RU2456373C1 - Устройство для нанесения металлических покрытий на внутренние поверхности подшипников скольжения cvd-методом металлоорганических соединений - Google Patents
Устройство для нанесения металлических покрытий на внутренние поверхности подшипников скольжения cvd-методом металлоорганических соединений Download PDFInfo
- Publication number
- RU2456373C1 RU2456373C1 RU2011113040/02A RU2011113040A RU2456373C1 RU 2456373 C1 RU2456373 C1 RU 2456373C1 RU 2011113040/02 A RU2011113040/02 A RU 2011113040/02A RU 2011113040 A RU2011113040 A RU 2011113040A RU 2456373 C1 RU2456373 C1 RU 2456373C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- symmetry
- reactor
- axis
- possibility
- spacer ring
- Prior art date
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 title claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 7
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 12
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 abstract description 12
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 abstract description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005272 metallurgy Methods 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 13
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 210000003625 skull Anatomy 0.000 description 3
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 239000008199 coating composition Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Изобретение относится к устройствам для нанесения металлических покрытий на внутренние поверхности подшипников скольжения методом химического осаждения из газовой фазы металлоорганических соединений и может быть использовано в сельскохозяйственном машиностроении и автомобильной промышленности. Устройство содержит реактор с нагревателем и возможностью подвода вовнутрь него реакционной газовой среды и отвода продуктов реакции. Реактор образован двумя одинаковыми крышками, соединенными между собой с возможностью изменения между ними расстояния и последующей его фиксации и обращенными друг к другу, имеющими общую ось симметрии и выполненными с отверстием по оси симметрии для подвода вовнутрь реактора реакционной газовой среды в одной из них и отверстием по оси симметрии для отвода продуктов реакции в другой и выполненными с возможностью установки на внутренней поверхности каждой из них графитового разделительного кольца. На каждом разделительном кольце установлен подшипник скольжения с обеспечением их чередования и образованием их внутренними цилиндрическими поверхностями герметичной зоны металлизации. Оси симметрии каждого подшипника скольжения и каждого графитового разделительного кольца совпадают и расположены на оси симметрии крышек. Устройство позволяет снизить нерациональное расходование реагентов, повысить выход металла в покрытие и исключить нарастание гарнисажа на внутренней поверхности горячей зоны реактора. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
Description
Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий путем термического осаждения из газовой фазы твердых продуктов разложения металлоорганических соединений и может быть использовано в сельскохозяйственном машиностроении и автомобильной промышленности для упрочнения и восстановления деталей, к которым предъявляются требования высокой надежности и долговечности.
Известно устройство для металлизации порошков из газовой среды (А.с. СССР №494223, Кл. B22F 1/00, C23C 11/02, 1974), которое может быть использовано для металлизации малогабаритных изделий. Устройство состоит из полого барабана-реактора со съемной крышкой для загрузки и выгрузки порошка. Внутренняя поверхность барабана выполнена в виде двух усеченных конусов или эллипсов, сопрягаемых основаниями. Внутренняя поверхность крышки представляет собой сегмент. По оси барабана расположена трубка, снабженная охлаждающей рубашкой. На нижней части трубки имеются отверстия для ввода паров карбонила или несущего газа с парами карбонила. Кроме того, трубка по длине разделена перегородкой на две части и снабжена патрубком для отвода продуктов реакции, а также карманом для термопары. Барабан укреплен на трубке с помощью подшипников качения. Концы трубки укреплены на неподвижных стойках. Корпус барабана смонтирован внутри разъемной электрической печи, имеющей отдельную стойку. Вращение барабана осуществляется с помощью электродвигателя и редуктора.
Вследствие интенсивного перемешивания металлизируемых частиц при вращении барабана образуется равномерное покрытие на всех доступных газу поверхностях. Однако наличие встречных диффузионных потоков: паров карбонила к подложке и продуктов реакции от подложки, определяет низкую плотность получаемых покрытий и низкий коэффициент использования исходных соединений, обусловленный разложением соединений на стенках барабана и в его объеме.
