RU2447402C1 - Compensation-type micromechanical gyroscope - Google Patents

Compensation-type micromechanical gyroscope Download PDF

Info

Publication number
RU2447402C1
RU2447402C1 RU2010150707/28A RU2010150707A RU2447402C1 RU 2447402 C1 RU2447402 C1 RU 2447402C1 RU 2010150707/28 A RU2010150707/28 A RU 2010150707/28A RU 2010150707 A RU2010150707 A RU 2010150707A RU 2447402 C1 RU2447402 C1 RU 2447402C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
axis
output
measuring
along
electrodes
Prior art date
Application number
RU2010150707/28A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Яков Анатольевич Некрасов (RU)
Яков Анатольевич Некрасов
Николай Владимирович Моисеев (RU)
Николай Владимирович Моисеев
Original Assignee
Яков Анатольевич Некрасов
Николай Владимирович Моисеев
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Яков Анатольевич Некрасов, Николай Владимирович Моисеев filed Critical Яков Анатольевич Некрасов
Priority to RU2010150707/28A priority Critical patent/RU2447402C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2447402C1 publication Critical patent/RU2447402C1/en

Links

Images

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

FIELD: physics.
SUBSTANCE: in a compensation-type micromechanical gyroscope, between an amplifier, which is connected to a differentiating link, and power electrodes on the axis of secondary oscillations, there is a device with a variable transfer constant, the second input of which is connected to the second output of the device for measuring displacement on the axis of secondary oscillations. The device with variable transfer constant realises the relationship
Figure 00000012
where X, Y and Z are, respectively, signals at the first and second inputs and the output of the device with variable transfer constant.
EFFECT: invention increases accuracy of the gyroscope by compensating for changes in the interelectrode gap of the sensitive element, caused by temperature and linear effects.
2 cl, 2 dwg

Description

Предлагаемое устройство относится к приборам, измеряющим угловую скорость, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ).The proposed device relates to devices that measure angular velocity, in particular to micromechanical gyroscopes (MMG).

Чувствительный элемент микромеханических датчиков представляет собой инерционную массу, подвешенную на упругих элементах, торсионах, соединенных с основанием. Электроды инерционной массы образуют с электродами основания конденсаторы. При воздействии угловой скорости изменяется зазор между электродами, что приводит к изменению емкости.The sensitive element of the micromechanical sensors is an inertial mass suspended on elastic elements, torsion bars connected to the base. Inertial mass electrodes form capacitors with base electrodes. When exposed to angular velocity, the gap between the electrodes changes, which leads to a change in capacitance.

Из-за недостаточной жесткости торсионов и способности кремния расширяться под воздействием температуры зазор между электродами может меняться в отсутствие воздействия угловой скорости, при линейных ускорениях и изменении температуры. Изменение зазора приводит к изменению масштабного коэффициента устройства измерения перемещений инерционной массы и появлению ошибок измерений в выходном сигнале.Due to the insufficient rigidity of the torsion bars and the ability of silicon to expand under the influence of temperature, the gap between the electrodes can change in the absence of angular velocity, with linear accelerations and temperature changes. Changing the gap leads to a change in the scale factor of the device for measuring the inertial mass displacements and the appearance of measurement errors in the output signal.

Для компенсации изменений зазора применяются различные схемы. В патенте США №6765305 описана схема компенсации изменения зазора в канале первичных колебаний. Информация о зазоре содержится в выходном сигнале регулятора 119 в обратной связи. Эта информация используется для изменения масштабного коэффициента усилителя 121, усиливающего разность выходных сигналов преобразователей 112 и 114. За счет введения глубокой обратной связи в выходных сигналах преобразователей 112 и 114 отсутствует информация о величине зазора. В устройстве, описанном в патенте РФ №2289789, величина зазора также определяется суммированием сигналов с усилителей 7 и 8. Величина амплитуды полученного сигнала, которая выделяется в выпрямителе 22, используется для изменения коэффициента передачи устройства с изменяемым коэффициентом передачи 16. При этом, на выходах трансрезистивных усилителей присутствует информация, как о перемещении инерционной массы, так и о величине зазора.To compensate for changes in the gap, various schemes are used. US Pat. No. 6,765,305 describes a compensation scheme for changing a gap in a primary oscillation channel. Information about the gap is contained in the output of the regulator 119 in feedback. This information is used to change the scale factor of the amplifier 121, amplifying the difference between the output signals of the converters 112 and 114. Due to the introduction of deep feedback in the output signals of the converters 112 and 114 there is no information about the gap. In the device described in the patent of the Russian Federation No. 2289789, the gap value is also determined by summing the signals from amplifiers 7 and 8. The amplitude of the received signal, which is allocated in the rectifier 22, is used to change the transmission coefficient of the device with a variable transmission coefficient 16. Moreover, at the outputs transresistive amplifiers there is information about both the movement of the inertial mass and the size of the gap.

