RU2383956C2 - Способ формования электронагревательного элемента методом пламенного напыления металлической и/или металлооксидной матрицы - Google Patents
Способ формования электронагревательного элемента методом пламенного напыления металлической и/или металлооксидной матрицы Download PDFInfo
- Publication number
- RU2383956C2 RU2383956C2 RU2007117508/09A RU2007117508A RU2383956C2 RU 2383956 C2 RU2383956 C2 RU 2383956C2 RU 2007117508/09 A RU2007117508/09 A RU 2007117508/09A RU 2007117508 A RU2007117508 A RU 2007117508A RU 2383956 C2 RU2383956 C2 RU 2383956C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- metal
- metal oxide
- voltage
- matrix
- oxide matrix
- Prior art date
Links
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 title claims abstract description 106
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 101
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 100
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 99
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 title claims abstract description 99
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 45
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 238000002294 plasma sputter deposition Methods 0.000 title abstract 4
- 238000010285 flame spraying Methods 0.000 claims description 48
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 15
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 7
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 5
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005272 metallurgy Methods 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 3
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 2
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000004836 empirical method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000037361 pathway Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
- H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
- H01C17/22—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming
- H01C17/26—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by converting resistive material
- H01C17/265—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by converting resistive material by chemical or thermal treatment, e.g. oxydation, reduction, annealing
- H01C17/267—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by converting resistive material by chemical or thermal treatment, e.g. oxydation, reduction, annealing by passage of voltage pulses or electric current
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49082—Resistor making
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49082—Resistor making
- Y10T29/49083—Heater type
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
- Y10T29/49155—Manufacturing circuit on or in base
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
- Y10T29/5313—Means to assemble electrical device
- Y10T29/532—Conductor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Control Of Resistance Heating (AREA)
- Surface Heating Bodies (AREA)
Abstract
Изобретение относится к способам изготовления электронагревательных элементов методом пламенного напыления. В способе формования электронагревательного элемента методом пламенного напыления металлической и/или метаплооксидной матрицы металлическую и/или металлооксидную матрицу наносят методом пламенного напыления на изолирующую или проводящую подложку таким образом, чтобы получить более высокое сопротивление, чем необходимо для планируемого использования, при этом на указанную матрицу в поперечном направлении подают импульсное высокое напряжение постоянного тока таким образом, чтобы создать в указанной матрице непрерывные токопроводящие пути, что приводит к достижению постоянной повышенной полной проводимости и, соответственно, пониженного полного сопротивления указанной металлической и/или металлооксидной матрицы с получением требуемого значения сопротивления. Существующее сопротивление матрицы определяют посредством подачи на матрицу дополнительного непрерывно прикладываемого напряжения постоянного тока. Устройство для изготовления электронагревательных элементов содержит средства нанесения металлической и/или металлооксидной матрицы на изолирующую или проводящую подложку методом пламенного напыления, средства подачи непрерывно прикладываемого первого напряжения постоянного тока на матрицу, средства определения сопротивления указанной матрицы, средства подачи второго напряжения постоянного тока на матрицу, средства контроля повышения тока, протекающего через металлооксиднцю матрицу посредством подачи непрерывно прикладываемого первого напряжения постоянного тока. Техническим результатом является достижение постоянной повышенной проводимости и, соответственно, пониженного полного сопротивления металлической и/или металлооксидной матрицы с получением требуемого значения сопротивления. 2 н. и 9 з.п. ф-лы, 1 ил.
Description
Изобретение относится к способам изготовления электронагревательных элементов методом пламенного напыления.
Важным требованием ко всем процессам производства коммерческих электронагревательных элементов является то, чтобы все изготавливаемые элементы имели одинаковое сопротивление с минимально возможным допустимым отклонением.
Традиционный способ изготовления электронагревательных элементов основан на применении лент или проволок из сплавов высокого удельного сопротивления.
Обычно сопротивление стандартных нагревательных элементов, изготовленных из лент или проволок из сплавов высокого удельного сопротивления, имеет допустимое отклонение плюс-минус пять процентов от требуемого для конкретной конструкции элемента.
Однако в последнее время, по мере развития технологий автоматического производства, снижение производственного допустимого отклонения сопротивления стандартных электронагревательных элементов до плюс-минус двух с половиной процентов от требуемого стало обычным явлением.
Из патента GB 0992464 A известен способ, в соответствии с которым для изменения кристаллической структуры тонких танталовых пленок, полученных напылением, используют импульсные напряжения.
Такие напыленные пленки после первичного нанесения содержат разупорядоченные кристаллические структуры, обычно в виде поликристалла с огромным количеством межзеренных границ.
Электрическое сопротивление таких пленок пропорционально числу межзеренных границ внутри поликристаллической металлической матрицы.
Чем больше количество межзеренных границ, тем выше сопротивление.
Патент GB 0992464 A основан на возможности использования для начального упорядочивания поликристаллической структуры теплоты, получаемой в процессе отжига, с помощью которого проводят рекристаллизацию пленки, уменьшая число межзеренных границ, а следовательно, и электрическое сопротивление. Процессы отжига и/или упорядочивания недостаточно точны, поэтому проводят лишь ограниченную термообработку напыленных пленок до уровня рекристаллизации, достаточного для снижения сопротивления до значения, незначительно превышающего требуемое конечное. Затем на напыленную пленку подают серию импульсов высокого напряжения для нагрева с высокой степенью локализации в точках наивысшего сопротивления кристаллической пленки, то есть в межзеренных границах. Фактически проводят локальный отжиг пленки с уменьшением числа межзеренных границ.