Известно устройство для нанесения защитных покрытий на малогабаритные изделия, содержащее реактор с крышкой, патрубки подвода газа и отвода продуктов реакции, нагреватель и жидкостный холодильник (Пат. РФ №2072180, Кл. C23C 16/16, 1995). Реактор выполнен в виде цилиндра с расположенной на его дне вдоль образующей рифленой линейкой. Нагреватель и жидкостный холодильник, выполненный в виде термостатирующего кожуха, и патрубки расположены на противоположных концах цилиндра. Цилиндр имеет возможность качания в вертикальной плоскости.
Особенностью данного устройства является направленное перемещение металлизируемых изделий из холодной зоны реактора, где на металлизируемой поверхности сорбируется карбонил, в горячую зону. В горячей зоне предварительно сорбированный карбонил разлагается только на подложке с образованием плотного покрытия. Недостатком данного устройства является возможность прорыва паров карбонила вдоль верхней образующей при пересыпании слоя изделий в процессе качания реактора. Результатом этого является не только пониженный выход металла в изделие, но и опасность металлизации на внутренней поверхности горячей зоны реактора.
Известно устройство для нанесения защитных покрытий на малогабаритные изделия (Пат. РФ №2192504, Кл. C23C 16/16, 2001, прототип). Реактор устройства выполнен в виде двух вертикально расположенных параллельных корпусов разного диаметра, соединенных в верхней и нижних частях переходниками. Корпус в верхней части имеет нагреватель. Нижней частью он соединен с переходником через усеченный конус, обращенный вершиной вниз, и имеет холодильник, выполненный жидкостным. Корпус меньшего диаметра выполнен в виде цилиндра и расположен вне габаритов нагревателя и холодильника. Механизм перемещения деталей выполнен в виде кольцевой цепи, расположенной по осям параллельных корпусов. На ней закреплены горизонтальные тарелочки. Система привода цепи обеспечивает ее перемещение вверх в корпусе большего диаметра и возвратное перемещение вниз в корпусе меньшего диаметра. Патрубки ввода реакционной газовой среды и отвода продуктов реакции расположены в нижнем и верхнем переходниках. Приспособления для загрузки и выгрузки деталей расположены над верхним срезом нагревателя и в нижней части усеченного конуса. Такое выполнение устройства позволяет несколько снизить нерациональное расходование реагентов, повысить выход металла в покрытие, но коэффициент использования исходных соединений по-прежнему остается невысоким, существует опасность нарастания гарнисажа на внутренней поверхности горячей зоны реактора. Кроме того, данное устройство, как и вышеописанные известные устройства, предназначено для нанесения защитных покрытий на изделие в целом. Необходимость нанесения защитного покрытия, например, только на внутреннюю поверхность изделия не исключает одновременного нанесения покрытия и на внешнюю его поверхность, что приводит к нерациональному расходованию реагентов.
Задачей изобретения является создание устройства, позволяющего снизить нерациональное расходование реагентов, повысить выход металла в покрытие и исключить нарастание гарнисажа на внутренней поверхности горячей зоны реактора.
Технический результат от решения поставленной задачи заключается в снижении себестоимости и повышении качества покрытия изделий, что повышает срок их службы.
Поставленная в изобретении задача решена тем, что в устройстве для нанесения металлических покрытий на внутренние поверхности подшипников скольжения CVD-методом металлоорганических соединений, включающем реактор с нагревателем и возможностью подвода вовнутрь него реакционной газовой среды и отвода продуктов реакции, реактор образован двумя, соединенными между собой с возможностью изменения расстояния между ними и последующей его фиксацией и обращенными друг к другу, имеющими общую ось симметрии одинаковыми крышками с отверстием по оси симметрии для подвода вовнутрь реактора реакционной газовой среды в одной из них и отверстием по оси симметрии для отвода продуктов реакции в другой и выполненными с возможностью установки на внутренней поверхности каждой из них графитового разделительного кольца с последующей установкой на каждом разделительном кольце подшипника скольжения, при этом каждый раз при установке подшипника скольжения его чередуют с графитовым разделительным кольцом, а внутренние цилиндрические поверхности каждого подшипника скольжения и каждого графитового разделительного кольца образуют герметичную зону металлизации, причем оси симметрии каждого подшипника скольжения и каждого графитового разделительного кольца совпадают и расположены на оси симметрии крышек. Крышки снабжены установленными по их периметру в отверстиях с керамическими втулками, по крайней мере, двумя шпильками с резьбой на концах, которые посредством гаек закреплены на крышках.
