UA48963C2 - Спосіб нанесення покриття на деталь та установка для його здійснення - Google Patents

Спосіб нанесення покриття на деталь та установка для його здійснення

Info

Publication number
UA48963C2
UA48963C2 UA97105154A UA97105154A UA48963C2 UA 48963 C2 UA48963 C2 UA 48963C2 UA 97105154 A UA97105154 A UA 97105154A UA 97105154 A UA97105154 A UA 97105154A UA 48963 C2 UA48963 C2 UA 48963C2
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
workpieces
fixture
workpiece
bushing
coating
Prior art date
Application number
UA97105154A
Other languages
English (en)
Russian (ru)
Inventor
М.Бернс Стівен
Ст. Вілльям А.Нехез
Original Assignee
Юнайтед Текнолоджіз Корпорейшн
Юнайтед Текнолоджиз Корпорейшн
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Юнайтед Текнолоджіз Корпорейшн, Юнайтед Текнолоджиз Корпорейшн filed Critical Юнайтед Текнолоджіз Корпорейшн
Publication of UA48963C2 publication Critical patent/UA48963C2/uk

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50Substrate holders
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50Substrate holders
    • C23C14/505Substrate holders for rotation of the substrates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Spray Control Apparatus (AREA)

Abstract

Цей винахід стосується установки для одночасного нанесення покриття на велику кількість деталей. Установка включає модульний затискувальний пристрій, що має багато втулкових та шпиндельних пристроїв для утримування деталей, на які необхідно нанести покриття. Втулкові та шпиндельні пристрої дозволяють кожній деталі обертатися навколо своєї осі та нахилятися вздовж осі, яка перетинає вісь обертання затискувального пристрою. Завдяки впровадженню такого втулкового та шпиндельного пристрою можна наносити покриття на поверхні деталі, що є перпендикулярними до інших поверхонь деталі. Також описується спосіб одночасного нанесення покриття на деталі. Спосіб полягає у виконанні операцій установки багатьох деталей на затискувальному пристрої таким чином, що деталі розміщуються під кутом до осі обертання затискувального пристрою, причому вказаний пристрій обертається навколо своєї осі обертання таким чином, що примушує деталі нахилятися та відкриватися для осаджуваного матеріалу покриття.
UA97105154A 1997-03-06 1997-10-22 Спосіб нанесення покриття на деталь та установка для його здійснення UA48963C2 (uk)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/813,384 US6083322A (en) 1997-03-06 1997-03-06 Modular coating fixture

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA48963C2 true UA48963C2 (uk) 2002-09-16

Family

ID=25212224

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UA97105154A UA48963C2 (uk) 1997-03-06 1997-10-22 Спосіб нанесення покриття на деталь та установка для його здійснення

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6083322A (uk)
EP (1) EP0863226B1 (uk)
JP (1) JP3290620B2 (uk)
DE (1) DE69709306T2 (uk)
UA (1) UA48963C2 (uk)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6352406B1 (en) * 1999-07-28 2002-03-05 General Electric Company Method for assessing quality of a coating process and assembly therefor
US7754016B2 (en) 2002-10-07 2010-07-13 United Technologies Corporation Multiple axis tumbler coating apparatus
US6923868B2 (en) * 2003-09-23 2005-08-02 Gba S.A. Installation for electron-ray coatication of coatings
DE102005035904B4 (de) * 2005-07-28 2012-01-12 Leybold Optics Gmbh Vorrichtung zum Behandeln von Substraten
DE102005041404A1 (de) * 2005-09-01 2007-03-08 Mahle International Gmbh Vorrichtung zum Haltern eines Kolbens in einer Anlage zum Beschichten von Kolben
US7597762B2 (en) * 2005-09-21 2009-10-06 General Electric Company Methods and apparatus for manufacturing components
DE102006033047A1 (de) * 2006-07-14 2008-01-24 Viktor Georgiev Abdeckbauteil zum Maskieren von Oberflächen zu behandelnden Werkstücken
US7997227B2 (en) * 2007-03-13 2011-08-16 General Electric Company Vacuum coater device and mechanism for supporting and manipulating workpieces in same
DE502007003308D1 (de) * 2007-07-12 2010-05-12 Siemens Ag Halterung für Turbinenschaufeln
US20110171390A1 (en) * 2010-01-08 2011-07-14 United Technologies Corporation One Financial Plaza Fixture for coating application
DE102010001218A1 (de) * 2010-01-26 2011-07-28 Esser, Stefan, Dr.-Ing., 52072 Substratteller und Beschichtungsanlage zum Beschichten von Substraten
US8328945B2 (en) * 2010-03-12 2012-12-11 United Technologies Corporation Coating apparatus and method with indirect thermal stabilization
US20110223317A1 (en) * 2010-03-12 2011-09-15 United Technologies Corporation Direct thermal stabilization for coating application
US9187815B2 (en) * 2010-03-12 2015-11-17 United Technologies Corporation Thermal stabilization of coating material vapor stream
TW201134971A (en) * 2010-04-14 2011-10-16 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Sputtering bracket and sputtering machine
CZ25582U1 (cs) * 2013-03-14 2013-06-24 Hvm Plasma, Spol.S R.O. Rotacní stolek pro depozici tenkých povrchových vrstev na substráty
DE102015105169A1 (de) 2015-04-02 2016-10-06 Cemecon Ag Chargierung von Werkstücken in einer Beschichtungsanlage
US20190194799A1 (en) 2017-12-22 2019-06-27 United Technologies Corporation Line-of-sight coating fixture and apparatus
US11299803B2 (en) * 2018-01-04 2022-04-12 Raytheon Technologies Corporation Metallic coating process for combustor panels using a barrel configuration
CN113621929B (zh) * 2020-05-08 2023-04-11 武汉光谷创元电子有限公司 微波器件的制造设备和制造方法
CN114107930B (zh) * 2021-11-08 2023-12-22 盐城工学院 一种用于拉削刀具的pvd镀膜用夹持工装

