RU204327U1 - Платформа устройства прецизионного перемещения - Google Patents

Платформа устройства прецизионного перемещения Download PDF

Info

Publication number
RU204327U1
RU204327U1 RU2021102860U RU2021102860U RU204327U1 RU 204327 U1 RU204327 U1 RU 204327U1 RU 2021102860 U RU2021102860 U RU 2021102860U RU 2021102860 U RU2021102860 U RU 2021102860U RU 204327 U1 RU204327 U1 RU 204327U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
platform
recesses
protrusions
precision movement
simplify
Prior art date
Application number
RU2021102860U
Other languages
English (en)
Inventor
Алексей Олегович Левченко
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью «Микролазер» (ООО «Микролазер»)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью «Микролазер» (ООО «Микролазер») filed Critical Общество с ограниченной ответственностью «Микролазер» (ООО «Микролазер»)
Priority to RU2021102860U priority Critical patent/RU204327U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU204327U1 publication Critical patent/RU204327U1/ru

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/02Sliding-contact bearings

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transmission Devices (AREA)

Abstract

Полезная модель относится к измерительной технике, предназначена для линейных подвижек и может быть использована для перемещения небольших и оптически прозрачных компонентов. Техническая проблема заключается в упрощении конструкции. Техническим результатом является упрощение возможности конструктивного соединения платформы с аналогичными платформами. Указанный технический результат достигается в платформе устройства прецизионного перемещения, установленной на подложке электрического привода и приводимой им в движение. На горизонтальных и боковой поверхностях выполнены продолговатые элементы прямоугольного сечения, образующие выступы и углубления, а на второй боковой поверхности выполнены отверстия для обеспечения возможности соединения с аналогичными платформами путем совмещения выступов одной платформы с углублениями, выполненными на другой платформе, и фиксации их посредством соединительных элементов.

