RU2471149C2 - Compensation-type micromechanical gyroscope - Google Patents
Compensation-type micromechanical gyroscope Download PDFInfo
- Publication number
- RU2471149C2 RU2471149C2 RU2010150708/28A RU2010150708A RU2471149C2 RU 2471149 C2 RU2471149 C2 RU 2471149C2 RU 2010150708/28 A RU2010150708/28 A RU 2010150708/28A RU 2010150708 A RU2010150708 A RU 2010150708A RU 2471149 C2 RU2471149 C2 RU 2471149C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- axis
- output
- measuring
- along
- vibrations
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
Description
Предлагаемое устройство относится к приборам, измеряющим угловую скорость, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ).The proposed device relates to devices that measure angular velocity, in particular to micromechanical gyroscopes (MMG).
Известны ММГ компенсационного типа, в которых за счет обратной связи обеспечивается компенсация сил, обусловленных Кориолисовыми ускорениями [патент РФ №2393428 С1. Микромеханический гироскоп компенсационного типа].Known MMG compensation type, in which due to the feedback provided compensation of forces due to Coriolis accelerations [RF patent No. 2393428 C1. Micromechanical gyroscope compensation type].
Конструкция ММГ наиболее чувствительна к воздействию таких механических характеристик, как линейные вибрации, удары и ускорения вдоль оси первичных колебаний, и к изменению температуры. Перечисленные внешние воздействия приводят к изменению зазора между электродами, расположенными по оси вторичных колебаний. При этом изменяются характеристики датчиков угла и датчиков момента, в частности их коэффициенты передачи. Это может приводить к изменению масштабного коэффициента и смещения нуля, а также влиять на величину отрицательной жесткости и квадратурную помеху. Это приводит к появлению ошибок измерения в выходном сигнале ММГ.The MMG design is most sensitive to the effects of such mechanical characteristics as linear vibrations, shock and acceleration along the axis of primary vibrations, and to temperature changes. The listed external influences lead to a change in the gap between the electrodes located along the axis of the secondary vibrations. In this case, the characteristics of the angle sensors and torque sensors, in particular their transmission coefficients, are changed. This can lead to a change in the scale factor and zero offset, and also affect the magnitude of the negative stiffness and quadrature interference. This leads to the appearance of measurement errors in the output signal MMG.
Известны различные способы уменьшения влияния изменения зазора. В ряде патентов (см., например, пат. РФ №2289789 С1 и пат. США №6765305 В2) предложено решение для гироскопов прямого типа преобразования, заключающееся в измерении суммы токов, протекающих через электроды дифференциального емкостного датчика для выделения информации о зазоре, и в использовании полученного сигнала для коррекции масштабного коэффициента датчика угла.Various methods are known for reducing the effect of changing the gap. A number of patents (see, for example, Pat. RF No. 2289789 C1 and US Pat. No. 6,765,305 B2) offer a solution for direct conversion gyroscopes, which consists in measuring the sum of currents flowing through the electrodes of a differential capacitive sensor to highlight information about the gap, and in using the received signal to correct the scale factor of the angle sensor.
Однако такой схемы компенсации изменения зазора в ММГ замкнутого типа недостаточно, т.к. от величины зазора зависит напряжение, приложенное к силовым электродам по оси вторичных колебаний, следовательно, коэффициент передачи этих электродов.However, such a compensation scheme for the change in the gap in a closed-type MMG is not enough, because the voltage applied to the power electrodes along the axis of secondary vibrations depends on the size of the gap, therefore, the transfer coefficient of these electrodes.
