RU2160884C1 - Displacement, alignment and positioning gear - Google Patents

Displacement, alignment and positioning gear Download PDF

Info

Publication number
RU2160884C1
RU2160884C1 RU2000111835A RU2000111835A RU2160884C1 RU 2160884 C1 RU2160884 C1 RU 2160884C1 RU 2000111835 A RU2000111835 A RU 2000111835A RU 2000111835 A RU2000111835 A RU 2000111835A RU 2160884 C1 RU2160884 C1 RU 2160884C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
linear
carriage
alignment
drives
movable
Prior art date
Application number
RU2000111835A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
В.К. Беляков
Ю.Ф. Юрченко
Ю.М. Русанов
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "ВЕСТТРЭЙД Лтд."
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "ВЕСТТРЭЙД Лтд." filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "ВЕСТТРЭЙД Лтд."
Priority to RU2000111835A priority Critical patent/RU2160884C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2160884C1 publication Critical patent/RU2160884C1/en

Links

Images

Abstract

FIELD: measurement technology. SUBSTANCE: given gear is fitted with base, carriage carrying mobile link jointly forming double-coordinate horizontal table, drives of linear translations of carriage and mobile link. Alignment and positioning mechanism includes mobile lower frame coupled with the aid of restoring joints to platform, mobile upper frame coupled to three drives of its linear translations along vertical line and object table. Drives of alignment and positioning mechanism for linear translations along horizontal line are installed in mobile link and are tied up with lower mobile frame and platform. Drives of linear translations of mobile upper frame along vertical line are placed on platform and object table is coupled to drives of linear translations along horizontal line mounted for its rotation with reference to vertical axis. EFFECT: expanded functional capabilities of gear thanks to translation of output link over six degrees of freedom. 2 dwg

Description

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к устройствам, использующимся в качестве рабочего стола для проекционной аппаратуры уменьшенных изображений, для систем удержания электронных пучков или для устройств исследования различных структур сканирующим зондовым микроскопом. The invention relates to the field of measurement technology, in particular to devices used as a desktop for projection equipment of reduced images, for electron beam retention systems or for devices for studying various structures with a scanning probe microscope.

Устройство позиционирования, совмещения и перемещения, использующееся для описанных выше систем, требует с одной стороны точности позиционирования и совмещения порядка 0,001 мкм, а с другой стороны - высокой скорости позиционирования. The positioning, alignment and movement device used for the systems described above requires, on the one hand, positioning and alignment accuracy of the order of 0.001 μm, and on the other hand, a high positioning speed.

Известно устройство перемещения, совмещения и позиционирования, содержащее каретку, закрепленный на каретке посредством упругих опор механизм совмещения и позиционирования, выполненный в виде платы, и приводы линейных перемещений по горизонтали каретки и платы, обеспечивающие поворот платы относительно вертикальной оси и ее горизонтальные перемещения по двум взаимно перпендикулярным направлениям (патент US N 4575942, G 01 B 5/25, 18.03.86). A device for moving, aligning and positioning, comprising a carriage mounted on the carriage by means of elastic supports, the alignment and positioning mechanism, made in the form of a board, and drives linear movements horizontally of the carriage and the board, providing rotation of the board relative to the vertical axis and its horizontal movements in two mutually perpendicular to the directions (patent US N 4575942, G 01 B 5/25, 03/18/86).

Недостатком известного устройства является невозможность обеспечения перемещения платы по шести степеням свободы, что ограничивает функциональные возможности устройства. A disadvantage of the known device is the inability to ensure the movement of the board in six degrees of freedom, which limits the functionality of the device.

Задачей, на решение которой направлено настоящее изобретение, является создание устройства перемещения, совмещения и позиционирования, которое бы обеспечивало технический результат, связанный с расширением функциональных возможностей устройства за счет обеспечения перемещений выходного звена механизма совмещения и позиционирования по шести степеням свободы. The problem to which the present invention is directed, is to create a device for moving, aligning and positioning, which would provide a technical result related to the expansion of the functionality of the device by providing movements of the output link of the alignment and positioning mechanism in six degrees of freedom.

