JP3290620B2 - 加工物をコーティングする方法および装置 - Google Patents
加工物をコーティングする方法および装置Info
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- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、加工物をコーティ
ングするための装置に使用される新規なモジュール式の
コーティング用の取付具、および加工物のコーティング
のための方法に関するものである。本発明は特に、工業
用のタービンおよびジェットエンジンのためのベーン
（vane）やブレード（blade ）のコーティングに特に有
用である。
ングするための装置に使用される新規なモジュール式の
コーティング用の取付具、および加工物のコーティング
のための方法に関するものである。本発明は特に、工業
用のタービンおよびジェットエンジンのためのベーン
（vane）やブレード（blade ）のコーティングに特に有
用である。
【０００２】
【従来の技術】工業用のタービンやジェットエンジンな
どにおいて使用されるベーンやブレードでは、一般的
に、それらの腐食、熱疲労に対する耐性を改良し、また
その他の点において性能を改善するために、コーティン
グ処理が施される。経済的な点から、同時に多数の加工
物をコーティングできる業務用の方法が望まれている。
どにおいて使用されるベーンやブレードでは、一般的
に、それらの腐食、熱疲労に対する耐性を改良し、また
その他の点において性能を改善するために、コーティン
グ処理が施される。経済的な点から、同時に多数の加工
物をコーティングできる業務用の方法が望まれている。
【０００３】複数の加工物を同時にコーティングするた
めの業務用のシステムは、米国特許第４、１９２、２５
３号に開示されている。このシステムでは、コーティン
グされるべき複数の加工物はコーティング用チャンバ内
に挿入され、またコーティング処理の間においてそれら
の長手軸の回りで同時に回転される。加工物をそれらの
縦軸の回りで同時に回転させることは、取付具の先端に
各加工物を取付け、取付具の他端を複雑なギアにより動
作される駆動システムに連結して、取付具およびその上
に取付けられた個々の加工物を回転させるによって行わ
れる。この形式のシステムは種々の理由により不利であ
る。例えば、このシステムは複雑であり、維持管理の観
点から面倒なものであり、また、このようなシステムに
関連するコストが非常にかかる。さらに、別の欠点とし
て、コーティングされた加工物を各取付具から個々に取
り外し、またコーティングすべき新しい加工物を取付具
の上に取付ける際に遅延れが生じることである。
めの業務用のシステムは、米国特許第４、１９２、２５
３号に開示されている。このシステムでは、コーティン
グされるべき複数の加工物はコーティング用チャンバ内
に挿入され、またコーティング処理の間においてそれら
の長手軸の回りで同時に回転される。加工物をそれらの
縦軸の回りで同時に回転させることは、取付具の先端に
各加工物を取付け、取付具の他端を複雑なギアにより動
作される駆動システムに連結して、取付具およびその上
に取付けられた個々の加工物を回転させるによって行わ
れる。この形式のシステムは種々の理由により不利であ
る。例えば、このシステムは複雑であり、維持管理の観
点から面倒なものであり、また、このようなシステムに
関連するコストが非常にかかる。さらに、別の欠点とし
て、コーティングされた加工物を各取付具から個々に取
り外し、またコーティングすべき新しい加工物を取付具
の上に取付ける際に遅延れが生じることである。
【０００４】最近、モジュール式の取付具構成を使用し
て多数の加工物を単一時間でコーティングすることが提
案されている。この形式のコーティングシステムは、
「ＭＯＤＵＬＡＲ ＣＯＡＴＩＮＧ ＦＩＸＴＵＲＥ」
と題され、Ｊｏｈｎ Ｗ．Ｍｅｎｃｈｅｔｔｉ等によ
り、１９９７年１月１３日に出願され、本願の出願人に
譲渡された、米国特許出願第０８／７８２、３９８号に
例示されている。
て多数の加工物を単一時間でコーティングすることが提
案されている。この形式のコーティングシステムは、
「ＭＯＤＵＬＡＲ ＣＯＡＴＩＮＧ ＦＩＸＴＵＲＥ」
と題され、Ｊｏｈｎ Ｗ．Ｍｅｎｃｈｅｔｔｉ等によ
り、１９９７年１月１３日に出願され、本願の出願人に
譲渡された、米国特許出願第０８／７８２、３９８号に
例示されている。
【０００５】電子ビーム物理的蒸気蒸着法のような特定
のコーティング技術は、コーティング材料源の視線内に
存在しない加工物の表面がコーティングされない視線技
術である。よって、コーティングされる加工物の他の表
面に垂直あるいは略垂直である、プラットフォーム（pl
atform）のような表面をコーティングすることができる
装置と方法が必要となる。
のコーティング技術は、コーティング材料源の視線内に
存在しない加工物の表面がコーティングされない視線技
術である。よって、コーティングされる加工物の他の表
面に垂直あるいは略垂直である、プラットフォーム（pl
atform）のような表面をコーティングすることができる
装置と方法が必要となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
目的は、多数の加工物を同時にコーティングすることを
容易に行うことができるモジュール式の取付具を提供す
ることにある。
目的は、多数の加工物を同時にコーティングすることを
容易に行うことができるモジュール式の取付具を提供す
ることにある。
【０００７】本発明の別の目的は、互いに斜めに位置決
めされた表面をコーティングすることができる、上記の
取付具を提供することにある。
めされた表面をコーティングすることができる、上記の
取付具を提供することにある。
【０００８】本発明のさらに他の目的は、部品の切換え
をより迅速に行え、また経済的に実行可能である、上記
の取付具を提供することにある。
をより迅速に行え、また経済的に実行可能である、上記
の取付具を提供することにある。
【０００９】本発明のさらに別の目的は、タービンのブ
レードやベーンのような加工物をコーティングするため
の改良された方法を提供することにある。
レードやベーンのような加工物をコーティングするため
の改良された方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、本発明の
モジュール式の取付具を用いた装置および方法により達
成される。本発明によれば、１つ以上の加工物をコーテ
ィングするための装置は、概括的には、コーティング動
作の間に各加工物をその長手軸の回りで同時に回転させ
るとともにコーティング材料源に向けて傾けさせるよう
に、コーティングされる各加工物を支持するための手段
を含むモジュール式取付具を含んで構成される。モジュ
ール式取付具は、長手方向に延在する軸およびこれに取
付けられた少なくとも１つの支持板を含んでいる。各作
業片のための支持手段は、各支持板内のブッシング装置
および加工物が取付けられる協働するスピンドル装置を
含んでいる。好ましい取付具の構造において、複数のブ
ッシング装置は各支持板の回りに放射状に離間してお
り、またスピンドル装置には各ブッシング装置が設けら
れている。ブッシング装置は、好ましくは、所望の寸法
の内側ボアを有し、その内側表面が粗面（roughened ）
である中空の円筒状のスリーブを含んでいる。スピンド
ル装置は、好ましくは、スリーブの一端と接触するため
に拡大された端部および拡大された端部に取付けられた
軸部を有するピンを含んでいる。軸部は上記の内側ボア
の直径よりも小さい外径を有している。これと、ボアの
粗面とにより、モジュール式取付具がその長手軸の回り
を回転する際に、スピンドル装置に取付けられた加工物
がその長手軸の回りを回転することが可能となり、また
同時に取付具の長手軸に対し且つコーティング材料源に
向かって傾く。