Description

Полезная модель относится к измерительной технике, предназначено для линейных подвижек и может быть использовано для перемещения небольших и оптически прозрачных компонентов.
Из уровня техники известен двухкоординатный микропозиционер содержащий основание, на котором закреплен первый привод по первой координате, сопряженный посредством первого рычага и первого гибкого поводка с первой подвижной кареткой, при этом первый рычаг установлен на основании с использованием первого гибкого шарнира, а первая подвижная каретка установлена на основании посредством первых гибких направляющих. На первой подвижной каретке расположена вторая подвижная каретка посредством вторых гибких направляющих. Имеется второй привод по второй координате со вторым рычагом, имеющим второй гибкий шарнир, и второй гибкий поводок. Второй привод закреплен на основании и сопряжен вторым рычагом посредством второго гибкого поводка со второй подвижной кареткой. Второй рычаг установлен на основании с использованием второго гибкого шарнира. Между основанием и первым и вторым гибкими шарнирами введены вставки с температурным коэффициентом расширения, отличающимся от температурных коэффициентов основания, первой и второй подвижных кареток, первого и второго рычагов, первых и вторых гибких направляющих и приводов. К первому и второму приводам по первой и второй координатам могут быть присоединены первый и второй тензодатчики измерения положения (RU 2306621 С1 20.09.2007).
Известно также устройство прецизионного перемещения, содержащее направляющую, выполненную из монокристаллического материала, каретку, сопряженную с ней, а также привод, установленный на направляющей и сопряженный с кареткой. В устройство введен базовый элемент, на котором закреплены направляющая и привод, а каретка содержит первый фрагмент и второй фрагмент, расположенные под углом друг к другу (RU 2537363 С2 10.01.2015).
Наиболее близким аналогом является устройство снабжено основанием, образующим с установленной на нем кареткой и с размещенным на каретке подвижным звеном двухкоординатный горизонтальный стол, приводами линейных перемещений каретки и подвижного звена. Механизм совмещения и позиционирования включает подвижную нижнюю раму, связанную посредством упругих шарниров с платформой, подвижную верхнюю раму, связанную с тремя приводами ее линейных перемещений по вертикали и предметным столиком. Приводы линейных перемещений по горизонтали механизма совмещения и позиционирования установлены на подвижном звене и связаны с нижней подвижной рамой и платформой. Приводы линейных перемещений по вертикали подвижной верхней рамы установлены на платформе, а предметный столик связан с приводами линейных перемещений по горизонтали, установленными с возможностью обеспечения его вращения относительно вертикальной оси. Изобретение направлено на расширение функциональных возможностей за счет перемещений выходного звена по шести степеням свободы (RU 2160884 С1 20.12.2000).
Техническая проблема заключается в упрощении конструкции.
Техническим результатом является упрощение возможности конструктивного соединения платформы с аналогичными платформами.
Указанный технический результат достигается в платформе устройства прецизионного перемещения, установленной на подложке электрического привода и приводимой им в движение. На горизонтальных и боковой поверхности выполнены продолговатые элементы прямоугольного сечения образующие выступы и углубления, а на второй боковой поверхности выполнены отверстия для обеспечения возможности соединения с аналогичными платформами путем совмещения выступов одной платформы с углублениями, выполненными на другой платформе и фиксации их посредством соединительных элементов.
Заявленная полезная модель поясняется с использованием чертежей, где:
Фиг. 1 - заявленное устройство (соединение из трех линейных подвижек), где:
1 - Поверхность А, устройство 1
2 - Поверхность Б, устройство 1
3 - «Пазы» на поверхностях «А» и «В»
4 - Поверхность В, устройство 3
5 - Поверхность Б, устройство 3
6 - «Шипы» на поверхностях «Б»
7 - Поверхность А, устройство 2
Фиг. 2 - схема устройства (вид изнутри), где
1 - Элемент, «гасящий» колебания
2 - Гайка, соединенная с мембранной муфтой
3 - Вал двигателя
4 - Двигатель
Одно устройство прецизионного перемещения, содержащее одну платформу, осуществляет перемещение (перемещается) по одной координате (линейная подвижка - подвижка вдоль линии).
Поскольку подвижные платформы устройств не являются плоскими, т.к. обладают рельефом (выступы углубления) допускающим сочленение платформ двух (или более) устройств, которое обеспечивает их ортогональность.
Каждая платформа обладает тремя конструктивными поверхностями, которые могут участвовать в объединении с другими аналогичными платформами (условно, типов А (верх), Б (низ) и В (торец)). На фиг. 1 для иллюстрации обозначены поверхности А (1,7), Б (2,5), и В (4) трех платформ. Плоскости А и Б - параллельны друг другу, а плоскость В -перпендикулярна им. Можно видеть, что поверхности «Б» платформ отличаются от А и В наличием шипов (6) - выступающих над поверхностью продолговатых элементов прямоугольного сечения, в то время, как на поверхностях А и В присутствуют пазы (3) также продолговатые элементы, являющиеся углублениями на поверхностях. В рамках одного устройства прецизионного перемещения пазы и шипы поверхностей А и Б соответственно, ортогональны друг другу. При этом, ширина шипов поверхности Б (6) немного меньше, чем ширина пазов на поверхностях А и В (3), что позволяет совмещать пазы одной платформы и выступы другой, обеспечивая плотное соединение и ортогональность осей совмещаемых платформ. Также в поверхностях присутствуют отверстия, через которые, при помощи винтов, обеспечивается фиксация конструкции, из соединенных устройств. Никакие другие детали для организации сборок, обеспечивающих возможность перемещения по 2-3 осям, не требуются.
Принцип работы устройства прецизионного перемещения (фиг. 2) построен на использовании шагового двигателя (4), работа которого приводит в движение вал (3) и, как следствие, перемещение вдоль вала гайки, вращение которой конструктивно ограничено. Поскольку гайка перемещается вдоль вала (3) и жестко связана с платформами, то последние двигаются вместе с гайкой. Мембранная муфта, показанная на фиг. 2, объединена с гайкой (2) и предназначена для снижения биений вала, т.е. мембранная муфта является элементом, «гасящим» колебания. Негативные колебания, которые характерны для таких систем гайка-винт, это биения винта во время движения, которые передаются в биения платформы. В том числе, речь о колебаниях в вертикальной плоскости при горизонтальном перемещении. В предложенной конструкции гайка конструктивно выполнена совместно с мембранной муфтой, а второй конец муфты неподвижно прикреплен к движимой платформе.

