RU2473887C2 - Устройство и способ для наблюдения поверхности образца - Google Patents

Устройство и способ для наблюдения поверхности образца Download PDF

Info

Publication number
RU2473887C2
RU2473887C2 RU2009116927/28A RU2009116927A RU2473887C2 RU 2473887 C2 RU2473887 C2 RU 2473887C2 RU 2009116927/28 A RU2009116927/28 A RU 2009116927/28A RU 2009116927 A RU2009116927 A RU 2009116927A RU 2473887 C2 RU2473887 C2 RU 2473887C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
optical system
sample
mirrors
image
observing
Prior art date
Application number
RU2009116927/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2009116927A (ru
Inventor
Сипке ВАДМАН
Original Assignee
Конинклейке Филипс Электроникс Н.В.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. filed Critical Конинклейке Филипс Электроникс Н.В.
Publication of RU2009116927A publication Critical patent/RU2009116927A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2473887C2 publication Critical patent/RU2473887C2/ru

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
    • G01N21/4738—Diffuse reflection, e.g. also for testing fluids, fibrous materials
    • G01N21/474—Details of optical heads therefor, e.g. using optical fibres
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
    • A61B5/103—Detecting, measuring or recording devices for testing the shape, pattern, colour, size or movement of the body or parts thereof, for diagnostic purposes
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
    • A61B5/0059—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons using light, e.g. diagnosis by transillumination, diascopy, fluorescence
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
    • A61B5/44—Detecting, measuring or recording for evaluating the integumentary system, e.g. skin, hair or nails
    • A61B5/441—Skin evaluation, e.g. for skin disorder diagnosis
    • A61B5/442—Evaluating skin mechanical properties, e.g. elasticity, hardness, texture, wrinkle assessment
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
    • G01N2021/4704—Angular selective
    • G01N2021/4711—Multiangle measurement

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Dermatology (AREA)
  • Oral & Maxillofacial Surgery (AREA)
  • Dentistry (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

Устройство для наблюдения внешнего вида поверхности (2) образца (1) содержит источник (11) света для освещения упомянутой поверхности в определенном направлении и средство для наблюдения поверхности (2). Средство для наблюдения поверхности (2) содержат множество по существу плоских зеркал (8), размещенных в различных направлениях относительно поверхности (2). Кроме того, средство содержит оптическую систему (6, 14) для наблюдения плоских зеркал (8) и сферический экран (17). Каждое плоское зеркало (8) отражает изображение (23) поверхности (2) образца (1) на узел (6) приема изображения оптической системы (6, 14). Положение источника (11) света является настраиваемым, так что поверхность (2) образца (1) может освещаться из различных определенных положений. Изобретение обеспечивает возможность наблюдения поверхности с нескольких сторон одновременно. 2 н. и 8 з.п. ф-лы, 3 ил.

