RU2161075C2 - Приспособление для использования в установке для нанесения на детали покрытий, приспособление модульного типа, установка для нанесения покрытий на детали и способ нанесения покрытий - Google Patents

Приспособление для использования в установке для нанесения на детали покрытий, приспособление модульного типа, установка для нанесения покрытий на детали и способ нанесения покрытий Download PDF

Info

Publication number
RU2161075C2
RU2161075C2 RU98118466/12A RU98118466A RU2161075C2 RU 2161075 C2 RU2161075 C2 RU 2161075C2 RU 98118466/12 A RU98118466/12 A RU 98118466/12A RU 98118466 A RU98118466 A RU 98118466A RU 2161075 C2 RU2161075 C2 RU 2161075C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
parts
coating
shaft
installation
central element
Prior art date
Application number
RU98118466/12A
Other languages
English (en)
Russian (ru)
Other versions
RU98118466A (ru
Inventor
Уильям Менчетти Джон
Майкл Бернс Стивен
Original Assignee
Юнайтед Технолоджиз Корпорейшн
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Юнайтед Технолоджиз Корпорейшн filed Critical Юнайтед Технолоджиз Корпорейшн
Publication of RU98118466A publication Critical patent/RU98118466A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2161075C2 publication Critical patent/RU2161075C2/ru

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C13/00—Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles
    • B05C13/02—Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles for particular articles
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50—Substrate holders
    • C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/458—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Details Or Accessories Of Spraying Plant Or Apparatus (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
RU98118466/12A 1997-01-13 1997-09-02 Приспособление для использования в установке для нанесения на детали покрытий, приспособление модульного типа, установка для нанесения покрытий на детали и способ нанесения покрытий RU2161075C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/782,398 1997-01-13
US08/782,398 US5803971A (en) 1997-01-13 1997-01-13 Modular coating fixture

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU98118466A RU98118466A (ru) 2000-09-20
RU2161075C2 true RU2161075C2 (ru) 2000-12-27

Family

ID=25125927

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU98118466/12A RU2161075C2 (ru) 1997-01-13 1997-09-02 Приспособление для использования в установке для нанесения на детали покрытий, приспособление модульного типа, установка для нанесения покрытий на детали и способ нанесения покрытий

Country Status (7)

Country Link
US (1) US5803971A (OSRAM)
EP (1) EP0975435B1 (OSRAM)
JP (1) JP3976099B2 (OSRAM)
DE (1) DE69737037T2 (OSRAM)
RU (1) RU2161075C2 (OSRAM)
UA (1) UA49876C2 (OSRAM)
WO (1) WO1998030338A1 (OSRAM)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2294395C2 (ru) * 2005-04-29 2007-02-27 Открытое акционерное общество "Национальный институт авиационных технологий" (ОАО "НИАТ") Установка для вакуумной ионно-плазменной обработки поверхностей
RU2312170C2 (ru) * 2005-08-17 2007-12-10 Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук Устройство для нанесения многослойных оптических покрытий
RU2316614C1 (ru) * 2005-04-08 2008-02-10 Эпплайд Матириалз Гмбх Энд Ко.Кг Установка для нанесения покрытия на подложку и модуль для этой установки
RU2425173C2 (ru) * 2009-01-11 2011-07-27 Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" Установка для комбинированной ионно-плазменной обработки
RU2486280C2 (ru) * 2007-12-06 2013-06-27 Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах Вакуумная pvd-установка нанесения покрытий
RU2572999C2 (ru) * 2011-05-26 2016-01-20 Адвенира Энтерпрайзис, Инк. Система и способ для нанесения покрытий на объект
RU2610496C1 (ru) * 2013-12-03 2017-02-13 Адвенира Энтерпрайзис, Инк. Распределение материала покрытия посредством одновременного вращения и вибрирования

