RU2017108163A - Устройство для формирования покрытий на поверхностях элемента, ленточного материала или инструмента - Google Patents

Устройство для формирования покрытий на поверхностях элемента, ленточного материала или инструмента Download PDF

Info

Publication number
RU2017108163A
RU2017108163A RU2017108163A RU2017108163A RU2017108163A RU 2017108163 A RU2017108163 A RU 2017108163A RU 2017108163 A RU2017108163 A RU 2017108163A RU 2017108163 A RU2017108163 A RU 2017108163A RU 2017108163 A RU2017108163 A RU 2017108163A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
chamber
preceding paragraphs
wire
tape
hole
Prior art date
Application number
RU2017108163A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2703751C2 (ru
RU2017108163A3 (ru
Inventor
Славко ТОПАЛЬСКИ
Томас ШТУККИ
Аксель ЦВИК
Клаус КРАТЦЕНБЕРГ
Original Assignee
Фраунхофер-Гезельшафт Цур Фёрдерунг Дер Ангевандтен Форшунг Э.Ф.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Фраунхофер-Гезельшафт Цур Фёрдерунг Дер Ангевандтен Форшунг Э.Ф. filed Critical Фраунхофер-Гезельшафт Цур Фёрдерунг Дер Ангевандтен Форшунг Э.Ф.
Publication of RU2017108163A publication Critical patent/RU2017108163A/ru
Publication of RU2017108163A3 publication Critical patent/RU2017108163A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2703751C2 publication Critical patent/RU2703751C2/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C23C14/325—Electric arc evaporation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B7/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
    • B05B7/02—Spray pistols; Apparatus for discharge
    • B05B7/10—Spray pistols; Apparatus for discharge producing a swirling discharge
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B7/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
    • B05B7/16—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas incorporating means for heating or cooling the material to be sprayed
    • B05B7/22—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas incorporating means for heating or cooling the material to be sprayed electrically, magnetically or electromagnetically, e.g. by arc
    • B05B7/222—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas incorporating means for heating or cooling the material to be sprayed electrically, magnetically or electromagnetically, e.g. by arc using an arc
    • B05B7/224—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas incorporating means for heating or cooling the material to be sprayed electrically, magnetically or electromagnetically, e.g. by arc using an arc the material having originally the shape of a wire, rod or the like
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/228—Gas flow assisted PVD deposition
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/243—Crucibles for source material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/246—Replenishment of source material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
    • C23C14/541—Heating or cooling of the substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/04—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
    • C23C4/06—Metallic material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/04—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
    • C23C4/06—Metallic material
    • C23C4/08—Metallic material containing only metal elements
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/12—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
    • C23C4/131—Wire arc spraying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B13/00—Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
    • B05B13/02—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work
    • B05B13/0207—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work the work being an elongated body, e.g. wire or pipe

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Nozzles (AREA)

Claims (20)