Использование этих импульсов высокого напряжения обеспечивает, таким образом, образование в пленке зон нагрева высокой степени локализации, что создает тепловой эффект отжига и/или упорядочивания в микромасштабе и посредством этого изменяет кристаллическую структуру металлической пленки. Отмечается, что нагрев резистора выше его нормальной температуры стабилизации «увеличивает удельное сопротивление пленки», по-видимому, "из-за окисления пленки (приводя к окислению пленки) как на ее поверхности, так и вдоль межзеренных границ".
Из патента JP 1003295 1A известно, что источник высокого импульсного напряжения можно использовать при эксплуатации в непрерывном режиме небольшого нагревательного устройства для нагрева толстой пленки, используемого в печатающей головке.
Хотя это и не заявлено явно, но, по-видимому, термонагревательные элементы, описанные в патенте JP 1003295 IA, изготовлены из полупроводникового материала, нанесенного методом трафаретной печати на оксидноалюминиевую диэлектрическую подложку.
Сопротивление таких устройств уменьшается с ростом температуры, и точное терморегулирование малых цепей затруднено.
В патенте JP 1003295 1А определяют способ использования источника на два напряжения для непрерывного регулирования сопротивления при эксплуатации указанного нагревательного устройства, а следовательно, тепловой мощности и температуры нагревательных элементов, используемых для нагрева печатающей головки.
Начальную энергию подают на нагревательные элементы от источника постоянного тока, в силу чего, по закону Ома, тепловая мощность равна I2R, и для источника постоянного тока 1 при неизменном сопротивлении R тепловая мощность относительно постоянна.
Следовательно, патент JP 1003295 1A относится к способу сохранения постоянства сопротивления полупроводниковых нагревательных элементов с регулируемым сопротивлением путем:
1) подачи на элементы постоянного тока, обеспечивающего уровень тепловой мощности, соответствующий сопротивлению элементов и более низкий по сравнению с требуемым;
2) непрерывной подачи дополнительной электроэнергии в виде импульсов высокого напряжения, величина и частота которых достаточны для обеспечения постоянства сопротивления нагревателей печатающих головок, что позволяет обеспечить постоянство температуры при эксплуатации.
За последнее время разработаны альтернативные способы производства электронагревательных элементов, включающие нанесение окислов металла на изолирующую или проводящую подложку методом пламенного напыления.
С помощью этих способов можно изготавливать элементы первого типа, в которых электрический ток протекает в поперечном направлении с одного электрического контакта на другой через резистивное оксидное покрытие; элементы второго типа, в которых электрический ток протекает вертикально с одной контактной поверхности на другую через резистивный оксидный слой; элементы третьего типа, в которых первичный резистивный оксидный слой объединен со вторым оксидным слоем, обладающим свойством саморегуляции, при этом электрический ток протекает с одной контактной поверхности на другую через оба вышеупомянутых слоя оксидов, которые действуют как последовательно соединенные сопротивления.
Существенно, что эквивалентные резистивные электронагревательные элементы, изготавливаемые методом пламенного напыления резистивных окислов металлов, можно производить с теми же допустимыми отклонениями, что обеспечивает их признание на тех же коммерческих рынках.
Для стандартных резистивных электронагревательных элементов можно легко показать, что, при конкретной конструкции используемой проволоки или ленты из сплава высокого удельного сопротивления, сопротивление таких проволок или лент напрямую зависит от массы материала, применяемого в конкретном элементе.
Тот же самый принцип применяют и к элементам, изготовляемым методом пламенного напыления окислов металлов.
Однако в ходе проведения длительных испытаний изобретателю настоящего изобретения стало ясно, что в то время как массу каждого следующего электрического элемента, изготовленного методом пламенного напыления окислов металлов, можно удерживать в пределах допустимых отклонений менее плюс-минус одного процента, напыленные сопротивления варьируются в пределах плюс-минус десяти процентов от требуемого расчетного значения.
Более того, отклонение сопротивления не соответствует изменениям массы, а представляется независимым.
Были рассмотрены несколько возможных эмпирических способов регулирования различных параметров производственного процесса путем измерения сопротивления каждого следующего элемента при выполнении технологической операции и остановки процесса при достижении каждым элементом заданного значения сопротивления.
Однако такой подход эффективен только до определенной степени и неприменим для использования в крупномасштабном серийном производстве.
Была разработана альтернативная методика, основанная на изменении способа проводимости через резистивную оксидную матрицу.
Общепризнанным и очевидным является тот факт, что при заданной длине стандартной проволоки или ленты из резистивного сплава чем больше площадь поперечного сечения, тем меньше сопротивление и, напротив, тем выше проводимость.
Очевидная причина этого факта состоит в том, что большая площадь поперечного сечения обеспечивает большее количество проводящих путей для электронов, проходящих через кристаллическую матрицу сплава.
Тот же самый принцип применим и к элементам, изготовленным методом пламенного напыления окислов металлов.
Однако металлургический анализ поперечного сечения металлооксидной матрицы, полученной методом пламенного напыления, показывает, что она состоит из зон металла, окруженных зонами соответствующего окисла, а возможные проводящие пути через эту матрицу проходят из одной зоны металла в последующие через промежуточные слои окисла.
В общем случае окислы металлов, расположенные между зонами металлов, в чистом виде представляют собой изоляторы при температурах окружающей среды, поэтому металлические и/или металлооксидные матрицы, нанесенные методом пламенного напыления, не должны проявлять проводящих свойств при низких напряжениях, например 240 В переменного тока, при характерных температурах окружающей среды.