Указанная задача в предлагаемом изобретении решается за счет того, что устройство перемещения, совмещения и позиционирования, содержащее каретку, закрепленный на каретке посредством упругих опор механизм совмещения и позиционирования и приводы линейных перемещений по горизонтали каретки и механизма совмещения и позиционирования, согласно изобретению снабжено основанием, образующим с установленной на нем кареткой и с размещенным на каретке подвижным звеном двухкоординатный горизонтальный стол, подвижное звено снабжено приводом его линейных перемещений по горизонтали, приводы линейных перемещений каретки и подвижного звена установлены соответственно на основании и каретке по двум взаимно перпендикулярным направлениям, а механизм совмещения и позиционирования включает подвижную нижнюю раму, связанную посредством упругих шарниров с платформой, подвижную верхнюю раму, связанную с наружней стороны, по крайней мере, с тремя приводами ее линейных перемещений по вертикали, а с внутренней стороны посредством упругих элементов - с предметным столиком, и установленную на предметном столике пластину, при этом механизм совмещения и позиционирования закреплен на подвижном звене двухкоординатного стола посредством упругих шарниров, смонтированных в неподвижных стойках подвижного звена, приводы линейных перемещений по горизонтали механизма совмещения и позиционирования установлены на подвижном звене по двум взаимно перпендикулярным направлениям и связаны соответственно с нижней подвижной рамой и платформой, приводы линейных перемещений по вертикали подвижной верхней рамы установлены на платформе, а предметный столик связан с двумя приводами линейных перемещений по горизонтали, установленными с возможностью обеспечения его вращения относительно вертикальной оси. The specified problem in the present invention is solved due to the fact that the device for moving, aligning and positioning, comprising a carriage fixed to the carriage by means of elastic supports, the alignment and positioning mechanism and linear drives of horizontal displacements of the carriage and the alignment and positioning mechanism, according to the invention, is equipped with a base forming with a carriage mounted on it and with a movable link placed on the carriage, a two-coordinate horizontal table, the movable link is equipped with a drive horizontal displacements, linear displacements of the carriage and the movable link are mounted respectively on the base and the carriage in two mutually perpendicular directions, and the alignment and positioning mechanism includes a movable lower frame connected by elastic hinges to the platform, a movable upper frame connected to the outside, at least with three drives of its linear linear movements vertically, and on the inside by means of elastic elements - with a stage, and installed on the plate, with the alignment and positioning mechanism mounted on the movable link of the two-coordinate table by means of elastic hinges mounted in the stationary racks of the movable link, the linear drives of horizontal movement of the alignment and positioning mechanism are mounted on the movable link in two mutually perpendicular directions and are connected respectively to the lower movable frame and platform, linear linear drives of vertical movement of the upper frame are mounted on the platform, and the stage is connected with two horizontal linear drives, mounted with the possibility of ensuring its rotation relative to the vertical axis.

Сущность изобретения поясняется чертежами, где:
на фиг. 1 - представлен общий вид устройства перемещения, совмещения и позиционирования;
на фиг. 2 - механизм совмещения и позиционирования.The invention is illustrated by drawings, where:
in FIG. 1 - shows a General view of the device moving, aligning and positioning;
in FIG. 2 - a combination and positioning mechanism.

Устройство перемещения, совмещения и позиционирования содержит основание 1, на котором в направляющих 4 установлена каретка 3. На каретке 3 в направляющих 4 установлено подвижное звено 5, на котором закреплен посредством упругих шарниров 6, смонтированных в неподвижных стойках 7, механизм совмещения и позиционирования 8. Привод линейных перемещений 9 каретки 3 по координате Y смонтирован на основании, а привод линейных перемещений 10 подвижного звена 5 по координате X - на каретке 3. Основание 1, каретка 3 и подвижное звено 5 образуют двухкоординатный горизонтальный стол, обеспечивающий возможность перемещения подвижного звена 5 с установленным на нем механизмом совмещения и позиционирования 8 по двум взаимно перпендикулярным направлениям. The moving, aligning and positioning device comprises a base 1 on which a carriage 3 is mounted in the guides 4. A movable link 5 is mounted on the carriage 3 in the guides 4, on which the alignment and positioning mechanism 8 is fixed by means of elastic hinges 6 mounted in the stationary struts 7. The linear displacement drive 9 of the carriage 3 in the Y coordinate is mounted on the base, and the linear displacement drive 10 of the movable link 5 in the X coordinate is mounted on the carriage 3. Base 1, carriage 3 and movable link 5 form a two-coordinate the third horizontal table, providing the ability to move the movable link 5 with the mechanism for combining and positioning 8 installed on it in two mutually perpendicular directions.