モジュール式の取付具を用いた装置および方法により達
成される。本発明によれば、１つ以上の加工物をコーテ
ィングするための装置は、概括的には、コーティング動
作の間に各加工物をその長手軸の回りで同時に回転させ
るとともにコーティング材料源に向けて傾けさせるよう
に、コーティングされる各加工物を支持するための手段
を含むモジュール式取付具を含んで構成される。モジュ
ール式取付具は、長手方向に延在する軸およびこれに取
付けられた少なくとも１つの支持板を含んでいる。各作
業片のための支持手段は、各支持板内のブッシング装置
および加工物が取付けられる協働するスピンドル装置を
含んでいる。好ましい取付具の構造において、複数のブ
ッシング装置は各支持板の回りに放射状に離間してお
り、またスピンドル装置には各ブッシング装置が設けら
れている。ブッシング装置は、好ましくは、所望の寸法
の内側ボアを有し、その内側表面が粗面（roughened ）
である中空の円筒状のスリーブを含んでいる。スピンド
ル装置は、好ましくは、スリーブの一端と接触するため
に拡大された端部および拡大された端部に取付けられた
軸部を有するピンを含んでいる。軸部は上記の内側ボア
の直径よりも小さい外径を有している。これと、ボアの
粗面とにより、モジュール式取付具がその長手軸の回り
を回転する際に、スピンドル装置に取付けられた加工物
がその長手軸の回りを回転することが可能となり、また
同時に取付具の長手軸に対し且つコーティング材料源に
向かって傾く。
【００１１】本発明の方法は、概括的には、コーティン
グ材料源を設けるステップ、コーティングされる加工物
を取付具に取付けるステップ、および前記取付具および
これに取付けられた前記加工物を回転させ同時に前記加
工物をコーティング材料源に向かって傾けることにより
前記加工物の少なくとも１つの表面をコーティングする
ステップを含んで構成される。
グ材料源を設けるステップ、コーティングされる加工物
を取付具に取付けるステップ、および前記取付具および
これに取付けられた前記加工物を回転させ同時に前記加
工物をコーティング材料源に向かって傾けることにより
前記加工物の少なくとも１つの表面をコーティングする
ステップを含んで構成される。
【００１２】より具体的には、本発明は次の構成を有し
ている。 （１） コーティング材料源を設け、取付具にコーティ
ングされる加工物を取付け、および前記取付具をその長
手軸の回りで回転させ、前記加工物をその長手軸の回り
で回転させ同時に前記加工物を前記コーティング材料源
に向けて傾斜させ、前記コーティング材料を前記加工物
の少なくとも１つの表面に加工物の長手軸に対して斜め
に接触させることにより前記コーティング材料で前記加
工物をコーティングする、各ステップを含んでなること
を特徴とするの加工物をコーティングする方法。
ている。 （１） コーティング材料源を設け、取付具にコーティ
ングされる加工物を取付け、および前記取付具をその長
手軸の回りで回転させ、前記加工物をその長手軸の回り
で回転させ同時に前記加工物を前記コーティング材料源
に向けて傾斜させ、前記コーティング材料を前記加工物
の少なくとも１つの表面に加工物の長手軸に対して斜め
に接触させることにより前記コーティング材料で前記加
工物をコーティングする、各ステップを含んでなること
を特徴とするの加工物をコーティングする方法。
【００１３】（２） 前記コーティングするステップが
前記加工物の２つの対向する表面をコーティングするこ
とを含んでなり、また前記傾斜させるステップにより前
記２つの対向する表面に実質的に垂直な表面がコーティ
ングされるようになることを特徴とする上記（１）の方
法。
前記加工物の２つの対向する表面をコーティングするこ
とを含んでなり、また前記傾斜させるステップにより前
記２つの対向する表面に実質的に垂直な表面がコーティ
ングされるようになることを特徴とする上記（１）の方
法。
【００１４】（３） 前記取付けるステップが複数の加
工物を前記取付具に取付けることを含み、および前記コ
ーティングするステップが、前記取付具を前記取付具の
長手軸の回りで回転させ、前記加工物をその各長手軸の
回りで同時に回転させ、また前記加工物の全てを前記コ
ーティング材料源に向けて同時に傾斜させることをさら
に含んでなることを特徴とする上記（１）の方法。
工物を前記取付具に取付けることを含み、および前記コ
ーティングするステップが、前記取付具を前記取付具の
長手軸の回りで回転させ、前記加工物をその各長手軸の
回りで同時に回転させ、また前記加工物の全てを前記コ
ーティング材料源に向けて同時に傾斜させることをさら
に含んでなることを特徴とする上記（１）の方法。
【００１５】（４） 前記取付けるステップが、ブッシ
ング装置およびスピンドル装置により前記取付具に固定
された保持装置内に各加工物を位置させることを含み、
また前記取付具を回転させるステップにより前記スピン
ドル装置および前記保持装置が前記取付具に対してロー
ルするようになることを特徴とする上記（３）の方法。
ング装置およびスピンドル装置により前記取付具に固定
された保持装置内に各加工物を位置させることを含み、
また前記取付具を回転させるステップにより前記スピン
ドル装置および前記保持装置が前記取付具に対してロー
ルするようになることを特徴とする上記（３）の方法。
【００１６】（５） 前記加工物が、前縁、２つの対向
する流れ表面、および前記対向する表面に実質的に垂直
なプラットフォームをそれぞれ有する複数のエーロフォ
イルを含み、またさらに前記取付具を前記保持装置内で
前記エーロフォイルとともに回転式駆動システムに取付
け、前記取付具と前記エーロフォイルをコーティングチ
ャンバ内に移送し、および前記エーロフォイルのそれぞ
れの前記前縁、対向する表面およびプラットフォームが
コーティングサイクルの間に前記コーティング材料にさ
らされるように前記取付具を回転する、各ステップをさ
らに含んでなることを特徴とする上記（４）の方法。
する流れ表面、および前記対向する表面に実質的に垂直
なプラットフォームをそれぞれ有する複数のエーロフォ
イルを含み、またさらに前記取付具を前記保持装置内で
前記エーロフォイルとともに回転式駆動システムに取付
け、前記取付具と前記エーロフォイルをコーティングチ
ャンバ内に移送し、および前記エーロフォイルのそれぞ
れの前記前縁、対向する表面およびプラットフォームが
コーティングサイクルの間に前記コーティング材料にさ
らされるように前記取付具を回転する、各ステップをさ
らに含んでなることを特徴とする上記（４）の方法。
【００１７】（６） 前記回転するステップが、前記取
付具を第１の軸の回りで回転させると同時に前記エーロ
フォイルのそれぞれを前記第１の軸と斜めの第２の軸の
回りで回転させることを含んでなり、前記第２の軸がコ
ーティング材料源に向かって傾斜していることを特徴と
する上記（５）の方法。
付具を第１の軸の回りで回転させると同時に前記エーロ
フォイルのそれぞれを前記第１の軸と斜めの第２の軸の
回りで回転させることを含んでなり、前記第２の軸がコ
ーティング材料源に向かって傾斜していることを特徴と
する上記（５）の方法。
【００１８】（７） 加工物をコーティングするための
モジュール式の取付具を含んでなり、前記モジュール式
の取付具は、コーティング動作の間において前記加工物
がその長手軸の回りで回転するのと同時にコーティング
材料源に向かって傾斜するように前記加工物を支持する
ための手段を含んでいることを特徴とする加工物をコー
ティングするための装置。
モジュール式の取付具を含んでなり、前記モジュール式
の取付具は、コーティング動作の間において前記加工物
がその長手軸の回りで回転するのと同時にコーティング
材料源に向かって傾斜するように前記加工物を支持する
ための手段を含んでいることを特徴とする加工物をコー
ティングするための装置。
【００１９】（８） 前記モジュール式取付具が、長手
方向に延在する軸およびそれに取付けられた支持板を含
み、および前記支持する手段が、前記支持板内のブッシ
