RU2335822C1 - Многокристальный модуль - Google Patents

Многокристальный модуль Download PDF

Info

Publication number
RU2335822C1
RU2335822C1 RU2007102657/28A RU2007102657A RU2335822C1 RU 2335822 C1 RU2335822 C1 RU 2335822C1 RU 2007102657/28 A RU2007102657/28 A RU 2007102657/28A RU 2007102657 A RU2007102657 A RU 2007102657A RU 2335822 C1 RU2335822 C1 RU 2335822C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
chip module
microboards
microplate
microplates
microboard
Prior art date
Application number
RU2007102657/28A
Other languages
English (en)
Inventor
В чеслав Сергеевич Серегин (RU)
Вячеслав Сергеевич Серегин
Лариса Владимировна Пилавова (RU)
Лариса Владимировна Пилавова
Анатолий Иванович Василевич (RU)
Анатолий Иванович Василевич
В чеслав Леонидович Троицкий (RU)
Вячеслав Леонидович Троицкий
Алексей Викторович Горьков (RU)
Алексей Викторович Горьков
Сергей Анатольевич Гамкрелидзе (RU)
Сергей Анатольевич Гамкрелидзе
Original Assignee
Закрытое акционерное общество "Научно-производственное объединение "НИИТАЛ"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Закрытое акционерное общество "Научно-производственное объединение "НИИТАЛ" filed Critical Закрытое акционерное общество "Научно-производственное объединение "НИИТАЛ"
Priority to RU2007102657/28A priority Critical patent/RU2335822C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2335822C1 publication Critical patent/RU2335822C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении многокристальных модулей. Техническим результатом изобретения является обеспечение герметичности и радиационной стойкости конструкции модуля в условиях воздействия механических и климатических факторов. Сущность изобретения: многокристальный модуль выполнен в виде пакета кристаллодержателей, в каждом из которых на металлизированной микроплате закреплена интегральная схема, электрически связанная с внешними выводами проволочными соединениями и микропроводниками металлизации микроплат. Кристаллодержатель выполнен в виде, установленных друг на друга трех металлизированных микроплат, изготовленных из материала с высокими теплопередающими свойствами. Нижняя микроплата выполнена сплошной, средняя и верхняя микроплаты выполнены в виде рамок, имеющих центральные прямоугольные отверстия меньшего и большего размеров соответственно. Нижняя, средняя и верхняя микроплаты образуют глухую ступенчатую полость, на выступе которой размещена контактная площадка, электрически связанная с интегральной схемой, закрепленной на нижней микроплате. В качестве внешних выводов использованы каналы, образованные соосными сквозными отверстиями, выполненными по периферии нижней, средней и верхней микроплат и герметизированные припоем. 4 з.п. ф-лы, 3 ил.