Направляющие 2 и 4, в которых установлены каретка 3 и подвижное звено 5, конструктивно могут быть выполнены многодорожковыми с большим количеством шариков, разделенных сепараторами. При соответствующем выборе конструктивных и технологических параметров: жесткость каждой дорожки (желоба) упругие свойства основания и подложек дорожек, количество шариков и другие, можно обеспечить прямолинейность движения каретки и подвижного звена с точностью до ±0,05 мкм. The guides 2 and 4, in which the carriage 3 and the movable link 5 are installed, can be structurally multi-track with a large number of balls separated by separators. With the appropriate choice of design and technological parameters: the stiffness of each track (trough), the elastic properties of the base and substrate of the tracks, the number of balls and others, it is possible to ensure the linearity of the movement of the carriage and the moving link with an accuracy of ± 0.05 μm.

Механизм совмещения и позиционирования 8 закреплен на подвижном звене 5 посредством, по крайней мере, четырех упругих шарниров 6 и содержит подвижную нижнюю раму 11, платформу 12, подвижную верхнюю раму 13, предметный столик 14 и установленную на нем пластину 15, являющуюся выходным звеном механизма совмещения и позиционирования, функции которого может выполнять, например, фотошаблон с реперными знаками. The alignment and positioning mechanism 8 is fixed to the movable link 5 by means of at least four elastic hinges 6 and comprises a movable lower frame 11, a platform 12, a movable upper frame 13, a stage 14 and a plate 15 mounted on it, which is an output link of the alignment mechanism and positioning, the functions of which can be performed, for example, by a photomask with reference marks.

Подвижная нижняя рама 11 связана посредством упругих шарниров 16 с платформой 12, которая в свою очередь через упругие связи 17 взаимодействует с подвижной верхней рамой 13. Подвижная верхняя рама 13 посредством упругих шарниров 18 связана с предметным столиком 14. The movable lower frame 11 is connected by means of elastic hinges 16 to the platform 12, which, in turn, through elastic connections 17 interacts with the movable upper frame 13. The movable upper frame 13 by means of elastic hinges 18 is connected to the stage 14.

Два привода линейных перемещений 19 и 20 по координатам X, Y механизма совмещения и позиционирования 8 установлены на подвижном звене 5 и связаны соответственно с платформой 12 и подвижной нижней рамой 11, а, по крайней мере, три привода линейных перемещений 21 по координате Z подвижной верхней рамы 13 установлены на платформе 12. Предметный столик 14 связан с двумя приводами угловых перемещений 22. Two linear actuators 19 and 20 along the X, Y coordinates of the alignment and positioning mechanism 8 are mounted on the movable link 5 and connected respectively to the platform 12 and the movable lower frame 11, and at least three linear actuators 21 on the Z coordinate of the upper movable the frames 13 are mounted on the platform 12. The stage 14 is connected with two angular displacement drives 22.

Устройство перемещения, совмещения и позиционирования работает следующим образом. A device for moving, aligning and positioning works as follows.

При включении приводов линейных перемещений 9 и 10 происходит перемещение каретки 3 относительно основания 1 и подвижного звена 5 относительно каретки 3 и, таким образом, координатный стол перемещает установленный на нем механизм совмещения и позиционирования 8 по координатам X, Y. При этом, в случае использования в составе приводов линейных перемещений, например, механизмов с гибкими звеньями, можно получить перемещение механизма совмещения и позиционирования с высокой точностью позиционирования до ±0,1 мкм на расстояниях ±100 мм. When the linear displacement drives 9 and 10 are turned on, the carriage 3 is moved relative to the base 1 and the movable link 5 relative to the carriage 3 and, thus, the coordinate table moves the alignment and positioning mechanism 8 installed on it along the X, Y coordinates. Moreover, in case of use as part of linear displacement drives, for example, mechanisms with flexible links, it is possible to obtain movement of the alignment and positioning mechanism with high positioning accuracy up to ± 0.1 μm at distances of ± 100 mm.