Description

Настоящее изобретение относится к устройству для наблюдения внешнего вида поверхности образца, которое содержит источник света для освещения упомянутой поверхности в определенном направлении и средство наблюдения поверхности.
Предшествующий уровень техники
Выражение «внешний вид» в данном описании используется для обозначения комбинация вариантов и/или свойств поверхности образца и его восприятия наблюдателем, включая рельеф поверхности, цвет поверхности, характеристики отражения света и поглощения света поверхностью и т.д. «Наблюдение» является общим выражением, оно может включать осмотр и/или запись, и/или анализ внешнего вида образца.
При наблюдении внешнего вида поверхности образца поверхность можно рассматривать с определенной стороны, при этом луч света направляется на поверхность с другой стороны. Посредством этого может быть получена различная информация о поверхности в зависимости от направления, интенсивности и цвета света, а также от направления, с которого осматривается поверхность. Наблюдаемый внешний вид может включать текстуру и/или рельеф или выпячивания и выступы поверхности, такие как волосы на коже, и, в случае, если сама поверхность является более или менее светопроницаемой, текстуру и/или цвет, и/или структуру области под поверхностью, то есть, подповерхностной зоны. Наблюдение может записываться и/или анализироваться.
Методика бесконтактного наблюдения без внесения возмущений является целесообразной во многих областях техники для определения структуры поверхности и/или подповерхностной зоны. Кроме того, использование данной методики позволяет охарактеризовать тип и плотность дефектов материалов и другие признаки, имеющие геометрическую форму. Другим применением данной методики является анализ характеристик и состояния человеческой кожи. Устройство также можно использовать для классификации оптических свойств поверхностей, появляющихся на фотографиях земли с воздуха или из космоса при различной солнечной освещенности и углах обзора. Для этой цели участки поверхности земли, например, различные типы почв, дорожного покрытия или растительности можно наблюдать с помощью устройства, а наблюдения сравнивать с полученными фотографиями поверхности земли.
В частности, когда нужно проанализировать детали структуры (морфологии), желательно проводить наблюдения внешнего вида поверхности с разных сторон, при этом источник света также может освещать поверхность с одного или нескольких заранее определенных направлений (различных углов относительно плоскости поверхности).
В частности, когда осуществляется наблюдение поверхности сравнительно большого размера, например участка человеческой кожи, невозможно поместить образец внутрь устройства. В этом случае устройство должно быть помещено на образец или напротив образца или его части, при этом поверхность для наблюдения располагается на наружной стороне устройства.
В патенте США 4,574,244 раскрыта система обнаружения рассеянного излучения, которая содержит неподвижный источник излучения, которое падает на образец под углом в 0° к нормали. В патенте США 4,360,275 раскрыто устройство для измерения оптического рассеяния, содержащее одно фиксированное входное отверстие для пучка излучения, а также одно фиксированное диаметрально противоположное выходное отверстие для выхода нерассеянного света.
Задачей настоящего изобретения является создание устройства для наблюдения внешнего вида поверхности образца, которое содержит источник света для освещения вышеупомянутой поверхности в определенном направлении, при этом поверхность наблюдается с нескольких сторон одновременно, в результате чего анализ образца может проводиться на основании одного наблюдения.
Другой задачей настоящего изобретения является создание устройства наблюдения внешнего вида образца, которое содержит источник света для освещения вышеупомянутой поверхности в определенном направлении, при этом поверхность наблюдается с нескольких сторон одновременно, а образец может быть расположен на наружной стороне устройства.
Для решения одной или обеих поставленных задач в предложенном устройстве средство наблюдения поверхности содержит множество по существу плоских зеркал, расположенных в различных направлениях к наблюдаемой поверхности, и оптическую систему для наблюдения упомянутых плоских зеркал, при этом каждое плоское зеркало отражает изображение поверхности образца на узел приема изображений оптической системы, то есть на линзу или зеркало и т.п. При этом положение плоских зеркал может быть зафиксированным или настраиваемым. Зеркала являются в основном плоскими, то есть они являются плоскими или имеют небольшие отклонения от плоской формы с целью увеличения или уменьшения изображения, которое они отражают на узел приема изображений оптической системы. Следовательно, зеркала могут быть немного выпуклыми или вогнутыми. В любом случае, в данном описании они будут называться плоскими зеркалами. Положение источника света является настраиваемым, так что поверхность образца может освещаться из различных предварительно определенных положений.
В предпочтительном варианте осуществления плоские зеркала расположены в основном на одинаковых расстояниях от места размещения поверхности для наблюдения, то есть рядом с поверхностью воображаемого сферического купола над местом расположения поверхности, при этом данное расположение является центром купола. Таким образом, плоские зеркала могут размещаться вдоль линии, то есть части окружности на поверхности воображаемого купола, или плоские зеркала могут располагаться в виде решетки на вышеупомянутой поверхности, то есть быть распределенными по поверхности воображаемого купола. Возможны любые другие размещения плоских зеркал.