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6332926B1 (en) 1999-08-11 2001-12-25 General Electric Company Apparatus and method for selectively coating internal and external surfaces of an airfoil
US7754016B2 (en) * 2002-10-07 2010-07-13 United Technologies Corporation Multiple axis tumbler coating apparatus
US8349086B2 (en) * 2004-07-30 2013-01-08 United Technologies Corporation Non-stick masking fixtures and methods of preparing same
DE502007003308D1 (de) * 2007-07-12 2010-05-12 Siemens Ag Halterung für Turbinenschaufeln
JP4897087B2 (ja) 2007-10-03 2012-03-14 ミリポア・コーポレイション 積層プレート式ろ過カートリッジ
US8323409B2 (en) * 2008-05-08 2012-12-04 United Technologies Corporation Systems and methods for forming components with thermal barrier coatings
US8211234B2 (en) * 2008-09-02 2012-07-03 United Technologies Corporation Coater platter homing tool
US20110171390A1 (en) * 2010-01-08 2011-07-14 United Technologies Corporation One Financial Plaza Fixture for coating application
EP2788525B1 (en) 2011-12-08 2016-02-24 Praxair S.T. Technology, Inc. Tooling fixture assembly for use in a coating operation
WO2013086339A2 (en) * 2011-12-08 2013-06-13 Praxair S.T. Technology, Inc. Multifuntion tooling fixture assembly for use in a coating related operations
US9759089B2 (en) 2013-12-10 2017-09-12 General Electric Company Transportable modular coating systems and methods
CN103707203B (zh) * 2013-12-11 2016-08-17 中原内配集团股份有限公司 气缸套喷砂、喷涂用工装夹具
DE102015208783A1 (de) 2015-05-12 2016-11-17 MTU Aero Engines AG Abdeckverfahren zur Herstellung einer Kombination von Schaufelspitzenpanzerung und Erosionsschutzschicht
US11117151B2 (en) * 2017-08-23 2021-09-14 Raytheon Technologies Corporation Fixture assembly for coating combustor panels
USD881242S1 (en) * 2018-01-29 2020-04-14 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfaffikon Tool holder

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3796182A (en) * 1971-12-16 1974-03-12 Applied Materials Tech Susceptor structure for chemical vapor deposition reactor
RU2038417C1 (ru) * 1992-06-22 1995-06-27 Бурков Сергей Геннадьевич Устройство для нанесения покрытий на изделия в вакууме
DE4425991C1 (de) * 1994-07-22 1995-12-07 Mtu Muenchen Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur partiellen Beschichtung von Bauteilgruppen

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3594227A (en) * 1968-07-12 1971-07-20 Bell Telephone Labor Inc Method for treating semiconductor slices with gases
US3699298A (en) * 1971-12-23 1972-10-17 Western Electric Co Methods and apparatus for heating and/or coating articles
US3865072A (en) * 1973-10-18 1975-02-11 Hls Ind Apparatus for chemically depositing epitaxial layers on semiconductor substrates
DE2813180C2 (de) * 1978-03-25 1985-12-19 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Vakuumbeschichtungsanlage zum allseitigen Beschichten von Substraten durch Rotation der Substrate im Materialstrom
US4271005A (en) * 1979-12-03 1981-06-02 United Technologies Corporation Workpiece support apparatus for use with cathode sputtering devices
US4252626A (en) * 1980-03-10 1981-02-24 United Technologies Corporation Cathode sputtering with multiple targets
JPS59126541A (ja) * 1983-01-08 1984-07-21 Fuji Electric Co Ltd シ−ト状電子写真用感光体の製造方法
JPS59136541A (ja) * 1983-01-26 1984-08-06 Toyota Motor Corp アイドル回転数制御方法
US4496828A (en) * 1983-07-08 1985-01-29 Ultra Carbon Corporation Susceptor assembly
US4579080A (en) * 1983-12-09 1986-04-01 Applied Materials, Inc. Induction heated reactor system for chemical vapor deposition
DE3422718A1 (de) * 1984-06-19 1986-01-09 Plasmainvent AG, Zug Vakuum-plasma-beschichtungsanlage
US4823736A (en) * 1985-07-22 1989-04-25 Air Products And Chemicals, Inc. Barrel structure for semiconductor epitaxial reactor
JPS6312128A (ja) * 1986-03-20 1988-01-19 Toshiba Mach Co Ltd バレル型気相成長装置
GB2210387B (en) * 1987-09-30 1992-03-11 Rolls Royce Plc Chemical vapour deposition
JP2605810B2 (ja) * 1988-07-18 1997-04-30 日新電機株式会社 気相成長装置の回転シヤフト
US5264245A (en) * 1991-12-04 1993-11-23 Howmet Corporation CVD method for forming uniform coatings
US5421979A (en) * 1993-08-03 1995-06-06 Photran Corporation Load-lock drum-type coating apparatus