В заявке США №2009/0056443 А1 приведено решение, которое заключается в использовании силовой обратной связи с помощью дополнительных электродов (force balance plates) для поддержания величины зазора постоянной [фиг. 11-с этой заявки]. Также, в связи с тем что напряжения, приложенные к электродам, меняют параметры подвеса, то для компенсации изменения отрицательной жесткости и резонансной частоты предусмотрены специальные электроды (electric spring plates). Это позволяет работать как в разомкнутом, так и компенсационном режимах. Однако в патенте не приведен алгоритм измерения перемещения подвижной массы, и сама реализация дополнительных электродов требует дополнительных затрат.In the application US No. 2009/0056443 A1, a solution is presented that consists in using force feedback using additional electrodes (force balance plates) to maintain the gap value constant [Fig. 11-from this application]. Also, due to the fact that the voltage applied to the electrodes changes the suspension parameters, special electrodes (electric spring plates) are provided to compensate for changes in negative stiffness and resonant frequency. This allows you to work both in open and compensation modes. However, the patent does not provide an algorithm for measuring the movement of moving mass, and the implementation of additional electrodes itself requires additional costs.
Устройство, описанное в патенте РФ №2393428, является наиболее близким к предлагаемому устройству и выбрано в качестве прототипа. Оно содержит инерционную массу, гребенчатый двигатель, образованный гребенками статоров и ротора, устройство измерения перемещений инерционной массы по оси первичных колебаний, устройство измерения перемещений инерционной массы по оси вторичных колебаний, две пары электродов по оси вторичных колебаний, одна из которых является измерительной, другая - силовой, устройство возбуждения первичных колебаний, включенное между устройством измерения перемещений по оси первичных колебаний и электродами гребенчатого двигателя, последовательно включенные дифференцирующее звено и усилитель, включенные между устройством измерения перемещений по оси вторичных колебаний и парой силовых электродов по оси вторичных колебаний, последовательно включенные фазовращатель, умножитель и фильтр низкой частоты, вход фазовращателя подключен к выходу устройства измерения перемещений по оси первичных колебаний, а второй вход умножителя соединен с выходом усилителя, устройство подавления квадратуры, один вход которого подключен к выходу устройства измерения перемещений по оси первичных колебаний, второй вход устройства подавления квадратуры подключен к выходу устройства измерения перемещений по оси вторичных колебаний, выход устройства подавления квадратуры соединен с парой силовых электродов по оси вторичных колебаний, усилитель с постоянным коэффициентом усиления, включенный между устройством измерения перемещений по оси первичных колебаний и парой силовых электродов по оси вторичных колебаний.The device described in the patent of the Russian Federation No. 2393428 is the closest to the proposed device and is selected as a prototype. It contains an inertial mass, a comb engine formed by combs of stators and a rotor, a device for measuring inertial mass displacements along the primary oscillation axis, a device for measuring inertial mass displacements along the secondary oscillation axis, two pairs of electrodes along the secondary oscillation axis, one of which is measuring, the other power, primary excitation excitation device connected between the device for measuring displacements along the axis of primary vibrations and electrodes of the comb engine, sequentially о the included differentiating element and amplifier, connected between the device for measuring displacements along the axis of secondary oscillations and a pair of power electrodes along the axis of secondary oscillations, the phase shifter, multiplier and low-pass filter connected in series, the input of the phase shifter is connected to the output of the device for measuring displacements along the axis of primary vibrations, and the second the input of the multiplier is connected to the output of the amplifier, a quadrature suppression device, one input of which is connected to the output of the device for measuring displacements along the primary axis oscillations, the second input of the quadrature suppression device is connected to the output of the device for measuring displacements along the axis of secondary vibrations, the output of the quadrature suppressor is connected to a pair of power electrodes along the axis of secondary vibrations, an amplifier with a constant gain connected between the device for measuring displacements along the axis of primary vibrations and a pair of power electrodes along the axis of secondary vibrations.
Недостатком прототипа является то, что в нем не предусмотрен способ компенсации изменения зазора, что приводит к появлению ошибок измерения в выходном сигнале ММГ.The disadvantage of the prototype is that it does not provide a way to compensate for changes in the gap, which leads to the appearance of measurement errors in the output signal MMG.