Конструкция реактора полностью исключает нарастание гарнисажа на внутренней поверхности горячей зоны реактора, поскольку зона металлизации ограничена поверхностью обрабатываемых изделий. Нерациональное расходование реагентов сведено до минимума, а коэффициент использования исходных соединений и выход металла в изделие приближены к 1. Конструкция реактора отличается простотой.
Изобретение иллюстрируется чертежами.
На фиг.1 изображена принципиальная схема устройства для нанесения металлических покрытий на внутренние поверхности подшипников скольжения CVD-методом металлоорганических соединений; на фиг.2 - реактор устройства для нанесения металлических покрытий на внутренние поверхности подшипников скольжения CVD-методом металлоорганических соединений.
Устройство для нанесения металлических покрытий на внутренние поверхности подшипников скольжения CVD-методом металлоорганических соединений включает реактор I с нагревателем II и системой III подвода вовнутрь него реакционной газовой среды и отвода продуктов реакции.
Реактор I образован двумя соединенными между собой с возможностью изменения расстояния между ними и последующей его фиксацией и обращенными друг к другу, имеющими общую ось симметрии одинаковыми крышками 1 и 2. По оси симметрии одной 1 из них имеется отверстие 3 для подвода внутрь реактора реакционной газовой среды, по оси симметрии другой 2 - отверстие 4 для отвода продуктов реакции. Конструкция крышек 1 и 2 такова, что позволяет установить на внутренней поверхности каждой из них графитовое разделительное кольцо 5, служащее в электрической цепи активным сопротивлением, с последующей установкой на каждом разделительном кольце 5 подшипника скольжения 6. Каждый раз при установке подшипника скольжения 6 его чередуют с графитовым разделительным кольцом 5, при этом внутренние цилиндрические поверхности 7 и 8 каждого подшипника скольжения 6 и каждого графитового разделительного кольца 5 образуют герметичную зону металлизации 9. Оси симметрии каждого подшипника скольжения 6 и каждого графитового разделительного кольца 5 совпадают и расположены на оси симметрии крышек 1 и 2. В зависимости от количества подшипников скольжения 6 (в данном случае их 4) расстояние между крышками 1 и 2 изменяется. Чтобы его зафиксировать и придать жесткость конструкции образованного чередующимися между собой обрабатываемыми подшипниками скольжения и графитовыми разделительными кольцами реактора, в крышках 1 и 2 установлены по их периметру в отверстиях 10 и 11 с керамическими (для электроизоляции) втулками 12 и 13, по крайней мере, две шпильки 14 и 15 с резьбой на концах, которые посредством гаек 16 закреплены на крышках 1 и 2. Клеммы 17 для крепления электрических проводов и арматуры расположены по торцам реактора на внешней поверхности крышек 1 и 2.
Заявленное устройство работает следующим образом.
После сборки реактора он устанавливается в устройство для нанесения металлических покрытий на внутренние поверхности подшипников скольжения CVD-методом металлоорганических соединений с присоединением газовой системы к крышкам 1 и 2 и подключением электрооборудования к клеммам 17. В результате металлизации на внутренних поверхностях подшипников скольжения осаждается слой требуемого материала необходимой толщины. Шероховатость поверхностного слоя покрытия обеспечивается механической обработкой восстанавливаемой или упрочняемой поверхности детали и технологическими режимами металлизации.
Заявленное устройство промышленно применимо. Оно использовано для металлизации внутренних поверхностей подшипников скольжения шестеренных насосов НШ-50УА, изготовленных из алюминиевого сплава АК9М2 ГОСТ 1583-93. В устройство монтировались четыре подшипника скольжения. После чего подключалась арматура, подводящая пары металлоорганического соединения (МОС) - дициклопентадиенила никеля Ni(C5H5)2 и отводящая продукты реакций его термической диссоциации. Включался вакуум-насос. При достижении в системе остаточного давления 200 Па через устройство пропускали электрический ток. После восстановления в системе теплового баланса и установки температуры деталей 475±3°C в устройство подавались пары дициклопентадиенила никеля со скоростью 60 л/час. Металлизация длилась 30…60 мин в зависимости от необходимой толщины осаждаемого покрытия. После чего подача паров МОС прекращалась. Полученное никелевое покрытие внутренних поверхностей подшипников скольжения имеет толщину 20…30 мкм, шероховатость поверхностного слоя 0,32 мкм. Адгезия покрытия с материалом подложки обеспечивается качеством разложения дициклопентадиенила никеля при температуре от 400°C и снижением вероятности образования оксидов в составе покрытия за счет использования в конструкции нагревателя (реактора) графитовых разделительных колец.
