JP6042449B2 - 流体の質量流量を測定する装置および方法 - Google Patents
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Description
を測定する装置および方法に関する。つまり本発明は、導管内の質量流量を測定および/または制御する装置および方法に関する。ここで流体とは、気体状媒体、液体状媒体、および潜熱を伴わない気体状、液体状および/または固体状の成分から成る混合物のことである。さらに本発明において導管とは、任意の閉じられた横断面形状を有する管およびダクトのことである。流体の比熱容量cpが既知でない場合、本発明によれば流体の容積流量
を求めることができる。
と合わせて、3つの測定量
が生じる。
から2つのエネルギー収支を立てることができ、一方は流動する流体のエネルギー収支であり、他方は熱交換器のエネルギー収支である。これら2つのエネルギー収支から、質量流量に対する2つの解析関数が導出される。質量流量に対する関数Aは有利には、流動する流体のエネルギー収支の変化から得られる。質量流量に対する関数Bは有利には、エネルギー保存の法則を適用して両方のエネルギー収支を同等のものとし、ついで質量流量に従い解くことにより得られる。
には、一般に個々にそれらのシステマティックな誤差
が付随する。ゆえに、関数Aと関数Bによる質量流量の結果相互間には、測定量の補正をしなければ偏差が生じ、つまり様々なシステマティックな作用が生じることになる。ただしこれら両方の解析関数AおよびBはもっぱら、同じ変数
ならびに流体の比熱容量cpに基づいている。したがって関数AとBとの結果は、関数AとBの変数に誤差が含まれていないという条件のもとでは、一致していなければならない。この条件から、質量流量も測定量のシステマティックな誤差も、センサの内因的較正によって正確に求めることができる。
・ステップa)によれば、n≧2の測定ポイントを有する測定系列
が、一定の質量流量
および一定の流体温度のときに、第1の温度測定部において取得され、熱交換器により各測定ポイントごとに、先行の測定ポイントに対し変更された熱出力
が流体に加えられる。
・ステップb)によれば、n個のデータセットが関数AおよびBに渡され、それぞれシステマティック誤差
により拡張され、
質量流量を表す第1の関数Aとして、関数
質量流量を表す第2の関数Bとして、別の関数
ただしRは、測定データの線形近似により求められる関数
・ステップc)によれば、システマティック誤差が、分散有利にはデータセットの標準偏差が最小化されるフィッティング関数の任意のフィッティングパラメータとして求められる。フィッティング関数によって、一定の質量流量
が供給され、その精度は統計的不確実性にのみ左右される。ただし、3つのフィッティングパラメータ
の任意の組み合わせが存在する。その理由は、2つの式に3つの未知数がある方程式系は劣決定だからである。
・それゆえ、1つの有利な実施形態によれば、本発明による方法はステップc)に続き、さらに別のステップd)およびe)によって拡張される。
・ステップd)によれば、システマティック誤差
を正確に求めるために、フィッティング関数が第3の独立した関数Cによって拡張される。
・ステップe)によれば、本発明による装置の標準動作中、すなわち測定範囲全体において、流動する流体のエネルギー収支からシステマティック誤差が除かれた測定量により、関数Aに従い質量流量が計算される。
・本発明の重要な利点は、内因的較正を行うことができることであり、つまり比較規準を用いることなく、本発明による装置(センサ)の固有の較正を行えることである。
・少なくとも3つのデータポイントを用いて内因的較正を実施することにより、式
・定常条件のもとでステップa)〜c)を適用すれば、質量流量または容積流量の正確な測定をいつでも行うことができる。測定の不確実性は統計的不確実性にのみ左右され、測定時間が長くなればなるほど、この不確実性を低減することができる。
・質量流量または容積流量の測定不確実性を、測定自体によってダイレクトに表すことができる。このような不確実性は、内的較正においてフィット関数の残留標準偏差に相応する。標準動作中、測定量の統計的不確実性を用い、誤差伝播の法則に従い関数Aから測定不確実性が算出される。
