RU2061534C1 - Способ изготовления мембранных сит - Google Patents
Способ изготовления мембранных сит Download PDFInfo
- Publication number
- RU2061534C1 RU2061534C1 SU5067613A RU2061534C1 RU 2061534 C1 RU2061534 C1 RU 2061534C1 SU 5067613 A SU5067613 A SU 5067613A RU 2061534 C1 RU2061534 C1 RU 2061534C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- resist
- film
- plate
- etching
- irradiation
- Prior art date
Links
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
Способ изготовления мембранных сит включает операции локального облучения пленки или пластины потоками высокоэнергетических частиц(квантов излучения, электронов или ионов)и последующего травления. Пленку или пластину перец облучением покрывают резистом в виде пространственно разделенных островков, а после облучения обрабатывают травителем, образующим отверстия в резисте и не воздействующим на пленку или пластину. Систему подвергают усадке и сквозь отверстия в резисте вытравливают в пленке сквозные поры травителем, не воздействующим на резист. Усадку можно производить перед травлением резиста, а пленку или пластину перед травлением можно дополнительно облучать потоками высокоэнергетических частиц сквозь отверстия в резисте. 4 з.п. ф-лы, 1 ил.
Description
Изобретение относится к области физико-химической очистки веществ, а более конкретно к способам изготовления мембранных сит. Оно мажет быть использовано для решения задач фильтрации, ультрафильтрации, диализа.
Известны способы изготовления мембранных сит, см. например, книгу C-T. Xвaнга и К.Каммермейера "Мембранные процессы разделения", М. Химия, 1981, с. 367-394. Эти способы позволяют получать сита с хаотическим расположением и конфигурацией пор по их диаметру и длине.
Среди известных способов изготовления мембранных сит наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ, описанный в работе Г. Н. Флерова и В.С.Барашенкова УФН, (1974), т.114, в.2, с.361 369. Этот способ заключается в том, что пленку или пластину из фильтровального материала облучают потоком высокоэнергетических частиц (ионов), подвергая ее таким образом локальному воздействию. После экспозиции пленку обрабатывают травителем, который растворяет вещество фильтра в местах, подвергшихся воздействию частиц, и в направлении их распространения вытравливает сквозные каналы (поры).
Этот способ позволяет получить только прямолинейные каналы цилиндрической или конической формы и не дает возможности управлять конфигурацией пор и удельной плотностью их распределения по поверхности. Он налагает принципиальный предел на минимальные размеры пор, который определяется энергией и типом частиц, материалом пленки и режимом травления, а также на удельную плотность распределения пор по поверхности.
Задачей настоящего изобретения являлось уменьшение размеров пор и увеличение поверхностной плотности их распределения в мембранных ситах.
Указанная задача решается тем, что перед локальным облучением пленку или пластину покрывают резистом в виде пространственно разделенных островков, а после облучения обрабатывают травителем, образующим каналы в резисте, но не воздействующим на матери ал пленки или пластины, затем подвергают усадке и сквозь отверстия в резнете вытравливают в пленке или пластине сквозные поры травителем, не воздействующим на резист.
Усадку можно производить перед травлением резиста, а пленку или пластину перед травлением можно подвергнуть дополнительному облучению потоками высокоэнергетических частиц (квантов излучения, электронов или ионов) сквозь каналы в резисте.
На чертеже схематически изображена последовательность операций при изготовлении мембранного сита: а облучение пленки с резистом, б - вытравливание каналов в резисте, в усадка, г вытравливание каналов (пор) в пленке; 1 пленка-подложка, 2 островки резиста, 3 зоны облучения резиста, 4 пучки частиц, 5 защитный слой, 6 травитель для резиста, 7 каналы в резисте, 8 каналы (поры) в пленке, 9 травитель для пленки-подложки.
Защитный слой 5 нанесен для того, чтобы предотвратить травление исходной пленки или пластины 1 с тыльной стороны и обеспечить травление только через отверстия / каналы / 7 в резисте. Защитный слой 5 может быть выполнен из того же материала, что и слой резиста 2.
При усадке уменьшаются размеры каналов в резисте и расстояния между ними. А это, в свою очередь, ведет к уменьшению размеров пор в пленке и расстояния между ними, т.е. к увеличению "плотности упаковки" пор в пленке.