При включении привода линейных перемещений 19 платформа 12 будет перемещаться в упругих шарнирах 16 относительно подвижной нижней рамы 11 в направлении оси X, а при включении привода линейных перемещений 20 предметный столик 14 вместе с платформой 12 и подвижной нижней рамой 11 будет перемещаться в направлении оси Y. Таким образом, при включении приводов линейных перемещений 19 и 20 предметный столик 14 вместе с пластиной 15 перемещается в горизонтальной плоскости XOY. When the linear actuator 19 is turned on, the platform 12 will move in elastic hinges 16 relative to the movable lower frame 11 in the direction of the X axis, and when the linear actuator 20 is turned on, the stage 14 together with the platform 12 and the movable lower frame 11 will move in the direction of the Y axis. Thus, when the linear actuators 19 and 20 are turned on, the stage 14 together with the plate 15 moves in the horizontal XOY plane.

При одновременном включении приводов линейных перемещений 21 на подъем или опускание подвижная верхняя рама 13 вместе с предметным столиком 14 и пластиной 15 совершает перемещение по оси Z. При этом при подаче одинакового управляющего сигнала на приводы линейных перемещений 21 предметный столик с пластиной будет совершать плоскопараллельное движение вдоль оси Z. При одновременной подаче одинакового управляющего сигнала на приводы линейных перемещений 21 (Б) и 21 (В) на подъем, а на привод линейного перемещения 21 (А) на опускание произойдет поворот подвижной верхней рамы 13 вместе с предметным столиком 14 и пластиной 15 относительно оси OX. Если включить привод линейных перемещений 21 (А) на подъем, а приводы линейных перемещений 21 (Б) и 21 (В) на опускание, то произойдет разворот подвижной верхней рамы вместе с предметным столиком и пластиной в обратном направлении. Для поворота предметного столика с пластиной вокруг оси Y необходимо включить привод линейных перемещений 21 (Б) на подъем, а привод линейных перемещений 21 (В) на опускание при включенном приводе линейных перемещений 21 (А). При реверсе включения указанных приводов линейных перемещений произойдет поворот предметного столика вместе с пластиной относительно оси OY в обратном направлении. When the linear displacement drives 21 are turned on to raise or lower, the movable upper frame 13 together with the stage 14 and the plate 15 moves along the Z axis. In this case, when the same control signal is applied to the linear displacement drives 21, the stage with the plate will move in parallel motion the Z axis. When the same control signal is simultaneously applied to the linear displacement drives 21 (B) and 21 (C) to rise, and to the linear displacement drive 21 (A), lowering will occur r upper movable frame 13 together with the stage 14 and the plate 15 relative to the axis OX. If you enable the linear displacement drive 21 (A) to rise, and the linear displacement drives 21 (B) and 21 (C) to lower, then the movable upper frame will turn around with the stage and plate in the opposite direction. To rotate the stage with the plate around the Y axis, it is necessary to turn on the linear displacement drive 21 (B) for lifting, and the linear displacement drive 21 (B) to lower when the linear displacement drive 21 (A) is on. When you turn on the indicated linear actuators, the stage will rotate with the plate relative to the OY axis in the opposite direction.

Для поворота предметного столика 14 вместе с пластиной 15 относительно оси OZ необходимо включить приводы линейных перемещений 22, тогда предметный столик с пластиной будет поворачиваться в упругих шарнирах 18 относительно оси OZ. При реверсе включения приводов линейных перемещений 22 предметный столик с пластиной будет поворачиваться относительно оси OZ в обратном направлении. To rotate the stage 14 together with the plate 15 relative to the OZ axis, it is necessary to include linear displacement drives 22, then the stage with the plate will rotate in elastic hinges 18 relative to the OZ axis. When reversing the inclusion of linear actuators 22, the stage with the plate will rotate about the OZ axis in the opposite direction.

Так как подвижные звенья в механизме совмещения и позиционирования жестко связаны между собой, а все подвижки осуществляются в упругих шарнирах, то происходит безлюфтовое перемещение предметного столика с пластиной по любому из указанных направлений. Since the movable links in the alignment and positioning mechanism are rigidly interconnected, and all the movements are carried out in elastic hinges, there is a backlashless movement of the stage with the plate in any of these directions.

Выполнение устройства перемещения, совмещения и позиционирования, согласно настоящему изобретению, обеспечивает широкий диапазон перемещений выходного звена устройства - пластины по координатам X, Y, Z и ее поворотов относительно осей OX, OY, OZ. The implementation of the device for moving, aligning and positioning, according to the present invention, provides a wide range of movements of the output link of the device - the plate along the coordinates X, Y, Z and its rotations relative to the axes OX, OY, OZ.