・本発明による方法によれば、いつでもどこでも、特に実際の動作条件のもとで装置に組み込まれた状態で、較正を行うことができる。このことは以下の場合に殊に有利である。すなわち、
−特別な使用条件、特に著しく低い温度または著しく高い温度の場合。このような場合、工場で較正するには技術的なコストがかかりすぎてしまう。
・システマティック誤差の恒常性または変動をセンサ自体によって診断することができる。このような診断は、ステップe)による標準動作の結果と、ステップa)〜c)による較正動作の結果を、周期的に比較することによって行われる。必要であれば、殊に周囲条件が著しく変化した場合、ステップd)を適用してシステマティック誤差を新たに求めることができる。
・ステップd)によるシステマティック誤差の正確な算出を実行できない場合、動作中、本発明による装置の動作範囲に対し、それぞれ異なる動作条件を選択したときのステップa)〜c)による内因的較正に基づく特性曲線および/または特性マップが作成される。
・後方に制御弁を挿入することにより、本発明による装置を質量流量制御装置として使用することができる。このように構成することの格別な利点は、それぞれ異なる質量流量における2つの測定系列を、質量流量制御装置自体によって実現することができ、このようにすることでシステマティック誤差をステップa)〜d)に従って正確に求めることができる。
・熱式質量流量センサとは異なり、測定量におけるシステマティック誤差を最小化する必要がない。これにより、本発明による装置の構造を著しく簡単にすることができる。
・本発明による装置によれば、熱式質量流量センサよりも著しく小さい温度差であっても、質量流量または容積流量を測定することができ、有利には(ΔT′−ΔT″)<1Kの範囲である。このことから、流体のバイパスにおいても、および/またはじかに流体の主流においても、求めるべき流体に影響を及ぼすことなく、質量流量の測定を行うことができる。
と合わせて、3つの測定量
が生じる。これら3つの測定量
から、2つのエネルギー収支が作成される。第1の収支として、流動する流体20のエネルギー収支を選択した:
は制御可能な熱出力40を表し、
は流体20の質量流量を表し、cpは流体20の比熱容量を表し、ΔT′およびΔT″は、熱交換器30の入口温度差および出口温度差を表す。係数
は、流体20の容積流量
としても既知である。
が一定であれば、Rも一定だからである。熱出力
を段階的に変更しながら一連の測定を行うと、式2に従い測定量
とΔTm=f(ΔT′;ΔT″)との間に直線的な関係が得られる。ここでRは、測定データの線形近似により求めることのできる関数の勾配である(図5参照)。
には、一般にシステマティックな誤差
が付随する。したがって、関数Aと関数Bによる質量流量の結果相互間には、測定量の補正をしないと偏差が生じ、つまり種々のシステマティックな作用が生じることになる。図6には、関数Aと関数Bのシステマティックな作用が例示されている。この図には、誤差のないサンプルデータに対する計算された質量流量の相対的な誤差が、熱出力
を表す軸上に書き込まれている。表1には、図6に示したデータがまとめられている。システマティックな作用はそれらの極性符号に関して、逆極性の傾向となる可能性があり(図6a参照)、あるいは図6bまたは図6cのように同極性の傾向となる可能性がある。同様に、極性符号の変化を伴ってシステマティックな作用の不安定性が生じる可能性もある。この場合、計算された質量流量の相対的な誤差は、測定量をじかに評価するのが通常はあり得ない程度に大きい。
ならびに流体の比熱容量cpに基づいている。したがって関数AとBとの結果は、関数AとBの変数に誤差が含まれていないという条件のもとでは、一致していなければならない。それ相応の誤差のない変数は、測定量
からシステマティック誤差
を減算することにより形成することができる(統計的不確実性の影響については、あとで例を挙げて説明する)。この場合、パラメータ
には、熱出力
の本来のシステマティックな測定誤差だけでなく、周囲に流れるもしくは付加的に周囲から取り込まれる熱出力の一部も含まれている。式4および式5によって、物理的に厳密な以下の関係が成り立つ:
と一定の流体温度51のもとで、一連の測定が実施され、この場合、有利には熱出力
40が段階的に変更される。ここではn個の測定ポイントによる一連の測定から、i=1〜n個のデータセット
が得られる。熱抵抗
の線形の近似のためには、n≧2の測定ポイントが必要とされる。2つの測定ポイントよりも多くの測定ポイントを用いるのが有利である。なぜならば、線形の近似の残差によって、較正中の動作条件の実際の安定性を表すことができるからである。
によって拡張される。このようにして形成された関数AとBが組み合わせられて、1つの共通のデータセットが形成される。
が、分散有利にはデータセットの標準偏差が最小化されるフィッティング関数の任意のフィッティングパラメータとして求められる。このようにして実施されたフィッティングによって、内因的較正の一定の質量流量または容積流量が得られる。容積質量流
の結果は、統計的な不安定性にのみ依存し、すなわち容積流量の変化自体と、その平均値を中心とする測定量の変化に依存する。データセットの2n個のデータポイントにおける残差標準偏差は、容積流量測定の測定不安定性に対する直接的な尺度である。これらに加えて質量流量
の測定不安定性は、比熱容量cpの値の不安定性も依存する。
に関して基本的に任意の組み合わせが可能である。ただし、2つの式と3つの未知の変数を有する方程式は劣決定である。フィッティングされた測定系列に対し、たしかに正確な容積流量もしくは質量流量が得られるけれども、フィッティングパラメータのこのような任意の組み合わせを用いると、その結果として、本発明による装置の測定範囲全体においては、図6に示されているようなシステマティックな作用が生じてしまう。質量流量に偏差が生じている2つめの測定系列を用い、両方の測定系列のデータによってフィッティング関数を実施することによって、このような状況が利用される。その際、種々の数学的手法によって、第2の測定系列を考慮することができる。有利には、第2の測定系列に関する境界条件によりフィッティング関数の拡張が可能であり、あるいは2つの測定系列の標準偏差を同時に最小化することができる。この場合、システマティック誤差
は、両方の測定系列においてすべての測定ポイントで等しい。第2の測定系列により実験的な手法で、フィッティング関数のうち第3の独立した関数Cが得られ、これによってシステマティック誤差
を正確に求めることができる。
の精度が得られる。それらのデータを残差誤差として代入し、測定質量流の不安定性を式4および誤差伝播の法則に従い計算すると、すべてのサンプルデータに対し10-7kg/sより小さい値が得られる。その結果、以下の結論が得られる。
・熱式質量流量センサと比較して本発明による装置は、実質的にいっそう小さい温度差で駆動され、その際、(ΔT′−ΔT″)<1Kという流体の温度差が可能である。これにより、バイパス内の質量流量測定のほか、流体の主流においてじかに質量流量を測定することも可能である。
・本発明による装置の測定安定性はもっぱら、内因的較正中における動作温度の安定性と、3つの測定量の安定性と分解能に依存する。3つの測定量の精度は重要ではない。
が一定であれば熱伝達係数kつまりは熱抵抗Rも一定である、ということである。この前提は原則的に気体状の流体にのみあてはまり、他方、液体状の流体であれば、粘度特性を介した壁温の影響を考慮しなければならない。ただしこの影響は10-3K-1の範囲にすぎず、1つの測定系列内で必然的に生じる温度変化を考慮すれば、無視できる程度のものである。
40を電気的に供給した。導管10内の気体状のヘリウムによって放熱を行わせ、このヘリウムの質量流量
を求めた。両方の測定部51,52におけるヘリウムの温度を、導管10上に設けられたTVOセンサによって測定した。なお、TVOセンサなる用語は一種の抵抗温度計を表すものであり、これは有利には低い温度に適用される。TVOセンサと導管10との間の熱的接触面は、固有の熱の作用を無視できる程度に大きいものであった。第3の温度測定部53における飽和ネオンの温度を、測定したネオンの飽和蒸気圧から蒸気圧特性曲線を介して求めた。