Задачей, на решение которой направлено изобретение, является уменьшение влияния линейных ускорений, вибраций и температуры на точностные характеристики микромеханического гироскопа компенсационного типа.The problem to which the invention is directed is to reduce the influence of linear accelerations, vibrations and temperature on the accuracy characteristics of a compensation-type micromechanical gyroscope.
Решение указанной задачи достигается тем, что в компенсационный гироскоп введен дополнительный блок с изменяемым коэффициентом передачи, при этом один вход которого соединен с выходом фильтра низкой частоты, а на второй вход поступает сигнал с выхода устройства измерения перемещений, представляющего собой известную структуру емкостного датчика [патент РФ №2289789 С1], который позволяет определять синфазную и дифференциальную составляющую.The solution to this problem is achieved by the fact that an additional unit with a variable transmission coefficient is introduced into the compensation gyroscope, with one input connected to the output of a low-pass filter, and a signal from the output of the displacement measuring device, which is a known structure of a capacitive sensor, is fed to the second input [patent RF №2289789 C1], which allows you to determine the in-phase and differential component.
Заявленное устройство поясняется чертежами.The claimed device is illustrated by drawings.
На фиг.1 приведена блок-схема предлагаемого устройства. На фиг.2 приведена блок-схема устройства измерения перемещений подвижной массы микромеханического гироскопа по оси вторичных колебаний.Figure 1 shows a block diagram of the proposed device. Figure 2 shows a block diagram of a device for measuring the displacements of a moving mass of a micromechanical gyroscope along the axis of secondary vibrations.
На фиг.1 приняты следующие обозначения:In figure 1, the following notation:
1 - чувствительный элемент (ЧЭ) микромеханического гироскопа;1 - sensitive element (SE) of a micromechanical gyroscope;
2 - инерционная масса;2 - inertial mass;
3 - измерительные электроды;3 - measuring electrodes;
4 - силовые электроды;4 - power electrodes;
5 - устройство возбуждения первичных колебаний;5 - a device for exciting primary vibrations;
6, 1 - устройства измерения перемещений;6, 1 - device for measuring displacement;
8 - дифференцирующее звено;8 - differentiating link;
9 - устройство подавления квадратуры;9 - squelch suppression device;
10, 11 - усилители;10, 11 - amplifiers;
12 - умножитель;12 - multiplier;
13 - фильтр низкой частоты;13 - low-pass filter;
14 - устройство с изменяемым коэффициентом передачи;14 - a device with a variable transmission coefficient;
15 - фазосдвигающее устройство.15 is a phase shifting device.
На фиг.2 приняты следующие обозначения:In figure 2, the following notation:
16, 17 - конденсаторы, образованные подвижной массой и статорами дифференциального емкостного датчика по оси вторичных колебаний;16, 17 - capacitors formed by the moving mass and the stators of the differential capacitive sensor along the axis of the secondary oscillations;
18, 19, 25-27 - резисторы;18, 19, 25-27 - resistors;
20, 21, 24 - операционные усилители;20, 21, 24 - operational amplifiers;
22, 23 - трансрезистивные усилители;22, 23 - transresistive amplifiers;
28 - дифференциальный усилитель;28 - differential amplifier;
29 - фазосдвигающее устройство;29 - phase shifting device;
30 - демодулятор;30 - demodulator;
31 - устройство преобразования сигналов;31 is a signal conversion device;
32 - выпрямитель;32 - rectifier;
33 - суммирующее устройство;33 is a summing device;
34 - генератор переменного напряжения.34 - alternating voltage generator.
