RU2515731C2 - Scanning probe microscope for investigation of bulk objects - Google Patents

Scanning probe microscope for investigation of bulk objects Download PDF

Info

Publication number
RU2515731C2
RU2515731C2 RU2010126742/28A RU2010126742A RU2515731C2 RU 2515731 C2 RU2515731 C2 RU 2515731C2 RU 2010126742/28 A RU2010126742/28 A RU 2010126742/28A RU 2010126742 A RU2010126742 A RU 2010126742A RU 2515731 C2 RU2515731 C2 RU 2515731C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
measuring head
coordinate table
housing
probe
platform
Prior art date
Application number
RU2010126742/28A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2010126742A (en
Inventor
Виктор Александрович Быков
Андрей Викторович Быков
Владимир Валерьевич Котов
Андрей Борисович Шубин
Original Assignee
Закрытое акционерное общество "Нанотех-Актив"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Закрытое акционерное общество "Нанотех-Актив" filed Critical Закрытое акционерное общество "Нанотех-Актив"
Priority to RU2010126742/28A priority Critical patent/RU2515731C2/en
Publication of RU2010126742A publication Critical patent/RU2010126742A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2515731C2 publication Critical patent/RU2515731C2/en

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Abstract

FIELD: measurement equipment.
SUBSTANCE: device is designed for performance of probing measurements on objects of complex shape, for instance, on pipes in oil and nuclear power industries. The substance of the invention consists in the fact that into a scanning probe microscope for investigation of bulk objects, comprising a measurement head with a piezoscanner and a probe, coupled with a unit of analysis and control, an approach module, three support stands installed on the measurement head, and a drive of the measurement head, included into the approach module, additionally a platform is added, on which there is a double-coordinate table installed, being coupled with the body installed on it as capable of rotation, on which there is the approach module, in which the measurement head is fixed with the piezoscanner and the probe. The measurement head comprises two spring supports, and the platform - modules of fixation to the object.
EFFECT: expansion of functional capabilities of a device.
7 cl, 2 dwg

Description

Устройство предназначено для проведения зондовых измерений на объектах, имеющих сложную форму, например на трубах в нефтяной и атомной отраслях промышленности.The device is intended for conducting probe measurements at objects having a complex shape, for example, on pipes in the oil and nuclear industries.

Известен сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ), включающий измерительную головку с пьезосканером и зондом, сопряженными с блоком анализа и управления, а также модуль сближения, содержащий три опорные стойки, одна из которых выполнена подвижной и соединена с приводом [1].Known scanning probe microscope (SPM), including a measuring head with a piezoscanner and a probe associated with the analysis and control unit, as well as the proximity module containing three support posts, one of which is movable and connected to the drive [1].

Недостаток этого устройства заключается в том, что его сложно использовать для исследования объектов сложных форм и размеров в широком их диапазоне.The disadvantage of this device is that it is difficult to use to study objects of complex shapes and sizes in a wide range.

Это устройство выбрано в качестве прототипа предложенного решения.This device is selected as a prototype of the proposed solution.

Технический результат изобретения заключается в расширении функциональных возможностей устройства.The technical result of the invention is to expand the functionality of the device.

Указанный технический результат достигается тем, что в сканирующий зондовый микроскоп для исследования крупногабаритных объектов, включающий измерительную головку с пьезосканером и зондом, сопряженными с блоком анализа и управления, а также модуль сближения, три опорные стойки, установленные на измерительной головке, и привод измерительной головки, включенный в модуль сближения, введена платформа, на которой установлен двухкоординатный стол, сопряженный с корпусом, установленным на нем с возможностью вращения, на котором установлен модуль сближения, в котором закреплена измерительная головка с пьезосканером и зондом, при этом измерительная головка содержит две пружинные опоры, а платформа снабжена модулем крепления к объекту.The specified technical result is achieved by the fact that in a scanning probe microscope for the study of large-sized objects, including a measuring head with a piezoscanner and a probe coupled to the analysis and control unit, as well as the proximity module, three support posts mounted on the measuring head, and the drive of the measuring head, included in the rapprochement module, a platform has been introduced on which a two-coordinate table is installed, paired with a housing mounted on it with the possibility of rotation, on which m the proximity module, in which the measuring head is fixed with a piezoscanner and a probe, while the measuring head contains two spring supports, and the platform is equipped with an attachment module to the object.