Применение заявленного устройства для нанесения металлических покрытий на внутренние поверхности подшипников скольжения CVD-методом металлоорганических соединений позволяет сократить расход реагента в 4,7…5,3 раза в зависимости от конструкции серийного подшипника за счет исключения образования покрытия на внутренних стенках реактора и наружных поверхностях деталей. Необходимые физико-механические свойства и толщина получаемых покрытий обеспечиваются оптимальной скоростью подачи паров исходных МОС в зону металлизации.
Claims (2)
1. Устройство для нанесения металлических покрытий на внутренние поверхности подшипников скольжения методом химического осаждения из газовой фазы металлоорганических соединений, содержащее реактор с нагревателем и возможностью подвода вовнутрь него реакционной газовой среды и отвода продуктов реакции, отличающееся тем, что реактор образован двумя одинаковыми крышками, соединенными между собой с возможностью изменения между ними расстояния и последующей его фиксации и обращенными друг к другу, имеющими общую ось симметрии и выполненными с отверстием по оси симметрии для подвода вовнутрь реактора реакционной газовой среды в одной из них и отверстием по оси симметрии для отвода продуктов реакции в другой и выполненными с возможностью установки на внутренней поверхности каждой из них графитового разделительного кольца с последующей установкой на каждом разделительном кольце подшипника скольжения с обеспечением чередования подшипника скольжения и графитового разделительного кольца и образованием их внутренними цилиндрическими поверхностями герметичной зоны металлизации, причем оси симметрии каждого подшипника скольжения и каждого графитового разделительного кольца совпадают и расположены на оси симметрии крышек.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что крышки снабжены установленными по их периметру в отверстиях с керамическими втулками, по крайней мере, двумя шпильками с резьбой на концах, которые посредством гаек закреплены на крышках.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011113040/02A RU2456373C1 (ru) | 2011-04-05 | 2011-04-05 | Устройство для нанесения металлических покрытий на внутренние поверхности подшипников скольжения cvd-методом металлоорганических соединений |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011113040/02A RU2456373C1 (ru) | 2011-04-05 | 2011-04-05 | Устройство для нанесения металлических покрытий на внутренние поверхности подшипников скольжения cvd-методом металлоорганических соединений |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2456373C1 true RU2456373C1 (ru) | 2012-07-20 |
Family
ID=46847411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2011113040/02A RU2456373C1 (ru) | 2011-04-05 | 2011-04-05 | Устройство для нанесения металлических покрытий на внутренние поверхности подшипников скольжения cvd-методом металлоорганических соединений |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2456373C1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU216021U1 (ru) * | 2022-07-22 | 2023-01-13 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Российский государственный аграрный университет - МСХА имени К.А. Тимирязева" (ФГБОУ ВО РГАУ - МСХА имени К.А. Тимирязева) | Устройство для формирования износостойкого покрытия из карбида хрома на восстанавливаемой внутренней поверхности корпуса распылителя форсунки |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2162117C2 (ru) * | 1999-01-21 | 2001-01-20 | Макаров Юрий Николаевич | Способ эпитаксиального выращивания карбида кремния и реактор для его осуществления |
| EP1107297A1 (en) * | 1999-05-17 | 2001-06-13 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for manufacturing semiconductor device and method of manufacture thereof |