Подробный эмпирический и теоретический анализ показал, что проводимость в металлических и/или металлооксидных матрицах, полученных методом пламенного напыления, обеспечена, по всей вероятности, наличием в оксидных слоях, окружающих зоны металлов, свободных электронов, мигрировавших из упомянутых зон металла и создающих в окисле силовое поле, и что там, где происходит перекрытие или наложение этих силовых полей, электроны перемещаются в направлении приложенного напряжения.
Миграция свободных электронов из зон металла в окружающие оксидные матрицы, по всей вероятности, является результатом того, что работа выхода металлов, формирующих зоны металла, существенно меньше работы выхода окислов, формирующих окружающие матрицы.
Кроме того, окислы, формирующие оксидные матрицы, окружающие зоны металла, не являются стехиометрическими по составу, а кристаллическая структура матрицы не является периодической.
Процесс пламенного напыления определяют расплавленные или полурасплавленные частицы, выбрасываемые на поверхность, где они деформируются, сцепляясь с другими частицами, и быстро охлаждаются.
Поэтому вполне возможно, что разупорядоченные поликристаллические металлические и/или металлооксидные структуры, полученные методом пламенного напыления, не находятся в условиях электронного равновесия и, как следствие, различие работ выхода в металле и окислах металлов вызывает миграцию электронов из зон металла в металлооксидные матрицы с созданием электронного силового поля; при этом интенсивность миграции электронов зависит от разницы соответствующих работ выхода.
Также вполне возможно, что проводимость металлических и/или металлооксидных матриц, полученных методом пламенного напыления, зависит от числа смежных или перекрывающихся электронных силовых полей в металлооксидной матрице, полученной методом пламенного напыления.
Кроме того, возможно изготовление металлических и/или металлооксидных матриц методом пламенного напыления с недостаточном числом смежных перекрывающихся электронных силовых полей, а следовательно, слишком низкой проводимостью, или слишком большим сопротивлением, объема данного металла и/или окисла металла и использование методики, обеспечивающей взаимную связь этих отдельных силовых полей в объеме металлооксидной матрицы и увеличивающей таким образом проводимость указанной металлооксидной матрицы до уровня, необходимого для конкретной конструкции резистивного электронагревательного элемента, изготовленного методом пламенного напыления, с заданным объемом металла и/или окисла металла.
В соответствии с первым аспектом настоящего изобретения представлен способ формования электронагревательного элемента методом пламенного напыления металлической и/или металлооксидной матрицы, при котором указанную металлическую и/или металлооксидную матрицу наносят посредством пламенного напыления на изолирующую или проводящую подложку для получения более высокого сопротивления, чем требуемое для намеченного использования, и далее на матрицу в поперечном направлении подают импульсы высокого напряжения постоянного тока таким образом, чтобы в матрице образовывались непрерывные электропроводящие пути, что приводит к достижению постоянной повышенной полной проводимости и, соответственно, пониженного полного сопротивления металлической и/или металлооксидной матрицы с получением требуемого значения сопротивления.
Предполагается, что начальное, превышающее требуемое сопротивление металлической и/или металлооксидной матрицы, полученной методом пламенного напыления на изолирующую или проводящую подложку, является результатом недостаточного числа смежных или перекрывающихся силовых полей в оксидной матрице для обеспечения требуемых проводимости и сопротивления для конкретной конструкции и конфигурации резистивного электронагревательного элемента, для которого предназначена указанная металлическая и/или металлооксидная матрица.
Предполагается, что электропроводящие пути между отдельными имеющими силовое поле объемами в металлической и/или металлооксидной матрице обеспечивают туннелирование электронов через кристаллическую оксидную матрицу между последовательными имеющими силовое поле проводящими объемами в оксидной матрице.
Существующее сопротивление металлической и/или металлооксидной матрицы можно определить путем подачи на указанную матрицу непрерывно прикладываемого второго напряжения постоянного тока в направлении, в котором предполагается работа оксидной матрицы конкретной конфигурации в качестве резистивного электронагревательного элемента, и определения сопротивления из закона Ома на основе значений непрерывно прикладываемого напряжения постоянного тока и полученного электрического тока.
Предпочтительно, чтобы это напряжение постоянного тока на 10-100 процентов превышало расчетное рабочее значение для получаемого резистивного элемента.
Определено, что число проводящих путей между последовательными имеющими силовое поле проводящими объемами в кристаллической оксидной матрице, образующихся при подаче импульсного высокого напряжения постоянного тока, прямо пропорционально величине указанного высокого напряжения постоянного тока, приложенного к кристаллической металлической и/или металлооксидной матрице, полученной методом пламенного напыления.
Также определено, что число проводящих путей между последовательными имеющими силовое поле проводящими объемами в металлооксидной матрице зависит не только от величины вышеупомянутого высокого напряжения постоянного тока, но также и от числа и частоты подачи импульсов высокого напряжения на металлическую и/или металлооксидную матрицу, полученную методом пламенного напыления.
Далее определено, что чем выше величина высокого напряжения постоянного тока, приложенного к металлической и/или металлооксидной матрице, и чем выше частота и число подаваемых импульсов, тем выше скорость повышения общих токопроводящих свойств металлической и/или металлооксидной матрицы.