において10個の測定ポイントが用いられた。10個の測定ポイントの各々において、30分の期間にわたりそれぞれ約1000個の測定データが記録され、それらの測定データから、測定量の平均値と標準偏差を計算した。図7aには、熱抵抗Rを求めるための測定データの直線性が、
として示されている。図7bには、回帰直線に基づき10個の測定ポイントの残差が示されている。
として示されている。誤差のバーは、ISO/IEC Guide 98-3:2008によるタイプA評価の結果として得られた、組み合わせられた標準不安定性の統計的な成分を表す。計算された質量流量に関して、組み合わせられた標準不安定性の統計的な成分は、
の範囲内にあった。
で表されている。統計的不安定性が測定に含まれていないとしたならば、式6によるシステマティック誤差の補正後、各測定ポイント
は、それぞれ対応する測定ポイント
と厳密に一致しているはずである。しかもすべての測定ポイントは、正確に1つの水平線上に位置することになる。したがってこのような理論的な一致からの偏差が、残りの誤差成分に対する直接的な尺度となり、つまり統計的不安定性に対する直接的な尺度となる。つまり、フィッティング関数により求められた質量流量の標準不安定性は、データセットの残留する標準偏差に等しい。測定データから、平均質量流量
を計算した。この結果は、質量流量測定の相対的標準不確実性
に対応する。つまり本発明による方法によれば、質量流量測定のシステマティック誤差が補正されるだけでなく、統計的不確実性も1つのオーダを上回るオーダで低減される。温度測定、圧力測定および電力測定に関して標準的なプロセス測定技術によってすでに、0.6%という僅かな測定不確実性が達成された。このようなプロセス測定技術は、本発明による装置の要求に合わせて特別に最適化されたものではない。
Claims (15)
- 流体(20)の質量流量を測定する装置であって、
熱交換器(30)との接触点に向かう流動方向で流体(20)を案内する導管(10)が設けられており、
前記熱交換器(30)の上流に、第1の流体温度を測定する第1の温度測定部(51)が配置されており、
前記熱交換器(30)の下流に、第2の流体温度を測定する第2の温度測定部(52)が配置されている、
流体(20)の質量流量を測定する装置において、
前記熱交換器(30)の上流の流体(20)は、前記第1の流体温度を有しており、
前記熱交換器(30)の下流の流体(20)は、前記第2の流体温度を有しており、
前記熱交換器(30)は、流動方向において一定の表面温度(33)を有しており、該表面温度(33)は、第3の温度測定部(53)によって測定可能である、
装置。 - 前記熱交換器(30)に熱出力(40)を供給するための制御可能な装置が設けられている、
請求項1記載の装置。 - 前記熱交換器(30)は前記導管(10)を取り囲んでおり、または前記導管(10)は前記熱交換器(30)を取り囲んでおり、または前記熱交換器(30)は前記導管(10)内部に組み込まれている、
請求項1または2記載の装置。 - 前記熱交換器(30)が前記導管(10)を取り囲んでいる場合、または、前記導管(10)が前記熱交換器(30)を取り囲んでいる場合、前記第1の温度測定部(51)と前記第2の温度測定部(52)はそれぞれ前記熱交換器(30)から、前記導管(10)のフィン効率および/または前記流体(20)の放射方向の温度プロフィルが無視できる程度に小さくなる間隔(61,62)をおいて配置されている、
請求項3記載の装置。 - 前記第1の温度測定部(51)と前記第2の温度測定部(52)は、前記熱交換器(30)から異なる間隔(61,62)で配置されている、
請求項1から4のいずれか1項記載の装置。 - 前記第1の温度測定部(51)は第1の接触部材(11)と接続されており、および/または前記第2の温度測定部(52)は第2の接触部材(12)と接続されており、
前記第1の接触部材(11)は、前記熱交換器(30)の上流で前記導管(10)を取り囲んでおり、および/または前記第2の接触部材(12)は、前記熱交換器(30)の下流で前記導管(10)を取り囲んでいる、
請求項1から5のいずれか1項記載の装置。 - 前記熱交換器(30)の前記表面に、前記第3の温度測定部(53)に加えて第4の温度測定部(54)が設けられている、
