RU2362125C2 - Способ регулировки термического или калориметрического расходомера - Google Patents

Способ регулировки термического или калориметрического расходомера Download PDF

Info

Publication number
RU2362125C2
RU2362125C2 RU2007130676/28A RU2007130676A RU2362125C2 RU 2362125 C2 RU2362125 C2 RU 2362125C2 RU 2007130676/28 A RU2007130676/28 A RU 2007130676/28A RU 2007130676 A RU2007130676 A RU 2007130676A RU 2362125 C2 RU2362125 C2 RU 2362125C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
temperature
actual
rate
heating power
target
Prior art date
Application number
RU2007130676/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2007130676A (ru
Inventor
Оливер ПОПП (CH)
Оливер ПОПП
Вальтер БОРСТ (DE)
Вальтер БОРСТ
Original Assignee
Эндресс-Хаузер Флоутек Аг
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Эндресс-Хаузер Флоутек Аг filed Critical Эндресс-Хаузер Флоутек Аг
Publication of RU2007130676A publication Critical patent/RU2007130676A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2362125C2 publication Critical patent/RU2362125C2/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/696Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
    • G01F1/698Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F25/00Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume
    • G01F25/10Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Details Of Flowmeters (AREA)

Abstract

Способ регулировки термического или калориметрического расходомера (1), который определяет и/или контролирует расход протекающей через трубопровод (2) или через измерительную трубу (2) измеряемой среды (3), в процессе, посредством двух датчиков (11, 12) температуры, причем актуальная температура (Ti) измеряемой среды (3) в момент времени (ti) определяется посредством первого датчика (12) температуры, причем ко второму датчику (11) температуры подводится определенная мощность нагрева, которая соразмерена таким образом, что возникает заданная разность (θtarget) температур между обоими датчиками (11, 12) температуры и причем в случае отклонения (θtargeti) измеренной в фактическом состоянии актуальной разности (θi) температур от заданной разности (θtarget) температур для заданного состояния в следующий момент времени (ti+1) определяется подведенная к обогреваемому датчику температуры мощность нагрева (Qi+1), причем мощность нагрева (Qi+1) определяется с учетом физических условий в процессе, которые отображаются в константе времени (τ). Технический результат - быстрая и стабильная регулировка термического расходомера при различных условиях течения процесса. 5 з.п. ф-лы, 5 ил.