ング装置および前記加工物に取付けられた協働するスピ
ンドル装置を含んでなることを特徴とする上記（７）の
装置。
方向に延在する軸およびそれに取付けられた支持板を含
み、および前記支持する手段が、前記支持板内のブッシ
ング装置および前記加工物に取付けられた協働するスピ
ンドル装置を含んでなることを特徴とする上記（７）の
装置。
【００２０】（９） 前記ブッシング装置が内側ボアを
有する中空のスリーブ部材を含んでなり、前記スピンド
ル装置が、前記スリーブ部材の一端と接触するための拡
大された端部および前記拡大された端部に取付けられた
軸部を有するピンを含んでなり、前記軸部は前記ボアの
直径よりも小さい外径を有しており、および前記加工物
を支持する手段が、前記スピンドル装置の前記軸部に接
続された加工物の保持装置をさらに含んでいることを特
徴とする上記（８）の装置。
有する中空のスリーブ部材を含んでなり、前記スピンド
ル装置が、前記スリーブ部材の一端と接触するための拡
大された端部および前記拡大された端部に取付けられた
軸部を有するピンを含んでなり、前記軸部は前記ボアの
直径よりも小さい外径を有しており、および前記加工物
を支持する手段が、前記スピンドル装置の前記軸部に接
続された加工物の保持装置をさらに含んでいることを特
徴とする上記（８）の装置。
【００２１】（１０） 前記ボアおよび前記軸部が、前
記取付具の回転の間に前記加工物をロールさせる摩擦を
生じるための粗面を有していることを特徴とする上記
（９）の装置。
記取付具の回転の間に前記加工物をロールさせる摩擦を
生じるための粗面を有していることを特徴とする上記
（９）の装置。
【００２２】（１１） 前記保持装置がカップ状のコネ
クタを一端に有し、前記カップ状のコネクタは２つの対
向するスロットを有し、前記軸部は、前記２つの対向す
るコネクタのスロットと嵌合するための少なくとも１つ
のスロットを有し、および前記コネクタを前記軸部に固
着するための手段を含んでなることを特徴とする上記
（９）の装置。
クタを一端に有し、前記カップ状のコネクタは２つの対
向するスロットを有し、前記軸部は、前記２つの対向す
るコネクタのスロットと嵌合するための少なくとも１つ
のスロットを有し、および前記コネクタを前記軸部に固
着するための手段を含んでなることを特徴とする上記
（９）の装置。
【００２３】（１２） 前記加工物の保持装置が、第１
の壁および前記第１の壁から延在した２つの側壁を有す
る加工物の保留装置であって、前記各側壁および前記第
１の壁は前記加工物を受容するための開口を規定した保
留装置、および前記加工物が前記保留装置内に位置決め
された後に前記開口を閉じるためのカバーを含んでなる
ことを特徴とする上記（９）の装置。
の壁および前記第１の壁から延在した２つの側壁を有す
る加工物の保留装置であって、前記各側壁および前記第
１の壁は前記加工物を受容するための開口を規定した保
留装置、および前記加工物が前記保留装置内に位置決め
された後に前記開口を閉じるためのカバーを含んでなる
ことを特徴とする上記（９）の装置。
【００２４】（１３） 前記側壁の１つに取付けられこ
れから突出するとともに内部にスロットを有する舌状部
材を含み、前記カバーは前記カバーが前記開口を閉じた
ときに前記舌状部材が通過するスロットを有しており、
前記カバーを前記加工物の保留装置に固着するためのウ
ェッジ部材を含み、前記ウェッジ部材は前記舌状部材内
の前記スロットを通過し前記カバーの外側表面の一部に
接触し、前記加工物を前記加工物の保留装置内に位置決
めするための手段を含み、前記加工物の保留装置に取付
けられたマスキング装置を含み、および前記マスキング
装置が、コーティング作業の間にコーティングされない
前記加工物の部分上に延在していることを特徴とする上
記（１２）の装置。
れから突出するとともに内部にスロットを有する舌状部
材を含み、前記カバーは前記カバーが前記開口を閉じた
ときに前記舌状部材が通過するスロットを有しており、
前記カバーを前記加工物の保留装置に固着するためのウ
ェッジ部材を含み、前記ウェッジ部材は前記舌状部材内
の前記スロットを通過し前記カバーの外側表面の一部に
接触し、前記加工物を前記加工物の保留装置内に位置決
めするための手段を含み、前記加工物の保留装置に取付
けられたマスキング装置を含み、および前記マスキング
装置が、コーティング作業の間にコーティングされない
前記加工物の部分上に延在していることを特徴とする上
記（１２）の装置。
【００２５】（１４） 前記位置決めするための手段が
前記第１の壁に取付けられた位置決め部材あるいは前記
第１の壁と前記側壁の１つの間に延在する位置決め部材
を含んでなり、前記位置決め部材が前記加工物の一部と
協働することを特徴とする上記（１３）の装置。
前記第１の壁に取付けられた位置決め部材あるいは前記
第１の壁と前記側壁の１つの間に延在する位置決め部材
を含んでなり、前記位置決め部材が前記加工物の一部と
協働することを特徴とする上記（１３）の装置。
【００２６】（１５） 前記モジュール式の取付具をそ
の長手軸の回りで回転するための手段に前記モジュール
式の取付具を固着するための手段をさらに含んでなり、
前記固着する手段は、前記モジュール式の取付具の一端
から突出した円筒状の据付コラムを含んでなり、前記円
筒状の据付コラムは２つの対向するスロット、前記円筒
状の据付コラムに嵌合する軸部およびベース部を有し、
前記ベース部は前記２つの対向するスロットと内部で嵌
合するための少なくとも１つのスロット、前記モジュー
ル式の取付具を連結部材に固着するための前記２つの対
向するスロットおよび前記ベース部内の前記少なくとも
１つのスロットを通過する手段を有し、前記連結部材は
前記モジュール式の取付具が前記ベース部に対して移動
するのを許容するためのピボットを有してなることを特
徴とする上記（７）の装置。
の長手軸の回りで回転するための手段に前記モジュール
式の取付具を固着するための手段をさらに含んでなり、
前記固着する手段は、前記モジュール式の取付具の一端
から突出した円筒状の据付コラムを含んでなり、前記円
筒状の据付コラムは２つの対向するスロット、前記円筒
状の据付コラムに嵌合する軸部およびベース部を有し、
前記ベース部は前記２つの対向するスロットと内部で嵌
合するための少なくとも１つのスロット、前記モジュー
ル式の取付具を連結部材に固着するための前記２つの対
向するスロットおよび前記ベース部内の前記少なくとも
１つのスロットを通過する手段を有し、前記連結部材は
前記モジュール式の取付具が前記ベース部に対して移動
するのを許容するためのピボットを有してなることを特
徴とする上記（７）の装置。
【００２７】（１６） 前記加工物のそれぞれがコーテ
ィングサイクルの間にその長手軸の回りを回転するのと
同時に前記コーティングサイクルの間においてコーティ
ング材料源に向いて傾斜し各加工物の所望の部分が前記
コーティング材料によりコーティングされるように複数
の加工物を支持するための手段をさらに含んでなること
を特徴とする上記（７）の装置。
ィングサイクルの間にその長手軸の回りを回転するのと
同時に前記コーティングサイクルの間においてコーティ
ング材料源に向いて傾斜し各加工物の所望の部分が前記
コーティング材料によりコーティングされるように複数
の加工物を支持するための手段をさらに含んでなること
を特徴とする上記（７）の装置。
【００２８】（１７） 前記モジュール式の取付具が長
手方向に延在する部材および前記長手方向に延在する部
材に取付けられた支持板を有し、前記支持板は所望の距
離だけ分離されており、前記支持手段は前記支持板のぞ
れぞれに固定された複数のブッシングを含んでなり、お
よび前記加工物が取付けられる複数の協働するスピンド
ル装置をさらに含んでなることを特徴とする上記（１
６）の装置。
手方向に延在する部材および前記長手方向に延在する部
材に取付けられた支持板を有し、前記支持板は所望の距
離だけ分離されており、前記支持手段は前記支持板のぞ
