RU2016131868A - Способ измерения толщины тонкопленочных диэлектрических материалов - Google Patents

Способ измерения толщины тонкопленочных диэлектрических материалов Download PDF

Info

Publication number
RU2016131868A
RU2016131868A RU2016131868A RU2016131868A RU2016131868A RU 2016131868 A RU2016131868 A RU 2016131868A RU 2016131868 A RU2016131868 A RU 2016131868A RU 2016131868 A RU2016131868 A RU 2016131868A RU 2016131868 A RU2016131868 A RU 2016131868A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
teeth
comb
gaps
thin
flat
Prior art date
Application number
RU2016131868A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2016131868A3 (ru
RU2652156C2 (ru
Inventor
Алексей Владимирович Хорват
Original Assignee
Алексей Владимирович Хорват
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Алексей Владимирович Хорват filed Critical Алексей Владимирович Хорват
Priority to RU2016131868A priority Critical patent/RU2652156C2/ru
Publication of RU2016131868A publication Critical patent/RU2016131868A/ru
Publication of RU2016131868A3 publication Critical patent/RU2016131868A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2652156C2 publication Critical patent/RU2652156C2/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Claims (3)

1. Способ измерения толщины тонкопленочных диэлектрических материалов, заключающийся в размещении диэлектрического материала на поверхности предварительно оттарированного датчика контроля толщины тонкопленочных диэлектрических материалов, содержащего электроды, выполненные в виде двух плоских гребенок, имеющих зубья и основание в виде плоских прямоугольников, соединенных между собой и нанесенных на плоское диэлектрическое основание, при этом зубья одной гребенки размещают между зубьями второй гребенки с образованием равномерно чередующихся зубьев и зазоров между ними, причем ширину зазора между зубьями выполняют равной ширине зуба, с последующим определением изменения емкости датчика и толщины тонкопленочного диэлектрического материала по изменению емкости датчика, отличающийся тем, что с двух диаметрально расположенных углов датчика устанавливают дополнительные электроды таким образом, что на каждом упомянутом углу размещается, по меньшей мере, два плоских Г-образных электрода, причем внутренний Г-образный электрод образуют зубом и основанием соответствующей плоской гребенки, при этом потенциал дополнительных электродов обеспечивают по величине и знаку равным потенциалу вблизи расположенного электрода, образующего гребенку.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что зазоры между дополнительными электродами выполняют равными зазорам между зубьями гребенки.
3. Датчик контроля по п. 1, отличающийся тем, что зазоры между дополнительными электродами и дополнительными электродами и зубьями гребенки выполняют равными зазорам между зубьями гребенки.
RU2016131868A 2016-08-03 2016-08-03 Способ измерения толщины тонкопленочных диэлектрических материалов RU2652156C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016131868A RU2652156C2 (ru) 2016-08-03 2016-08-03 Способ измерения толщины тонкопленочных диэлектрических материалов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016131868A RU2652156C2 (ru) 2016-08-03 2016-08-03 Способ измерения толщины тонкопленочных диэлектрических материалов

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2016131868A true RU2016131868A (ru) 2018-02-08
RU2016131868A3 RU2016131868A3 (ru) 2018-04-03
RU2652156C2 RU2652156C2 (ru) 2018-04-25

Family

ID=61174199

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016131868A RU2652156C2 (ru) 2016-08-03 2016-08-03 Способ измерения толщины тонкопленочных диэлектрических материалов

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2652156C2 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114354976A (zh) * 2022-03-21 2022-04-15 成都华托微纳智能传感科技有限公司 一种降低边缘效应的mems加速度计

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS607203B2 (ja) * 1980-12-25 1985-02-22 富士電機株式会社 膜厚測定器
SU1158857A1 (ru) * 1982-10-18 1985-05-30 Киевский технологический институт легкой промышленности Измеритель толщины полимерных пленок
SU1186935A1 (ru) * 1984-05-16 1985-10-23 Киевский технологический институт легкой промышленности Устройство дл контрол толщины диэлектрического покрыти на диэлектрической основе
SU1456765A1 (ru) * 1987-06-11 1989-02-07 Львовский Государственный Университет Им.И.Франко Емкостный датчик-свидетель дл контрол толщины напыл емой диэлектрической пленки
FR2929704B1 (fr) * 2008-04-04 2010-05-14 Univ Joseph Fourier Detecteur capacitif, procede de fabrication d'un detecteur capacitif et dispositif de mesure l'integrant

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114354976A (zh) * 2022-03-21 2022-04-15 成都华托微纳智能传感科技有限公司 一种降低边缘效应的mems加速度计
CN114354976B (zh) * 2022-03-21 2022-05-20 成都华托微纳智能传感科技有限公司 一种降低边缘效应的mems加速度计

Also Published As

Publication number Publication date
RU2016131868A3 (ru) 2018-04-03
RU2652156C2 (ru) 2018-04-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2017054152A5 (ru)
JP2017503241A5 (ru)
JP2015062079A5 (ru)
TW201614464A (en) Capacitive touch panel, method of fabricating capacitive touch panel and touch display device
JP2020526004A5 (ru)
JP2016125927A5 (ja) 電子デバイス、電子機器、移動体、及び電子デバイスの製造方法
CN102654806A (zh) 一种触控面板及其制造方法
JP2015018362A5 (ru)
JP2014078001A5 (ja) 液晶表示装置
JP2015022279A5 (ru)
JP2015523672A5 (ru)
WO2014185771A3 (en) A capacitive humidity sensor
RU2016131868A (ru) Способ измерения толщины тонкопленочных диэлектрических материалов
JP2014085517A5 (ru)
JP2013145964A5 (ru)
RU168950U1 (ru) Датчик контроля толщины тонкопленочных диэлектрических материалов
RU2624660C1 (ru) Датчик контроля толщины тонкопленочных диэлектрических материалов
JP2015204460A (ja) Teg−fet、及びそのtegテスト方法
JP6513286B2 (ja) 容量性構造体及び容量性構造体を用いて電荷量を特定する方法
JP2016530661A5 (ru)
JP2015026811A5 (ru)
JP2015073094A5 (ja) コンタクト抵抗測定パターン及びその使用方法、半導体装置
EP2733758A3 (en) Piezoelectric element
JP2016224020A5 (ru)
RU104727U1 (ru) Первичный преобразователь для измерения электрической емкости (диэлектрической проницаемости) и электрического сопротивления (удельной электропроводности) жидкости или газа