasonic driving element |
| JP2000277823A (ja) * | 1999-03-24 | 2000-10-06 | Seiko Instruments Inc | 積層圧電振動子およびそれを用いた超音波モータおよび圧電アクチュエータ、ならびに超音波モータおよび圧電アクチュエータを用いた電子機器 |
| JP2001210886A (ja) * | 2000-01-28 | 2001-08-03 | Kyocera Corp | 積層型圧電アクチュエータ |
| RU2447544C1 (ru) * | 2010-12-01 | 2012-04-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ" | Пьезоэлектрический прибор |
| WO2012084334A1 (de) * | 2010-12-22 | 2012-06-28 | Epcos Ag | Aktor, aktorsystem und ansteuerung eines aktors |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| А. Г. Амельченко и др. СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ И ЭЛЕМЕНТЫ УСИЛИВАЮЩЕГО ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО АКТЮАТОРА ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННОГО ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ //Технические науки. Электроника, измерительная и радиотехника 3 (35), 2015. * |
| Бардин В. А. Системы управления высокоточными устройствами позиционирования на основе пьезоэлектрических актюаторов // Авто диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук, Пенза, 26.10.2015, стр. 9-11; * |
| Бардин В. А. Системы управления высокоточными устройствами позиционирования на основе пьезоэлектрических актюаторов // Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук, Пенза, 26.10.2015, стр. 9-11;GB 1367487 A, 18.09.1974. * |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU190637U1 (ru) * | 2019-03-01 | 2019-07-05 | Российская Федерация, от имени которой выступает ФОНД ПЕРСПЕКТИВНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ | Высокотемпературный термостабильный чувствительный элемент акселерометра |
| CN110906852A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-03-24 | 宁波大学 | 一种压电执行器输出位移的自感知方法 |
| CN110906852B (zh) * | 2019-11-13 | 2021-07-27 | 宁波大学 | 一种压电执行器输出位移的自感知方法 |
| RU2801619C1 (ru) * | 2023-05-03 | 2023-08-11 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | Пьезоэлектрический актюатор |
| RU2815862C1 (ru) * | 2023-09-18 | 2024-03-22 | Акционерное общество "Государственный научно-исследовательский институт машиностроения имени В.В. Бахирева" (АО "ГосНИИмаш") | Пьезоэлектрический датчик давления ударных волн |
| RU2811420C1 (ru) * | 2023-10-24 | 2024-01-11 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | Способ изготовления пьезоэлектрического актюатора |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7075700B2 (en) | Mirror actuator position sensor systems and methods | |
| JP6589053B2 (ja) | 電気活性ポリマーに基づくアクチュエータ及びセンサデバイス | |
| CN111721971B (zh) | 高灵敏度mems谐振式加速度传感器 | |
| JP5890115B2 (ja) | 光偏向器 | |
| JP2007221991A (ja) | 可変空隙距離を有するエネルギ変換システム及びエネルギ回生システム | |
| EP1113252A1 (en) | Capacitive strain sensor and method for using the same | |
| JP5816002B2 (ja) | 光偏向器 | |
| JP2010071793A (ja) | 多軸加速度センサ及び角速度センサ | |
| JP2013200337A (ja) | 光偏向器 | |
| EP2998777A1 (de) | Piezoelektrischer positionssensor für piezoelektrisch angetriebene resonante mikrospiegel | |
| RU2616225C1 (ru) | Самочувствительный многослойный пьезоэлектрический актюатор | |
| Tolliver et al. | Finite element analysis of the piezoelectric stacked-HYBATS transducer | |
| Elbahr et al. | Simulation of a new PZT energy harvester with a lower resonance frequency using COMSOL Multiphysics® | |
| Mansour et al. | Piezoelectric bimorph actuator with integrated strain sensing electrodes | |
| WO2010023766A1 (ja) | 変位センサ | |
| CN110906852A (zh) | 一种压电执行器输出位移的自感知方法 | |
| Masson et al. | Design of a generalised charge-based self-sensing model for quasi-static piezoelectric actuators | |
| JP7297489B2 (ja) | 振動型アクチュエータおよび振動型アクチュエータの駆動装置 | |
| CN111060232B (zh) | 一种压电执行器输出力的自感知方法 | |
| JP2009131117A (ja) | 振動波アクチュエータの駆動装置、及びその制御方法 | |
| RU2692122C1 (ru) | Твердотельный датчик линейных ускорений | |
| RU2608842C1 (ru) | Устройство управления самочувствительным линейным пьезоэлектрическим актюатором | |
| JPH03293565A (ja) | Ｐｗｍ静電サーボ式加速度計 | |
| Bardin et al. | INFORMATION-MEASURING AND CONTROL SYSTEMS USING PIEZOELECTRIC ACTUATORS AND MOTORS | |
| CN218145865U (zh) | Mems器件和电子器件 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20181208 |