Description

Изобретение относится к способу регулировки термического или калориметрического расходомера, который определяет и/или контролирует расход протекающей через трубопровод или через измерительную трубу измеряемой среды, в процессе, посредством двух датчиков температуры, причем актуальная температура измеряемой среды в момент времени определяется посредством первого датчика температуры, и причем ко второму датчику температуры подводится определенная мощность нагрева, которая соразмерена таким образом, что появляется заданная разность температур между обоими датчиками температур.
Обычно для регулировки обогреваемого датчика температуры используется PID-регулятор. Для способа регулировки обычно принимаются параметры регулировки, которые сначала установлены при определенных физических условиях в процессе. Существенными величинами физических условий в процессе следует назвать норму расхода измеряемой среды через расходомер. Физические условия в процессе отображаются далее в коэффициенте теплопередачи, который характеризует теплопередачу от датчика температуры в измеряемую среду.
На фиг.1 и 2 в виде схемы изображена подрегулировка типичного традиционного термического расходомера в случае изменения заданной температуры. Изменение заданной температуры соответствует перепаду температур, который запускает процесс регулировки. Идеальным образом реакция расходомера соответствует сплошной линии. При этом ho это коэффициент теплопередачи при определенных условиях в процессе, то есть, к примеру, при заданной норме расхода измеряемой среды через трубопровод. Подрегулировка расходомера относительно быстро реагирует на перепад температур (фиг.1). Расходомер практически немедленно предоставляет измеренные значения, которые достоверно отображают норму расхода измеряемой среды через трубопровод (фиг.2). Однако, если измеряемая среда течет через трубопровод со скоростью, которая вызывает четырехкратное увеличение коэффициента теплопередачи, по сравнению с представленным ранее случаем, то перепад демонстрирует менее идеальную характеристику. Этот случай представлен на фиг.1 и 2 на примере пунктирных линий. Проходит достаточно много времени, прежде чем будет достигнута заданная температура системы «датчик температуры - измеряемая среда»; то же самое действительно также и для параллельно предоставленных в распоряжение измеренных значений расхода: через относительно долгий промежуток времени расходомер предоставляет слишком малые измеренные значения. В общем, можно говорить о том, что актуальная величина неуклонно приближается к соответствующей заданной величине.
Противоположный случай представлен на основании штриховых линий на обеих фигурах. Здесь коэффициент теплопередачи составляет лишь четверть (ho/4) значения для случая, охарактеризованного величиной ho, для которого регулировка оптимизирована. Реакция на перепад температур проявляется в сверхреакции системы. Так как к датчику температуры подается та же мощность нагрева, что и в случае учетверенной нормы расхода, при регулировке происходят отклонение от установленного значения. И здесь проходит относительно много времени до того, пока не установится желаемая постоянная заданная температура. Реакция регулирующего блока отображается также в изменяющихся измеренных значениях, которые расходомер выдает во время процесса регулировки. На основании изображений на фиг.1 и 2, таким образом, поясняется, что термический расходомер, который приведен в действие в процессе регулировки, не учитывающем преобладающие в процессе активные физические условия, имеет, среди прочего, относительно высокую точность измерений.
В основе изобретения лежит задача, предложить способ для быстрой и стабильной регулировки термического расходомера при различных условиях течения процесса.
Задача решается посредством того, что в случае отклонения измеренной в фактическом состоянии актуальной разности температур от заданной разности температур для заданного состоянии в следующий момент времени, определяется поданная к обогреваемому датчику температур мощность нагрева, причем мощность нагрева определяется с учетом физических условий процесса, которые отображаются в константе времени.
В соответствии с предпочтительным вариантом осуществления способа в соответствии с изобретением константа времени, которая отображает физические условия в процессе, устанавливается посредством следующего определения:
Figure 00000001
[сек]
причем
θtarget обозначает заданную разность температур между обогреваемым и не обогреваемым датчиками температуры [°C], а
Qi обозначает подведенную к обогреваемому датчику в момент времени ti мощность нагрева [Вт].
В альтернативном варианте константа времени, которая отображает физические условия в процессе, устанавливается посредством следующего определения:
Figure 00000002
[сек]
здесь
θi - актуальная разность температур между обогреваемым и не обогреваемым датчиками температуры [°С], а
Qi - подведенная к обогреваемому датчику в момент времени ti мощность нагрева [Вт].
Согласно предпочтительному варианту осуществления способа в соответствии с изобретением, в случае, когда измеренная в фактическом состоянии актуальная разность температур отклоняется от заданной разности температур для заданного состояния, скорость изменения для подвода мощности нагрева для компенсации отклонения определяется таким образом, чтобы система как можно быстрее достигла заданного состояния.
Предпочтительно скорость изменения для достижения заданного состояния рассчитывается посредством следующего определения:
Figure 00000003