В гироскопах компенсационного типа при воздействии угловых скоростей инерционная масса остается в нейтральном положении. Это достигается за счет введения силовой глубокой обратной связи. Управляющие воздействия подаются на датчики момента (силы). Коэффициент передачи датчиков момента, так же как и датчиков перемещения, зависит от величины зазора. Поэтому компенсации коэффициента передачи устройства измерения перемещений для компенсационного гироскопа не достаточно.In gyroscopes of the compensation type, under the influence of angular velocities, the inertial mass remains in the neutral position. This is achieved through the introduction of deep force feedback. Control actions are applied to torque (force) sensors. The transmission coefficient of torque sensors, as well as displacement sensors, depends on the size of the gap. Therefore, compensation of the transfer coefficient of the displacement measuring device for the compensation gyro is not enough.

В патенте WO 2007/105211 описан гироскоп, в котором осуществлена силовая компенсация изменений зазора за счет дополнительных силовых электродов. За счет обратной связи при отклонении инерционной массы на электродах формируются управляющие воздействия, возвращающие ее в нейтральное положение.In patent WO 2007/105211, a gyroscope is described in which power compensation of the gap changes due to additional power electrodes is carried out. Due to feedback, when the inertial mass deviates, control actions are formed on the electrodes that return it to the neutral position.

Недостатком такой реализации является необходимость формирования дополнительных электродов, что приводит к усложнению конструкции датчика либо использованию значительной доли диапазона напряжения, которое допустимо формировать на электродах, для компенсации изменения зазора под действием различных факторов. Это влечет снижение диапазона измеряемых угловых скоростей.The disadvantage of this implementation is the need to form additional electrodes, which leads to a complication of the sensor design or the use of a significant fraction of the voltage range, which is acceptable to form on the electrodes, to compensate for changes in the gap under the influence of various factors. This entails a decrease in the range of measured angular velocities.

Известен микромеханический гироскоп компенсационного типа, описанный в патенте РФ №2393428. Микромеханический гироскоп содержит инерционную массу, гребенчатый двигатель, образованный гребенками статоров и ротора, устройство измерения перемещений инерционной массы по оси первичных колебаний, устройство измерения перемещений инерционной массы по оси вторичных колебаний, имеющее два выхода, две пары электродов по оси вторичных колебаний, одна из которых является измерительной, другая - силовой, устройство возбуждения первичных колебаний, включенное между устройством измерения перемещений по оси первичных колебаний и электродами гребенчатого двигателя, последовательно включенные дифференцирующее звено и усилитель, включенные между первым выходом устройства измерения перемещений по оси вторичных колебаний и парой силовых электродов по оси вторичных колебаний, последовательно включенные фазовращатель, умножитель и фильтр низкой частоты, вход фазовращателя подключен к выходу устройства измерения перемещений по оси первичных колебаний, а второй вход умножителя соединен с выходом усилителя, устройство подавления квадратуры, один вход которого подключен к выходу устройства измерения перемещений по оси первичных колебаний, второй вход которого подключен к первому выходу устройства измерения перемещений по оси вторичных колебаний, выход соединен с парой силовых электродов по оси вторичных колебаний, усилитель с постоянным коэффициентом усиления, включенный между устройством измерения перемещений по оси первичных колебаний и парой силовых электродов по оси вторичных колебаний.Known micromechanical gyroscope compensation type described in the patent of the Russian Federation No. 2393428. A micromechanical gyroscope contains an inertial mass, a comb engine formed by combs of stators and a rotor, a device for measuring inertial mass displacements along the axis of primary oscillations, a device for measuring inertial mass displacements along the secondary oscillation axis, having two outputs, two pairs of electrodes along the secondary oscillation axis, one of which is a measuring one, another one is a power one, a device for exciting primary vibrations connected between a device for measuring displacements along the axis of primary vibrations and electric the comb engine, the differential link and the amplifier connected in series between the first output of the displacement measuring device along the secondary axis and the pair of power electrodes along the secondary axis, the phase shifter, multiplier and low-pass filter connected in series, the input of the phase shifter is connected to the output of the displacement measuring device the axis of the primary oscillations, and the second input of the multiplier is connected to the output of the amplifier, a quadrature suppression device, one input of which is connected to the output of the device for measuring displacements along the axis of primary vibrations, the second input of which is connected to the first output of the device for measuring displacements along the axis of secondary vibrations, the output is connected to a pair of power electrodes along the axis of secondary oscillations, an amplifier with a constant gain connected between the device for measuring displacements along the axis of primary vibrations and a pair of power electrodes along the axis of the secondary vibrations.