1. Устройство для формирования покрытий на поверхностях элемента, ленточного материала или инструмента, причем в этом устройстве по меньшей мере один проволочный или ленточный материал (2.1 и/или 2.2), используемый для формирования покрытия, образует катод и/или анод, которые соединены с источником постоянного электрического тока и между которыми формируется электрическая дуга, при этом обеспечивается возможность подачи проволочного или ленточного материала (2.1 и/или 2.2) подающим устройством; и
расплавленный и/или испаренный материал из проволочного или ленточного материала (2.1 и/или 2.2) протекает посредством газовой струи (3) из газа или газовой смеси через впускное отверстие во внутреннюю часть камеры (4), которая выполнена с возможностью нагрева до температуры, которая по меньшей мере равна температуре испарения по меньшей мере одного материала, используемого для покрытия, или материала с относительно самой высокой температурой испарения, и
материал(ы) полностью испаряется и выходит через по меньшей мере одно отверстие (5), выполненное в камере (4), и соударяется с покрываемой поверхностью элемента или инструмента (6) для формирования соответствующего покрытия.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что атмосфера в камере и в отверстии (5) поддерживается бескислородной в случае, когда не должно формироваться покрытие, содержащее оксид.
3. Устройство по любому из пп. 1 и 2, отличающееся тем, что для снижения температуры испарения и/или обеспечения бескислородной среды давление внутри камеры (4) снижено по сравнению с давлением окружающей среды, предпочтительно до давления, которое соответствует по меньшей мере давлению, при котором испаряется вода.
4. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что камера (4) выполнена с возможностью нагрева посредством индукционного нагревательного элемента (8), расположенного вокруг камеры (4) или встроенного в материал стенки камеры.
5. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что газ или газовая смесь протекает через нагревательную зону индуктора для его нагрева.
6. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что содержит распылительную головку, изготовленную из высокотемпературного керамического материала, предпочтительно, нитрида бора, или смеси элементов нитрида бора и графитовых элементов, и/или контактные элементы для ленточного и/или проволочного материала представляют собой медные элементы с водяным охлаждением.
7. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что в стенках камеры (4) выполнены каналы (6), через которые испаренный материал и материал, еще подлежащий испарению, может быть направлен к выходу из отверстия (5) по протяженному пути в течение длительного периода времени.
8. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что камера выполнена в форме циклонного сепаратора.
9. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что два ленточных или проволочных материала (2.1, 2.2) выполнены из по меньшей мере двух различных материалов и/или из порошковой электродной проволоки.
10. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что стенки камеры выполнены из графита или графита в сочетании с керамическим материалом, в частности с нитридом бора.
11. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что в камере (4) выполнено множество отверстий (5).
12. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что на распылительных головках в камере (4) формируется множество дуг (2), и/или множество камер (4) соединены друг с другом, в частности, посредством продольной напорной камеры.
13. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что изменение толщины и состава покрытия обеспечивается изменением количества подаваемого проволочного или ленточного материала (2.1, 2.2), путем включения и выключения одной или множество дуг (2) и/или воздействием на камеры.
14. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что изменение количества подлежащего испарению материала, по отношению к количеству расплавленного материала в процессе дуговой плавки, обеспечивается изменением объемного расхода газовой струи.
15. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что отверстие (отверстия) (5) камеры (4) и сопло распылительной головки содержат материал по меньшей мере с самой высокой температура плавления.
16. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что для изоляции камеры (4) при температурах >2000°С используется комбинация графитовой ваты для стенки камеры, и медных проводников с водяным охлаждением, покрытых оксидом алюминия, - для индукционного нагревательного элемента.
17. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что отверстие (5) выполнено в форме конусообразно сужающегося или расширяющегося сопла.
18. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что оно выполнено с возможностью регулировки расстояния между поверхностью (поверхностями) подлежащего покрытию ленточного материала (7) и поверхностью камеры (4), по меньшей мере в области отверстия (5), с помощью кинетической энергии истекающего потока пара-газа.
RU2017108163A 2014-09-18 2015-09-17 Устройство для формирования покрытий на поверхностях элемента, ленточного материала или инструмента RU2703751C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014218770.2 2014-09-18
DE102014218770 2014-09-18
PCT/EP2015/071327 WO2016042079A1 (de) 2014-09-18 2015-09-17 Vorrichtung zur ausbildung von beschichtungen auf oberflächen eines bauteils, bandförmigen materials oder werkzeugs

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2017108163A true RU2017108163A (ru) 2018-10-18
RU2017108163A3 RU2017108163A3 (ru) 2018-11-13
RU2703751C2 RU2703751C2 (ru) 2019-10-22

Family

ID=54147199

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017108163A RU2703751C2 (ru) 2014-09-18 2015-09-17 Устройство для формирования покрытий на поверхностях элемента, ленточного материала или инструмента

Country Status (8)