Согласно предпочтительному варианту осуществления способа в соответствии с изобретением, в случае, когда измеренная в фактическом состоянии актуальная разность температур отклоняется от заданной разности температур для заданного состояния, скорость изменения для подвода мощности нагрева рассчитывается по следующей формуле:
Figure 00000004
Здесь
c1 [Вт·сек/К] представляет собой зависимую от использованного регулятора константу пропорциональности, а
Δt [сек] - промежуток времени между двумя следующими друг за другом измерениями.
Изобретение более подробно разъясняется на основании последующих чертежей, которые показывают:
фиг.1 - графическое изображение реакции традиционного устройства регулировки на перепад температур при различных нормах расхода измеряемой среды в трубопроводе или в измерительной трубе,
фиг.2 - графическое изображение предоставленных термическим расходомером измеренных значений, на основании представленных на фиг.1 процессов регулировки,
фиг.3 - схематичное изображение термического расходомера для осуществления способа в соответствии с изобретением,
фиг.4 - графическое изображение различных скоростей изменения для достижения заданной разности температур,
фиг.5 - графическое изображение предоставленных термическим расходомером измеренных значений во время показанного на Фиг.4 процесса регулировки.
Фиг.1 и 2 уже рассматривались во вступлении к описанию.
Фиг.3 демонстрирует схематичное изображение термического расходомера 1, пригодного для осуществления способа в соответствии с изобретением. Расходомер 1 посредством винтовой резьбы 9 закреплен в патрубке 4, который находится на трубопроводе 2. В трубопроводе 2 находится текучая измеряемая среда 3. В качестве альтернативы возможно выполнять расходомер 1 с интегрированной измерительной трубой в качестве магистрального измерительного прибора.
Устройство 6 для измерения температуры находится в обращенной к измеряемой среде 3 зоне корпуса 5. Настройка обоих датчиков 11, 12 температуры и/или оценка предоставленных датчиками 11, 12 температуры измерительных сигналов производится посредством устройства 10 регулировки/оценки, которое в указанном случае расположено в преобразователе 7. Посредством соединения 8 производится коммуникация с удаленным, на фиг.3 отдельно не изображенным, контрольным пунктом.
По меньшей мере, под одним из обоих датчиков 11, 12 температуры может пониматься электрически обогреваемый элемент сопротивления, так называемый RTD-датчик. Само собой разумеется, что в связи с решением в соответствии с изобретением может также использоваться и обычный датчик температуры, к примеру, Pt100 или Pt1000, или термоэлемент, к которому присоединен термически соединенный нагревательный блок 13. Нагревательный блок 13 на фиг.3 расположен в корпусе 5 и термически подсоединен к обогреваемому датчику 11, 12 температур, но абсолютно разъединен с измеряемой средой 3. Соединение или разъединение происходит предпочтительно посредством заполнения соответствующих зазоров термически хорошо проводимым или термически плохо проводимым материалом. Предпочтительно для этого используется заливочный материал.
Посредством расходомера 1 возможно измерять расход непрерывно; в качестве альтернативы возможно использовать расходомер 1 в качестве переключателя расхода, который всегда показывает изменение состояния переключателя, когда, по меньшей мере, не достигается заданное предельное значение или это заданное предельное значение превышается.
В качестве альтернативы возможно также, чтобы оба датчика 11, 12 температуры были выполнены обогреваемыми, причем желаемая функция первого датчика 11 температуры или второго датчика 12 температуры определена посредством устройства 10 регулировки/оценки. К примеру, возможно, что устройство 10 регулировки/оценки управляет обоими датчиками 11, 12 температуры попеременно как активным или как пассивным датчиком 11, 12 температуры, и определяет измеренное значение расхода посредством осреднения предоставленных обоими датчиками 11, 12 температуры измеренных значений.
Обогреваемый датчик температуры можно описать с помощью упрощенной модели следующим образом:
Figure 00000005
При этом обозначено:
Q: подведенное к датчику температуры количество тепла [Вт],
θ: разность температур между датчиком температуры и измеряемой среды [К],
t: время [сек],
τ: константа времени датчика температуры.
Константа времени τ является мерой для инерционности системы «датчик температуры - измеряемая среда», учитывая изменения в процессе. Константу времени τ можно описать посредством следующей формулы:
Figure 00000006
При этом обозначено:
m: масса датчика температуры [кг],
ср: удельная теплоемкость обогреваемого датчика температуры [Дж/(кг·К)],
А: поверхность датчика [м2],
h: внешний коэффициент теплопередачи [Вт/(м2·К)].
Хотя три указанные первыми величины являются постоянными величинами, их точные значения, однако, обычно неизвестны. Коэффициент теплопередачи h, исходя из этого, зависит от физических условий, преобладающих в процессе или в системе. Точный расчет константы времени τ, таким образом, не возможен.
В идеальном варианте расходомер 1 реагирует на каждое скачкообразное изменение физических условий одновременно посредством скачкообразного изменения, как уже было изложено в связи с описанием к фиг.1. Это означает, что подведенное к датчику 12 температуры количество тепла идеальным образом можно изобразить как скачкообразную функцию (фиг.5). В реальности такой реакции можно достичь исключительно приблизительно, так как устройство 10 регулировки/оценки не достаточно точно знает заранее окончательные условия стационарного состояния.