Существует вариант, в котором корпус сопряжен с двухкоординатным столом посредством стойки, закрепленной на двухкоординатном столе, и двух цилиндрических направляющих.There is an option in which the housing is interfaced with a two-coordinate table by means of a stand fixed on a two-coordinate table and two cylindrical guides.

Существует также вариант, в котором корпус сопряжен с возвратным механизмом, который выполнен в виде кронштейна с двумя пружинными упорами, расположенными с возможностью сопряжения с корпусом, при этом возвратный механизм закреплен на двухкоординатном столе.There is also an option in which the housing is interfaced with a return mechanism, which is made in the form of a bracket with two spring stops arranged to interface with the housing, while the return mechanism is mounted on a two-coordinate table.

Существует также вариант, в котором двухкоординатный стол выполнен в виде первой и второй кареток, сопряженных соответственно с первым и вторым приводами, а модуль сближения выполнен в виде третьей каретки, установленной подвижно относительно корпуса и сопряженной с приводом измерительной головки.There is also an option in which the two-coordinate table is made in the form of the first and second carriages, interfaced with the first and second drives, respectively, and the proximity module is made in the form of a third carriage mounted movably relative to the housing and coupled to the measuring head drive.

Существует также вариант, в котором двухкоординатный стол содержит датчики перемещения.There is also an option in which the two-coordinate table contains displacement sensors.

На фиг.1 изображена компоновочная схема предложенного устройства - вид сбоку.Figure 1 shows the layout diagram of the proposed device is a side view.

На фиг.2 изображена компоновочная схема предложенного устройства - вид снизу.Figure 2 shows the layout diagram of the proposed device is a bottom view.