Предпочтительно, плоские зеркала расположены в основном на одинаковых расстояниях от места размещения узла приема изображений оптической системы, то есть линзы или зеркала и т.п., принимающего изображения, которые отражаются плоскими зеркалами. В случае если плоские зеркала размещены рядом с поверхностью воображаемого сферического купола, как описывалось выше, то узел приема изображения оптической системы располагается, так же как и поверхность для наблюдения, около центра этого купола. Таким образом, оптическая система наблюдает поверхность с помощью различных зеркал с одного и того же расстояния, в результате чего получаются сопоставимые изображения.
В предпочтительном варианте осуществления узел приема изображения оптической системы и поверхность для наблюдения расположены рядом друг с другом, при этом среднее расстояние между местом размещения поверхности для наблюдения и плоскими зеркалами более, чем в десять раз, предпочтительно, более, чем в пятнадцать раз, больше расстояния между местом размещения поверхности для наблюдения и местом размещения узла приема изображения оптической системы. В случае, когда место размещения поверхности для наблюдения и место размещения линзы или зеркала, получающего изображения поверхности, находятся рядом друг с другом, все плоские зеркала могут быть расположены в основном на равных расстояниях от обоих вышеупомянутых мест размещения, при этом оптическая система наблюдает поверхность через все плоские зеркала в основном с одного и того же расстояния.
Оптическая система может быть снабжена выпуклой линзой, так называемой линзой типа рыбий глаз или широкоформатной линзой для получения всех изображений поверхности с разных направлений. Однако в предпочтительном варианте осуществления, узел приема изображений оптической системы является в основном сферическим зеркалом, предпочтительно, выпуклым зеркалом, при этом плоские зеркала отражают изображения поверхности в направлении сферического зеркала, в результате чего через упомянутое сферическое зеркало можно наблюдать различные изображения. Отражающая поверхность такого зеркала в основном имеет форму части шара, в результате чего при взгляде в зеркало можно увидеть широкоформатный вид окружения зеркала.
Путем использования зеркала для получения изображений устройство может быть спроектировано таким образом, что источник света, так же как и плоские зеркала и оптическая система, содержащая зеркало, будут расположены с одной стороны плоскости, проходящей через место размещения поверхности для наблюдения. Таким образом, устройство может быть спроектировано так, что оно может быть размещено напротив образца, или образец может быть помещен напротив устройства, в результате чего можно производить наблюдение участка поверхности сравнительно большего образца. Устройство может быть спроектировано в виде портативного прибора и может помещаться на кожу тела человека.
Предпочтительно, имеются пять или более плоских зеркал, и более предпочтительно, более восьми зеркал, так что элементы наблюдаемой поверхности видны оптической системой одновременно с нескольких направлений с целью проведения полного анализа поверхности.
В предпочтительном варианте осуществления оптическая система содержит камеру для записи представления поверхности, причем это представление содержит множество изображений поверхности для наблюдения, полученных с различных направлений, при этом камера и источник света установлены неподвижно.
Предпочтительно место размещения источника света является настраиваемым, в результате чего поверхность образца может освещаться с различных предварительно определенных направлений, то есть падающий световой луч попадает на поверхность образца под различными углами. Таким образом, камера может записывать представления, причем поверхность освещена различным образом, в результате чего можно получить больше информации о поверхности.
В предпочтительном варианте осуществления устройство содержит сферический экран, расположенный перед плоскими зеркалами, при этом экран содержит одно или несколько отверстий, через которые может проходить световой луч, а также отверстие, через которое можно наблюдать узел приема изображений оптической системы. Сферический экран может представлять собой подвижный купол, выполненный из рассеивающего материала. Таким образом, устройство может дополнительно использоваться в качестве рефлектометра, то есть являться устройством, например, описанным в документе WO-A-2004/077032, которое также является устройством анализа свойств поверхности. При этом вместо изображений поверхности образца может быть записано отражение (излучение) света от поверхности с различных направлений, что является другой методикой обнаружения и анализа аспектов и свойств поверхности образца. Купол может быть также частично рассеивающим, в результате чего камера может получать один снимок, содержащий ряд изображений поверхности для наблюдения, видимой посредством плоских зеркал, а также одно или более изображений, показывающих излучение поверхности для наблюдения в предварительно определенных направлениях в сторону рассеивающих участков сферического экрана.