れぞれに固定された複数のブッシングを含んでなり、お
よび前記加工物が取付けられる複数の協働するスピンド
ル装置をさらに含んでなることを特徴とする上記（１
６）の装置。
【００２９】（１８） 前記スピンドル装置が前記ブッ
シングに対してロールすることが許容されるとともに前
記モジュール式の取付具がコーティングサイクルの間に
回転するように、前記スピンドル装置が寸法付けされて
いることを特徴とする上記（１７）の装置。
シングに対してロールすることが許容されるとともに前
記モジュール式の取付具がコーティングサイクルの間に
回転するように、前記スピンドル装置が寸法付けされて
いることを特徴とする上記（１７）の装置。
【００３０】（１９） 前記スピンドル装置のそれぞれ
に取付けられた加工物を保留するための手段をさらに含
んでなることを特徴とする上記（１８）の装置。
に取付けられた加工物を保留するための手段をさらに含
んでなることを特徴とする上記（１８）の装置。
【００３１】（２０） 前記スピンドル装置のそれぞれ
が、拡大された頭部および各ブッシング内のボアを通過
する軸部を含み、前記加工物を保留する手段のそれぞれ
が一端に取付けられたコネクタを含む、および前記コネ
クタを前記スピンドルの軸部の１つに固着するための手
段をさらに含んでなることを特徴とする上記（１９）の
装置。
が、拡大された頭部および各ブッシング内のボアを通過
する軸部を含み、前記加工物を保留する手段のそれぞれ
が一端に取付けられたコネクタを含む、および前記コネ
クタを前記スピンドルの軸部の１つに固着するための手
段をさらに含んでなることを特徴とする上記（１９）の
装置。
【００３２】（２１） 各前記加工物の保留手段が第１
の壁および前記第１の壁から延在した２つの側壁を含
み、前記側壁および前記第１の壁が前記加工物を受容す
るための開口を規定し、また前記加工物が前記保留する
手段内に位置決めされた後に前記開口を閉じるためのカ
バーをさらに含んでなることを特徴とする上記（１９）
の装置。
の壁および前記第１の壁から延在した２つの側壁を含
み、前記側壁および前記第１の壁が前記加工物を受容す
るための開口を規定し、また前記加工物が前記保留する
手段内に位置決めされた後に前記開口を閉じるためのカ
バーをさらに含んでなることを特徴とする上記（１９）
の装置。
【００３３】本発明は、要約すると、複数の加工物を同
時にコーティングするための装置と方法に関するもので
ある。装置は、コーティングされる加工物を支持するた
めの複数のブッシング装置およびスピンドル装置を有す
るモジュール式の取付具を含んでいる。ブッシング装置
およびスピンドル装置は、各加工物がその長手軸の回り
で回転するとともに取付具の回転軸と交差する軸に沿っ
て傾いている。このようなブッシングおよびスピンドル
装置を設けることで、加工物の他の表面に実質的に垂直
な加工物の表面をコーティングすることが可能となる。
また、加工物を同時にコーティングするための方法は、
加工物がそれらの長手軸の回りで回転できて加工物が取
付具の回転軸に対して斜めに位置決めされるように複数
の加工物を取付具に取付け、前記加工物がロールするよ
うに取付具をその回転軸の回りで回転し、および取付具
が回転される際に加工物をコーティング材料にさらす、
各ステップから構成される
時にコーティングするための装置と方法に関するもので
ある。装置は、コーティングされる加工物を支持するた
めの複数のブッシング装置およびスピンドル装置を有す
るモジュール式の取付具を含んでいる。ブッシング装置
およびスピンドル装置は、各加工物がその長手軸の回り
で回転するとともに取付具の回転軸と交差する軸に沿っ
て傾いている。このようなブッシングおよびスピンドル
装置を設けることで、加工物の他の表面に実質的に垂直
な加工物の表面をコーティングすることが可能となる。
また、加工物を同時にコーティングするための方法は、
加工物がそれらの長手軸の回りで回転できて加工物が取
付具の回転軸に対して斜めに位置決めされるように複数
の加工物を取付具に取付け、前記加工物がロールするよ
うに取付具をその回転軸の回りで回転し、および取付具
が回転される際に加工物をコーティング材料にさらす、
各ステップから構成される
【００３４】本発明の装置と方法の他の詳細な点、およ
び付随した他の目的および特長は、以下の詳細な説明お
よび図面中に開示されている。
び付随した他の目的および特長は、以下の詳細な説明お
よび図面中に開示されている。
【００３５】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を説
明する。添付図面において、同じ構成要素には同じ符号
を付してある。
明する。添付図面において、同じ構成要素には同じ符号
を付してある。
【００３６】添付図面を参照して、特に図１は本発明に
係るコーティング用のモジュール式の取付具１０を示し
た。図示の通り、この取付具１０は、取付具１０の長手
軸１４と平行な方向に延在する中央の軸１２を含んでい
る。取付具１０は、好ましくは軸１２に溶接された、２
つの離間した支持板１６および１８をさらに含んでい
る。必要ならば、支持板１６および１８は、その周辺部
の種々の位置において軸１２に溶接されるとともに支持
板１６および１８に溶接された複数の支持体２０によっ
て、軸１２に固着される。軸１２は重量軽減のために中
空とされる。
係るコーティング用のモジュール式の取付具１０を示し
た。図示の通り、この取付具１０は、取付具１０の長手
軸１４と平行な方向に延在する中央の軸１２を含んでい
る。取付具１０は、好ましくは軸１２に溶接された、２
つの離間した支持板１６および１８をさらに含んでい
る。必要ならば、支持板１６および１８は、その周辺部
の種々の位置において軸１２に溶接されるとともに支持
板１６および１８に溶接された複数の支持体２０によっ
て、軸１２に固着される。軸１２は重量軽減のために中
空とされる。
【００３７】図２に示したように、円筒状の据付コラム
２２が取付具１０の一端から突出している。据付コラム
２２は軸１２の延長部、あるいは支持板１６および１８
の１つに溶接された別体の構成要素である。据付コラム
２２は中空であり、また、取付具１０をその長手軸１４
の回りで回転するために、駆動システム（図示せず）に
固定された連結部材２４の嵌め合い部分３４を受容する
ために設計されている。図３を参照して、据付コラム２
２には、好ましくは、整列され対向した２つのスロット
２６と２８が設けられている。さらに、その一端に隣接
したキー溝３０を有している。
２２が取付具１０の一端から突出している。据付コラム
２２は軸１２の延長部、あるいは支持板１６および１８
の１つに溶接された別体の構成要素である。据付コラム
２２は中空であり、また、取付具１０をその長手軸１４
の回りで回転するために、駆動システム（図示せず）に
固定された連結部材２４の嵌め合い部分３４を受容する
ために設計されている。図３を参照して、据付コラム２
２には、好ましくは、整列され対向した２つのスロット
２６と２８が設けられている。さらに、その一端に隣接
したキー溝３０を有している。
【００３８】図３と図４を参照して、連結部材２４は、
ベース部３２、およびピボット３６によりベース部３２
に連結された軸部３４を含んでいる。図４に示したよう
に、ピボット３６により軸部３４はベース部３２に対し
て移動できて、取付具１０の据付および離脱が容易化さ
れる。軸部３４は、中空の据付コラム２２内に嵌合する
ように寸法付けされている。ベース部３２には、コラム
２２内にスロット２６と２８を組み合わせるために２つ
のスロット３８および４０が設けられている。さらに、
ベース部３２は、スロット３８および４０がスロット２
６および２８と正しく整列することを確保するために、
キー溝３０内に嵌合するキー４２を有している。
ベース部３２、およびピボット３６によりベース部３２
に連結された軸部３４を含んでいる。図４に示したよう
に、ピボット３６により軸部３４はベース部３２に対し