Сканирующий зондовый микроскоп для исследования крупногабаритных объектов содержит платформу 1 (фиг.1, фиг.2) с упорами 2 и модулями крепления 3 для фиксации ее на объекте 4. В качестве упоров 2 могут использоваться металлические шарики, неподвижно закрепленные в платформе 1, или винты со сферическими шляпками, имеющими возможность изменения высоты выступания из платформы 1 с последующей фиксацией их клеем или гайками (не показано). В качестве модулей крепления 3 можно использовать: для магнитных объектов - электромагниты, для труб - скобы или ременные захваты, охватывающие трубы, для плоских, немагнитных и гладких объектов - вакуумные захваты. На платформе 1 установлен двухкоординатный стол 5, сопряженный с первым и вторым (второй не показан) приводами (первым и вторым шаговыми двигателями) 6 (см., например, [2]). Двухкоординатный стол 5 показан условно, он может содержать первую и вторую каретки, установленные друг на друге посредством направляющих, при этом каждая каретка сопряжена со своим шаговым двигателем 6 (не показаны). При использовании шагового двигателя вращения на его валу может быть закреплен винт, сопряженный с гайкой, установленной на каретке (не показано). В качестве направляющих можно использовать V-образные направляющие, описанные в [3]. Следует заметить, что стол 5 может быть выполнен в виде одной каретки (как показано на фиг.1), сопряженной с первым (X) и вторым (Y) шаговыми двигателями 6 (второй по координате Y не показан), закрепленными на платформе 1. При этом двигатели 6 могут содержать возвратные механизмы и системы кинематической развязки (не показаны). Возвратные механизмы и системы кинематической развязки см. в [4]. В этом случае в двухкоординатном столе 5 могут быть закреплены три твердых (сталь ШХ 15) шарика, находящиеся во взаимодействии с тремя поликоровыми вставками, установленными в платформе 1 (не показано). Двухкоординатный стол 5 (или его каретки) могут содержать датчики перемещения, состоящие из активных элементов 7 и пассивных координатных элементов 8. В качестве этих датчиков можно использовать изделия, описанные в [5]. На платформе 1 закреплена стойка 9, в которой посредством подшипников 10 и цилиндрических направляющих 11 установлен корпус 12 с возможностью вращения относительно стойки 9. Корпус 12 может быть сопряжен с возвратным механизмом 13, состоящим из кронштейна 14 и двух пружинных упоров 15 с пружинами 16, опирающимися на поверхность корпуса 12 с двух сторон симметрично от направляющей 11 (на фиг.1 второй упор 15 не показан). Механизм 13 может быть закреплен как на стойке 9 (фиг.1), так и на двухкоординатном столе 5 (не показано). Возвратный механизм 13 может также иметь другое исполнение. Вместо упоров 15 могут использоваться магниты, сопряженные одноименными полюсами с такими же магнитами, закрепленными на корпусе 12 (не показано). Это могут быть пружины, закрепленные на корпусе 12 и сопряженные со стойкой 9 (не показано) и т.п. На корпусе 12 расположена третья каретка 17, сопряженная с приводом измерительной головки (третьим шаговым двигателем) 18. Элементы 17 и 18 представляют собой модуль сближения. Каретка 17 может содержать также направляющие (не показаны), описанные в [3]. В корпусе 12 установлена измерительная головка 19 с пьезосканером 20 и зондом 21. В качестве такой головки может быть использовано устройство с системой автоматического слежения за кантилевером, описанное в [6]. Дополнительно головка 19 может содержать шаровые опоры (опорные стойки) 22, сопряженные с V-образными ориентаторами 23, закрепленными на каретке 17, а также пружинные опоры 24 с пружинами 25, установленные во втулках 26. Следует заметить, что пружины 25 должны быть примерно на порядок более жесткими, чем пружины 16. Пружины 16 необходимы только для сохранения положения корпуса 12 в отсутствие объекта 4 и не должны мешать работе пружин 25. Опоры 24 могут быть изготовлены из капролона, фторопласта, содержать шарики, установленные в них с возможностью вращения или фторопластовые вкладыши (не показаны) в металлических основах. Измерительная головка 19 может быть закреплена на каретке 17 посредством крепежных элементов 27. Это могут быть винты, скобы и т.п. (показаны условно). Измерительная головка 19 соединена с блоком анализа и управления 30. С блоком 30 могут также быть соединены шаговые двигатели 6 и 18, активные элементы 7 датчиков перемещения, а также захваты 3, в случае их выполнения в виде электромагнитов. Устройство также снабжено видеокамерой 31, позволяющей наблюдать за зоной измерения (показано условно), которая может быть подключена к блоку 30.A scanning probe microscope for examining large-sized objects contains a platform 1 (Fig. 1, Fig. 2) with stops 2 and attachment modules 3 for fixing it on the object 4. As stops 2, metal balls fixedly mounted in the platform 1, or screws can be used with spherical hats, with the ability to change the height of the protrusion from the platform 1, followed by fixing them with glue or nuts (not shown). As fastening modules 3, you can use: for magnetic objects - electromagnets, for pipes - staples or belt grips covering pipes, for flat, non-magnetic and smooth objects - vacuum grips. A two-coordinate table 5 is installed on the platform 1, coupled with the first and second (second not shown) drives (first and second stepper motors) 6 (see, for example, [2]). The two-coordinate table 5 is shown conditionally, it may contain the first and second carriages mounted on top of each other by means of guides, each carriage being associated with its own stepper motor 6 (not shown). When using a stepping motor of rotation, a screw can be fixed on its shaft, coupled with a nut mounted on a carriage (not shown). As guides, you can use the V-shaped guides described in [3]. It should be noted that the table 5 can be made in the form of a single carriage (as shown in figure 1), paired with the first (X) and second (Y) stepper motors 6 (the second coordinate Y is not shown), mounted on the platform 1. In this case, the engines 6 may contain return mechanisms and kinematic isolation systems (not shown). Return mechanisms and kinematic decoupling systems, see [4]. In this case, three solid (ШХ 15 steel) balls can be fixed in the two-coordinate table 5, which are in interaction with three polycore inserts installed in the platform 1 (not shown). The two-coordinate table 5 (or its carriage) may contain displacement sensors consisting of active elements 7 and passive coordinate elements 8. As these sensors, products described in [5] can be used. A rack 9 is fixed on the platform 1, in which, by means of bearings 10 and cylindrical guides 11, a housing 12 is mounted rotatably relative to the strut 9. The housing 12 can be interfaced with a return mechanism 13 consisting of an arm 14 and two spring stops 15 with springs 16 supported on the surface of the housing 12 from two sides symmetrically from the guide 11 (figure 1, the second stop 15 is not shown). The mechanism 13 can be mounted on a rack 9 (figure 1), and on a two-coordinate table 5 (not shown). The return mechanism 13 may also have a different design. Instead of the stops 15, magnets can be used, interfaced with the same poles with the same magnets mounted on the housing 12 (not shown). This can be a spring mounted on the housing 12 and paired with a rack 9 (not shown), etc. On the housing 12 is the third carriage 17, coupled with the drive of the measuring head (third stepper motor) 18. Elements 17 and 18 are a proximity module. The carriage 17 may also contain guides (not shown) described in [3]. A measuring head 19 is installed in the housing 12 with a piezoscanner 20 and a probe 21. As such a head, a device with an automatic cantilever tracking system described in [6] can be used. Additionally, the head 19 may contain ball bearings (support racks) 22, coupled with V-shaped orientators 23 mounted on the carriage 17, as well as spring supports 24 with springs 25 installed in the bushings 26. It should be noted that the springs 25 should be approximately the order is more stringent than the springs 16. The springs 16 are necessary only to maintain the position of the housing 12 in the absence of an object 4 and should not interfere with the operation of the springs 25. The supports 24 can be made of caprolon, fluoroplastic, contain balls mounted rotatably I or fluoroplastic liners (not shown) in metal substrates. The measuring head 19 can be mounted on the carriage 17 by means of fasteners 27. It can be screws, brackets, etc. (shown conditionally). The measuring head 19 is connected to the analysis and control unit 30. Stepper motors 6 and 18, active elements 7 of the displacement sensors, as well as grippers 3, if they are made in the form of electromagnets, can also be connected to the block 30. The device is also equipped with a video camera 31 that allows you to monitor the measurement zone (shown conditionally), which can be connected to block 30.