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH591923A5 (uk) * 1974-10-07 1977-10-14 Citizen Watch Co Ltd
US4051695A (en) * 1976-04-27 1977-10-04 Airco, Inc. Rotating shaft coupling for use in vacuum
DE2813180C2 (de) * 1978-03-25 1985-12-19 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Vakuumbeschichtungsanlage zum allseitigen Beschichten von Substraten durch Rotation der Substrate im Materialstrom
US4271005A (en) * 1979-12-03 1981-06-02 United Technologies Corporation Workpiece support apparatus for use with cathode sputtering devices
US5112644A (en) * 1990-03-08 1992-05-12 Optical Coating Laboratory, Inc. Horizontal precession tooling and method for tube rotation
DE4010663C2 (de) * 1990-04-03 1998-07-23 Leybold Ag Vorrichtung und Verfahren zur plasmagestützten Beschichtung von Werkstücken
US5558909A (en) * 1996-01-17 1996-09-24 Textron Automotive Interiors, Inc. Apparatus and method for vacuum-metallizing articles with significant deposition onto three-dimensional surfaces
US5565035A (en) * 1996-03-14 1996-10-15 United Technologies Corporation Fixture for masking a portion of an airfoil during application of a coating

Also Published As

Publication number Publication date
JPH10245672A (ja) 1998-09-14
DE69709306D1 (de) 2002-01-31
US6083322A (en) 2000-07-04
DE69709306T2 (de) 2002-07-18
EP0863226A1 (en) 1998-09-09
JP3290620B2 (ja) 2002-06-10
EP0863226B1 (en) 2001-12-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
UA48963C2 (uk) Спосіб нанесення покриття на деталь та установка для його здійснення
KR102484360B1 (ko) 가공물 회전 장치 및 그것을 이용한 도장 방법
TW336329B (en) Semiconductor processing coating method and the coating device
EP0953656A3 (en) Rotatable fixture for airfoils
ATE449044T1 (de) Schmutzbeständige beschichtung für glasoberflächen
CN101003132B (zh) 机器人
TW346429B (en) Surface machining method and apparatus
RU2008113396A (ru) Изготовление валков и плит, имеющих твердосплавное покрытие
JP2008264997A (ja) 工業ロボットから電気的に絶縁された旋回ディスクを備えた該工業ロボットおよびかかるロボットを製造する方法
CA2421546A1 (en) Painting apparatus with compound rack
US5711196A (en) Tooling apparatus and methodology for machining a blank having multiple spin centers
BR0116239A (pt) Processo de controle de uma instalação de revestimento de superfìcie
CA2166909A1 (en) Method for the production of an insulator
CA2103010A1 (en) Apparatus and Method for Finishing a Workpiece
KR101703471B1 (ko) 다축 자전방식 지그를 이용한 엑스와이 도장설비
CN209754520U (zh) 车削、激光熔覆及镜面加工复合装置
JP2004002995A (ja) 被処理物品の表面に溶射被覆を施す装置および方法
JPH02502524A (ja) 回転体の形状をなす製品に塗料を熱ガススプレー付着する装置
KR19980042740A (ko) 자유곡면 가공공구
JP2000108005A (ja) フイルムラップ装置のシュー組立体
CA2317031A1 (en) Process for coating a solution onto a substrate
JPS62152676A (ja) ダイヤモンド砥石の製作方法
CN219542844U (zh) 石英舟槽棒的抛光设备
SU1233956A1 (ru) Установка дл нанесени покрытий на крупногабаритные издели
RU1798039C (ru) Устройство дл обработки конических поверхностей на токарном станке