Определено, что на скорость образования токопроводящих путей между последовательными проводящими силовыми полями в металлической и/или металлооксидной матрице влияет также подача на оксидную матрицу указанного непрерывно прикладываемого второго напряжения постоянного тока на уровне, превышающем значение, при котором конкретная конструкция и конфигурация металлической и/или металлооксидной матрицы предназначена для работы в качестве резистивного электронагревательного элемента.
Предпочтительно, чтобы величина непрерывно прикладываемого второго напряжения постоянного тока на 10-100 процентов превышала планируемое рабочее напряжение для конкретной конструкции и конфигурации резистивного электронагревательного элемента, полученного методом пламенного напыления металлической и/или металлооксидной матрицы.
Описанный выше способ может быть использован для металлических и/или металлооксидных матриц независимо от направления приложенных рабочих напряжений, от того, получена ли оксидная матрица на изолирующей или электропроводящей подложке, а также соединены ли две или более оксидные матрицы как последовательные или параллельные сопротивления.
Один из предпочтительных вариантов осуществления настоящего способа включает следующие операции:
(а) подачу на металлическую и/или металлооксидную матрицу непрерывно прикладываемого первого напряжения постоянного тока в направлении, в котором предполагается работа металлической и/или металлооксидной матрицы конкретной конфигурации в качестве резистивного электронагревательного элемента;
(b) определение по закону Ома сопротивления металлической и/или металлооксидной матрицы на основе значений непрерывно прикладываемого напряжения постоянного тока и полученного электрического тока;
(c) подачу на металлическую и/или металлооксидную матрицу второго напряжения постоянного тока в том же направлении, что и непрерывно прикладываемое напряжение постоянного тока, указанное в пункте (а); при этом указанное второе напряжение постоянного тока подают на металлическую и/или металлооксидную матрицу, нанесенную методом пламенного напыления, в виде серии высокочастотных импульсов, образующих между последовательными имеющими силовое поле проводящими объемами, расположенными в металлической и/или металлооксидной матрице, проводящие пути и вызывающих увеличение полной проводимости металлической и/или металлооксидной матрицы с соответствующим уменьшением полного сопротивления;
(d) непрерывный контроль увеличения тока, протекающего через металлическую и/или металлооксидную матрицу в результате подачи указанного непрерывно прикладываемого первого напряжения постоянного тока, до тех пор пока расчет, выполненный по закону Ома, не покажет, что полное сопротивление металлической и/или металлооксидной матрицы, полученной методом пламенного напыления, в точности достигает значения, необходимого для того, чтобы эта конкретная конструкция и конфигурация металлической и/или металлооксидной матрицы работала как резистивный электронагревательный элемент, и на этом этапе прекращение подачи обоих постоянных напряжений на указанную металлическую и/или металлооксидную матрицу.
Предпочтительно, чтобы величина первого непрерывно прикладываемого напряжения постоянного тока на 10-100 процентов превышала расчетное рабочее значение для конкретной конструкции или конфигурации резистивного электронагревательного элемента.
Второе напряжение постоянного тока предпочтительно подают таким образом, чтобы контакты под напряжением и контакты нейтрали для обоих источников постоянного напряжения совпадали.
Предпочтительно, чтобы второй источник напряжения постоянного тока выдавал напряжение, выбранное из диапазона от 500 до 5000 В.
Например, значение импульсного второго напряжения постоянного тока первоначально можно установить на низком уровне, скажем, 500 В, и постепенно увеличивать при выполнении шагов (с) и (а) до значения, скажем, 5000 В или выше, в зависимости от различных удельных сопротивлений различных металлических и/или металлооксидных комбинаций, создаваемых металлическими и/или металлооксидными матрицами, полученными методом пламенного напыления.
Для подачи второго, импульсного, высокого напряжения постоянного тока с различными числом и частотой импульсов можно использовать любые устройства: от, например, выключателей с ручным управлением до полупроводниковых и/или емкостных устройств.
При помощи вышеупомянутого способа, варьируя напряжение и частоту импульсов, как изложено в описании шагов (а)-(d), можно получать и изготавливать резистивные электронагревательные элементы различной мощности и сопротивления, но идентичной конструкции и конфигурации.
Универсальность изложенного выше способа изменения проводимости металлических и/или металлооксидных матриц, полученных методом пламенного напыления, позволяет изготавливать резистивные элементы, получаемые методом пламенного напыления, всех вышеупомянутых типов с использованием менее сложного оборудования с автоматическим управлением по сравнению с необходимым при использовании других способов, с соответствующим уменьшением себестоимости.
Преимуществом указанного способа является то, что непрерывная подача на металлические и/или металлооксидные матрицы напряжения постоянного тока большей величины, чем требуемое для работы указанных матриц в качестве резистивных элементов, может играть роль проверочных испытаний, гарантирующих удовлетворительную работу полученных резистивных элементов в течение длительного времени при требуемом более низком рабочем напряжении.
Проводимость металлической и/или металлооксидной матрицы, полученной методом пламенного напыления в соответствии с описанным выше способом, может быть при необходимости еще более увеличена посредством повторного применения указанного способа, но при более высоких значениях напряжения и частоты повторения импульсов.
Преимуществом также является тот факт, что способ изменения проводимости и сопротивления металлических и/или металлооксидных матриц, полученных методом пламенного напыления и предназначенных для использования в качестве резистивных электронагревательных элементов, можно реализовать как скоростной процесс, управляемый компьютером, независимо от процесса изготовления элементов, получаемых методом пламенного напыления.