Country Link
US (1) US10787733B2 (ru)
EP (1) EP3194635B1 (ru)
JP (1) JP6650442B2 (ru)
KR (1) KR102244897B1 (ru)
CN (1) CN107109626B (ru)
ES (1) ES2767400T3 (ru)
RU (1) RU2703751C2 (ru)
WO (1) WO2016042079A1 (ru)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101777777B1 (ko) * 2015-12-23 2017-09-26 주식회사 포스코 고속 코팅용 진공 증착 장치
US10535525B2 (en) * 2017-08-31 2020-01-14 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Method for forming semiconductor device structure
CN111441038B (zh) * 2020-03-20 2023-08-22 华南理工大学 一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印机
CN113564534B (zh) * 2020-04-28 2023-05-09 宝山钢铁股份有限公司 一种真空镀机组镀液连续供给装置及其供给方法
DE102020118015A1 (de) * 2020-07-08 2022-01-13 Thyssenkrupp Steel Europe Ag Beschichtungsvorrichtung zum Ablagern eines Beschichtungsmaterials auf einem Substrat
DE102020126101A1 (de) 2020-10-06 2022-04-07 Thyssenkrupp Steel Europe Ag Beschichtungsvorrichtung zum Ablagern eines Beschichtungsmaterials auf einem Substrat
DE102021126205A1 (de) 2020-10-09 2022-04-14 Thyssenkrupp Steel Europe Ag Düsenabschnitt zur Anordnung an einen Verdampfungsabschnitt, Vorrichtung zur Gasphasenabscheidung eines Materials und Bandbeschichtunganlage
DE102021100060A1 (de) 2021-01-05 2022-07-07 Thyssenkrupp Steel Europe Ag Beschichtungsanordnung
DE102021200421A1 (de) 2021-01-18 2022-07-21 Alethia-Group Gmbh Sprüheinheit und Verfahren zum Aufsprühen eines aus einem Festkörper gewonnenen Materials
DE102021101383A1 (de) 2021-01-22 2022-07-28 Thyssenkrupp Steel Europe Ag Verfahren zur kontinuierlichen Beschichtung eines Bands und Beschichtungsanlage
DE102021110394A1 (de) 2021-04-23 2022-10-27 Thyssenkrupp Steel Europe Ag Beschichtungsanlage zum Beschichten eines Bands und Verfahren zum Beschichten eines Bands
DE102021117574A1 (de) 2021-07-07 2023-01-12 Thyssenkrupp Steel Europe Ag Beschichtungsanlage zur Beschichtung eines flächigen Gegenstands sowie ein Verfahren zum Beschichten eines flächigen Gegenstands
DE102021120004A1 (de) 2021-08-02 2023-02-02 Thyssenkrupp Steel Europe Ag Beschichtungsanlage zur Beschichtung eines Gegenstands, Verfahren zum Beschichten eines Gegenstands sowie Verwendung
DE102021133090A1 (de) 2021-12-14 2023-06-15 Thyssenkrupp Steel Europe Ag Verfahren zur Herstellung eines Stahlflachprodukts mit einem kathodischen Korrosionsschutz, Anlage zur Herstellung eines mit einem kathodischen Korrosionsschutz versehenen Stahlflachprodukts und Verwendung
DE102022105889A1 (de) 2022-03-14 2023-09-14 Thyssenkrupp Steel Europe Ag Verfahren zum Beschichten eines Substrats mit einer Metalllegierungsbeschichtung, die wenigstens zwei Metalle enthält
DE102022133485A1 (de) 2022-12-15 2024-06-20 Thyssenkrupp Steel Europe Ag Stahlblech mit optimiertem Metallüberzug
DE102023106421A1 (de) 2023-03-15 2024-09-19 Thyssenkrupp Steel Europe Ag Dressiertes und beschichtetes Stahlblech

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB972183A (en) * 1959-11-11 1964-10-07 British Oxygen Co Ltd Electric arc process for depositing metallic coatings
US3099555A (en) * 1960-08-17 1963-07-30 Dow Chemical Co Reduction of uranium oxide
US3447951A (en) * 1965-10-20 1969-06-03 Pennsalt Chemicals Corp Cyclone separation of particles in vapor coating
US4016389A (en) * 1975-02-21 1977-04-05 White Gerald W High rate ion plating source
US4013463A (en) * 1975-08-15 1977-03-22 Leder Lewis B Photoreceptor fabrication utilizing AC ion plating
US5187115A (en) * 1977-12-05 1993-02-16 Plasma Physics Corp. Method of forming semiconducting materials and barriers using a dual enclosure apparatus
DD286375A5 (de) * 1989-08-04 1991-01-24 ��@���������@�������k�� Bogenentladungsverdampfer mit mehreren verdampfertiegeln
AT395834B (de) * 1991-08-14 1993-03-25 Voest Alpine Krems Finaltech Vorrichtung zum entstauben von gasen
US6042707A (en) * 1998-05-22 2000-03-28 Cvc Products, Inc. Multiple-coil electromagnet for magnetically orienting thin films
US6251233B1 (en) * 1998-08-03 2001-06-26 The Coca-Cola Company Plasma-enhanced vacuum vapor deposition system including systems for evaporation of a solid, producing an electric arc discharge and measuring ionization and evaporation
DE19852325C1 (de) 1998-11-12 2000-05-11 Siemens Ag Verfahren zum Erzeugen eines kontinuierlichen Dampfstromes enthaltend eine Verbindung, in der Gallium in einwertiger Form vorliegt, Verdampfungstiegel zum Verdampfen einer Substanz sowie Verwendung des Verdampfungstiegels in einer Vakuumbeschichtungsvorrichtung
US6440197B1 (en) * 1999-07-27 2002-08-27 G.B.D. Corp. Apparatus and method separating particles from a cyclonic fluid flow including an apertured particle separation member within a cyclonic flow region
US7194197B1 (en) * 2000-03-16 2007-03-20 Global Solar Energy, Inc. Nozzle-based, vapor-phase, plume delivery structure for use in production of thin-film deposition layer
US6635307B2 (en) * 2001-12-12 2003-10-21 Nanotek Instruments, Inc. Manufacturing method for thin-film solar cells
US20040065170A1 (en) * 2002-10-07 2004-04-08 L. W. Wu Method for producing nano-structured materials
KR101499272B1 (ko) * 2007-05-25 2015-03-05 오를리콘 트레이딩 아크티엔게젤샤프트, 트뤼프바흐 진공 처리 장치 및 진공 처리 방법
EP2236211B1 (en) * 2009-03-31 2015-09-09 Ford-Werke GmbH Plasma transfer wire arc thermal spray system
DE102011002183B4 (de) * 2010-10-15 2014-04-30 Industrieanlagen- Betriebsgesellschaft mit beschränkter Haftung Vorrichtung und Verfahren zur plasmagestützten Herstellung nanoskaliger Partikel und/oder zur Beschichtung von Oberflächen
KR20130095063A (ko) 2012-02-17 2013-08-27 삼성디스플레이 주식회사 유기층 증착 장치와, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
KR101513725B1 (ko) * 2014-03-03 2015-04-22 주식회사 미래와도전 원자력발전소에 사용되는 여과 배기 계통