て移動できて、取付具１０の据付および離脱が容易化さ
れる。軸部３４は、中空の据付コラム２２内に嵌合する
ように寸法付けされている。ベース部３２には、コラム
２２内にスロット２６と２８を組み合わせるために２つ
のスロット３８および４０が設けられている。さらに、
ベース部３２は、スロット３８および４０がスロット２
６および２８と正しく整列することを確保するために、
キー溝３０内に嵌合するキー４２を有している。
【００３９】取付具１０を連結部材２４に固着するため
に、スロット２６、３８、４０および２８を通してウェ
ッジ４４を挿入する。ウェッジ４４は、好ましくは、所
定位置にロックするためのワイヤ（図示せず）を受容す
るためのアイレット４６を一端に有している。
に、スロット２６、３８、４０および２８を通してウェ
ッジ４４を挿入する。ウェッジ４４は、好ましくは、所
定位置にロックするためのワイヤ（図示せず）を受容す
るためのアイレット４６を一端に有している。
【００４０】次に、図１を参照して、支持板１６と１８
のそれぞれの回りには複数のブッシング４８が放射状に
離間している。各支持板内のブッシング４８の数および
ブッシング４８の軸１２に対する間隔は、コーティング
される加工物のタイプにより決定される。図５に示した
ように、ブッシング４８は、個々の支持板１６あるいは
１８に２側面上で溶接された中空円筒状に形成されたス
リーブ部材５０により形成されている。スリーブ部材の
内側ボア５２は所望の直径を有している。後述する理由
により、ボア５２の表面は好ましくは粗面である。
のそれぞれの回りには複数のブッシング４８が放射状に
離間している。各支持板内のブッシング４８の数および
ブッシング４８の軸１２に対する間隔は、コーティング
される加工物のタイプにより決定される。図５に示した
ように、ブッシング４８は、個々の支持板１６あるいは
１８に２側面上で溶接された中空円筒状に形成されたス
リーブ部材５０により形成されている。スリーブ部材の
内側ボア５２は所望の直径を有している。後述する理由
により、ボア５２の表面は好ましくは粗面である。
【００４１】コーティング作業の間、コーティングされ
る加工物５４を、その長手軸１２２の回りで回転させ
て、前縁５６および対向する流れ表面（floating surfa
ce）５８と６０のような加工物の多数の表面を実質的に
均一にコーティングすることが必要となる。また、多く
の用途において、十分にコーティングがされるために
は、表面６２が流れ表面５８および６０に対して実質的
に垂直であることが望ましい。電子ビーム物理的蒸着プ
ロセスのような、視線コーティングプロセスにおいて
は、表面６２をコーティングするため加工物５４がその
長手軸１２２の回りで回転する際には、加工物５４をコ
ーティング材料１２０の源に向けて傾けることが必要と
なる。本発明においては、表面６２の所望のコーティン
グは、加工物をコーティング材料の源に向けて傾けるた
めに各ブッシング４８を備えたスピンドル装置６４を使
用することにより得られる。
る加工物５４を、その長手軸１２２の回りで回転させ
て、前縁５６および対向する流れ表面（floating surfa
ce）５８と６０のような加工物の多数の表面を実質的に
均一にコーティングすることが必要となる。また、多く
の用途において、十分にコーティングがされるために
は、表面６２が流れ表面５８および６０に対して実質的
に垂直であることが望ましい。電子ビーム物理的蒸着プ
ロセスのような、視線コーティングプロセスにおいて
は、表面６２をコーティングするため加工物５４がその
長手軸１２２の回りで回転する際には、加工物５４をコ
ーティング材料１２０の源に向けて傾けることが必要と
なる。本発明においては、表面６２の所望のコーティン
グは、加工物をコーティング材料の源に向けて傾けるた
めに各ブッシング４８を備えたスピンドル装置６４を使
用することにより得られる。
【００４２】次に、図６を参照して、スピンドル装置６
４は、好ましくは、軸部６７と拡大した頭部６８を有す
るピン６６を含んで構成される。この頭部６８は、それ
が組み合わされるブッシング４８の一端に寄りかかって
いる。軸部６７は粗面を有し、また、ボア５２の内側直
径よりも小さい外側直径を有しており、ピン６６がブッ
シング４８に対して傾くことができるようになってい
る。スリーブ５０の長さに沿った軸部６７の直径および
ボア５２の直径が傾きの程度を決定する。当然である
が、この傾きの程度は、コーティングの間において加工
物５４が軸１２に接触するようなものではならない。ピ
ン６６は、後述するカップ状の部材７２内に嵌合する変
形された軸部６９をさらに含んでいる。
４は、好ましくは、軸部６７と拡大した頭部６８を有す
るピン６６を含んで構成される。この頭部６８は、それ
が組み合わされるブッシング４８の一端に寄りかかって
いる。軸部６７は粗面を有し、また、ボア５２の内側直
径よりも小さい外側直径を有しており、ピン６６がブッ
シング４８に対して傾くことができるようになってい
る。スリーブ５０の長さに沿った軸部６７の直径および
ボア５２の直径が傾きの程度を決定する。当然である
が、この傾きの程度は、コーティングの間において加工
物５４が軸１２に接触するようなものではならない。ピ
ン６６は、後述するカップ状の部材７２内に嵌合する変
形された軸部６９をさらに含んでいる。
【００４３】コーティングされる加工物５４はスピンド
ル装置６４に取付けられる。図６に示したように、加工
物５４は、加工物の保持装置７０および保持装置の一端
に取付けられたカップ状の部材７２を介してピン６６に
取付けられている。カップ状の部材７２は、溶接などの
ように公知の適当な手段により保持装置７０に取付けら
れる。カップ状の部材７２は、スロット７８を軸部６９
の一端内に組み合わせるための２つの対向する開口７４
と７６を含んでいる。カップ状の部材７２をピン６６に
固着するため、ピンないしウェッジ状の部材８０は、開
口７４を通り、スロット７８を通り、また開口７６を通
って挿入される。ピンないしウェッジ状の部材８０は、
保持装置７０をスピンドル装置６４に確実に固定するよ
うに設計されている。
ル装置６４に取付けられる。図６に示したように、加工
物５４は、加工物の保持装置７０および保持装置の一端
に取付けられたカップ状の部材７２を介してピン６６に
取付けられている。カップ状の部材７２は、溶接などの
ように公知の適当な手段により保持装置７０に取付けら
れる。カップ状の部材７２は、スロット７８を軸部６９
の一端内に組み合わせるための２つの対向する開口７４
と７６を含んでいる。カップ状の部材７２をピン６６に
固着するため、ピンないしウェッジ状の部材８０は、開
口７４を通り、スロット７８を通り、また開口７６を通
って挿入される。ピンないしウェッジ状の部材８０は、
保持装置７０をスピンドル装置６４に確実に固定するよ
うに設計されている。
【００４４】図７に示したように、保持装置７０は、背
壁８２およびこれに接合された２つの側壁８４および８
６を含む、面が開いて解放した構造である。保持装置７
０は、２つの壁８４と８６を接合する底壁８８をさらに
含んでいる。コーティングされる加工物５４は、側壁８
４と８６、背壁８２と底壁８２、８８により規定される
保持装置７０内に位置決めされる。保持装置７０内に位
置決めされたならば、コーティングされる加工物５４の
一部は、底壁８８に対向して位置決めされた解放端を通
って延在する。コーティングされるプラットフォームの
ような表面６２を加工物５４が有する場所では、側壁８
４と８６および背壁８２は表面６２の形状と一致するよ
うに構成される。必要ならば、支持板９０を備えた背壁
８２が設けられる。支持板９０は、これを所望の位置に
保持する好ましくは、加工物５４上のリベット部あるい
はノッチ（図示せず）のような機構と協働する。
壁８２およびこれに接合された２つの側壁８４および８
６を含む、面が開いて解放した構造である。保持装置７
０は、２つの壁８４と８６を接合する底壁８８をさらに