Description

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении многокристальных модулей.
Известен многокристальный модуль (патент США № 5648648, МПК H01L 23/02), содержащий штабель полупроводниковых устройств, каждое из которых включает основание из полупроводникового материала прямоугольной формы и металлизированные поверхности с конфигурацией проводников, при этом полупроводниковые устройства соединены между собой смежными поверхностями с применением L-образных и Т-образных контактов.
Однако недостатком этого многокристального модуля является то, что конструкция элементов модуля выполнена из полимерных материалов, что снижает стойкость многокристального модуля к воздействию ионизирующего излучения.
Известен также многокристальный модуль, выбранный в качестве прототипа (патент США № 7126209, МПК H01L 23/495), включающий набор полупроводниковых устройств, связанных между собой матрицами шариковых выводов. Каждое полупроводниковое устройство включает кристаллодержатель с внутренними и внешними контактными площадками, при этом к внутренними контактными площадками присоединены интегральные схемы. Интегральные схемы электрически связаны с выводами с помощью проволочных соединений. Зоны присоединения заполнены компаундной смесью.
Недостатком данного технического решения является то, что зоны коммутации смежных кристаллодержателей не обеспечены необходимой степенью герметичности, что снижает надежность многокристальный модулей в условиях воздействия механических и климатических факторов, а применение полимерных веществ в данных конструкциях снижает их стойкость к воздействию ионизирующих излучений.
Задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является обеспечение герметичности и радиационной стойкости конструкции модуля в условиях воздействия механических и климатических факторов.
Для решения поставленной задачи многокристальный модуль выполнен в виде пакета кристаллодержателей, в каждом из которых на металлизированной микроплате закреплена интегральная схема, электрически связанная с внешними выводами проволочными соединениями и микропроводниками металлизации микроплат, причем кристаллодержатель выполнен в виде установленных друг на друга трех металлизированных микроплат, изготовленных из материала с высокими теплопередающими свойствами, нижняя микроплата выполнена сплошной, средняя и верхняя микроплаты выполнены в виде рамок, имеющих центральные прямоугольные отверстия меньшего и большего размеров соответственно, при этом нижняя, средняя и верхняя микроплаты образуют глухую ступенчатую полость, на выступе которой размещена контактная площадка, электрически связанная с интегральной схемой, закрепленной на нижней микроплате, а в качестве внешних выводов использованы каналы, образованные соосными сквозными отверстиями, выполненными по периферии нижней, средней и верхней микроплат и герметизированные припоем.
В частном варианте в качестве материала микроплат использован нитрид алюминия.
В другом частном варианте кристаллодержатели, а также нижняя, средняя и верхняя микроплаты соединены диффузионной сваркой.
В другом частном варианте контактная площадка электрически связана с интегральной схемой с помощью проволочных соединений.
В другом частном варианте на верхний кристаллодержатель установлена крышка.
На фиг.1 схематично представлен разрез многокристального модуля.
На фиг.2 представлен многокристальный модуль, вид снизу.
На фиг 3 представлен многокристальный модуль, разрез по двум смежным поверхностям кристаллодержателей.
Многокристальный модуль представляет собой пакет кристаллодержателей 1, соединенных между собой диффузионной сваркой, каждый кристаллодержатель состоит из трех микроплат: нижней 2, средней 3 и верхней 4. Каждая микроплата в кристаллодержателе выполнена с металлизацией поверхностей, конфигурация проводников которой соответствует требованиям принципиальной электрической схемы многокристального модуля. Нижняя плата выполнена сплошной. Средняя и верхняя микроплаты выполнены в виде металлизированных рамок, имеющих центральные прямоугольные отверстия соответственно большего и меньшего размеров. В сборе нижняя, средняя и верхняя микроплата образуют глухую ступенчатую полость 5. На нижней микроплате размещена интегральная схема 6. На выступе, образованном средней и верхней микроплатами, расположена контактная площадка 7. Электрическая связь между контактами интегральной схемы и контактной площадкой осуществлена с помощью металлических проводников 8. По периферии нижней, средней и верхней микроплат выполнены сквозные соосные отверстия 9, которые образуют каналы 10, заполненные припоем. Эти каналы обеспечивают коммутационные связи между основными элементами модуля, а также теплоотвод от кристаллов интегральных схем. Количество сквозных отверстий, выполненных по периферии микроплат, соответствует количеству внешних выводов многокристального модуля и количеству выводов, обеспечивающих межуровневые переходы. На верхнем кристаллодержателе установлена крышка 11. Она прикреплена к кристаллодержателю диффузионной сваркой, что обеспечивает герметизацию зоны монтажа интегральной схемы верхнего кристаллодержателя.
Предложенный многокристальный модуль характеризуется повышенной герметичностью, надежностью, высокой радиационной стойкостью конструкции в условиях воздействия механических и климатических факторов. Кроме того, выполнение микроплат из нитрида алюминия, обладающего высокой теплопроводностью, позволяет увеличить эффективность теплопередачи от зоны расположения микросхем в окружающую среду.

Claims (5)

1. Многокристальный модуль, выполненный в виде пакета кристаллодержателей, в каждом из которых на металлизированной микроплате закреплена интегральная схема, электрически связанная с внешними выводами проволочными соединениями и микропроводниками металлизации микроплат, отличающийся тем, что кристаллодержатель выполнен в виде установленных друг на друга трех металлизированных микроплат, изготовленных из материала с высокими теплопередающими свойствами, нижняя микроплата выполнена сплошной, средняя и верхняя микроплаты выполнены в виде рамок, имеющих центральные прямоугольные отверстия меньшего и большего размеров соответственно, при этом нижняя, средняя и верхняя микроплаты образуют глухую ступенчатую полость, на выступе которой размещена контактная площадка, электрически связанная с интегральной схемой, закрепленной на нижней микроплате, а в качестве внешних выводов использованы каналы, образованные соосными сквозными отверстиями, выполненными по периферии нижней, средней и верхней микроплат и герметизированные припоем.
2. Многокристальный модуль по п.1, отличающийся тем, что в качестве материала микроплат использован нитрид алюминия.
3. Многокристальный модуль по п.1, отличающийся тем, что кристаллодержатели, а также нижняя, средняя и верхняя микроплаты соединены диффузионной сваркой.
4. Многокристальный модуль по п.1, отличающийся тем, что контактная площадка электрически связана с интегральной схемой с помощью проволочных соединений.
5. Многокристальный модуль по п.1, отличающийся тем, что на верхний кристаллодержатель установлена крышка.
RU2007102657/28A 2007-01-25 2007-01-25 Многокристальный модуль RU2335822C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007102657/28A RU2335822C1 (ru) 2007-01-25 2007-01-25 Многокристальный модуль