Устройство, описанное в патенте РФ №2393428, является наиболее близким к предлагаемому устройству и выбрано в качестве прототипа.The device described in the patent of the Russian Federation No. 2393428 is the closest to the proposed device and is selected as a prototype.

Недостатком прототипа является отсутствие компенсации изменений межэлектродного зазора, что приводит к ошибкам измерения угла отклонения инерционной массы, изменению коэффициента передачи силовых электродов по оси вторичных колебаний и, как следствие, к появлению ошибки измерений в выходном сигнале гироскопа.The disadvantage of the prototype is the lack of compensation for changes in the interelectrode gap, which leads to errors in measuring the angle of deviation of the inertial mass, a change in the transmission coefficient of the power electrodes along the axis of secondary vibrations, and, as a result, to the appearance of measurement errors in the output signal of the gyroscope.

Задачей, на решение которой направлено изобретение, является повышение точности гироскопа за счет уменьшения влияния температуры и линейных воздействий.The problem to which the invention is directed, is to increase the accuracy of the gyroscope by reducing the influence of temperature and linear effects.

Решение указанной задачи достигается тем, что в микромеханический гироскоп компенсационного типа между усилителем, соединенным с дифференцирующим звеном, и силовыми электродами по оси вторичных колебаний введено устройство с изменяемым коэффициентом передачи, второй вход которого соединен со вторым выходом устройства измерения перемещения по оси вторичных колебаний. Кроме того, решение указанной задачи достигается тем, что устройство с изменяемым коэффициентом передачи реализует следующую зависимостьThe solution to this problem is achieved by the fact that a device with a variable transmission coefficient is introduced into the micromechanical gyroscope of the compensation type between the amplifier connected to the differentiating element and the power electrodes along the secondary axis, the second input of which is connected to the second output of the device for measuring displacement along the secondary axis. In addition, the solution of this problem is achieved by the fact that a device with a variable transmission coefficient implements the following dependence

Figure 00000001
Figure 00000001

где X, Y и Z - соответственно сигналы на первом и втором входах и выходе устройства с изменяемым коэффициентом передачи.where X, Y and Z are, respectively, the signals at the first and second inputs and output of the device with a variable transmission coefficient.

Основное преимущество предлагаемого изобретения обусловлено заявленной совокупностью признаков.The main advantage of the invention is due to the claimed combination of features.

Заявленное устройство поясняется чертежами.The claimed device is illustrated by drawings.

На фиг.1 приведена блок-схема предлагаемого устройства. На фиг.2 приведена блок-схема устройства измерения перемещений.Figure 1 shows a block diagram of the proposed device. Figure 2 shows a block diagram of a device for measuring displacement.