含んでいる。コーティングされる加工物５４は、側壁８
４と８６、背壁８２と底壁８２、８８により規定される
保持装置７０内に位置決めされる。保持装置７０内に位
置決めされたならば、コーティングされる加工物５４の
一部は、底壁８８に対向して位置決めされた解放端を通
って延在する。コーティングされるプラットフォームの
ような表面６２を加工物５４が有する場所では、側壁８
４と８６および背壁８２は表面６２の形状と一致するよ
うに構成される。必要ならば、支持板９０を備えた背壁
８２が設けられる。支持板９０は、これを所望の位置に
保持する好ましくは、加工物５４上のリベット部あるい
はノッチ（図示せず）のような機構と協働する。
【００４５】マスキング装置９２は、後縁９４のよう
な、加工物５４の特定の部分がコーティングされるのを
防止するため、背壁８２および／または側壁８４に取付
けられている。マスキング装置９２は適切な形状および
長さを有している。例えば、マスキング装置９２はＬ形
状である。当然ではあるが、マスキング装置９２の形状
は、加工物５４のコーティングされない部分の形状に依
存する。
な、加工物５４の特定の部分がコーティングされるのを
防止するため、背壁８２および／または側壁８４に取付
けられている。マスキング装置９２は適切な形状および
長さを有している。例えば、マスキング装置９２はＬ形
状である。当然ではあるが、マスキング装置９２の形状
は、加工物５４のコーティングされない部分の形状に依
存する。
【００４６】舌部材９６は、溶接などにより、側壁８４
の内側に固着されている。舌部材９６は、内側に切断さ
れたスロット９８を有しており、またカバー１００を保
持装置７０に固着させるために機能する。
の内側に固着されている。舌部材９６は、内側に切断さ
れたスロット９８を有しており、またカバー１００を保
持装置７０に固着させるために機能する。
【００４７】図８を参照して、カバー１００は側部１０
２および１０４を有し、これらはカバー１００が保持装
置７０およびこれらの間に延在する接続部１０５上に着
座したときに、側壁８４および８６とオーバラップす
る。カバー１０５の接続部１０５は、舌部材９６がそれ
を通って突出するスロット１０６を含んでいる。さら
に、カバー１００の接続部１０５は、その外側表面１１
０に取付けられたアイレット１０８およびその内側表面
１１４に取付けられた任意の支持部材１１２を有してい
る。支持部材１１２は、加工物５４を保持装置７０内の
所望の位置に保持するために、加工物５４の一部と協働
する。
２および１０４を有し、これらはカバー１００が保持装
置７０およびこれらの間に延在する接続部１０５上に着
座したときに、側壁８４および８６とオーバラップす
る。カバー１０５の接続部１０５は、舌部材９６がそれ
を通って突出するスロット１０６を含んでいる。さら
に、カバー１００の接続部１０５は、その外側表面１１
０に取付けられたアイレット１０８およびその内側表面
１１４に取付けられた任意の支持部材１１２を有してい
る。支持部材１１２は、加工物５４を保持装置７０内の
所望の位置に保持するために、加工物５４の一部と協働
する。
【００４８】カバー１００を保持装置７０に固着するた
めにウェッジ（wedge ）１１６が設けられている。図８
に示したように、ウェッジ１１６はその一端に隣接した
ボア１１８を有している。ウェッジ１１６がカバー１０
０の外面１１４に隣接したその固定位置に載置されたと
き、ワイヤ（図示せず）がボア１１８およびアイレット
１０８を通過して、ウェッジ１１６をその正しい位置に
固着する。図９は保持装置７０内に固定された加工物５
４を例示したものである。
めにウェッジ（wedge ）１１６が設けられている。図８
に示したように、ウェッジ１１６はその一端に隣接した
ボア１１８を有している。ウェッジ１１６がカバー１０
０の外面１１４に隣接したその固定位置に載置されたと
き、ワイヤ（図示せず）がボア１１８およびアイレット
１０８を通過して、ウェッジ１１６をその正しい位置に
固着する。図９は保持装置７０内に固定された加工物５
４を例示したものである。
【００４９】軸１２、支持板１６と１８、据付コラム２
２、保持装置７０、ブッシング４８、およびスピンドル
装置６４のようなモジュール式の取付具１０の種々の構
成要素は、当行分野において公知の適切な材料で作られ
る。好ましくは、これらはＨＡＳＴＡＬＬＯＹ−Ｘとし
て知られている材料で作られる。
２、保持装置７０、ブッシング４８、およびスピンドル
装置６４のようなモジュール式の取付具１０の種々の構
成要素は、当行分野において公知の適切な材料で作られ
る。好ましくは、これらはＨＡＳＴＡＬＬＯＹ−Ｘとし
て知られている材料で作られる。
【００５０】本発明のモジュール式の取付具１０は、次
のように使用される。第１に、コーティングされる複数
の加工物５４が保持装置７０の内部に置かれる。カバー
１００を所定位置に固着した後、モジュール式の取付具
１０は、所定位置の加工物５４とともに、駆動システム
（図示せず）に示された連結部材２４上に置かれる。上
述した通り、取付具１０は、整列されたスロット２６、
２８、３８および４０およびこれらスロットを通過する
ウェッジ４４を介して、連結部材２４に固着される。取
付具１０は連結部材２４に固着された後は、コーティン
グ材料が公知の態様で位置された、電子ビーム物理的蒸
着チャンバのような、コーティングチャンバ内に移送さ
れる。コーティング材料を気化させる実際の技術は、本
発明の一部を形成するものではない。取付具１０は多数
の異なる技術とともに使用することができる。
のように使用される。第１に、コーティングされる複数
の加工物５４が保持装置７０の内部に置かれる。カバー
１００を所定位置に固着した後、モジュール式の取付具
１０は、所定位置の加工物５４とともに、駆動システム
（図示せず）に示された連結部材２４上に置かれる。上
述した通り、取付具１０は、整列されたスロット２６、
２８、３８および４０およびこれらスロットを通過する
ウェッジ４４を介して、連結部材２４に固着される。取
付具１０は連結部材２４に固着された後は、コーティン
グ材料が公知の態様で位置された、電子ビーム物理的蒸
着チャンバのような、コーティングチャンバ内に移送さ
れる。コーティング材料を気化させる実際の技術は、本
発明の一部を形成するものではない。取付具１０は多数
の異なる技術とともに使用することができる。
【００５１】コーティング操作の間、モジュール式の取
付具１０は駆動システム（図示せず）によりその長手軸
１４の回りで回転される。取付具１０が回転する際、重
力および各ブッシングおよび協働するスピンドル装置の
間の摩擦により、各保持装置７０および各加工物５４が
加工物の長手軸１２２の回りで回転するようになる。こ
れにより、各加工物５４の対向する流れ表面５８および
６０と前縁５６がコーティングされる。さらに、ブッシ
ング４８およびスピンドル装置６４が各加工物５４を傾
けさせ、これにより軸１２２のそれぞれが長手軸１４と
交差し、またコーティング材料１２０の源の方に向く。
この結果、プラットフォームの表面６２のような、流れ
表面５８および６０に垂直な表面は、気化されたコーテ
ィング材料にさらされて同様にコーティングされる。コ
ーティング操作が完了した後、モジュール式の取付具１
０は加工物５４とともに、コーティングチャンバから取
り外され、新しい取付具１０がコーティングされる新し
い加工物５４とともに設置される。
付具１０は駆動システム（図示せず）によりその長手軸
１４の回りで回転される。取付具１０が回転する際、重
力および各ブッシングおよび協働するスピンドル装置の
間の摩擦により、各保持装置７０および各加工物５４が
加工物の長手軸１２２の回りで回転するようになる。こ
れにより、各加工物５４の対向する流れ表面５８および
６０と前縁５６がコーティングされる。さらに、ブッシ
ング４８およびスピンドル装置６４が各加工物５４を傾
けさせ、これにより軸１２２のそれぞれが長手軸１４と
交差し、またコーティング材料１２０の源の方に向く。