Устройство работает следующим образом. Закрепляют платформу 1, используя упоры 2 и модули крепления 3, например, на трубе (объекте) 4 с характерным диаметром в нефтяной и атомной отраслях промышленности от 150 мм. Посредством каретки 17 и привода 18 производят сближение зонда 21 и объекта 4 по координате Z. На первом этапе сближения пружинные опоры 24 вступают во взаимодействие с объектом 4 и ориентируют каретку 17 посредством цилиндрических направляющих 11 таким образом, что ось пьезосканера 20 0-0 сохраняет перпендикулярность цилиндрической поверхности объекта 4 (то есть является продолжением ее радиуса), даже если труба 4 имеет неидеальную форму и упоры 2 расположены на участке большего диаметра. При этом также осуществляется кинематическое замыкание головки 19 на объект 4, что увеличивает жесткость системы зонд 21 - объект 4. После достижения зондом 21 рабочего зазора производят сканирование поверхности объекта 4 в плоскости X,Y и его исследование. Подробно работу СЗМ см. в [7]. Далее, используя двухкоординатный стол 5, перемещают измерительную головку 19 на новое место измерения, где исследования продолжаются. Перемещение может проводиться при зазоре зонд 21 - объект 4 в 1-2 мм, при этом опоры 24 могут не терять контакта с поверхностью объекта 4, а скользить по нему.The device operates as follows. The platform 1 is fixed using the stops 2 and mounting modules 3, for example, on a pipe (object) 4 with a characteristic diameter of 150 mm in the oil and nuclear industries. Using the carriage 17 and the drive 18, the probe 21 and the object 4 are brought together in the Z coordinate. At the first approach, the spring supports 24 interact with the object 4 and orient the carriage 17 by means of cylindrical guides 11 so that the axis of the piezoscanner 20 0-0 maintains perpendicularity the cylindrical surface of the object 4 (that is, is a continuation of its radius), even if the pipe 4 has an imperfect shape and the stops 2 are located on a section of a larger diameter. At the same time, the kinematic closure of the head 19 to the object 4 is carried out, which increases the rigidity of the system of the probe 21 - object 4. After the probe 21 reaches the working gap, the surface of the object 4 is scanned in the X, Y plane and examined. For details on the SPM operation, see [7]. Next, using a two-coordinate table 5, move the measuring head 19 to a new measurement location, where research continues. The movement can be carried out with the gap of the probe 21 - object 4 in 1-2 mm, while the supports 24 may not lose contact with the surface of the object 4, and slide on it.

Совокупность отличительных признаков, заключающаяся в том, что в устройство введена платформа, на которой установлен двухкоординатный стол, сопряженный с корпусом, установленным на нем с возможностью вращения, на котором установлен модуль сближения, в котором закреплена измерительная головка с пьезосканером и зондом, при этом измерительная головка содержит две пружинные опоры, а платформа - модули крепления к объекту - расширяют функциональные возможности устройства.The combination of distinctive features, which consists in the fact that a platform is installed on the device on which a two-coordinate table is mounted, paired with a housing mounted on it with the possibility of rotation, on which the proximity module is mounted, in which the measuring head with the piezoscanner and the probe is fixed, while the measuring the head contains two spring supports, and the platform - modules for attaching to the object - expand the functionality of the device.