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3796182A (en) * 1971-12-16 1974-03-12 Applied Materials Tech Susceptor structure for chemical vapor deposition reactor
RU2038417C1 (ru) * 1992-06-22 1995-06-27 Бурков Сергей Геннадьевич Устройство для нанесения покрытий на изделия в вакууме
DE4425991C1 (de) * 1994-07-22 1995-12-07 Mtu Muenchen Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur partiellen Beschichtung von Bauteilgruppen

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2316614C1 (ru) * 2005-04-08 2008-02-10 Эпплайд Матириалз Гмбх Энд Ко.Кг Установка для нанесения покрытия на подложку и модуль для этой установки
RU2294395C2 (ru) * 2005-04-29 2007-02-27 Открытое акционерное общество "Национальный институт авиационных технологий" (ОАО "НИАТ") Установка для вакуумной ионно-плазменной обработки поверхностей
RU2312170C2 (ru) * 2005-08-17 2007-12-10 Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук Устройство для нанесения многослойных оптических покрытий
RU2486280C2 (ru) * 2007-12-06 2013-06-27 Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах Вакуумная pvd-установка нанесения покрытий
RU2425173C2 (ru) * 2009-01-11 2011-07-27 Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" Установка для комбинированной ионно-плазменной обработки
RU2572999C2 (ru) * 2011-05-26 2016-01-20 Адвенира Энтерпрайзис, Инк. Система и способ для нанесения покрытий на объект
RU2604631C1 (ru) * 2011-05-26 2016-12-10 Адвенира Энтерпрайзис, Инк. Способ нанесения покрытия на объект
RU2610496C1 (ru) * 2013-12-03 2017-02-13 Адвенира Энтерпрайзис, Инк. Распределение материала покрытия посредством одновременного вращения и вибрирования

Also Published As

Publication number Publication date
EP0975435A1 (en) 2000-02-02
DE69737037D1 (de) 2007-01-11
JP2001507985A (ja) 2001-06-19
EP0975435B1 (en) 2006-11-29
DE69737037T2 (de) 2007-04-26
US5803971A (en) 1998-09-08
JP3976099B2 (ja) 2007-09-12
EP0975435A4 (en) 2004-06-02
WO1998030338A1 (en) 1998-07-16
UA49876C2 (uk) 2002-10-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2161075C2 (ru) Приспособление для использования в установке для нанесения на детали покрытий, приспособление модульного типа, установка для нанесения покрытий на детали и способ нанесения покрытий
JP3290620B2 (ja) 加工物をコーティングする方法および装置
EP0953656B1 (en) Rotatable fixture for airfoils
EP2788525B1 (en) Tooling fixture assembly for use in a coating operation
KR102120964B1 (ko) 코팅 관련 작업에서 이용하기 위한 다기능 툴링 고정구 조립체
RU98118466A (ru) Приспособление модульного типа для крепления деталей, на которые наносят покрытие
RU97112384A (ru) Устройство крепления лопатки газовой турбины
RU2003106459A (ru) Зажимное устройство с зажимным патроном и закрепляемым в нем хвостовиком
CA2216418A1 (en) Recessed fixture frame and method
TR199501709A2 (tr) Suda cözülebilen, elyaf reaktiviteli azo boyar maddelerinden boyar madde karisimlari, bunlarin üretilmesine mahsus usul ve bunlarin kullanilmasi.
CA2188301A1 (en) Reaction hydraulic turbine
EP3775314A1 (en) Device and method for selective vapor coating of a substrate
US10906146B2 (en) Zero clamping force conforming fixture
KR200270216Y1 (ko) 로터 블레이드 간격 확보용 공구
SU1593845A1 (ru) Способ сварки трением узлов типа турбинок
SU1090895A2 (ru) Устройство дл креплени рабочих лопаток турбомашины
RU2028939C1 (ru) Сборный резец
JPS58180704A (ja) セラミツクス可変ノズル
SU1164500A2 (ru) Устройство дл замены участка трубопровода
CN119593813A (zh) 低压涡轮静子导叶装配方法
JPH1031116A (ja) 光ファイバ端面研磨方法
JPS604693Y2 (ja) 外周形ブレ−ド
JPS6211330Y2 (OSRAM)
RU2209998C2 (ru) Способ соединения нижнего кольца направляющего аппарата со статором гидротурбины
FR2774655B1 (fr) Rotor a plusieurs pales pour avion a voilure tournante

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20070903