В соответствии со вторым аспектом настоящего изобретения представлено устройство для изготовления электронагревательных элементов, содержащее:
(a) средства нанесения металлической и/или металлооксидной матрицы на изолирующую или проводящую подложку методом пламенного напыления, так что матрица имеет первоначально более высокое сопротивление, чем необходимо для планируемого использования нагревательного элемента;
(b) средства подачи непрерывно прикладываемого первого напряжения постоянного тока на металлическую и/или металлооксидную матрицу в направлении, в котором конкретная конфигурация металлической и/или металлооксидной матрицы предназначена для работы в качестве резистивного электронагревательного элемента;
(c) средства определения сопротивления металлической и/или металлооксидной матрицы, рассчитываемого по закону Ома на основе значений указанного непрерывно прикладываемого напряжения постоянного тока и полученного электрического тока;
(а) средства подачи второго напряжения постоянного тока на металлическую и/или металлооксидную матрицу, полученную методом пламенного напыления, в том же направлении, что и непрерывно прикладываемое первое напряжение постоянного тока, в виде серии высокочастотных импульсов с целью повышения полной проводимости металлической и/или металлооксидной матрицы при соответствующем уменьшении полного сопротивления;
(е) средства контроля повышения тока, протекающего через металлическую и/или металлооксидную матрицу посредством подачи непрерывно прикладываемого первого напряжения постоянного тока, до тех пор пока расчет, выполненный по закону Ома, не покажет, что полное сопротивление металлической и/или металлооксидной матрицы, полученной методом пламенного напыления, уменьшилось до значения, требуемого для конкретной конструкции и конфигурации металлической и/или металлооксидной матрицы, полученной методом пламенного напыления.
Ниже приведено описание изобретения, только в качестве примера, со ссылкой на сопроводительный чертеж, который представляет собой схематическое изображение одного варианта устройства для приведения к требуемым условиям, используемого для реализации настоящего изобретения.
На чертеже показан типовой образец 10 электронагревательного элемента, конечное рабочее сопротивление которого задают в процессе его формования.
В этих случаях нагревательный элемент содержит подложку (не показана), которая может быть проводящей или непроводящей и на которую методом пламенного напыления нанесен слой 12 окисла металла.
Как отмечалось выше, определено, что такое пламенное напыление создает зоны металла, окруженные зонами окисла в полученном «оксидном» слое 12.
На противоположных сторонах нанесенного оксидного слоя сформированы и/или расположены металлические полосы 14, 16, обеспечивающие протекание электрического тока через указанный слой.
На первичную обмотку 19 трансформатора переменного тока 18 поступает регулируемый входной сигнал переменного тока 0-230 В, а со вторичной обмотки 21 этого трансформатора сигнал 0-5000 В поступает на импульсный выключатель 20 с регулируемой частотой, связанный с управляющим выходом 22 компьютера 24. Ток во вторичной обмотке 21 трансформатора 18 предпочтительно ограничен до приблизительно 25 мА, но с возможностью регулирования в диапазоне 0-25 мА с шагом 5 мА для создания высокого напряжения постоянного тока, прикладываемого в поперечном направлении к образцу 10 посредством выключателя 20 по проводам 23, 25.
Также в поперечном направлении к образцу подключен первичный источник 30 напряжения, рассчитанный, например, на 0-500 В постоянного тока с ограничением потоку 0-10 А.
Наконец, в поперечном направлении к образцу 10 также подключено устройство 26 для измерения сопротивления с цифровым вольтметром, при этом выход указанного устройства через 28 связан с контрольным входом компьютера 24.
Указанный компьютер выполнен с возможностью непрерывного контроля сопротивления образца и регулирования приложенного импульсного напряжения постоянного тока и числа импульсов.
При применении сначала наносят металлическую и/или металлооксидную матрицу на изолирующую или проводящую подложку с помощью устройства пламенного напыления (не показано), которое может быть стандартным, таким образом, что матрица первоначально имеет более высокое сопротивление, чем необходимо для планируемого использования формуемого нагревательного элемента; при этом постоянно измеряют сопротивление посредством устройства 26 для измерения сопротивления и с помощью компьютера 24 проводят расчеты предпочтительно по закону Ома на основе значений непрерывно прикладываемого напряжения постоянного тока и полученного электрического тока.
Источник 30 подает непрерывно прикладываемое первое напряжение постоянного тока на металлическую и/или металлооксидную матрицу в направлении, в котором конкретная конфигурация металлической и/или металлооксидной матрицы предназначена для работы в качестве резистивного электронагревательного элемента.
Второе напряжение постоянного тока подают с помощью импульсного выключателя 20 на металлическую и/или металлооксидную матрицу, полученную методом пламенного напыления, в том же направлении, что и указанное непрерывно прикладываемое первое напряжение постоянного тока, в виде серии высокочастотных импульсов с целью увеличения полной проводимости указанной металлической и/или металлооксидной матрицы при соответствующем уменьшении полного сопротивления.
Компьютер 24 контролирует повышение тока, протекающего через металлическую и/или металлооксидную матрицу посредством подачи непрерывно прикладываемого первого напряжения постоянного тока и фиксирует уменьшение полного сопротивления металлической и/или металлооксидной матрицы, полученной методом пламенного напыления, до значения, требуемого для конкретных конструкции и конфигурации металлической и/или металлооксидной матрицы, полученной методом пламенного напыления. В этом случае компьютер прекращает подачу импульсного второго напряжения постоянного тока на оксидную матрицу.