Чувствительный элемент 1 состоит из инерционной массы 2, измерительных электродов по осям первичных и вторичных колебаний 3 и силовых электродов 4. К измерительным электродам 3 подключены устройства измерения перемещений 6 и 7. К выходу устройства измерения перемещений 7 по оси вторичных колебаний последовательно подключены дифференцирующее звено 8 и усилитель 11, первый вход устройства подавления квадратуры 9. Выход усилителя 11 соединен с силовыми электродами 4 ЧЭ 1. К выходу устройства измерения перемещений 6 по оси первичных колебаний подключены фазовращатель 15, второй вход устройства подавления квадратуры 9, устройство возбуждения первичных колебаний 5 и усилитель 10. Выход устройства подавления квадратуры 9, выход усилителя 10 и выход устройства возбуждения соединены с силовыми электродами 4 ЧЭ 1. Первый вход умножителя 12 соединен с выходом фазовращателя 15, а второй вход умножителя 12 соединен с выходом усилителя 11. Выход умножителя 11 соединен с входом фильтра низкой частоты 13. К выходу фильтра низкой частоты 13 подключено устройство с изменяемым коэффициентом передачи, второй вход которого подключен к выходу устройства измерения перемещений 7.The sensing element 1 consists of an
Устройство работает следующим образом.The device operates as follows.
Инерционная масса 2 под управлением устройства возбуждения первичных колебаний 5 совершает колебательные движения. При появлении переносной скорости основания относительно оси чувствительности возникают моменты сил Кориолиса, это вызывает вторичные угловые колебания ротора ММГ.The
В контуре обратной связи, образованном дифференцирующим звеном 8 и усилителем 11, формируется сигнал управления, который возвращает инерционную массу в нейтральное положение.In the feedback loop formed by the differentiating link 8 and the amplifier 11, a control signal is generated that returns the inertial mass to the neutral position.
Для системы с обратной связью сигнал управления определяется с помощью передаточной функции:For a feedback system, the control signal is determined using the transfer function:
где Кос - коэффициент передачи в обратной связи; Мкор - входной момент, создаваемый силами Кориолиса; W(s) - передаточная функция объекта (разомкнутой цепи).where K OS - gear ratio in feedback; M cor - the input moment created by the forces of Coriolis; W (s) is the transfer function of the object (open circuit).
Т.к. для обеспечения компенсационного режима контурный коэффициент должен удовлетворять условию:Because to ensure the compensation mode, the contour coefficient must satisfy the condition:
то выражение (1) принимает вид:then expression (1) takes the form:
Момент, формируемый силовым электродом 4, определяется по формуле:The moment formed by the power electrode 4 is determined by the formula:
где ε - диэлектрическая проницаемость среды в зазоре между электродами; S - площадь электродов, образующих конденсаторы емкостных датчиков; x0 - начальный зазор между электродами;where ε is the dielectric constant of the medium in the gap between the electrodes; S is the area of the electrodes forming the capacitors of the capacitive sensors; x 0 is the initial gap between the electrodes;
Для дифференциального управления выражение (4) принимает вид:For differential control, expression (4) takes the form:
где V1,2=V0±ΔV - напряжения, прикладываемые к силовым электродам;where V 1,2 = V 0 ± ΔV are the voltages applied to the power electrodes;
V0 - постоянное напряжение смещения; ΔV - напряжение управления.V 0 - constant bias voltage; ΔV is the control voltage.
Откуда коэффициент передачи в обратной связи равен:Where does the transmission coefficient in feedback equal to:
Соответственно, подставляя Кос в выражение (3), получаем зависимость сигнала управления Uупр от зазора x0:Accordingly, substituting K OS in the expression (3), we obtain the dependence of the control signal U CPR from the gap x 0 :
Т.к. М изменяется по гармоническому закону:Because M changes according to a harmonic law:
где Ma - амплитуда; ωγ - частота первичных колебаний.where M a is the amplitude; ω γ is the frequency of the primary oscillations.