При идеальных условиях - немедленном скачкообразном ответе мощности нагрева - температура θ среагировала бы следующим образом - при этом исходят из того, что система в более ранний момент времени t<0 находится в стационарном состоянии. Здесь имеет место:
Q(t)=Qo
где t<0
и
Figure 00000007
для t<0 (3)
Скачкообразное изменение в физических условиях можно представить следующим образом:
Figure 00000008
для t≥0 (4)
Скачкообразный ответ датчика 12 температуры на этот «тепловой скачок» тогда можно описать следующим образом:
Figure 00000009
В случае, если скачок в мощности нагрева нагревательного блока 13 корректно отображает физические условия, то температура асимптотически приближается к заданной температуре θtarget. Математически это можно передать посредством следующей формулы:
Figure 00000010
Введенное в формулу (5), выявляется тогда следующее уравнение:
Figure 00000011
Из этого явствует, что уравнение (3) может быть описано через повышение температуры, которое математически охвачено в уравнении (7). Следовательно, представленную в уравнении (7) характеристику температуры нужно расценивать как заданную характеристику температуры. Эта заданная характеристика температуры характеризуется начальной скоростью изменения. Скорость изменения связана со скоростью изменения для достижения заданной разности температур. Эта скорость изменения для достижения заданной разности температур обозначается далее как оптимальная скорость изменения.
Figure 00000012
Ранее сказанное представлено на фиг.4 для случая на основании способа в соответствии с изобретением (сплошная линия), когда измерена слишком маленькая скорость изменения (пунктирная линия) и для случая, когда скорость изменения слишком велика (штриховая линия).
На фиг.5 можно увидеть графические изображения предоставленных термическим расходомером 1 измеренных значений во время показанного на фиг.4 процесса регулировки. Если применяется способ в соответствии с изобретением, то расходомер 1 предоставляет в самое короткое время актуальное корректное измеренное значение (сплошная линия). Если же скорость изменения выбрана слишком маленькой (пунктирная линия) или слишком большой (штриховая линия), то проходит очень много времени, прежде чем система окажется в равновесии и расходомер 1 снова предоставит корректные измеренные значения. Так как поведение системы приближено к идеальному состоянию, можно посредством использования способа в соответствии с изобретением значительно улучшить точность измерений расходомера 1 во время переходных процессов.
Алгоритм регулировки в соответствии с изобретением, следовательно, основывается на том, что актуальная скорость изменения температур тесно связана с оптимальной, согласованной с соответствующими условиями процесса скоростью изменения для достижения заданной температуры.
Возможность реализации состоит, таким образом, в том, что для случая, когда измеренная в фактическом состоянии актуальная разность температур отклоняется от заданной разности температур для заданного состояния, скорость изменения для подвода мощности нагрева рассчитывается по следующей формуле:
Figure 00000013
При этом обозначено:
i: момент времени i,
i+1: следующий момент времени i+1,
Δt: промежуток времени между двумя следующими друг за другом шагами i и i+1,
c1: постоянный параметр регулировки [W·s/K].
Здесь, таким образом, подведенная к датчику 12 температуры мощность нагрева связана с разностью актуальной скорости изменения и заданной скоростью изменения для номинального состояния.
Само собой разумеется, что рассчитываемая по уравнению (9) для момента времени i+1 мощность нагрева
Qi+1
представляет только одну возможность достичь идеальной скорости изменения с целью приведения температуры в соответствие с заданным значением температуры. Разумеется, каждый выбираемый вариант осуществления сопоставлен с проблемой, что константа времени τ не является постоянной, а в большой степени зависит от нормы расхода измеряемой среды 3 через трубопровод 2. Это отображается в коэффициенте теплопередачи h из уравнения (2). Следовательно, константа времени τ не является точно определяемой величиной. Далее описывается возможность расчета относительно точного значения для константы времени τ.
Как сказано ранее, константу времени τ можно точно описать посредством уравнения (2). Когда достигнуто стационарное состояние, имеет силу следующее соотношение:
Figure 00000014
Во время переходного состояния это соотношение, разумеется, не действительно. Напротив, во время перехода имеет силу:
Figure 00000015
В результате подстановки уравнения (2) в уравнение (11) выявляется следующее соотношение:
Figure 00000016
При этом m и ср - константы материала, которые не зависят от преобладающих в процессе физических условий. Разумеется, значения этих величин обычно известны не точно. Чтобы, тем не менее, добиться определения для значения константы времени τ - как уже описано ранее - используется, к примеру, следующее определение константы времени τ:
Figure 00000017
С помощью данного определения посредством использования способа в соответствии с изобретением можно значительно повысить точность измерений расходомера во время переходных процессов.
СПИСОК ОБОЗНАЧЕНИЙ
1. Устройство в соответствии с изобретением.
2. Трубопровод/измерительная труба.
3. Измеряемая среда.
4. Патрубок.
5. Корпус.
6. Устройство для измерения температуры.
7. Преобразователь.
8. Соединительный провод.
9. Резьба.
10. Устройство регулировки/оценки.
11. Первый датчик температуры.
12. Второй датчик температуры.
13. Нагревательный блок.

