RU2016131868A - Способ измерения толщины тонкопленочных диэлектрических материалов - Google Patents
Способ измерения толщины тонкопленочных диэлектрических материалов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2016131868A RU2016131868A RU2016131868A RU2016131868A RU2016131868A RU 2016131868 A RU2016131868 A RU 2016131868A RU 2016131868 A RU2016131868 A RU 2016131868A RU 2016131868 A RU2016131868 A RU 2016131868A RU 2016131868 A RU2016131868 A RU 2016131868A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- teeth
- comb
- gaps
- thin
- flat
- Prior art date
Links
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 title claims 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims 4
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 210000001520 comb Anatomy 0.000 claims 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Claims (3)
1. Способ измерения толщины тонкопленочных диэлектрических материалов, заключающийся в размещении диэлектрического материала на поверхности предварительно оттарированного датчика контроля толщины тонкопленочных диэлектрических материалов, содержащего электроды, выполненные в виде двух плоских гребенок, имеющих зубья и основание в виде плоских прямоугольников, соединенных между собой и нанесенных на плоское диэлектрическое основание, при этом зубья одной гребенки размещают между зубьями второй гребенки с образованием равномерно чередующихся зубьев и зазоров между ними, причем ширину зазора между зубьями выполняют равной ширине зуба, с последующим определением изменения емкости датчика и толщины тонкопленочного диэлектрического материала по изменению емкости датчика, отличающийся тем, что с двух диаметрально расположенных углов датчика устанавливают дополнительные электроды таким образом, что на каждом упомянутом углу размещается, по меньшей мере, два плоских Г-образных электрода, причем внутренний Г-образный электрод образуют зубом и основанием соответствующей плоской гребенки, при этом потенциал дополнительных электродов обеспечивают по величине и знаку равным потенциалу вблизи расположенного электрода, образующего гребенку.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что зазоры между дополнительными электродами выполняют равными зазорам между зубьями гребенки.
3. Датчик контроля по п. 1, отличающийся тем, что зазоры между дополнительными электродами и дополнительными электродами и зубьями гребенки выполняют равными зазорам между зубьями гребенки.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2016131868A RU2652156C2 (ru) | 2016-08-03 | 2016-08-03 | Способ измерения толщины тонкопленочных диэлектрических материалов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2016131868A RU2652156C2 (ru) | 2016-08-03 | 2016-08-03 | Способ измерения толщины тонкопленочных диэлектрических материалов |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2016131868A true RU2016131868A (ru) | 2018-02-08 |
RU2016131868A3 RU2016131868A3 (ru) | 2018-04-03 |
RU2652156C2 RU2652156C2 (ru) | 2018-04-25 |
Family
ID=61174199
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2016131868A RU2652156C2 (ru) | 2016-08-03 | 2016-08-03 | Способ измерения толщины тонкопленочных диэлектрических материалов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2652156C2 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114354976A (zh) * | 2022-03-21 | 2022-04-15 | 成都华托微纳智能传感科技有限公司 | 一种降低边缘效应的mems加速度计 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS607203B2 (ja) * | 1980-12-25 | 1985-02-22 | 富士電機株式会社 | 膜厚測定器 |
SU1158857A1 (ru) * | 1982-10-18 | 1985-05-30 | Киевский технологический институт легкой промышленности | Измеритель толщины полимерных пленок |
SU1186935A1 (ru) * | 1984-05-16 | 1985-10-23 | Киевский технологический институт легкой промышленности | Устройство дл контрол толщины диэлектрического покрыти на диэлектрической основе |
SU1456765A1 (ru) * | 1987-06-11 | 1989-02-07 | Львовский Государственный Университет Им.И.Франко | Емкостный датчик-свидетель дл контрол толщины напыл емой диэлектрической пленки |
FR2929704B1 (fr) * | 2008-04-04 | 2010-05-14 | Univ Joseph Fourier | Detecteur capacitif, procede de fabrication d'un detecteur capacitif et dispositif de mesure l'integrant |
-
2016
- 2016-08-03 RU RU2016131868A patent/RU2652156C2/ru active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114354976A (zh) * | 2022-03-21 | 2022-04-15 | 成都华托微纳智能传感科技有限公司 | 一种降低边缘效应的mems加速度计 |
CN114354976B (zh) * | 2022-03-21 | 2022-05-20 | 成都华托微纳智能传感科技有限公司 | 一种降低边缘效应的mems加速度计 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2016131868A3 (ru) | 2018-04-03 |
RU2652156C2 (ru) | 2018-04-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2017054152A5 (ru) | ||
JP2017503241A5 (ru) | ||
JP2015062079A5 (ru) | ||
TW201614464A (en) | Capacitive touch panel, method of fabricating capacitive touch panel and touch display device | |
JP2020526004A5 (ru) | ||
JP2016125927A5 (ja) | 電子デバイス、電子機器、移動体、及び電子デバイスの製造方法 | |
CN102654806A (zh) | 一种触控面板及其制造方法 | |
JP2015018362A5 (ru) | ||
JP2014078001A5 (ja) | 液晶表示装置 | |
JP2015022279A5 (ru) | ||
JP2015523672A5 (ru) | ||
WO2014185771A3 (en) | A capacitive humidity sensor | |
RU2016131868A (ru) | Способ измерения толщины тонкопленочных диэлектрических материалов | |
JP2014085517A5 (ru) | ||
JP2013145964A5 (ru) | ||
RU168950U1 (ru) | Датчик контроля толщины тонкопленочных диэлектрических материалов | |
RU2624660C1 (ru) | Датчик контроля толщины тонкопленочных диэлектрических материалов | |
JP2015204460A (ja) | Teg−fet、及びそのtegテスト方法 | |
JP6513286B2 (ja) | 容量性構造体及び容量性構造体を用いて電荷量を特定する方法 | |
JP2016530661A5 (ru) | ||
JP2015026811A5 (ru) | ||
JP2015073094A5 (ja) | コンタクト抵抗測定パターン及びその使用方法、半導体装置 | |
EP2733758A3 (en) | Piezoelectric element | |
JP2016224020A5 (ru) | ||
RU104727U1 (ru) | Первичный преобразователь для измерения электрической емкости (диэлектрической проницаемости) и электрического сопротивления (удельной электропроводности) жидкости или газа |