Предпочтительно, сферический экран выполнен из прозрачного материала, покрытого материалом, который может стать рассеивающим по электронной команде. При этом сферический экран может быть полностью покрыт вышеупомянутым покрытием, благодаря чему устройство может использоваться как рефлектометр, а также может применяться для наблюдения поверхности с различных направлений, как было описано выше. В предпочтительном варианте осуществления покрытие наносится на один или более участков экрана, в результате чего по электронной команде в куполе могут создаваться рассеивающие области и прозрачные области.
Покрытие, которое может быть сделано рассеивающим или рассеивающим по электронной команде, само по себе известно, например, известны жидкие кристаллы с диспергированным полимером (материал PDLC). Путем изменения ориентации молекул жидких кристаллов посредством электрического поля можно изменять степень прозрачности материала.
Настоящее изобретение относится также к способу наблюдения внешнего вида поверхности образца, в котором освещают поверхность источником света в определенном направлении и наблюдают поверхность в другом направлении, при этом поверхность наблюдают посредством множества в основном плоских зеркал, расположенных в различных направлениях относительно указанной поверхности, при этом каждое плоское зеркало отражает изображение поверхности образца на узел приема изображения оптической системы, которая наблюдает поверхность и предпочтительно является выпуклым сферическим зеркалом.
Краткое описание чертежей
В дальнейшем изобретение поясняется описанием двух вариантов осуществления устройства для наблюдения внешнего вида поверхности со ссылками на сопровождающие чертежи, на которых:
фиг.1 изображает первый вариант осуществления изобретения;
фиг.2 - снимок, записанный камерой, согласно изобретению;
фиг.3 - второй вариант осуществления, в котором присутствует сферический экран, согласно изобретению.
Описание вариантов воплощения изобретения
На сопровождающих чертежах показаны только узлы устройства, необходимые для объяснения функционирования устройства.
На фиг.1 показан схематично первый вариант осуществления устройства в разрезе. Образец 1 имеет поверхность 2, которая будет наблюдаться с целью записи и анализа этой поверхности 2. Образец 1 расположен под опорной плитой 3 устройства для наблюдения поверхности. Опорная плита 3 имеет круглый наружный край 4 и центральное отверстие 5. Поверхность 2 расположена в отверстии 5. Выпуклое сферическое зеркало 6 находится на опорной плите 3 и расположено рядом с отверстием 5. Круглый край 4 опорной плиты 3 соединен с полусферическим каркасом 7, показанным пунктирной линией. На каркас 7 установлен ряд плоских зеркал 8, при этом зеркала 8 распределены по внутренней поверхности каркаса 7. Каждое плоское зеркало 8 расположено таким образом, что оно отражает изображение поверхности 2 образца 1 в направлении выпуклого зеркала 6, что показано штрихпунктирными линиями 9, 10.
Поверхность 2 освещается посредством источника 11 света, при этом источник 11 света расположен снаружи каркаса 7. Источник 11 света направляет свой луч света 12 (обозначен двумя линиями) через отверстие 13 в каркасе 7 на участок, в котором отсутствует зеркало 8. Кроме того, снаружи каркаса 7 находится камера 14, которая направлена на выпуклое зеркало 6 через отверстие 15 в каркасе 7 на участок, в котором отсутствует зеркало 8. Направление обзора камеры 14 обозначено штрихпунктирной линией 16.
В описываемом устройстве камера 14 может принимать снимок, как показано на фиг.2. Снимок содержит множество изображений 23 поверхности 2 образца 1, при этом каждое изображение 23 наблюдается через одно из плоских зеркал 8 и, следовательно, с другого направления. Анализ поверхности 2 может быть проведен на основании снимка, содержащего различные изображения 23, показанные на фиг.2. В снимке на фиг.2 есть три участка, на которых отсутствует изображение 23. Участок 24 представляет собой первое отверстие каркаса 7, где отсутствует зеркало 8, и через которое поверхность 2 может освещаться источником 11 света посредством луча, перпендикулярного поверхности 2. Участок 24 представляет собой отверстие каркаса 7 для освещения поверхности 2 под определенным углом. И участок 26 представляет собой отверстие каркаса 7, через которое камера 14 производит съемку. В качестве альтернативы, также можно установить набор небольших источников света, расположенных между плоскими зеркалами, при этом источники света могут индивидуально включаться и выключаться.
На фиг.3 показано то же устройство, что показано на фиг.1, однако здесь перед каркасом 7 и зеркалами 8 размещен полусферический экран 17. Экран 17 выполнен из рассеивающего материала, в результате чего отражение луча 12 от источника 11 света проецируется на экран 17. При этом выпуклое зеркало 6 отражает внешний вид внутренней поверхности экрана 17 на камеру 14, в результате чего снимок, сделанный камерой 14, показывает, в основном, внешний вид всего экрана 17. Таким образом, полученный снимок содержит отраженное излучение поверхности 2 практически во всех направлениях. Штрихпунктирная линия 18 показывает одно из направлений этого излучения, а цвет и интенсивность этого излучения наблюдаются камерой 14 через выпуклое зеркало 6, как показано штрихпунктирными линиями 19 и 20. Экран 17 имеет отверстие 21, при этом через отверстие 21 может проходить луч света 12, и отверстие 22, через которое камера 14 может наблюдать выпуклое зеркало 6. На основании внешнего вида внутренней поверхности экрана 17 производится дальнейший анализ поверхности 2 образца 1.
Два вышеописанных варианта осуществления являются только примерами устройства согласно изобретению, также возможно множество других вариантов осуществления.