請求項1から6のいずれか1項に記載の装置。 - 前記第3の温度測定部(53)と前記第1の温度測定部(51)との温度差ΔT′が、および/または、前記第3の温度測定部(53)と前記第2の温度測定部(52)との温度差ΔT″が、サーモエレメントまたはサーモパイルによって、または複数の抵抗温度計(53,51;53,52)間の差分測定によって検出される、
請求項1から7のいずれか1項記載の装置。 - 前記熱交換器(30)は、飽和媒体(70)が充填されている密閉容積体を有しており、前記飽和媒体(70)は、沸騰した液体(71)と飽和蒸気(72)との相平衡状態にあって、流動方向で一定の表面温度(33)が、前記導管(10)の表面に凝縮した媒体(73)の飽和温度を介して達成され、平衡状態において、凝縮した一定量の媒体(73)がヒータによって供給される熱(40)により再び蒸発する、
請求項1から8のいずれか1項記載の装置。 - 前記第3の温度測定部(53)は、前記熱交換器(30)内の媒体(70)の蒸気圧特性曲線および蒸気圧を介して、一定の表面温度(33)を測定し、および/または、
前記第1の温度測定部(51)および/または前記第2の温度測定部(52)は、蒸気圧温度計として構成されおり、該蒸気圧温度計は前記熱交換器(30)と同じ媒体(70)で満たされて、前記第3の温度測定部(53)と前記第1の温度測定部(51)との温度差ΔT′、および前記第3の温度測定部(53)と前記第2の温度測定部(52)との温度差ΔT″が、圧力測定(53,51;53,52)または差分圧力測定(54,55)によって測定される、
請求項9記載の装置。 - 前記流体(20)を案内する前記導管(10)は、前記流体(20)の主流を成しており、または前記流体(20)の主流の一部だけを案内するバイパスを成している、
請求項1から10のいずれか1項記載の装置。 - 流体(20)の質量流量を測定する方法において、
a)前記流体(20)の第1の質量流量と温度が一定のとき、n≧2の測定ポイントを用い第1の温度測定部(51)のところで測定系列
を取得するステップを有しており、
該ステップにおいて、熱交換器(30)により各測定ポイントごとに前記流体(20)に対し、先行の測定ポイントとは異ならせた熱出力
(40)を加え、
ただしΔT′は、第3の温度測定部(53)と第1の温度測定部(51)との温度差であり、ΔT″は、第3の温度測定部(53)と第2の温度測定部(52)との温度差であり、
前記第1の温度測定部(51)は、前記熱交換器(30)よりも上流に、前記第2の温度測定部(52)は、前記熱交換器(30)よりも下流に配置され、前記熱交換器(30)は、流動方向において一定の表面温度(33)を有しており、該表面温度(33)を、前記第3の温度測定部(53)により測定し、
b)取得された前記測定系列
の値
を、個々のシステマティック誤差
によって拡張し、拡張した測定系列を、第1の関数Aおよび該第1の関数Aとは異なる第2の関数Bに代入し、前記第1の関数Aの結果と前記第2の関数Bの結果を組み合わせて、1つの共通のデータセットを形成するステップを有しており、
前記第1の関数Aおよび前記第2の関数Bはともに、もっぱら同一の値
と前記流体(20)の比熱容量cpを結合し、
質量流量を表す第1の関数Aとして関数
質量流量を表す第2の関数Bとして別の関数
ただしRは、測定データの線形の近似により求められる関数
c)フィッティング関数を適用し、前記システマティック誤差
を任意のフィッティングパラメータとして変化させるステップを有しており、前記フィッティング関数において、前記共通のデータセットの分散を最小化して、前記フィッティング関数により、一定の質量流量を表す値
を供給する、
方法。 - 前記関数Cに対し、第1の一定の質量流量とは異なる第2の一定の質量流量による第2の測定系列を適用し、該第2の測定系列を第2の関数Aおよび/または第2の関数Bに代入する、
請求項13記載の方法。 - それぞれ異なって選択された動作条件において、前記ステップa)〜c)による内因的較正に基づく特性曲線および/または特性マップを作成する、
請求項12記載の方法。
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