Claims (11)
1. Способ формования электронагревательного элемента методом пламенного напыления металлической и/или металлооксидной матрицы, в котором металлическую и/или металлооксидную матрицу наносят методом пламенного напыления на изолирующую или проводящую подложку для создания более высокого сопротивления, чем необходимо для планируемого использования, и создания в указанной матрице непрерывных токопроводящих путей, для достижения постоянной повышенной полной проводимости и соответственно пониженного полного сопротивления указанной металлической и/или металлооксидной матрицы с получением требуемого значения сопротивления.
2. Способ по п.1, в котором для создания указанных непрерывных токопроводящих путей на матрицу в поперечном направлении подают импульсное высокое напряжение постоянного тока.
3. Способ по п.2, в котором существующее сопротивление металлической и/или металлооксидной матрицы определяют посредством подачи на матрицу дополнительного непрерывно прикладываемого напряжения постоянного тока в направлении, в котором конкретная конфигурация оксидной основы предназначена для работы в качестве резистивного электронагревательного элемента, и определения сопротивления по закону Ома на основе значений непрерывно прикладываемого напряжения постоянного тока и полученного электрического тока.
4. Способ по п.3, в котором указанное дополнительное напряжение постоянного тока на 10-100% превышает расчетное рабочее значение для получаемого резистивного элемента.
5. Способ по п.2, включающий:
(a) подачу указанного дополнительного непрерывно прикладываемого напряжения постоянного тока на металлическую и/или металлооксидную матрицу в направлении, в котором предполагается работа металлической и/или металлооксидной матрицы конкретной конфигурации в качестве нагревательного элемента;
(b) определение по закону Ома сопротивления указанной металлической и/или металлооксидной матрицы на основе значений указанного дополнительного непрерывно прикладываемого напряжения постоянного тока и полученного электрического тока;
(c) подачу указанного импульсного высокого напряжения постоянного тока на металлическую и/или металлооксидную матрицу в том же направлении, что и указанное дополнительное непрерывно прикладываемое напряжение постоянного тока, в виде серии высокочастотных импульсов, с тем чтобы увеличить полную проводимость указанной металлической и/или металлооксидной матрицы при соответствующем уменьшении полного сопротивления; и
(d) непрерывный контроль повышения тока, протекающего через указанную металлическую и/или металлооксидную матрицу посредством подачи указанного дополнительного непрерывно прикладываемого напряжения постоянного тока, до тех пор пока расчет, выполненный по закону Ома, не покажет, что полное сопротивление указанной металлической и/или металлооксидной матрицы, полученной методом пламенного напыления, достигло значения, требуемого для работы конкретной конструкции и конфигурации металлической и/или металлооксидной матрицы, нанесенной методом пламенного напыления, в качестве резистивного электронагревательного элемента; и на этом этапе прекращение подачи обоих напряжений постоянного тока на указанную металлическую и/или металлооксидную матрицу.
(a) подачу указанного дополнительного непрерывно прикладываемого напряжения постоянного тока на металлическую и/или металлооксидную матрицу в направлении, в котором предполагается работа металлической и/или металлооксидной матрицы конкретной конфигурации в качестве нагревательного элемента;
(b) определение по закону Ома сопротивления указанной металлической и/или металлооксидной матрицы на основе значений указанного дополнительного непрерывно прикладываемого напряжения постоянного тока и полученного электрического тока;
(c) подачу указанного импульсного высокого напряжения постоянного тока на металлическую и/или металлооксидную матрицу в том же направлении, что и указанное дополнительное непрерывно прикладываемое напряжение постоянного тока, в виде серии высокочастотных импульсов, с тем чтобы увеличить полную проводимость указанной металлической и/или металлооксидной матрицы при соответствующем уменьшении полного сопротивления; и
(d) непрерывный контроль повышения тока, протекающего через указанную металлическую и/или металлооксидную матрицу посредством подачи указанного дополнительного непрерывно прикладываемого напряжения постоянного тока, до тех пор пока расчет, выполненный по закону Ома, не покажет, что полное сопротивление указанной металлической и/или металлооксидной матрицы, полученной методом пламенного напыления, достигло значения, требуемого для работы конкретной конструкции и конфигурации металлической и/или металлооксидной матрицы, нанесенной методом пламенного напыления, в качестве резистивного электронагревательного элемента; и на этом этапе прекращение подачи обоих напряжений постоянного тока на указанную металлическую и/или металлооксидную матрицу.
6. Способ по п.5, в котором указанное дополнительное непрерывно прикладываемое напряжение постоянного тока на 10-100% превышает расчетное рабочее значение для конкретной конструкции или конфигурации резистивного электронагревательного элемента.
7. Способ по п.6, в котором импульсное напряжение постоянного тока подают таким образом, чтобы контакты под напряжением и контакты нейтрали для обоих источников напряжения постоянного тока совпадали.
8. Способ по п.7, в котором значения напряжений источника импульсного напряжения постоянного тока задают последовательно в диапазоне от 500 до 5000 В.
9. Способ по п.8, в котором значение подаваемого импульсного напряжения постоянного тока первоначально устанавливают на низком уровне, порядка 500 В, а затем постепенно увеличивают при выполнении шагов (с) и (d) до значения около 5000 В или выше в зависимости от различных удельных сопротивлений различных металлических и/или металлооксидных комбинаций, создаваемых металлическими и/или металлооксидными матрицами, полученными методом пламенного напыления.