Таким образом, выходной сигнал с усилителя 11 поступает на умножитель 12, где перемножается с сигналом, сдвинутым фазовращателем 15 на 90° по отношению к напряжению на выходе устройства измерения перемещений 6 по оси первичных колебаний. Затем сигнал, содержащий только полезную составляющую, фильтруется на ФНЧ 13:Thus, the output signal from the amplifier 11 is supplied to the multiplier 12, where it is multiplied with the signal shifted by the phase shifter 15 by 90 ° with respect to the voltage at the output of the displacement measuring device 6 along the axis of the primary vibrations. Then the signal containing only the useful component is filtered on the low-pass filter 13:
Принцип работы устройства измерения перемещений подробно рассмотрен в описании устройства патента РФ №2289789.The principle of operation of the displacement measuring device is described in detail in the description of the device of the patent of the Russian Federation No. 2289789.
Сигналом, пропорциональным смещению подвижной массы, является выходной сигнал выпрямителя 32. Выделение этого сигнала поясняется фиг.2.The signal proportional to the displacement of the moving mass is the output signal of the
Для суммы токов, протекающих через электроды дифференциальных емкостных датчиков по оси вторичных колебаний, справедливо выражение:For the sum of the currents flowing through the electrodes of the differential capacitive sensors along the axis of the secondary oscillations, the expression is true:
Для плоскопараллельных дифференциальных емкостных датчиков можно считать, что емкости 16 и 17 изменяются в соответствии с выражениями:For plane-parallel differential capacitive sensors, we can assume that the
х1, x2 - зазоры между электродами датчиков, которые пропорциональны величине:x 1 , x 2 - the gaps between the electrodes of the sensors, which are proportional to the value:
Δx - смещение подвижной массы.Δx is the displacement of the moving mass.
Из выражений (10-14) можно получить следующее выражение:From expressions (10-14), we can obtain the following expression:
где U - напряжение на выходе генератора переменного напряжения 34; ω - угловая частота напряжения.where U is the voltage at the output of the alternating
При малых (по сравнению с величиной зазора x0) перемещениях подвижной массы (Δx) выражение (15) примет вид:For small (compared with the gap x 0 ) displacements of the moving mass (Δx), expression (15) takes the form:
Т.е. измеренная сумма токов обратно пропорциональна зазору между электродами. Следовательно, сигнал на втором выходе устройства измерения перемещений пропорционален величине:Those. the measured sum of currents is inversely proportional to the gap between the electrodes. Therefore, the signal at the second output of the displacement measuring device is proportional to:
Поэтому этот сигнал можно использовать в законе управления (в обработке информации) для компенсации изменения зазора в сигнале U13.Therefore, this signal can be used in the control law (in information processing) to compensate for the change in the gap in the signal U 13 .
Для этого в устройстве с изменяемым коэффициентом передачи 14 реализован следующий алгоритм:To this end, the following algorithm is implemented in a device with a variable transmission coefficient 14:
где Х, Y и Z - соответственно сигналы на первом и втором входах и выходе устройства с изменяемым коэффициентом передачи; К - коэффициент преобразования.where X, Y and Z are the signals at the first and second inputs and output of the device with a variable transmission coefficient, respectively; K is the conversion coefficient.
На основании формул (9, 17, 18) сигнал на выходе устройства с изменяемым коэффициентом передачи 14 пропорционален:Based on formulas (9, 17, 18), the signal at the output of the device with a variable transmission coefficient 14 is proportional to:
и не зависит от зазора.and does not depend on the gap.
Выходной сигнал устройства с изменяемым коэффициентом передачи является выходным сигналом ММГ, пропорциональным действующей угловой скорости основания ММГ.The output signal of the device with a variable transmission coefficient is the output signal MMG, proportional to the effective angular velocity of the base MMG.
Следовательно, наличие этого блока и введение в схеме измерения перемещения дополнительного сигнала о смещении ротора гироскопа позволяет компенсировать изменения характеристик силовых электродов при воздействии на ММГ вибраций и температуры.Therefore, the presence of this unit and the introduction of an additional signal on the displacement of the gyroscope rotor in the measurement circuit of the gyroscope allows one to compensate for changes in the characteristics of the power electrodes when exposed to vibration and temperature on the MMG.