この結果、プラットフォームの表面６２のような、流れ
表面５８および６０に垂直な表面は、気化されたコーテ
ィング材料にさらされて同様にコーティングされる。コ
ーティング操作が完了した後、モジュール式の取付具１
０は加工物５４とともに、コーティングチャンバから取
り外され、新しい取付具１０がコーティングされる新し
い加工物５４とともに設置される。
【００５２】上記の記載から、本発明のモジュール式の
取付具は多くの工業上の特長を提供するものである。特
に、この取付具は多数の加工物を同時にコーティングす
ることができる。この取付具はさらに、内部に加工物を
容易に配置することができ、またこれから加工物を容易
に取り外すことができる。さらに、他のセットの加工物
が別の他の取付具上でコーティングされる一方で、加工
物を取付具内に置くとともに取付具から取り除くことが
できる。加えて、本発明の取付具は、従来技術のシステ
ムよりも使用が容易である。
取付具は多くの工業上の特長を提供するものである。特
に、この取付具は多数の加工物を同時にコーティングす
ることができる。この取付具はさらに、内部に加工物を
容易に配置することができ、またこれから加工物を容易
に取り外すことができる。さらに、他のセットの加工物
が別の他の取付具上でコーティングされる一方で、加工
物を取付具内に置くとともに取付具から取り除くことが
できる。加えて、本発明の取付具は、従来技術のシステ
ムよりも使用が容易である。
【００５３】本発明の取付具は、タービンのブレードや
ベーンのようなエーロフォイル（airfoil ）をコーティ
ングする際に特に有用である。本発明の取付具を用いる
ことで、タービンのブレードあるいはベーンのプラット
フォーム部分とともに前縁および両方の流れ表面をコー
ティングすることが可能である。
ベーンのようなエーロフォイル（airfoil ）をコーティ
ングする際に特に有用である。本発明の取付具を用いる
ことで、タービンのブレードあるいはベーンのプラット
フォーム部分とともに前縁および両方の流れ表面をコー
ティングすることが可能である。
【００５４】本発明の取付具は、部品マニピュレーショ
ンシステムとして機能する高価なギア駆動式で長手方向
および横方向へ動作する装置と比べてデザインが比較的
簡単である。さらに、本発明の取付具によれば、略均一
なコーティング厚さおよび優れたコーティング構造を得
ることができる。本発明の取付具は簡単なデザインであ
るので、コーティングを非常に低コストで行うことがで
きる。
ンシステムとして機能する高価なギア駆動式で長手方向
および横方向へ動作する装置と比べてデザインが比較的
簡単である。さらに、本発明の取付具によれば、略均一
なコーティング厚さおよび優れたコーティング構造を得
ることができる。本発明の取付具は簡単なデザインであ
るので、コーティングを非常に低コストで行うことがで
きる。
【００５５】以上のように、本発明によれば、上記した
目的、手段、および特長を完全に満たすモジュール式取
付具を提供できることは明らかである。また、上記では
本発明をその特定の実施の形態に基づいて説明したが、
上記説明に鑑みて当業者が多くの代替え、修正、および
変更を行うことができることは明らかである。したがっ
て、本発明は、添付した請求の範囲内のこれらの代替
え、修正、および変更を包含するものである。
目的、手段、および特長を完全に満たすモジュール式取
付具を提供できることは明らかである。また、上記では
本発明をその特定の実施の形態に基づいて説明したが、
上記説明に鑑みて当業者が多くの代替え、修正、および
変更を行うことができることは明らかである。したがっ
て、本発明は、添付した請求の範囲内のこれらの代替
え、修正、および変更を包含するものである。
【図１】本発明に係るコーティング用のモジュール式の
取付具の斜視図である。
取付具の斜視図である。
【図２】図１のコーティング用のモジュール式の取付具
の側面図である。
の側面図である。
【図３】図１の取付具を駆動軸に連結するために使用さ
れる連結部材の部分的な断面の上面図である。
れる連結部材の部分的な断面の上面図である。
【図４】取付具が受容された位置／取り外された位置に
おいて示した図３の連結部材の側面図である。
おいて示した図３の連結部材の側面図である。
【図５】図１のモジュール式の取付具の一部断面の側面
図である。
図である。
【図６】図１のモジュール式の取付具に使用されるスピ
ンドル装置の側面図である。
ンドル装置の側面図である。
【図７】本発明のモジュール式の取付具に使用される加
工物の保持装置の正面図である。
工物の保持装置の正面図である。
【図８】カバーが定位置に固着された状態を示した、図
７の加工物の保持装置の断面図である。
７の加工物の保持装置の断面図である。
【図９】図７および図８の保持装置内に位置決めされた
ベーン形の加工物の斜視図である。
ベーン形の加工物の斜視図である。
１０ 取付具 １２ 軸 １４ 長手軸 １６、１８ 支持板 ２４ 連結部材 ２６、２８ スロット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウイリアム エー．ネヘッツ，シニア アメリカ合衆国，コネチカット 06492, ウォーリングフォード，シエットランド ドライブ ５ (56)参考文献 特開 平６−76783（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−54766（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−44358（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−125170（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭64−53754（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C23C 14/00 - 14/58 B05C 11/08 B05D 1/40
Claims (21)
- 【請求項１】 コーティング材料源を設け、取付具の長
手軸に対して斜めに方向付け可能であると共にその長手
軸がコーティング処理の間に前記コーティング材料源に
向けて傾斜されるスピンドル装置に、コーティングされ
る加工物を取付け、および前記取付具をその長手軸の回
りで回転させ、前記加工物をその長手軸の回りで回転さ
せ同時に前記加工物を前記コーティング材料源に向ける
ために前記スピンドル装置を傾斜させ、前記コーティン
グ材料を前記加工物の少なくとも１つの表面に加工物の
長手軸に対して斜めに接触させることにより、前記コー
ティング材料で前記加工物をコーティングする、各ステ
ップを含んでなることを特徴とする加工物をコーティン
グする方法。 - 【請求項２】 前記コーティングするステップが前記加
工物の２つの対向する表面をコーティングすることを含
んでなり、また前記傾斜させるステップにより前記２つ
の対向する表面に実質的に垂直な表面がコーティングさ
れるようになることを特徴とする請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 前記取付けるステップが複数の加工物を
前記取付具に取付けることを含み、および前記コーティ
ングするステップが、前記取付具を前記取付具の長手軸
の回りで回転させ、前記加工物をその各長手軸の回りで
同時に回転させ、また前記加工物の全てを前記コーティ
ング材料源に向けて同時に傾斜させることをさらに含ん
でなることを特徴とする請求項１記載の方法。 - 【請求項４】 前記取付けるステップが、ブッシング装
置および前記スピンドル装置により前記取付具に固定さ
れた保持装置内に各加工物を位置させることを含み、ま
た前記取付具を回転させるステップにより前記スピンド
ル装置および前記保持装置が前記取付具に対してロール