Claims (5)
1. Способ изготовления мембранных сит, включающий локальное облучение пленки или пластины потоками высокоэнергетических частиц и последующую обработку травителем, отличающийся тем, что перед облучением пленку или пластину покрывают резистом в виде пространственно разделенных островков, после облучения подвергают усадке, а обработку травителем ведут в две ступени, на первом из которых обрабатывают травителем, образующим отверстия в резисте, но не воздействующим на пленку или пластину, а на второй стадии через отверстие в резисте обрабатывают травителем, образующим отверстия в пленке или пластине, но не воздействующем на резист.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что усадку проводят перед первой ступенью травления.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что усадку проводят после первой ступени травления.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что пленку или пластину перед второй ступенью травления дополнительно облучают потоками высокоэнергетических частиц через отверстия в резисте.
5. Способ по пп.1-4, отличающийся тем, что в качестве высокоэнергетических частиц используют кванты излучения, электроны или ионы.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU5067613 RU2061534C1 (ru) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | Способ изготовления мембранных сит |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU5067613 RU2061534C1 (ru) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | Способ изготовления мембранных сит |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2061534C1 true RU2061534C1 (ru) | 1996-06-10 |
Family
ID=21615794
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU5067613 RU2061534C1 (ru) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | Способ изготовления мембранных сит |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2061534C1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL1028759C2 (nl) * | 2005-04-13 | 2006-10-16 | Fluxxion B V | Emulsificatie met behulp van microzeef. |
-
1992
- 1992-09-28 RU SU5067613 patent/RU2061534C1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Г.Н.Флеров, Барашенкова В.С., УФН, 1974, том 114, вып. 2, с.361-569. * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL1028759C2 (nl) * | 2005-04-13 | 2006-10-16 | Fluxxion B V | Emulsificatie met behulp van microzeef. |
WO2006110035A1 (en) * | 2005-04-13 | 2006-10-19 | Fluxxion B.V. | Microsieve membrane for emulsification and lithographic method of making the same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4923608A (en) | Micro/ultrafiltration membranes with a fixed pore size formed through irradiation with pulsed lasers and process for manufacturing the same | |
DE60033520T2 (de) | Verfahren zur herstellung einer mikroporösen filtermembran | |
US6919162B1 (en) | Method for producing high-structure area texturing of a substrate, substrates prepared thereby and masks for use therein | |
JPS63154750A (ja) | 微小孔薄膜の製造方法と微小孔薄膜 | |
JPH0136095B2 (ru) | ||
JPH07501988A (ja) | 微細構造膜およびその製造方法 | |
CA1156821A (en) | Method for producing separating nozzle elements | |
CA2014285A1 (en) | Device fabrication and resulting devices | |
RU2061534C1 (ru) | Способ изготовления мембранных сит | |
US5669800A (en) | Process of forming holes in a photosensitive resin layer to produce cathodes with microtips | |
JPH01240687A (ja) | 二面の照射によって得られる微孔性膜およびそれを得る方法 | |
US4493753A (en) | Method for producing separating nozzle elements for the separation of fluid mixtures | |
RU2093254C1 (ru) | Способ изготовления пористых мембранных фильтров | |
RU2094104C1 (ru) | Способ изготовления пористых фильтров | |
RU2104759C1 (ru) | Способ изготовления пористых мембран | |
US20050230353A1 (en) | Method and array for processing carrier materials by means of heavy ion radiation and subsequent etching | |
RU2061533C1 (ru) | Способ изготовления микропористых мембран | |
CH621890A5 (ru) | ||
RU2061535C1 (ru) | Способ изготовления мембран для фильтрования | |
DE2535156C3 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Schicht mit vorgegebenem Muster von Bereichen geringerer Schichtdicke und Verwendung der Schicht als Maske bei der Dotierung | |
RU2063793C1 (ru) | Способ изготовления фильтровальных мембран | |
RU2220762C1 (ru) | Способ получения асимметричной трековой мембраны | |
WO1998030317A1 (en) | Membrane microfilter manufacturing process | |
RU2063794C1 (ru) | Способ изготовления мембранных фильтров | |
US6296700B1 (en) | Method of producing a structured layer |