На фиг.1 и 2 приняты следующие обозначения:Figure 1 and 2 adopted the following notation:

1 - чувствительный элемент (ЧЭ) микромеханического гироскопа;1 - sensitive element (SE) of a micromechanical gyroscope;

2 - инерционная масса;2 - inertial mass;

3 - измерительные электроды;3 - measuring electrodes;

4 - силовые электроды;4 - power electrodes;

5, 7 - устройство измерения перемещений;5, 7 - device for measuring displacements;

6, 30 - фазовращатели;6, 30 - phase shifters;

8, - усилитель;8 - amplifier;

9 - дифференцирующее звено;9 - differentiating link;

10 - устройство подавления квадратуры;10 is a quadrature suppression device;

11 - умножитель;11 - multiplier;

12 - фильтр низких частот;12 - low pass filter;

13 - усилитель с постоянным коэффициентом усиления;13 - amplifier with a constant gain;

14 - устройство с изменяемым коэффициентом передачи;14 - a device with a variable transmission coefficient;

15 - устройство возбуждения первичных колебаний;15 - a device for exciting primary oscillations;

16, 17 - конденсаторы, образованные инерционной массой 2 и измерительными электродами;16, 17 - capacitors formed by inertial mass 2 and measuring electrodes;

18, 19, 26-28 - резисторы;18, 19, 26-28 - resistors;

20, 21, 25 - операционные усилители;20, 21, 25 - operational amplifiers;

22, 23 - трансрезистивные усилители;22, 23 - transresistive amplifiers;

24 - дифференциальный усилитель;24 - differential amplifier;

29 - суммирующее устройство;29 - a summing device;

31 - демодулятор;31 - demodulator;

32 - устройство с изменяемым коэффициентом передачи;32 - a device with a variable transmission coefficient;

33 - выпрямитель;33 - rectifier;

34 - устройство возбуждения первичных колебаний.34 is a device for exciting primary vibrations.

Чувствительный элемент 1 состоит из инерционной массы 2, измерительных электродов по осям первичных и вторичных колебаний 3 и силовых электродов 4, которые вместе с инерционной массой 2 по оси первичных колебаний образуют гребенчатый двигатель. К измерительным электродам 3 подключены устройства измерения перемещений 5 и 7, преобразующие емкость в напряжение. К первому выходу емкостного датчика 7 по оси вторичных колебаний последовательно подключены дифференцирующее звено 9 и усилитель 13 и устройство с изменяемым коэффициентом передачи 14, первый вход устройства подавления квадратуры 10. Выход усилителя 13 соединен с силовыми электродами 4 ЧЭ 1. К выходу емкостного датчика 5 по оси первичных колебаний подключены фазовращатель 6, второй вход устройства подавления квадратуры 10 и усилитель с постоянным коэффициентом усиления 8. Выход устройства подавления квадратуры 10 и выход усилителя 8 соединены с силовыми электродами 4 ЧЭ 1. Второй вход умножителя 11 соединен с выходом фазовращателя 6 и выходом усилителя 13. Выход умножителя 11 соединен с входом фильтра низкой частоты 12.The sensing element 1 consists of an inertial mass 2, measuring electrodes along the axes of primary and secondary vibrations 3 and power electrodes 4, which together with the inertial mass 2 along the axis of primary vibrations form a comb engine. The measuring electrodes 3 are connected to the displacement measuring devices 5 and 7, which convert the capacitance to voltage. To the first output of the capacitive sensor 7 along the axis of the secondary oscillations, a differentiating link 9 and an amplifier 13 and a device with a variable gear ratio 14, the first input of the quadrature suppression device 10 are connected in series 10. The output of the amplifier 13 is connected to the power electrodes 4 of the CE 1. To the output of the capacitive sensor 5 the axis of the primary oscillations are connected to the phase shifter 6, the second input of the quadrature suppressor 10 and an amplifier with a constant gain 8. The output of the quadrature suppressor 10 and the output of the amplifier 8 are connected to power electrodes 4 SE 1. The second input of the multiplier 11 is connected to the output of the phase shifter 6 and the output of the amplifier 13. The output of the multiplier 11 is connected to the input of the low-pass filter 12.

Устройство работает следующим образом.The device operates as follows.

Под действием угловой скорости основания инерционная масса 2 стремится отклониться от нейтрального положения. В контуре обратной связи, образованном дифференцирующим звеном 9, усилителем 13 и устройством с изменяемым коэффициентом передачи 14, формируется сигнал управления, который возвращает инерционную массу в нейтральное положение.Under the influence of the angular velocity of the base, the inertial mass 2 tends to deviate from the neutral position. In the feedback loop formed by the differentiating link 9, the amplifier 13 and the device with a variable gear ratio 14, a control signal is generated that returns the inertial mass to the neutral position.