Claims (6)

1. Способ регулировки термического или калориметрического расходомера, который определяет и/или контролирует расход протекающей через трубопровод (2) или через измерительную трубу измеряемой среды (3), в процессе, посредством двух датчиков (11, 12) температуры, а причем актуальная температура (Тi) измеряемой среды (3) в момент времени (ti) определяется посредством первого датчика (12) температуры, а ко второму датчику (11) температуры подводится определенная мощность нагрева (Qi), которая соразмерена таким образом, что возникает заданная разность (θtarget) температур между обоими датчиками (11, 12) температуры и причем в случае отклонения (θtargeti) измеренной в фактическом состоянии актуальной разности (θi) температур от заданной разности (θtarget) температур для заданного состояния в следующий момент времени (ti+1) определяется подведенная к обогреваемому датчику (11) температуры мощность нагрева (Qi+1), причем мощность нагрева (Qi+1) определяется с учетом физических условий в процессе, которые отображаются в константе времени (τ), причем зависящая от физических условий в процессе константа времени (τ) устанавливается посредством следующего определения:
Figure 00000018

где θtarget - заданная разность температур между обогреваемым и не обогреваемым датчиками [°С] температуры;
θi - подведенная к обогреваемому датчику в момент времени (ti) мощность (Вт) нагрева.
2. Способ по п.1, характеризующийся тем, что зависящая от физических условий в процессе константа времени (τ) устанавливается посредством следующего определения:
Figure 00000019