Claims (1)

  1. Платформа устройства прецизионного перемещения, установленная на подложке электрического привода и приводимая им в движение, отличающаяся тем, что на горизонтальных и боковой поверхностях выполнены продолговатые элементы прямоугольного сечения, образующие выступы и углубления, а на второй боковой поверхности выполнены отверстия для обеспечения возможности соединения с аналогичными платформами путем совмещения выступов одной платформы с углублениями, выполненными на другой платформе, и фиксации их посредством соединительных элементов.
RU2021102860U 2021-02-08 2021-02-08 Платформа устройства прецизионного перемещения RU204327U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2021102860U RU204327U1 (ru) 2021-02-08 2021-02-08 Платформа устройства прецизионного перемещения

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2021102860U RU204327U1 (ru) 2021-02-08 2021-02-08 Платформа устройства прецизионного перемещения

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU204327U1 true RU204327U1 (ru) 2021-05-20

Family

ID=75920695

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2021102860U RU204327U1 (ru) 2021-02-08 2021-02-08 Платформа устройства прецизионного перемещения

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU204327U1 (ru)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2160884C1 (ru) * 2000-05-15 2000-12-20 Общество с ограниченной ответственностью "ВЕСТТРЭЙД Лтд." Устройство перемещения, совмещения и позиционирования
JP2003197706A (ja) * 2001-12-21 2003-07-11 Ngk Spark Plug Co Ltd ガイドレール
RU2306621C1 (ru) * 2006-08-11 2007-09-20 ЗАО "Нанотехнология-МДТ" Двухкоординатный микропозиционер
RU2537363C2 (ru) * 2013-02-21 2015-01-10 Открытое акционерное общество "Завод ПРОТОН-МИЭТ" Устройство прецизионного перемещения

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2160884C1 (ru) * 2000-05-15 2000-12-20 Общество с ограниченной ответственностью "ВЕСТТРЭЙД Лтд." Устройство перемещения, совмещения и позиционирования
JP2003197706A (ja) * 2001-12-21 2003-07-11 Ngk Spark Plug Co Ltd ガイドレール
RU2306621C1 (ru) * 2006-08-11 2007-09-20 ЗАО "Нанотехнология-МДТ" Двухкоординатный микропозиционер
RU2537363C2 (ru) * 2013-02-21 2015-01-10 Открытое акционерное общество "Завод ПРОТОН-МИЭТ" Устройство прецизионного перемещения

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8104752B2 (en) Integrated large XY rotary positioning table with virtual center of rotation
JP2005268760A (ja) ステージ装置{stageapparatus}
RU204327U1 (ru) Платформа устройства прецизионного перемещения
CN112254904B (zh) 一种力直线刚度高低温测试装置
CN109256174A (zh) 高精度空间平动微定位平台
CN110246537A (zh) 用于空间三自由度纳米定位平台的传动机构
CN110646450A (zh) 光阑装置
EP2572827A1 (en) Precision transfer equipment
US7210239B2 (en) Slider device and measuring instrument
RU205506U1 (ru) Устройство прецизионного перемещения
JPS6318682B2 (ru)
CN104536073A (zh) 一种具有阿贝误差校正功能的光栅刻刀主动调整装置
JP4636928B2 (ja) 測定部支持機構およびそれを備えた薄板の表面形状測定装置
JPS60101505A (ja) 構成部材の正確な位置決め方法及び装置
US4103168A (en) Electron beam microfabrication apparatus
US9163664B2 (en) Guidance for target processing tool
CN207473169U (zh) 一种镜头模组装配治具
CN215040311U (zh) 一种3d打印机
CN112161768B (zh) 一种水平两自由度振动台
KR100997763B1 (ko) 위치보정 지지대 및 이를 구비한 측정 장치
US7463435B1 (en) Kinematic mounting for an optic on glass substrate for use with an interferometer
CN108614395B (zh) 基于双轴柔性铰链的平行运动机构调整装置
JP5825512B2 (ja) 平行ずれ吸収機構を備えた位置決め装置
TW201913182A (zh) 光程補償裝置
CN221378064U (zh) 探针调节组件及探针台