Введение в измерительную головку двух пружинных опор дополнительно повышает жесткость системы зонд - образец, что повышает точность измерения и соответственно расширяет возможный круг исследуемых объектов.The introduction of two spring supports into the measuring head additionally increases the stiffness of the probe-sample system, which increases the measurement accuracy and, accordingly, expands the possible range of objects under study.

Сопряжение корпуса с двухкоординатным столом посредством стойки и двух цилиндрических направляющих обеспечивает работоспособность устройства на поверхностях сложной формы.Pairing the housing with a two-coordinate table by means of a stand and two cylindrical guides ensures the operability of the device on surfaces of complex shape.

Введение возвратного механизма обеспечивает стабильное положение измерительной головки между установками ее на объект.The introduction of the return mechanism ensures a stable position of the measuring head between its installations on the object.

Выполнение двухкоординатного привода в виде первой и второй кареток позволяет при однотипных измерениях (вдоль трубы или поперек) использовать только один привод и одну каретку, что увеличивает ресурс работы устройства.The implementation of the two-axis drive in the form of the first and second carriages allows for the same measurements (along the pipe or across) to use only one drive and one carriage, which increases the life of the device.

Выполнение модуля сближения в виде третьей каретки обеспечивает осевой подвод зонда к объекту, что улучшает работоспособность устройства на поверхностях сложной формы.The implementation of the proximity module in the form of a third carriage provides an axial approach of the probe to the object, which improves the operability of the device on surfaces of complex shape.

Датчики перемещения двухкоординатного стола обеспечивают состыковку изображений, полученных измерительной головкой, что расширяет функциональные возможности устройства.The displacement sensors of the two-coordinate table provide matching images received by the measuring head, which extends the functionality of the device.

ЛИТЕРАТУРАLITERATURE

1. Солвер - Смена, www.ntmdt.com. 1. Solver - Change, www.ntmdt.com.

2. AMD 1220-V12-09. Каталог Фимы «Faulhaber».2. AMD 1220-V12-09. Fima's catalog of Faulhaber.

3. SVS 1050-13Z. Каталог фирмы «Nippon bearing Co.».3. SVS 1050-13Z. Catalog of the company "Nippon bearing Co.".

4. Патент RU2255321.22.06.2005.4. Patent RU2255321.22.06.2005.

5. RGH25F. Каталог фирмы «RENISHAW».5. RGH25F. Catalog of the company "RENISHAW".

6. Патент RU2227333. 20.04.2004.6. Patent RU2227333. 04/20/2004.

7. Зондовая микроскопия для биологии и медицины. В.А.Быков и др. Сенсорные системы, Т. 12, 1998. №1. с.99-121.7. Probe microscopy for biology and medicine. V.A. Bykov et al. Sensory systems, T. 12, 1998. No. 1. p. 99-121.

Claims (7)

1. Сканирующий зондовый микроскоп для исследования крупногабаритных объектов, включающий измерительную головку с пьезосканером и зондом, сопряженными с блоком анализа и управления, а также модуль сближения, три опорные стойки, установленные на измерительной головке, и привод измерительной головки, включенный в модуль сближения, отличающийся тем, что в него введена платформа, на которой установлен двухкоординатный стол, сопряженный с корпусом, установленным на нем с возможностью вращения, на котором установлен модуль сближения, в котором закреплена измерительная головка с пьезосканером и зондом, при этом измерительная головка содержит две пружинные опоры, а платформа - модули крепления к объекту.1. Scanning probe microscope for the study of large-sized objects, including a measuring head with a piezoscanner and a probe paired with an analysis and control unit, as well as a proximity module, three support posts mounted on the measuring head, and a measuring head drive included in the proximity module, characterized the fact that a platform has been introduced into it, on which a two-coordinate table is mounted, paired with a housing mounted on it with the possibility of rotation, on which the proximity module is installed, in which fixed measuring head and probe with piezo, and the measuring head contains two spring supports, and the platform - modules mount to the object. 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что корпус сопряжен с двухкоординатным столом посредством стойки, закрепленной на двухкоординатном столе, и двух цилиндрических направляющих.2. The device according to claim 1, characterized in that the housing is paired with a two-coordinate table by means of a rack mounted on a two-coordinate table and two cylindrical guides. 3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что корпус сопряжен с возвратным механизмом, закрепленным на двухкоординатном столе.3. The device according to claim 1, characterized in that the housing is paired with a return mechanism mounted on a two-coordinate table. 4. Устройство по п.3, отличающееся тем, что возвратный механизм выполнен в виде кронштейна с двумя пружинными упорами, расположенными с возможностью сопряжения с корпусом.4. The device according to claim 3, characterized in that the return mechanism is made in the form of a bracket with two spring stops located with the possibility of interfacing with the housing. 5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что двухкоординатный стол выполнен в виде первой и второй кареток, сопряженных соответственно с первым и вторым приводами.5. The device according to claim 1, characterized in that the two-coordinate table is made in the form of the first and second carriages, respectively paired with the first and second drives. 6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что модуль сближения выполнен в виде третьей каретки, установленной подвижно относительно корпуса и сопряженной с приводом измерительной головки.6. The device according to claim 1, characterized in that the rapprochement module is made in the form of a third carriage mounted movably relative to the housing and coupled to the measuring head drive. 7. Устройство по п.1, отличающееся тем, что двухкоординатный стол содержит датчики перемещения. 7. The device according to claim 1, characterized in that the two-coordinate table contains displacement sensors.
RU2010126742/28A 2010-07-01 2010-07-01 Scanning probe microscope for investigation of bulk objects RU2515731C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010126742/28A RU2515731C2 (en) 2010-07-01 2010-07-01 Scanning probe microscope for investigation of bulk objects