Claims (10)

1. Устройство для наблюдения внешнего вида поверхности (2) образца (1), содержащее
источник (11) света для освещения упомянутой поверхности (2) в определенном направлении и
средство для наблюдения поверхности (2), содержащее множество по существу плоских зеркал (8), размещенных в различных направлениях относительно поверхности (2), и
оптическую систему (6, 14) для наблюдения плоских зеркал (8), причем каждое плоское зеркало (8) отражает изображение поверхности (2) образца (1) на узел (6) приема изображения оптической системы (6, 14), и
сферический экран (17), расположенный перед плоскими зеркалами (8), при этом экран (17) содержит одно или несколько отверстий для прохода луча света (12) и отверстие (22), через которое может наблюдаться узел (6) приема изображения оптической системы (6, 14).
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что плоские зеркала (8) размещены по существу на равных расстояниях от места размещения поверхности (2), предназначенной для наблюдения.
3. Устройство по п.1, в котором плоские зеркала (8) размещены по существу на равных расстояниях от узла (6) приема изображения оптической системы (6, 14).
4. Устройство по п.2, в котором узел (6) приема изображения оптической системы (6, 14) и поверхность (2) для наблюдения размещены рядом друг с другом, при этом среднее расстояние между местом расположения поверхности (2) для наблюдения и плоскими зеркалами (8) более чем в десять раз превышает расстояние между местом расположения поверхности (2) для наблюдения и узлом (6) приема изображения оптической системы (6, 14).
5. Устройство по п.1, в котором узел приема изображения оптической системы (6, 14) представляет собой сферическое зеркало (6), при этом плоские зеркала (8) отражают изображения (23) поверхности (2) в направлении сферического зеркала (6) так, что различные изображения (23) поверхности (2) могут наблюдаться с помощью сферического зеркала (6).
6. Устройство по п.1, которое содержит пять или более плоских зеркал (8) и предпочтительно более чем восемь зеркал (8).
7. Устройство по п.1, в котором оптическая система содержит камеру (14) для записи представления поверхности (2), при этом представление содержит изображения (23) поверхности (2) для наблюдения, полученные с разных направлений.
8. Устройство по п.2, в котором положение источника (11) света является настраиваемым, так что поверхность (2) образца (1) может освещаться из различных заданных положений.
9. Устройство по п.1, отличающееся тем, что сферический экран (17) выполнен из прозрачного материала, покрытого материалом, который может становиться рассеивающим по электронной команде.
10. Способ наблюдения внешнего вида (2) образца (1), содержащий следующие шаги:
освещают поверхность (2) источником (11) света в определенном направлении,
наблюдают поверхность (2) в другом направлении, причем поверхность (2) наблюдают через множество в основном плоских зеркал (8), расположенных в различных направлениях относительно упомянутой поверхности (2), при этом каждое плоское зеркало (8) отражает изображение (23) поверхности (2) образца (1) на узел (6) приема изображения оптической системы и сферический экран (17), расположенный перед плоскими зеркалами (8), при этом экран (17) содержит одно или несколько отверстий (21) для прохода луча света (12) и отверстие (22), через которое может наблюдаться узел (6) приема изображения оптической системы (6, 14).
RU2009116927/28A 2006-10-05 2007-09-28 Устройство и способ для наблюдения поверхности образца RU2473887C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP06121782 2006-10-05
EP06121782.4 2006-10-05
PCT/IB2007/053943 WO2008041162A1 (en) 2006-10-05 2007-09-28 An apparatus and a method for observing the surface of a sample

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2009116927A RU2009116927A (ru) 2010-11-10
RU2473887C2 true RU2473887C2 (ru) 2013-01-27

Family

ID=39027495

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009116927/28A RU2473887C2 (ru) 2006-10-05 2007-09-28 Устройство и способ для наблюдения поверхности образца