10. Способ по любому из пп.1-9, в котором способ изменения проводимости и сопротивления металлических и/или металлооксидных матриц, полученных методом пламенного напыления и предназначенных для использования в качестве резистивных электронагревательных элементов, реализуют как скоростной процесс, управляемый компьютером независимо от процесса изготовления элементов, получаемых методом пламенного напыления.
11. Устройство для изготовления электронагревательных элементов, содержащее:
(a) средства нанесения металлической и/или металлооксидной матрицы на изолирующую или проводящую подложку методом пламенного напыления, так что матрица первоначально имеет более высокое сопротивление, чем необходимо для планируемого использования нагревательного элемента;
(b) средства подачи непрерывно прикладываемого первого напряжения постоянного тока на указанную металлическую и/или металлооксидную матрицу в направлении, в котором предполагается работа металлической и/или металлооксидной матрицы конкретной конфигурации в качестве резистивного электронагревательного элемента;
(c) средства определения сопротивления указанной металлической и/или металлооксидной матрицы, вычисляемого по закону Ома на основе значений указанного непрерывно прикладываемого напряжения постоянного тока и полученного электрического тока;
(d) средства подачи второго напряжения постоянного тока на металлическую и/или металлооксидную матрицу, полученную методом пламенного напыления, в том же направлении, что и непрерывно прикладываемое первое напряжение постоянного тока, в виде серии высокочастотных импульсов с целью повышения полной проводимости указанной металлической и/или металлооксидной матрицы при соответствующем уменьшении полного сопротивления; и
(е) средства контроля повышения тока, протекающего через металлическую и/или металлооксидную матрицу посредством подачи непрерывно прикладываемого первого напряжения постоянного тока, до тех пор пока расчет, выполненный по закону Ома, не покажет, что полное сопротивление указанной металлической и/или металлооксидной матрицы, полученной методом пламенного напыления, уменьшено до значения, требуемого для конкретной конструкции и конфигурации металлической и/или металлооксидной матрицы, полученной методом пламенного напыления.
(a) средства нанесения металлической и/или металлооксидной матрицы на изолирующую или проводящую подложку методом пламенного напыления, так что матрица первоначально имеет более высокое сопротивление, чем необходимо для планируемого использования нагревательного элемента;
(b) средства подачи непрерывно прикладываемого первого напряжения постоянного тока на указанную металлическую и/или металлооксидную матрицу в направлении, в котором предполагается работа металлической и/или металлооксидной матрицы конкретной конфигурации в качестве резистивного электронагревательного элемента;
(c) средства определения сопротивления указанной металлической и/или металлооксидной матрицы, вычисляемого по закону Ома на основе значений указанного непрерывно прикладываемого напряжения постоянного тока и полученного электрического тока;
(d) средства подачи второго напряжения постоянного тока на металлическую и/или металлооксидную матрицу, полученную методом пламенного напыления, в том же направлении, что и непрерывно прикладываемое первое напряжение постоянного тока, в виде серии высокочастотных импульсов с целью повышения полной проводимости указанной металлической и/или металлооксидной матрицы при соответствующем уменьшении полного сопротивления; и
(е) средства контроля повышения тока, протекающего через металлическую и/или металлооксидную матрицу посредством подачи непрерывно прикладываемого первого напряжения постоянного тока, до тех пор пока расчет, выполненный по закону Ома, не покажет, что полное сопротивление указанной металлической и/или металлооксидной матрицы, полученной методом пламенного напыления, уменьшено до значения, требуемого для конкретной конструкции и конфигурации металлической и/или металлооксидной матрицы, полученной методом пламенного напыления.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB0423579.2 | 2004-10-23 | ||
GB0423579A GB2419505A (en) | 2004-10-23 | 2004-10-23 | Adjusting the resistance of an electric heating element by DC pulsing a flame sprayed metal/metal oxide matrix |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2007117508A RU2007117508A (ru) | 2008-11-27 |
RU2383956C2 true RU2383956C2 (ru) | 2010-03-10 |
Family
ID=33485095
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2007117508/09A RU2383956C2 (ru) | 2004-10-23 | 2005-10-14 | Способ формования электронагревательного элемента методом пламенного напыления металлической и/или металлооксидной матрицы |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7963026B2 (ru) |
EP (1) | EP1807846B1 (ru) |
JP (1) | JP5069118B2 (ru) |
KR (1) | KR101205091B1 (ru) |
CN (1) | CN101053046B (ru) |
AU (1) | AU2005297033B2 (ru) |
BR (1) | BRPI0516601A (ru) |
CA (1) | CA2581357C (ru) |
GB (1) | GB2419505A (ru) |
MX (1) | MX2007004635A (ru) |
RU (1) | RU2383956C2 (ru) |
WO (1) | WO2006043034A1 (ru) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7834296B2 (en) | 2005-06-24 | 2010-11-16 | Thermoceramix Inc. | Electric grill and method of providing the same |