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010126742/28A RU2515731C2 (en) 2010-07-01 2010-07-01 Scanning probe microscope for investigation of bulk objects

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2010126742A RU2010126742A (en) 2012-01-10
RU2515731C2 true RU2515731C2 (en) 2014-05-20

Family

ID=45783340

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010126742/28A RU2515731C2 (en) 2010-07-01 2010-07-01 Scanning probe microscope for investigation of bulk objects

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2515731C2 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5945671A (en) * 1996-02-13 1999-08-31 Seiko Instruments Inc. Scanning probe microscope and micro-area processing machine both having micro-positioning mechanism
RU2159454C1 (en) * 1999-04-22 2000-11-20 Зао "Нт-Мдт" Scanning sounding microscope
RU2160884C1 (en) * 2000-05-15 2000-12-20 Общество с ограниченной ответственностью "ВЕСТТРЭЙД Лтд." Displacement, alignment and positioning gear

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5945671A (en) * 1996-02-13 1999-08-31 Seiko Instruments Inc. Scanning probe microscope and micro-area processing machine both having micro-positioning mechanism
RU2159454C1 (en) * 1999-04-22 2000-11-20 Зао "Нт-Мдт" Scanning sounding microscope
RU2160884C1 (en) * 2000-05-15 2000-12-20 Общество с ограниченной ответственностью "ВЕСТТРЭЙД Лтд." Displacement, alignment and positioning gear

Also Published As

Publication number Publication date
RU2010126742A (en) 2012-01-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10495455B2 (en) Measuring machine based on a delta robot assembly
US9038282B2 (en) Interchangeable task module counterweight
CN104105941B (en) Coordinate measuring machine with restrained counterweight
JP2546937B2 (en) Electronic device test system with cable pivot
CN108780122B (en) For the modular track system of the device under test, rail system, mechanism and equipment
CN101216390A (en) Micro-element dynamic performance off-chip tensile test experimental bench
US20060120819A1 (en) Three-axis micro-and meso-scale machining apparatus
US20220316851A1 (en) Metrology system
US6888920B2 (en) Low-cost, high precision goniometric stage for x-ray diffractography
KR20190022318A (en) Gantry type positioning apparatus
RU2515731C2 (en) Scanning probe microscope for investigation of bulk objects
US20110164316A1 (en) Positioning system
CN105403716A (en) Fixing device cooperating on micro-fluidic chip observation and micro-fluidic chip observation system
US20180231759A1 (en) Microscope having an objective-exchanging device
Shinno et al. A newly developed three-dimensional profile scanner with nanometer spatial resolution
CN112082851A (en) Multi-degree-of-freedom macro-micro driving platform for testing mechanical property of irregular surface of cartilage
CN111965243B (en) Magnetic field dynamic loading control device for experimental test of magnetic deformation material
CN202362185U (en) Full-automatic sample injection processing platform with two-dimensional or three-dimensional motion function
US7520187B2 (en) Breakaway/crash detection system for use with a fixture on a coordinate measurement machine
CN108896478A (en) Multi-functional finger friction test equipment
JP3889181B2 (en) Moving stage device
CN220751944U (en) Linear motion platform and microscope detection device
Hofmann et al. The cryogenic MOS unit for LUCIFER
RU2254640C1 (en) Coordinate table
JPH073283Y2 (en) CMM

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20150702