Country Status (8)

Country Link
US (1) US8077319B2 (ru)
EP (1) EP2074408A1 (ru)
JP (1) JP5411698B2 (ru)
KR (1) KR101396146B1 (ru)
CN (1) CN101523195B (ru)
BR (1) BRPI0718200A8 (ru)
RU (1) RU2473887C2 (ru)
WO (1) WO2008041162A1 (ru)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8610767B2 (en) * 2008-03-18 2013-12-17 Koninklijke Philips N.V. Apparatus for skin imaging, system for skin analysis
EP2451527B1 (en) 2009-07-09 2018-11-21 Koninklijke Philips N.V. Skin radiation apparatus
US9816683B2 (en) * 2011-10-20 2017-11-14 Appotronics Corporation Limited Light sources system and projection device using the same
KR102475651B1 (ko) * 2015-12-30 2022-12-09 엘지이노텍 주식회사 인체 착용장치 및 이의 동작 방법
DE102016108079A1 (de) * 2016-05-02 2017-11-02 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Artefaktreduktion bei der winkelselektiven beleuchtung
KR102303073B1 (ko) * 2019-11-14 2021-09-17 아나나스엘엘씨 유한책임회사 다면 비전 검사 알고리즘 및 이를 이용한 시스템
KR102310449B1 (ko) * 2019-11-14 2021-10-12 아나나스엘엘씨 유한책임회사 개선된 구조의 다면 비전 검사 시스템 및 검사 방법
KR102547544B1 (ko) * 2021-05-25 2023-06-27 한국기계연구원 3차원 조리개 모듈 및 이의 제조방법

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4360275A (en) * 1980-08-11 1982-11-23 Litton Systems Inc. Device for measurement of optical scattering
US4575244A (en) * 1982-05-28 1986-03-11 Kozponti Elelmiszeripari Kutato Intezet Detector system for measuring the intensity of a radiation scattered at a predetermined angle from a sample irradiated at a specified angle of incidence
SU1326004A1 (ru) * 1985-07-30 1990-07-23 Институт Полупроводников Ан Усср Устройство дл контрол дефектов оптических поверхностей
US5485263A (en) * 1994-08-18 1996-01-16 United Parcel Service Of America, Inc. Optical path equalizer
WO2004077032A1 (en) * 2003-02-28 2004-09-10 Koninklijke Philips Electronics N.V. A scatterometer and a method for observing a surface

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4815858A (en) * 1987-10-09 1989-03-28 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Reflectometers
US5309339A (en) * 1992-06-24 1994-05-03 The Schepens Eye Research Institute, Inc. Concentrator for laser light
US5256871A (en) * 1992-12-22 1993-10-26 Emhart Glass Machinery Investments Inc. Machine for video inspection of glass containers with intersecting light beams
US5845002A (en) * 1994-11-03 1998-12-01 Sunkist Growers, Inc. Method and apparatus for detecting surface features of translucent objects
IL113428A0 (en) 1995-04-20 1995-07-31 Yissum Res Dev Co Glossmeter
DE19706973A1 (de) * 1997-02-21 1998-08-27 Wacker Siltronic Halbleitermat Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung einer glatten Oberfläche einer Probe
US5912741A (en) * 1997-10-10 1999-06-15 Northrop Grumman Corporation Imaging scatterometer
JP3631365B2 (ja) * 1998-02-10 2005-03-23 日本ペイント株式会社 変角分光反射率の測定方法
US6424413B1 (en) * 1998-06-12 2002-07-23 Gretagmacbeth Llc Multi-channel integrating sphere
WO2000037923A1 (en) * 1998-12-21 2000-06-29 Koninklijke Philips Electronics N.V. Scatterometer
DE19950588B4 (de) * 1999-10-20 2013-07-18 Byk Gardner Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Qualitätskontrolle von insbesondere lackierten Oberflächen
EP1207386A1 (en) * 2000-11-20 2002-05-22 The Dow Chemical Company Method for characterizing the appearance of a particular object, for predicting the appearance of an object, and for manufacturing an object having a predetermined appearance which has optionally been determined on the basis of a reference object
US6538730B2 (en) * 2001-04-06 2003-03-25 Kla-Tencor Technologies Corporation Defect detection system
US7248368B2 (en) * 2003-02-28 2007-07-24 Koninklijke Philips Electronics, N.V. Scatterometer and a method for inspecting a surface
WO2004111688A2 (en) * 2003-06-06 2004-12-23 New York University Method and apparatus for determining a bidirectional reflectance distribution function of a subject
WO2006034065A2 (en) * 2004-09-20 2006-03-30 Zetetic Institute Catoptric imaging systems comprising pellicle and/or aperture-array beam-splitters and non-adaptive and /or adaptive catoptric surfaces
TWI481854B (zh) * 2004-10-08 2015-04-21 Koninkl Philips Electronics Nv 光學表面檢測裝置及用於提供光學表面檢測之方法
US8018396B2 (en) * 2008-08-18 2011-09-13 Auden Techno Corp. Dual-resonance retractable antenna