するようになることを特徴とする請求項３記載の方法。 - 【請求項５】 前記加工物が、前縁、２つの対向する流
れ表面、および前記対向する表面に実質的に垂直なプラ
ットフォームをそれぞれ有する複数のエーロフォイルを
含み、またさらに前記取付具を前記保持装置内で前記エ
ーロフォイルとともに回転式駆動システムに取付け、 前記取付具と前記エーロフォイルをコーティングチャン
バ内に移送し、および前記エーロフォイルのそれぞれの
前記前縁、対向する表面およびプラットフォームがコー
ティングサイクルの間に前記コーティング材料にさらさ
れるように前記取付具を回転する、各ステップをさらに
含んでなることを特徴とする請求項４記載の方法。 - 【請求項６】 前記回転するステップが、前記取付具を
第１の軸の回りで回転させると同時に前記エーロフォイ
ルのそれぞれを前記第１の軸と斜めの第２の軸の回りで
回転させることを含んでなり、前記第２の軸がコーティ
ング材料源に向かって傾斜していることを特徴とする請
求項５記載の方法。 - 【請求項７】 加工物をコーティングするためのモジュ
ール式の取付具を含んでなり、 前記モジュール式の取付具は、コーティング動作の間に
おいて前記加工物がその長手軸の回りで回転するのと同
時にコーティング材料源に向かって傾斜するように前記
加工物を支持するための手段を含んでおり、 前記支持する手段が、ブッシング装置および前記加工物
が取付けられた協働するスピンドル装置を含んでなり、 前記ブッシング装置が内側ボアを有する中空のスリーブ
部材を含んでなり、および前記スピンドル装置が、前記
中空のスリーブ部材と協同して前記取付具の回転の際に
前記加工物の前記回転および前記傾斜を起こさせる、前
記内側ボアを通って延在する回転可能なピンを含んでな
る、 ことを特徴とする加工物をコーティングするための装
置。 - 【請求項８】 前記モジュール式取付具が、長手方向に
延在する軸およびそれに取付けられた支持板を含み、お
よび前記ブッシング装置が前記支持板内に含まれてい
る、ことを特徴とする請求項７記載の装置。 - 【請求項９】 前記ピンが、前記スリーブ部材の一端と
接触するための拡大された端部および前記拡大された端
部に取付けられた軸部を有し、前記軸部は前記ボアの直
径よりも小さい外径を有しており、および前記加工物を
支持する手段が、前記スピンドル装置の前記軸部に接続
された加工物の保持装置をさらに含んでいることを特徴
とする請求項８記載の装置。 - 【請求項１０】 前記ボアおよび前記軸部が、前記取付
具の回転の間に前記加工物をロールさせる摩擦を生じる
ための粗面を有していることを特徴とする請求項９記載
の装置。 - 【請求項１１】 前記保持装置がカップ状のコネクタを
一端に有し、 前記カップ状のコネクタは２つの対向するスロットを有
し、 前記軸部は、前記２つの対向するコネクタのスロットと
嵌合するための少なくとも１つのスロットを有し、およ
び前記コネクタを前記軸部に固着するための手段を含ん
でなることを特徴とする請求項９記載の装置。 - 【請求項１２】 前記加工物の保持装置が、 第１の壁および前記第１の壁から延在した２つの側壁を
有する加工物の保留装置であって、前記各側壁および前
記第１の壁は前記加工物を受容するための開口を規定し
た保留装置、および前記加工物が前記保留装置内に位置
決めされた後に前記開口を閉じるためのカバーを含んで
なることを特徴とする請求項９記載の装置。 - 【請求項１３】 前記側壁の１つに取付けられこれから
突出するとともに内部にスロットを有する舌状部材を含
み、 前記カバーは前記カバーが前記開口を閉じたときに前記
舌状部材が通過するスロットを有しており、 前記カバーを前記加工物の保留装置に固着するためのウ
ェッジ部材を含み、 前記ウェッジ部材は前記舌状部材内の前記スロットを通
過し前記カバーの外側表面の一部に接触し、 前記加工物を前記加工物の保留装置内に位置決めするた
めの手段を含み、 前記加工物の保留装置に取付けられたマスキング装置を
含み、および前記マスキング装置が、コーティング作業
の間にコーティングされない前記加工物の部分上に延在
していることを特徴とする請求項１２記載の装置。 - 【請求項１４】 前記位置決めするための手段が前記第
１の壁に取付けられた位置決め部材あるいは前記第１の
壁と前記側壁の１つの間に延在する位置決め部材を含ん
でなり、前記位置決め部材が前記加工物の一部と協働す
ることを特徴とする請求項１３記載の装置。 - 【請求項１５】 前記モジュール式の取付具をその長手
軸の回りで回転するための手段に前記モジュール式の取
付具を固着するための手段をさらに含んでなり、 前記固着する手段は、前記モジュール式の取付具の一端
から突出した円筒状の据付コラムを含んでなり、前記円
筒状の据付コラムは２つの対向するスロット、前記円筒
状の据付コラムに嵌合する軸部およびベース部を有し、
前記ベース部は前記２つの対向するスロットと内部で嵌
合するための少なくとも１つのスロット、前記モジュー
ル式の取付具を連結部材に固着するための前記２つの対
向するスロットおよび前記ベース部内の前記少なくとも
１つのスロットを通過する手段を有し、 前記連結部材は前記モジュール式の取付具が前記ベース
部に対して移動するのを許容するためのピボットを有し
てなることを特徴とする請求項７記載の装置。 - 【請求項１６】 前記加工物のそれぞれがコーティング
サイクルの間にその長手軸の回りを回転するのと同時に
前記コーティングサイクルの間においてコーティング材
料源に向いて傾斜し各加工物の所望の部分が前記コーテ
ィング材料によりコーティングされるように複数の加工
物を支持するための手段をさらに含んでなることを特徴
とする請求項７記載のモジュール式の装置。 - 【請求項１７】 前記モジュール式の取付具が長手方向
に延在する部材および前記長手方向に延在する部材に取
付けられた支持板を有し、前記支持板は所望の距離だけ
分離されており、 前記支持手段は前記支持板のぞれぞれに固定された複数
のブッシングを含んでなり、および前記加工物が取付け
られる複数の協働するスピンドル装置をさらに含んでな
ることを特徴とする請求項１６記載のモジュール式の装
置。 - 【請求項１８】 前記スピンドル装置が前記ブッシング
に対してロールすることが許容されるとともに前記モジ
ュール式の取付具がコーティングサイクルの間に回転す
るように、前記スピンドル装置が寸法付けされているこ
とを特徴とする請求項１７記載のモジュール式の装置。 - 【請求項１９】 前記スピンドル装置のそれぞれに取付
けられた加工物を保留するための手段をさらに含んでな
ることを特徴とする請求項１８記載のモジュール式の装
置。 - 【請求項２０】 前記スピンドル装置のそれぞれが、拡
大された頭部および各ブッシング内のボアを通過する軸
部を含み、前記加工物を保留する手段のそれぞれが一端
に取付けられたコネクタを含む、および前記コネクタを
前記スピンドルの軸部の１つに固着するための手段をさ
らに含んでなることを特徴とする請求項１９記載のモジ
ュール式の装置。 - 【請求項２１】 各前記加工物の保留手段が第１の壁お
よび前記第１の壁から延在した２つの側壁を含み、前記
側壁および前記第１の壁が前記加工物を受容するための
開口を規定し、また前記加工物が前記保留する手段内に
位置決めされた後に前記開口を閉じるためのカバーをさ
らに含んでなることを特徴とする請求項１９記載のモジ
ュール式の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US813,384 | 1997-03-06 | ||
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|---|---|
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| JP (1) | JP3290620B2 (ja) |
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