Момент, формируемый парой силовых электродов, при дифференциальном управлении определяется по формулеThe moment formed by a pair of power electrodes in differential control is determined by the formula

Figure 00000002
Figure 00000002

где ε - диэлектрическая проницаемость среды в зазоре между электродами, S - площадь перекрытия между электродами, d - зазор между электродами, V0 - постоянное напряжение смещения на электродах, ΔV - напряжение управления, V1,2=V0±ΔV.where ε is the dielectric constant of the medium in the gap between the electrodes, S is the overlap area between the electrodes, d is the gap between the electrodes, V 0 is the constant bias voltage at the electrodes, ΔV is the control voltage, V 1,2 = V 0 ± ΔV.

Можно видеть, что изменение зазора d0 при неизменном входном воздействии, приведет к такому изменению сигнала управления ΔV, чтобы значение компенсационного момента не изменилось. А это, в свою очередь, приведет к появлению ошибки на выходе ФНЧ 12.It can be seen that a change in the gap d 0 with a constant input action will lead to such a change in the control signal ΔV so that the value of the compensation moment does not change. And this, in turn, will lead to an error at the output of the low-pass filter 12.

Необходимым условием компенсации является обеспечение постоянства коэффициента передачи в обратной связи, общего коэффициента передачи последовательно соединенных устройства с изменяемым коэффициентом передачи 14 и силовых электродов 4. Для изменения коэффициента передачи устройства 14 используется дополнительный сигнал от устройства измерения перемещения 7. Блок-схема устройства измерения перемещения 7 приведена на Фиг.2A necessary condition for compensation is to ensure the constant transmission coefficient in feedback, the total transmission coefficient of a series-connected device with a variable transmission coefficient 14 and power electrodes 4. To change the transmission coefficient of the device 14, an additional signal from the displacement measuring device is used 7. Block diagram of the displacement measuring device 7 shown in figure 2

Принцип работы устройства измерения перемещений 7 известен из литературы и описан в патенте РФ №2289789. Для измерительных электродов 3 по оси вторичных колебаний, которые образуют с электродами инерционной массы 2 конденсаторы 16 и 17, имеющие плоско-параллельную структуру, выражения напряжений на выходах трансрезистивных усилителей 22, 23 (U22,U23) будут иметь следующий вид:The principle of operation of the displacement measuring device 7 is known from the literature and is described in the patent of the Russian Federation No. 2289789. For measuring electrodes 3 along the axis of secondary oscillations, which form capacitors 16 and 17 with electrodes of inertial mass 2, having a plane-parallel structure, the expressions of the voltages at the outputs of transresistive amplifiers 22, 23 (U22, U23) will have the following form:

Figure 00000003
Figure 00000003

Figure 00000004
Figure 00000004

где U=Esin(ωt) - напряжение источника 34, ω - угловая частота напряжения, d0 - зазор между электродами, Δd - приращения зазора относительно начального зазора d0.where U = Esin (ωt) is the voltage of the source 34, ω is the angular frequency of the voltage, d 0 is the gap between the electrodes, Δd is the increment of the gap relative to the initial gap d 0 .

После суммирования этих сигналов напряжение на выходе сумматора 29 имеет вид:After summing these signals, the voltage at the output of the adder 29 has the form:

Figure 00000005
Figure 00000005

Сигнал на выходе выпрямителя 33 (U33) пропорционален величинеThe signal at the output of rectifier 33 (U33) is proportional to

Figure 00000006
Figure 00000006

С учетом выражений (1), (2) и (6) можно показать, что момент, формируемый парой силовых электродов, равенTaking into account expressions (1), (2) and (6), it can be shown that the moment formed by a pair of power electrodes is

Figure 00000007
Figure 00000007

Откуда коэффициент передачи в обратной связи равенWhere does the feedback coefficient from

Figure 00000008
Figure 00000008

и не зависит от величины зазора между электродами d0.and does not depend on the gap between the electrodes d 0 .