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4360275A (en) * 1980-08-11 1982-11-23 Litton Systems Inc. Device for measurement of optical scattering
US4575244A (en) * 1982-05-28 1986-03-11 Kozponti Elelmiszeripari Kutato Intezet Detector system for measuring the intensity of a radiation scattered at a predetermined angle from a sample irradiated at a specified angle of incidence
SU1326004A1 (ru) * 1985-07-30 1990-07-23 Институт Полупроводников Ан Усср Устройство дл контрол дефектов оптических поверхностей
US5485263A (en) * 1994-08-18 1996-01-16 United Parcel Service Of America, Inc. Optical path equalizer
WO2004077032A1 (en) * 2003-02-28 2004-09-10 Koninklijke Philips Electronics N.V. A scatterometer and a method for observing a surface

Also Published As

Publication number Publication date
RU2009116927A (ru) 2010-11-10
EP2074408A1 (en) 2009-07-01
BRPI0718200A2 (pt) 2017-10-24
WO2008041162A1 (en) 2008-04-10
CN101523195B (zh) 2012-04-25
JP5411698B2 (ja) 2014-02-12
KR20090064557A (ko) 2009-06-19
US8077319B2 (en) 2011-12-13
BRPI0718200A8 (pt) 2017-12-05
CN101523195A (zh) 2009-09-02
KR101396146B1 (ko) 2014-05-19
US20100091291A1 (en) 2010-04-15
JP2010506163A (ja) 2010-02-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2473887C2 (ru) Устройство и способ для наблюдения поверхности образца
US10667694B2 (en) Apparatus for imaging skin
CN101977551B (zh) 用于皮肤成像的仪器、用于皮肤分析的系统
CN106959293B (zh) 通过视觉系统检测反光面上缺陷的系统及方法
US5241369A (en) Two-dimensional optical scatterometer apparatus and process
JP5546103B2 (ja) 透明又は反射部品を制御するための装置
US20020080357A1 (en) Apparatus and method for measuring spatially varying bidirectional reflectance distribution function
US20070296956A1 (en) Device and a Method for Detection of Characteristic Features of a Medium
CN101809432B (zh) 一种用于观测样品表面的装置和方法
US20130258323A1 (en) Device and Method for Subaperture Stray Light Detection and Diagnosis
JPH11510594A (ja) 物体の内部構造のｘ線及びニュートロン回折映像法
AU753282B2 (en) Apparatus for measuring characteristics of optical angle
US8422007B2 (en) Optical measurement device with reduced contact area
EP1601939A2 (en) Spherical light-scatter and far-field phase measurement
DE10143602A1 (de) Einrichtung zur meßtechnischen Bewertung von reflektierenden Objekten, insbesondere von reflektiven Anzeigen
US6729728B2 (en) Back projection visual field tester
FR2840686A1 (fr) Procede pour determiner l'aptitude a diffuser et/ou a absorber la lumiere d'un produit cosmetique
EP1611430B1 (en) A scatterometer and a method for observing a surface
CN101427125B (zh) 光学测量设备
JP4560517B2 (ja) 物体からの光強度を測定する携帯型装置と、そのような装置の使用方法
JP2932307B2 (ja) 逆反射を利用した表面検査及び歪み測定のための方法及び装置
CN110208287A (zh) Oled屏偏光型同轴结构光检测法与oled屏偏光检测装置
DeBoo et al. Polarization scatter measurements with a Mueller matrix imaging polarimeter
JPH01202632A (ja) 色彩検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20180929