GB0700079D0 (en) * | 2007-01-04 | 2007-02-07 | Boardman Jeffrey | A method of producing electrical resistance elements whihc have self-regulating power output characteristics by virtue of their configuration and the material |
GB2460833B (en) * | 2008-06-09 | 2011-05-18 | 2D Heat Ltd | A self-regulating electrical resistance heating element |
GB0911410D0 (en) * | 2009-07-01 | 2009-08-12 | Mantock Paul L | A low power electric heating system |
GB2577522B (en) * | 2018-09-27 | 2022-12-28 | 2D Heat Ltd | A heating device, and applications therefore |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3261082A (en) * | 1962-03-27 | 1966-07-19 | Ibm | Method of tailoring thin film impedance devices |
JPS53136980A (en) * | 1977-05-04 | 1978-11-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Resistance value correction method for poly crystal silicon resistor |
JPS59130080A (ja) * | 1983-01-14 | 1984-07-26 | 日立金属株式会社 | 抵抗膜加熱器具 |
US4870472A (en) * | 1984-10-18 | 1989-09-26 | Motorola, Inc. | Method for resistor trimming by metal migration |
US4606781A (en) * | 1984-10-18 | 1986-08-19 | Motorola, Inc. | Method for resistor trimming by metal migration |
US4782202A (en) | 1986-12-29 | 1988-11-01 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for resistance adjustment of thick film thermal print heads |
TW205596B (ru) * | 1991-05-16 | 1993-05-11 | Rohm Co Ltd | |
US5466484A (en) * | 1993-09-29 | 1995-11-14 | Motorola, Inc. | Resistor structure and method of setting a resistance value |
BE1007868A3 (nl) * | 1993-12-10 | 1995-11-07 | Koninkl Philips Electronics Nv | Elektrische weerstand. |
US5679275A (en) * | 1995-07-03 | 1997-10-21 | Motorola, Inc. | Circuit and method of modifying characteristics of a utilization circuit |
JPH09180865A (ja) * | 1995-12-26 | 1997-07-11 | Keizo Suzuki | ヒーター用抵抗材 |
JPH10329351A (ja) * | 1997-05-29 | 1998-12-15 | Rohm Co Ltd | サーマルプリントヘッドの発熱素子のパルストリミング方法、およびパルストリミング装置 |
DE69938408T2 (de) * | 1998-09-08 | 2009-04-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma-shi | Feldemissionsanzeige mit Oxid-Widerstand |
GB2359234A (en) * | 1999-12-10 | 2001-08-15 | Jeffery Boardman | Resistive heating elements composed of binary metal oxides, the metals having different valencies |
WO2001089265A1 (en) * | 2000-05-17 | 2001-11-22 | Bdsb Holdings Limited | A method of producing electrically resistive heating elements and elements so produced |
AU2002325723A1 (en) * | 2001-09-10 | 2003-03-24 | Microbridge Technologies Inc. | Method for trimming resistors |
-
2004
- 2004-10-23 GB GB0423579A patent/GB2419505A/en not_active Withdrawn
-
2005
- 2005-10-14 CA CA2581357A patent/CA2581357C/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-10-14 KR KR1020077011209A patent/KR101205091B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2005-10-14 US US11/575,514 patent/US7963026B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-10-14 BR BRPI0516601-2A patent/BRPI0516601A/pt not_active IP Right Cessation
- 2005-10-14 JP JP2007537369A patent/JP5069118B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-10-14 RU RU2007117508/09A patent/RU2383956C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2005-10-14 EP EP05792798.0A patent/EP1807846B1/en not_active Not-in-force
- 2005-10-14 CN CN2005800355614A patent/CN101053046B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-10-14 WO PCT/GB2005/003949 patent/WO2006043034A1/en active Application Filing
- 2005-10-14 AU AU2005297033A patent/AU2005297033B2/en not_active Ceased
- 2005-10-14 MX MX2007004635A patent/MX2007004635A/es active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006043034A1 (en) | 2006-04-27 |
BRPI0516601A (pt) | 2008-09-16 |
EP1807846A1 (en) | 2007-07-18 |
US7963026B2 (en) | 2011-06-21 |
CN101053046A (zh) | 2007-10-10 |
RU2007117508A (ru) | 2008-11-27 |
AU2005297033A1 (en) | 2006-04-27 |
AU2005297033B2 (en) | 2011-02-17 |
CA2581357C (en) | 2013-03-05 |
US20080075876A1 (en) | 2008-03-27 |
KR101205091B1 (ko) | 2012-11-26 |
JP5069118B2 (ja) | 2012-11-07 |
KR20070084311A (ko) | 2007-08-24 |
CA2581357A1 (en) | 2006-04-27 |
GB2419505A (en) | 2006-04-26 |
JP2008517436A (ja) | 2008-05-22 |
EP1807846B1 (en) | 2014-04-23 |
CN101053046B (zh) | 2010-09-08 |
MX2007004635A (es) | 2007-10-11 |
GB0423579D0 (en) | 2004-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2383956C2 (ru) | Способ формования электронагревательного элемента методом пламенного напыления металлической и/или металлооксидной матрицы | |
JP6247683B2 (ja) | 多重化された加熱アレイのための電流ピーク分散スキーム | |
TWI541517B (zh) | 多工加熱器陣列用之失效偵測方法 | |
KR102459206B1 (ko) | 열 시스템의 불균일을 보상하는 방법 | |
JP2001217059A (ja) | 加熱装置 | |
TW201620073A (zh) | 用以監測多工加熱器陣列之溫度與控制該加熱器陣列的系統及方法 | |
JP2008517436A5 (ru) | ||
JPH0562761A (ja) | 通電加熱装置 | |
KR0139813B1 (ko) | 열처리 장치 | |
KR100950966B1 (ko) | 도금 장치 | |
WO2020153224A1 (ja) | ヒータの温度制御方法、ヒータ及び載置台 | |
EP4003600A1 (en) | Heater | |
JPH03229410A (ja) | 熱処理装置 | |
JP2003268598A (ja) | めっき装置及びめっき方法 | |
JPH08264260A (ja) | 直接通電加熱装置および直接通電加熱方法 | |
JPH05125433A (ja) | 通電加熱および冷却装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20171015 |