Claims (1)

Устройство перемещения, совмещения и позиционирования, содержащее каретку, механизм совмещения и позиционирования, закрепленный на каретке посредством упругих опор, а также приводы линейных перемещений по горизонтали каретки и механизма совмещения и позиционирования, отличающееся тем, что оно снабжено подвижным звеном, которое размещено на каретке и имеет неподвижные стойки, приводом линейных перемещений подвижного звена по горизонтали и основанием, образующим с установленной на нем кареткой двухкоординатный горизонтальный стол, привод линейных перемещений каретки и привод подвижного звена установлены соответственно на основании и на каретке по двум взаимно перпендикулярным направлениям, механизм совмещения и позиционирования включает предметный столик, пластину, установленную на предметном столике, платформу, подвижную нижнюю раму, связанную посредством упругих шарниров с платформой, подвижную верхнюю раму, по крайней мере три привода линейных перемещений по вертикали, которые связаны с наружной стороны верхней рамой, которая связана с внутренней стороны с предметным столиком, механизм совмещения и позиционирования закреплен на подвижном звене двухкоординатного горизонтального стола посредством упругих шарниров, смонтированных в неподвижных стойках подвижного звена, приводы линейных перемещений по горизонтали механизма совмещения и позиционирования установлены на подвижном звене по двум взаимно перпендикулярным направлениям, связаны соответственно с нижней подвижной рамой и платформой, приводы линейных перемещений по вертикали верхней подвижной рамы установлены на платформе, а предметный столик связан с двумя приводами линейных перемещений по горизонтали, установленными с возможностью его вращения относительно вертикали. A device for moving, aligning and positioning, comprising a carriage, a combination and positioning mechanism fixed to the carriage by means of elastic supports, as well as linear drives of horizontal displacements of the carriage and the alignment and positioning mechanism, characterized in that it is provided with a movable link that is placed on the carriage and has fixed racks, with a drive of linear displacements of the movable link horizontally and with a base forming a two-coordinate horizontal table with a carriage mounted on it, etc. the linear movement of the carriage and the drive of the movable link are installed respectively on the base and on the carriage in two mutually perpendicular directions, the alignment and positioning mechanism includes a stage, a plate mounted on a stage, a platform, a movable lower frame connected by elastic hinges to the platform, movable the upper frame, at least three vertical linear actuators that are connected to the outside by an upper frame that is connected to the inside with with a single table, the alignment and positioning mechanism is fixed to the movable link of the two-coordinate horizontal table by means of elastic hinges mounted in the stationary racks of the movable link, the drives of linear horizontal movements of the alignment and positioning mechanism are mounted on the movable link in two mutually perpendicular directions, connected respectively to the lower movable frame and platform, linear linear displacement drives of the vertical upper movable frame are mounted on the platform, and Throw table associated with two linear movements horizontally mounted for rotation relative to the vertical.
RU2000111835A 2000-05-15 2000-05-15 Displacement, alignment and positioning gear RU2160884C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2000111835A RU2160884C1 (en) 2000-05-15 2000-05-15 Displacement, alignment and positioning gear

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2000111835A RU2160884C1 (en) 2000-05-15 2000-05-15 Displacement, alignment and positioning gear

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2160884C1 true RU2160884C1 (en) 2000-12-20

Family

ID=20234525

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2000111835A RU2160884C1 (en) 2000-05-15 2000-05-15 Displacement, alignment and positioning gear

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2160884C1 (en)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2465553C1 (en) * 2011-06-17 2012-10-27 Открытое акционерное общество "Научно-производственный комплекс "ЭЛАРА" имени Г.А. Ильенко" (ОАО "ЭЛАРА") Rotary biaxial device
CN103617812A (en) * 2013-11-20 2014-03-05 贵州航天南海科技有限责任公司 Horizontal movement device
RU2515731C2 (en) * 2010-07-01 2014-05-20 Закрытое акционерное общество "Нанотех-Актив" Scanning probe microscope for investigation of bulk objects
RU2533753C1 (en) * 2013-06-13 2014-11-20 Открытое акционерное общество "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных системы" (ОАО "Российские космические системы") Device for displacement
RU2624599C1 (en) * 2016-06-20 2017-07-04 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") Large-sized object position controlled device
RU172401U1 (en) * 2016-06-29 2017-07-06 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (НИЯУ МИФИ) UNIVERSAL ADAPTER FOR USING PLANAR TYPE MICROCHIPS IN TABLET READERS FOR IMMUNO-FLUORESCENT ANALYSIS
RU204327U1 (en) * 2021-02-08 2021-05-20 Общество с ограниченной ответственностью «Микролазер» (ООО «Микролазер») Precision movement platform
RU2811384C1 (en) * 2023-09-25 2024-01-11 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" Device with automated positioning system for spatial orientation of study objects