Устройство с изменяемым коэффициентом передачи 14 может быть выполнено на основе аналоговых умножителей или с использованием цифровых процессоров. Суть изобретения не меняется при реализации отдельных элементов предложенного устройства на другой, кроме приводимой в качестве примера, элементной базе.The device with a variable gain 14 can be performed on the basis of analog multipliers or using digital processors. The essence of the invention does not change when implementing the individual elements of the proposed device to another, except as an example, element base.
Claims (1)
где X, Y и Z - соответственно сигналы на первом и втором входах и выходе устройства с изменяемым коэффициентом передачи; К - коэффициент преобразования. A compensation-type micromechanical gyroscope containing an inertial mass, a comb engine formed by combs of stators and a rotor, a device for measuring inertial mass displacements along the primary oscillation axis, a device for measuring inertial mass displacements along the secondary oscillation axis, having two outputs, two pairs of electrodes along the secondary oscillation axis, one of which is a measuring one, the other is a power one, a device for exciting primary vibrations, connected between a device for measuring displacements along the axis of the first oscillations and electrodes of the comb engine, a differentiating element and an amplifier connected in series between the first output of the device for measuring displacements along the axis of secondary vibrations and a pair of power electrodes along the axis of secondary vibrations, a quadrature suppression device, one input of which is connected to the output of the device for measuring displacements along the axis of primary oscillations, the second input of the quadrature suppression device is connected to the first output of the device for measuring displacements along the axis of the secondary oscillations, the output quadrature suppression devices connected to a pair of power electrodes along the axis of secondary vibrations, an amplifier with a constant gain connected between a device for measuring displacements along the axis of primary vibrations and a pair of power electrodes along the axis of secondary vibrations, a phase shifter, a multiplier and a low-pass filter connected in series, the input of the phase shifter is connected to the output of the device for measuring displacements along the axis of the primary oscillations, and the second input of the multiplier is connected to the output of the amplifier, characterized in that in additionally introduced a device with a variable transmission coefficient connected to the output of the low-pass filter, and the second input of the device with a variable transmission coefficient is connected to the second output of the device for measuring displacements along the axis of secondary vibrations, while the device with a variable transmission coefficient implements the following dependence: Z = K X Y 2
where X, Y and Z are, respectively, the signals at the first and second inputs and output of the device with a variable transmission coefficient; K is the conversion coefficient.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2010150708/28A RU2471149C2 (en) | 2010-12-07 | 2010-12-07 | Compensation-type micromechanical gyroscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2010150708/28A RU2471149C2 (en) | 2010-12-07 | 2010-12-07 | Compensation-type micromechanical gyroscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2010150708A RU2010150708A (en) | 2012-06-20 |
| RU2471149C2 true RU2471149C2 (en) | 2012-12-27 |
Family
ID=46680627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2010150708/28A RU2471149C2 (en) | 2010-12-07 | 2010-12-07 | Compensation-type micromechanical gyroscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2471149C2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2561006C1 (en) * | 2014-06-10 | 2015-08-20 | Акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Micromechanical vibration gyroscope |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2289789C1 (en) * | 2005-09-23 | 2006-12-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Device for measuring displacement of movable mass of micromechanical gyroscope |
| RU2301970C1 (en) * | 2006-01-20 | 2007-06-27 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Micro-mechanical vibration gyroscope |