| RU2192504C1 (ru) * | 2001-04-23 | 2002-11-10 | Московский государственный институт стали и сплавов (технологический университет) | Устройство для нанесения защитных покрытий на малогабаритные изделия |
| EP1867751A1 (en) * | 1998-03-05 | 2007-12-19 | Nissin Electric Co., Ltd. | Plasma CVD method, plasma CVD device and electrode |
| RU2009101101A (ru) * | 2006-07-12 | 2010-07-20 | ШТАЙН Ральф (DE) | Способ плазменно-химического осаждения из газовой фазы на внутреннюю поверхность полого изделия |
-
2011
- 2011-04-05 RU RU2011113040/02A patent/RU2456373C1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1867751A1 (en) * | 1998-03-05 | 2007-12-19 | Nissin Electric Co., Ltd. | Plasma CVD method, plasma CVD device and electrode |
| RU2162117C2 (ru) * | 1999-01-21 | 2001-01-20 | Макаров Юрий Николаевич | Способ эпитаксиального выращивания карбида кремния и реактор для его осуществления |
| EP1107297A1 (en) * | 1999-05-17 | 2001-06-13 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for manufacturing semiconductor device and method of manufacture thereof |
| RU2192504C1 (ru) * | 2001-04-23 | 2002-11-10 | Московский государственный институт стали и сплавов (технологический университет) | Устройство для нанесения защитных покрытий на малогабаритные изделия |
| RU2009101101A (ru) * | 2006-07-12 | 2010-07-20 | ШТАЙН Ральф (DE) | Способ плазменно-химического осаждения из газовой фазы на внутреннюю поверхность полого изделия |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU216021U1 (ru) * | 2022-07-22 | 2023-01-13 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Российский государственный аграрный университет - МСХА имени К.А. Тимирязева" (ФГБОУ ВО РГАУ - МСХА имени К.А. Тимирязева) | Устройство для формирования износостойкого покрытия из карбида хрома на восстанавливаемой внутренней поверхности корпуса распылителя форсунки |
| RU2836439C1 (ru) * | 2024-05-15 | 2025-03-17 | Константин Михайлович Логачёв | Устройство для осаждения покрытий на подложку CVD и PVD способами |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8308865B2 (en) | Showerhead for chemical vapor deposition and chemical vapor deposition apparatus having the same | |
| CN105143507B (zh) | 化学气相沉积装置 | |
| US9777374B2 (en) | Chemical vapor deposition device | |
| JP5394398B2 (ja) | 固体前駆体昇華器 | |
| TWI435948B (zh) | 氣體噴射單元及使用該氣體噴射單元沈積薄層之裝置及方法 | |
| US4173944A (en) | Silverplated vapor deposition chamber | |
| EP3081668B1 (en) | Vessel and method for delivery of precursor materials | |
| US20170137940A1 (en) | Apparatus and method for coating bulk quantities of solid particles | |
| GB2379450A (en) | Control of gas temperature and distribution in CVD | |
| CN102719809A (zh) | 薄膜沉积系统 | |
| CN106191808B (zh) | 一种化学气相沉积反应器 | |
| JP2019094537A (ja) | 固体材料容器およびその固体材料容器に固体材料が充填されている固体材料製品 | |
| US20150056386A1 (en) | Device for depositing carbon film and method for depositing carbon film | |
| WO2018234285A1 (en) | Solid material container and solid material product with solid material filled in solid material container | |
| CN203947158U (zh) | 一种mocvd反应室的流场挡板机构及mocvd反应室 | |
| KR20080074195A (ko) | 화학증착에 의해서 형성된 기체 저장 컨테이너 라이닝 | |
| CN105826230A (zh) | 晶圆承载装置 | |
| RU2456373C1 (ru) | Устройство для нанесения металлических покрытий на внутренние поверхности подшипников скольжения cvd-методом металлоорганических соединений | |
| JP5009167B2 (ja) | 平板内に設けられた予備室を有するガス分配装置 | |
| CN102947483B (zh) | 包含加热步骤、处理步骤和冷却步骤的热处理方法 | |
| RU2192504C1 (ru) | Устройство для нанесения защитных покрытий на малогабаритные изделия | |
| US20090025639A1 (en) | Gas inlet element for a cvd reactor | |
| KR101312230B1 (ko) | 구형체 물질의 고른 코팅을 위한 ｃｖｄ 장치 | |
| CN216338069U (zh) | 一种晶圆成膜的固定装置 | |
| CN212025452U (zh) | 用于制备石墨托盘CVD-SiC涂层的水平悬挂式旋转装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20160406 |