где θi - актуальная разность температур между обогреваемым и не обогреваемым датчиками (°С) температуры;
Qi - подведенная к обогреваемому датчику (11) температуры в момент времени ti мощность (Вт) нагрева.
3. Способ по п.2, характеризующийся тем, что в случае, когда измеренная в фактическом состоянии актуальная разность температур (Qi) отклоняется от заданной разности температур (θtarget) для заданного состояния, скорость изменения для подвода мощности нагрева (Qi+1) для компенсации отклонения (θtargeti) определяется таким образом, что система «датчик (11) температуры - измеряемая среда (3)» максимально быстро достигает заданного состояния (θtarget).
4. Способ по п.3, характеризующийся тем, что скорость изменения для достижения номинального состояния (θtarget) рассчитывается посредством следующего определения:
Figure 00000020
5. Способ по п.4, характеризующийся тем, что в случае, когда измеренная в фактическом состоянии актуальная разность температур (Qi) отклоняется от заданной разности температур (θtarget) для заданного состояния, скорость изменения для подвода мощности нагрева (Qi+1) определяется в зависимости от разности между скоростью изменения актуальной разности температур и оптимальной скоростью изменения:
Figure 00000021
6. Способ по п.4 или 5, характеризующийся тем, что скорость изменения для подвода мощности нагрева рассчитывается в зависимости от разности между актуальной скоростью изменения разности температур и оптимальной скоростью изменения, по следующей формуле:
Figure 00000022

причем c1 (Вт·с/К) является зависимой от устройства (10) регулировки константой пропорциональности, а
Δt (с) - промежуток времени между двумя следующими друг за другом измерениями.
RU2007130676/28A 2005-01-13 2005-12-16 Способ регулировки термического или калориметрического расходомера RU2362125C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005001809A DE102005001809A1 (de) 2005-01-13 2005-01-13 Verfahren zur Regelung eines thermischen bzw. kalorimetrischen Durchflussmessgeräts
DE102005001809.2 2005-01-13

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2007130676A RU2007130676A (ru) 2009-02-20
RU2362125C2 true RU2362125C2 (ru) 2009-07-20

Family

ID=36589108

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007130676/28A RU2362125C2 (ru) 2005-01-13 2005-12-16 Способ регулировки термического или калориметрического расходомера

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20080307879A1 (ru)
EP (1) EP1836460A2 (ru)
CN (1) CN101103257A (ru)
DE (1) DE102005001809A1 (ru)
RU (1) RU2362125C2 (ru)
WO (1) WO2006074850A2 (ru)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8833384B2 (en) 2012-08-06 2014-09-16 Schneider Electric Buildings, Llc Advanced valve actuation system with integral freeze protection
US9534795B2 (en) 2012-10-05 2017-01-03 Schneider Electric Buildings, Llc Advanced valve actuator with remote location flow reset
US10295080B2 (en) 2012-12-11 2019-05-21 Schneider Electric Buildings, Llc Fast attachment open end direct mount damper and valve actuator
DK2971901T3 (en) 2013-03-15 2019-01-07 Schneider Electric Buildings Advanced valve actuator with integrated energy measurement
WO2014143922A1 (en) 2013-03-15 2014-09-18 Schneider Electric Buildings, Llc Advanced valve actuator with true flow feedback
DE102013103518A1 (de) 2013-04-09 2014-10-23 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorgefertigtes In-Line Messgerät
GB2553681B (en) 2015-01-07 2019-06-26 Homeserve Plc Flow detection device
GB201501935D0 (en) 2015-02-05 2015-03-25 Tooms Moore Consulting Ltd And Trow Consulting Ltd Water flow analysis
DE102016223294B4 (de) * 2015-11-24 2020-11-05 Ifm Electronic Gmbh Thermischer Strömungsmesser und Verfahren zum Betreiben eines Strömungsmessers
JP6628754B2 (ja) * 2017-03-01 2020-01-15 株式会社デンソー 流量測定システム