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007102657/28A RU2335822C1 (ru) 2007-01-25 2007-01-25 Многокристальный модуль

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2335822C1 true RU2335822C1 (ru) 2008-10-10

Family

ID=39927952

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007102657/28A RU2335822C1 (ru) 2007-01-25 2007-01-25 Многокристальный модуль

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2335822C1 (ru)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2461911C2 (ru) * 2010-11-30 2012-09-20 Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации Многокристальный модуль
RU2463684C1 (ru) * 2011-05-17 2012-10-10 Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли РФ Многокристальный модуль
RU2504863C2 (ru) * 2009-06-26 2014-01-20 Интел Корпорейшн Корпусы с многослойной укладкой кристаллов в устройстве типа корпус на корпусе, способы их сборки и системы, содержащие их
RU2702705C1 (ru) * 2019-03-01 2019-10-09 Российская Федерация, от имени которой выступает ФОНД ПЕРСПЕКТИВНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ Многокристальный модуль

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2504863C2 (ru) * 2009-06-26 2014-01-20 Интел Корпорейшн Корпусы с многослойной укладкой кристаллов в устройстве типа корпус на корпусе, способы их сборки и системы, содержащие их
RU2461911C2 (ru) * 2010-11-30 2012-09-20 Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации Многокристальный модуль
RU2463684C1 (ru) * 2011-05-17 2012-10-10 Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли РФ Многокристальный модуль
RU2702705C1 (ru) * 2019-03-01 2019-10-09 Российская Федерация, от имени которой выступает ФОНД ПЕРСПЕКТИВНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ Многокристальный модуль

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5646828A (en) Thin packaging of multi-chip modules with enhanced thermal/power management
US7808781B2 (en) Apparatus and methods for high-performance liquid cooling of multiple chips with disparate cooling requirements
JP3560488B2 (ja) マルチチップ用チップ・スケール・パッケージ
US7829989B2 (en) Vertical packaged IC device modules with interconnected 3D laminates directly contacts wafer backside
JP3762844B2 (ja) 対向マルチチップ用パッケージ
US8916958B2 (en) Semiconductor package with multiple chips and substrate in metal cap
TWI343097B (en) Packaging configurations for vertical electronic devices using conductive traces disposed on laminated board layers
US20070290311A1 (en) Bond wireless power module wiht double-sided single device cooling and immersion bath cooling
JP2004312034A (ja) 回路組立体および集積回路デバイスに放熱器を接続する方法
US20100294358A1 (en) Semiconductor package
KR20100120006A (ko) 전력 모듈 패키지
CN111261598A (zh) 封装结构及其适用的电源模块
RU2335822C1 (ru) Многокристальный модуль
US8232635B2 (en) Hermetic semiconductor package
US20100019374A1 (en) Ball grid array package
US7254032B1 (en) Techniques for providing EMI shielding within a circuit board component
KR101343199B1 (ko) 반도체 패키지
JP2019149501A (ja) 配線基板及び電子装置
TWI495078B (zh) 連接基板及層疊封裝結構
KR100663117B1 (ko) 열전 모듈
KR20060105403A (ko) 혼성회로와 복합기판을 가지는 패키지 구조물
RU2008108713A (ru) Монтажная панель для электронного компонента
CN101005062B (zh) 使用相互连接的三维层片将垂直封装的mosfet和集成电路功率器件构建成集成模块
RU2386190C1 (ru) Корпус интегральной схемы
RU2461911C2 (ru) Многокристальный модуль

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20100126