Устройство 14 может быть выполнено на основе аналоговых умножителей или с использованием цифровых процессоров. Суть изобретения не меняется при реализации отдельных элементов предложенного устройства на другой, кроме приводимой в качестве примера, элементной базе.The device 14 can be made on the basis of analog multipliers or using digital processors. The essence of the invention does not change when implementing the individual elements of the proposed device to another, except as an example, element base.

Claims (2)

1. Микромеханический гироскоп компенсационного типа, содержащий инерционную массу, гребенчатый двигатель, образованный гребенками статоров и ротора, устройство измерения перемещений инерционной массы по оси первичных колебаний, устройство измерения перемещений инерционной массы по оси вторичных колебаний, имеющее два выхода, две пары электродов по оси вторичных колебаний, одна из которых является измерительной, другая - силовой, устройство возбуждения первичных колебаний, включенное между устройством измерения перемещений по оси первичных колебаний и электродами гребенчатого двигателя, последовательно включенные дифференцирующее звено и усилитель, включенные между первым выходом устройства измерения перемещений по оси вторичных колебаний и парой силовых электродов по оси вторичных колебаний, последовательно включенные фазовращатель, умножитель и фильтр низкой частоты, вход фазовращателя подключен к выходу устройства измерения перемещений по оси первичных колебаний, а второй вход умножителя соединен с выходом усилителя, устройство подавления квадратуры, один вход которого подключен к выходу устройства измерения перемещений по оси первичных колебаний, второй вход которого подключен к первому выходу устройства измерения перемещений по оси вторичных колебаний, выход соединен с парой силовых электродов по оси вторичных колебаний, усилитель с постоянным коэффициентом усиления, включенный между устройством измерения перемещений по оси первичных колебаний и парой силовых электродов по оси вторичных колебаний, отличающийся тем, что между усилителем, соединенным с дифференцирующим звеном и силовыми электродами по оси вторичных колебаний, введено устройство с изменяемым коэффициентом передачи, второй вход которого соединен со вторым выходом устройства измерения перемещения по оси вторичных колебаний.1. A compensation-type micromechanical gyroscope containing an inertial mass, a comb engine formed by combs of stators and a rotor, a device for measuring inertial mass displacements along the primary oscillation axis, a device for measuring inertial mass displacements along the secondary oscillation axis, having two outputs, two pairs of electrodes along the secondary axis oscillations, one of which is measuring, the other is power, a device for exciting primary vibrations, connected between a device for measuring displacements along the axis primary oscillations and electrodes of the comb engine, a differentiating element and an amplifier connected in series, connected between the first output of the device for measuring displacements along the axis of secondary vibrations and a pair of power electrodes along the axis of secondary vibrations, a phase shifter, a multiplier and a low-pass filter connected in series, the input of the phase shifter is connected to the output of the device measuring the displacements along the axis of the primary oscillations, and the second input of the multiplier is connected to the output of the amplifier, a quadrature suppression device, one the input of which is connected to the output of the device for measuring displacements along the axis of the primary oscillations, the second input of which is connected to the first output of the device for measuring displacements along the axis of secondary vibrations, the output is connected to a pair of power electrodes along the axis of secondary vibrations, an amplifier with a constant gain connected between the device for measuring displacements along the axis of primary vibrations and a pair of power electrodes along the axis of secondary vibrations, characterized in that between the amplifier connected to the differentiating element and the force With the help of electrodes along the axis of secondary vibrations, a device with a variable transmission coefficient is introduced, the second input of which is connected to the second output of the device for measuring displacement along the axis of secondary vibrations. 2. Микромеханический гироскоп компенсационного типа по п.1, отличающийся тем, что устройство с изменяемым коэффициентом передачи реализует следующую зависимость
Figure 00000009
, где X, Y и Z - соответственно сигналы на первом и втором входах и выходе устройства с изменяемым коэффициентом передачи. 2. The micromechanical gyroscope of the compensation type according to claim 1, characterized in that the device with a variable transmission coefficient implements the following dependence
Figure 00000009
, where X, Y, and Z are the signals at the first and second inputs and output of the device with a variable transmission coefficient, respectively.
RU2010150707/28A 2010-12-07 2010-12-07 Compensation-type micromechanical gyroscope RU2447402C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010150707/28A RU2447402C1 (en) 2010-12-07 2010-12-07 Compensation-type micromechanical gyroscope