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0680408B2 (ja) * 1985-10-09 1994-10-12 株式会社日立製作所 感熱式空気流量計及び感熱抵抗体
JPS6488218A (en) * 1987-09-30 1989-04-03 Hitachi Ltd Heat ray type air flowmeter
JPH0267922A (ja) * 1988-09-02 1990-03-07 Aisan Ind Co Ltd 吸入空気量検出装置
US5014550A (en) * 1990-05-03 1991-05-14 General Motors Corporation Method of processing mass air sensor signals
US5750889A (en) * 1994-06-13 1998-05-12 Hitachi, Ltd. Air flow rate measuring apparatus and air flow rate measuring method
US5780737A (en) * 1997-02-11 1998-07-14 Fluid Components Intl Thermal fluid flow sensor
DE29924593U1 (de) * 1999-09-09 2004-03-11 Ellenberger & Poensgen Gmbh Vorrichtung zur Messung des Massenstroms eines Mediums
DE19948135B4 (de) * 1999-09-09 2004-02-12 Ellenberger & Poensgen Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Messung des Massenstroms eines Mediums
EP1327865A1 (de) * 2002-01-14 2003-07-16 Abb Research Ltd. Verfahren zur thermischen Durchflussmessung mit nicht konstanten Heizpulsen
US6904799B2 (en) * 2002-06-12 2005-06-14 Polar Controls, Inc. Fluid velocity sensor with heated element kept at a differential temperature above the temperature of a fluid
JP4223915B2 (ja) * 2003-10-01 2009-02-12 株式会社日立製作所 熱式流量計及び制御システム
US7387022B1 (en) * 2007-05-02 2008-06-17 Honeywell International Inc. Thermal mass flow transducer including PWM-type heater current driver

Also Published As

Publication number Publication date
DE102005001809A1 (de) 2006-07-27
EP1836460A2 (de) 2007-09-26
RU2007130676A (ru) 2009-02-20
US20080307879A1 (en) 2008-12-18
WO2006074850A2 (de) 2006-07-20
WO2006074850A3 (de) 2006-11-16
CN101103257A (zh) 2008-01-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2362125C2 (ru) Способ регулировки термического или калориметрического расходомера
TWI417697B (zh) 質流控制器之熱虹吸補償
US7651263B2 (en) Method and apparatus for measuring the temperature of a gas in a mass flow controller
WO2011067877A1 (ja) 圧力式流量制御装置
US6474155B1 (en) Constant-temperature-difference flow sensor
JP6042449B2 (ja) 流体の質量流量を測定する装置および方法
CN109387254B (zh) 热式流量计
KR102437647B1 (ko) 가연성 가스와 연소 공기를 혼합하기 위한 장치와 방법, 이것이 구비된 온수 설비, 대응하는 열식 질량 유량 센서, 및 가스 유동의 질량 유량을 측정하기 위한 방법
EP2893333A2 (en) Quasiadiabatic differential scanning calorimeter
JP2007139672A (ja) 流体計測装置及び流体計測方法
US10712191B1 (en) Thermal flowmeter and method of flow rate correction
US10816376B2 (en) Thermal flowmeter and flow rate compensation method
US8950273B2 (en) Method and thermal, flow measuring device for determining and/or monitoring at least one variable dependent on at least the chemical composition of a measured medium
CN102869456A (zh) 在可调温度下传输介质的装置及调节和调整温度的相关方法
JPH10508382A (ja) 実時間測定方法
JP2930742B2 (ja) 熱式流量計
JP2004069667A (ja) 液体用熱式質量流量計
CN117616257A (zh) 具有改进的测量精度的温度计
KR101519837B1 (ko) 펄스히팅 방식 질량유량계 및 그 측정방법
KR102707102B1 (ko) 압력 둔감형 열식 유량계
JP2006038607A (ja) 高圧流体の定圧比熱測定方法及び装置
JP4081639B2 (ja) 液体用熱式質量流量計
JP5178262B2 (ja) 熱式流量計およびその初期調整方法と初期調整装置
JPH06214658A (ja) 温度調節機能付きマスフローコントローラ
SU770349A1 (ru) Пленочный термоанемометр

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20091217