| US7444869B2 (en) * | 2006-06-29 | 2008-11-04 | Honeywell International Inc. | Force rebalancing and parametric amplification of MEMS inertial sensors |
| US20090056443A1 (en) * | 2006-03-13 | 2009-03-05 | Yishay Sensors Ltd. | Dual-axis resonator gyroscope |
| RU2388999C1 (en) * | 2008-09-01 | 2010-05-10 | Открытое акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Micromechanical gyroscope (versions) and adjustment methods thereof, based on using amplitude-modulated quadrature testing effect |
| RU2393428C1 (en) * | 2008-10-28 | 2010-06-27 | Открытое акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Compensation-type micromechanical gyroscope |
-
2010
- 2010-12-07 RU RU2010150708/28A patent/RU2471149C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2289789C1 (en) * | 2005-09-23 | 2006-12-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Device for measuring displacement of movable mass of micromechanical gyroscope |
| RU2301970C1 (en) * | 2006-01-20 | 2007-06-27 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Micro-mechanical vibration gyroscope |
| US20090056443A1 (en) * | 2006-03-13 | 2009-03-05 | Yishay Sensors Ltd. | Dual-axis resonator gyroscope |
| US7444869B2 (en) * | 2006-06-29 | 2008-11-04 | Honeywell International Inc. | Force rebalancing and parametric amplification of MEMS inertial sensors |
| RU2388999C1 (en) * | 2008-09-01 | 2010-05-10 | Открытое акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Micromechanical gyroscope (versions) and adjustment methods thereof, based on using amplitude-modulated quadrature testing effect |
| RU2393428C1 (en) * | 2008-10-28 | 2010-06-27 | Открытое акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Compensation-type micromechanical gyroscope |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2561006C1 (en) * | 2014-06-10 | 2015-08-20 | Акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Micromechanical vibration gyroscope |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2010150708A (en) | 2012-06-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106629571B (en) | A kind of weak coupling MEMS resonant formula accelerometer based on mode localization effect | |
| US9915532B2 (en) | Method and apparatus for self-calibration of gyroscopes | |
| CN111578923A (en) | Closed-loop control method and system for resonant gyroscope | |
| RU2388999C1 (en) | Micromechanical gyroscope (versions) and adjustment methods thereof, based on using amplitude-modulated quadrature testing effect | |
| Hu et al. | A parametrically amplified MEMS rate gyroscope | |
| EP1497617A2 (en) | Mems gyroscope with parametric gain | |
| Casinovi et al. | Electrostatic self-calibration of vibratory gyroscopes | |
| RU2301970C1 (en) | Micro-mechanical vibration gyroscope | |
| RU2447403C1 (en) | Micromechanical gyroscope | |
| RU2471149C2 (en) | Compensation-type micromechanical gyroscope | |
| RU2344374C1 (en) | Electrode structure for micromechanical gyroscope and micromechanical gyroscope with such structure (versions) | |
| RU2568147C1 (en) | Gyro accelerometer with rotor electrostatic suspension and complete primary info | |
| Shirazi et al. | Combined phase-readout and self-calibration of MEMS gyroscopes | |
| RU2566655C1 (en) | Measurement of apparent acceleration and piezoelectric accelerometer to this end | |
| RU2296301C1 (en) | Method and device for measuring movement of movable mass of micro-mechanical gyroscope along axis of secondary oscillations | |
| RU178349U1 (en) | Micromechanical gyroscope | |
| US20170254645A1 (en) | Angular velocity detection circuit, angular velocity detection device, electronic apparatus, and moving object | |
| RU2393428C1 (en) | Compensation-type micromechanical gyroscope | |
| RU2308682C1 (en) | Method of adjusting resonance frequency of suspension of movable mass of gyroscope | |
| RU2447402C1 (en) | Compensation-type micromechanical gyroscope | |
| CN111623759B (en) | Method for accelerating zero-offset stabilization time of micro-electromechanical gyroscope | |
| RU2274833C1 (en) | Device for transforming signals of micro-mechanical vibration-type gyroscope | |
| RU2370733C1 (en) | Vibration-type micromechanical gyro | |
| RU2626570C1 (en) | Micromechanical gyroscope rr-type | |
| RU2490592C1 (en) | Prof vavilov's microgyro |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20121208 |