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2515731C2 (en) * 2010-07-01 2014-05-20 Закрытое акционерное общество "Нанотех-Актив" Scanning probe microscope for investigation of bulk objects
RU2465553C1 (en) * 2011-06-17 2012-10-27 Открытое акционерное общество "Научно-производственный комплекс "ЭЛАРА" имени Г.А. Ильенко" (ОАО "ЭЛАРА") Rotary biaxial device
RU2533753C1 (en) * 2013-06-13 2014-11-20 Открытое акционерное общество "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных системы" (ОАО "Российские космические системы") Device for displacement
CN103617812A (en) * 2013-11-20 2014-03-05 贵州航天南海科技有限责任公司 Horizontal movement device
RU2624599C1 (en) * 2016-06-20 2017-07-04 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") Large-sized object position controlled device
RU172401U1 (en) * 2016-06-29 2017-07-06 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (НИЯУ МИФИ) UNIVERSAL ADAPTER FOR USING PLANAR TYPE MICROCHIPS IN TABLET READERS FOR IMMUNO-FLUORESCENT ANALYSIS
RU204327U1 (en) * 2021-02-08 2021-05-20 Общество с ограниченной ответственностью «Микролазер» (ООО «Микролазер») Precision movement platform
RU2811384C1 (en) * 2023-09-25 2024-01-11 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" Device with automated positioning system for spatial orientation of study objects

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DK3077162T3 (en) REDUNDANT PARALLEL POSITIONING DEVICE
TWI649638B (en) Exposure apparatus,flat-panel display manufacturing method, and device manufacturing method
JP6452782B2 (en) Linear stage for reflection electron beam lithography
KR100314552B1 (en) An exposure apparatus and a method of operating an exposure apparatus
US6327026B1 (en) Exposure apparatus and positioning apparatus
US20070216892A1 (en) Integrated large XY rotary positioning table with virtual center of rotation
JP6795602B2 (en) A system that generates support plate motion with 6 degrees of freedom
US6434840B1 (en) Device, in particular a work table for a projector
TWI789689B (en) Exposure apparatus, manufacturing method of flat panel display, and device manufacturing method
RU2160884C1 (en) Displacement, alignment and positioning gear
JPS62229853A (en) Warped mount for planar microlithography reticle
US6885435B2 (en) Method, system, and apparatus for management of reaction loads in a lithography system
JPH0760191B2 (en) Precision positioning device
TWI468879B (en) Charged particle beam lithography system and target positioning device
TWI572542B (en) Workpiece cable assembly
WO2017057546A1 (en) Exposure device, exposure method, and flat-panel display manufacturing method
TWI269686B (en) Minute movement stage device
CN111438681A (en) Hybrid kinematics mechanism and method with six degrees of freedom
EP2756354B1 (en) Target processing tool
CN103676488B (en) Mask connecting mechanism and there is the mask platform of this mask connecting mechanism
KR102320293B1 (en) A moving body apparatus, a moving method, an exposure apparatus, an exposure method, a manufacturing method of a flat panel display, and a device manufacturing method
KR102318643B1 (en) A movable body apparatus, a moving method, an exposure apparatus, an exposure method, a manufacturing method of a flat panel display, and a device manufacturing method
US10541062B2 (en) Apparatus for movably suspending an x-ray grid, arrangement with an x-ray grid and method for operating an x-ray grid
WO2021179209A1 (en) Multi-degree-of-freedom parallel mechanism and parallel mechanism assembly
WO2021109062A1 (en) Multi-degree-of-freedom parallel mechanism

Legal Events

Date Code Title Description
TK4A Correction to the publication in the bulletin (patent)

Free format text: AMENDMENT TO CHAPTER -MM4A- IN JOURNAL: 35-2003