Also Published As

Publication number Publication date
CN107109626B (zh) 2020-07-28
JP6650442B2 (ja) 2020-02-19
ES2767400T3 (es) 2020-06-17
WO2016042079A1 (de) 2016-03-24
EP3194635A1 (de) 2017-07-26
US10787733B2 (en) 2020-09-29
CN107109626A (zh) 2017-08-29
JP2017528602A (ja) 2017-09-28
RU2703751C2 (ru) 2019-10-22
KR20170072882A (ko) 2017-06-27
EP3194635B1 (de) 2019-11-20
RU2017108163A3 (ru) 2018-11-13
KR102244897B1 (ko) 2021-04-27
US20170283937A1 (en) 2017-10-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2017108163A (ru) Устройство для формирования покрытий на поверхностях элемента, ленточного материала или инструмента
JP5597652B2 (ja) 側面インジェクタを有するプラズマトーチ
US9376740B2 (en) Plasma systems and methods including high enthalpy and high stability plasmas
JP5689456B2 (ja) プラズマ移行型ワイヤアーク溶射システム、プラズマ移行型ワイヤアーク溶射システム装置の始動方法及びプラズマ移行型ワイヤアーク溶射システム装置を用いて燃焼機関のシリンダーボアの表面を被覆する方法
KR20120004653U (ko) 노즐 보호캡, 노즐 보호캡 홀더 및 이를 구비한 아크 플라즈마 토오치
JP6643979B2 (ja) プラズマ切断トーチ用の複数部分からなる絶縁部分、ならびにそれを有するアセンブリおよびプラズマ切断トーチ
Li et al. Effects of spray parameters on the microstructure and property of Al2O3 coatings sprayed by a low power plasma torch with a novel hollow cathode
Long et al. Numerical investigation of the swirl gas angle and arc current dependence on evaporation of hafnium cathode in a plasma cutting arc
JP6301486B2 (ja) アーク炉の運転方法及びアーク炉
CN108715989A (zh) 一种等离子喷涂绝缘涂层的制备方法
Beilis et al. Anode temperature evolution in a vacuum arc with a blackbody electrode configuration
ITMI952254A1 (it) Apparecchio e procedimento per la vaporizzazione sotto vuoto di lamine
JP2012193431A (ja) プラズマ溶射装置
RU2529740C1 (ru) Электродуговой шестиструйный плазматрон
RU140498U1 (ru) Плазматрон для порошкового напыления
JP5091801B2 (ja) 複合トーチ型プラズマ発生装置
RU2410203C1 (ru) Устройство для получения высокодисперсного металлического порошка и способ его получения с использованием данного устройства
RU2013111477A (ru) Способ получения эрозионно-стойких теплозащитных покрытий
JP2000038649A (ja) 成膜装置及び方法
Tazmeev et al. Application of gas discharge with liquid electrolytic cathode to create flow of steam-water plasma
RU2286033C1 (ru) Плазмотрон с жидким электролитным катодом
RU2648615C1 (ru) Способ плазмохимического рафинирования металлов в вакууме и плазмотрон для его осуществления
Zhang et al. Effect of Coating Thickness on the Thermal Conductivity of Zirconia Composite Coatings Sprayed by Gas Tunnel Type Atmospheric Plasma Spraying
KR100743993B1 (ko) 플라즈마 토치
Anshakov et al. Electric arc plasmatorch for steam heating

Legal Events

Date Code Title Description
HZ9A Changing address for correspondence with an applicant