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010150707/28A RU2447402C1 (en) 2010-12-07 2010-12-07 Compensation-type micromechanical gyroscope

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2447402C1 true RU2447402C1 (en) 2012-04-10

Family

ID=46031765

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010150707/28A RU2447402C1 (en) 2010-12-07 2010-12-07 Compensation-type micromechanical gyroscope

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2447402C1 (en)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6765305B2 (en) * 2000-04-12 2004-07-20 Robert Bosch Gmbh Sensor-independent oscillation amplitude control
RU2289789C1 (en) * 2005-09-23 2006-12-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" Device for measuring displacement of movable mass of micromechanical gyroscope
RU2301970C1 (en) * 2006-01-20 2007-06-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" Micro-mechanical vibration gyroscope
US7444869B2 (en) * 2006-06-29 2008-11-04 Honeywell International Inc. Force rebalancing and parametric amplification of MEMS inertial sensors
RU2388999C1 (en) * 2008-09-01 2010-05-10 Открытое акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" Micromechanical gyroscope (versions) and adjustment methods thereof, based on using amplitude-modulated quadrature testing effect
RU2393428C1 (en) * 2008-10-28 2010-06-27 Открытое акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" Compensation-type micromechanical gyroscope

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6765305B2 (en) * 2000-04-12 2004-07-20 Robert Bosch Gmbh Sensor-independent oscillation amplitude control
RU2289789C1 (en) * 2005-09-23 2006-12-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" Device for measuring displacement of movable mass of micromechanical gyroscope
RU2301970C1 (en) * 2006-01-20 2007-06-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" Micro-mechanical vibration gyroscope
US7444869B2 (en) * 2006-06-29 2008-11-04 Honeywell International Inc. Force rebalancing and parametric amplification of MEMS inertial sensors
RU2388999C1 (en) * 2008-09-01 2010-05-10 Открытое акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" Micromechanical gyroscope (versions) and adjustment methods thereof, based on using amplitude-modulated quadrature testing effect
RU2393428C1 (en) * 2008-10-28 2010-06-27 Открытое акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" Compensation-type micromechanical gyroscope

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Kline et al. Quadrature FM gyroscope
US7444869B2 (en) Force rebalancing and parametric amplification of MEMS inertial sensors
Hu et al. A parametrically amplified MEMS rate gyroscope
RU2388999C1 (en) Micromechanical gyroscope (versions) and adjustment methods thereof, based on using amplitude-modulated quadrature testing effect
CN101680910A (en) Method of work and circuit structure with capacitance type micro mechanical sensor of analog reset
CN109596115B (en) Nested ring type vibration gyro nonlinear effect suppression method
Rao et al. A high-resolution area-change-based capacitive MEMS tilt sensor
JP6518699B2 (en) Accelerometer
RU2301970C1 (en) Micro-mechanical vibration gyroscope
RU2344374C1 (en) Electrode structure for micromechanical gyroscope and micromechanical gyroscope with such structure (versions)
RU2447403C1 (en) Micromechanical gyroscope
RU2447402C1 (en) Compensation-type micromechanical gyroscope
WO2019032179A1 (en) A silicon multi-mode coriolis vibratory gyroscopes having high order rotationally symmetric mechanical structure and 32 electrodes
JP5684374B2 (en) Angular velocity sensor with improved aging characteristics
KR20210053194A (en) Methods for closed loop operation of capacitive accelerometers
RU2566655C1 (en) Measurement of apparent acceleration and piezoelectric accelerometer to this end
RU2296301C1 (en) Method and device for measuring movement of movable mass of micro-mechanical gyroscope along axis of secondary oscillations
RU2568147C1 (en) Gyro accelerometer with rotor electrostatic suspension and complete primary info
RU2471149C2 (en) Compensation-type micromechanical gyroscope
Casinovi et al. Gyroscope sensing and self-calibration architecture based on signal phase shift
RU2393428C1 (en) Compensation-type micromechanical gyroscope
RU2411522C1 (en) Compensation accelerometre
RU178349U1 (en) Micromechanical gyroscope
RU2676217C1 (en) Compensation accelerometer
RU2626570C1 (en) Micromechanical gyroscope rr-type

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20121208