RU2015144232A - Интегрированный приподнятый апертурный слой и дисплейное устройство - Google Patents
Интегрированный приподнятый апертурный слой и дисплейное устройство Download PDFInfo
- Publication number
- RU2015144232A RU2015144232A RU2015144232A RU2015144232A RU2015144232A RU 2015144232 A RU2015144232 A RU 2015144232A RU 2015144232 A RU2015144232 A RU 2015144232A RU 2015144232 A RU2015144232 A RU 2015144232A RU 2015144232 A RU2015144232 A RU 2015144232A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- layer
- eal
- substrate
- display elements
- apertures
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/02—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the intensity of light
- G02B26/023—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the intensity of light comprising movable attenuating elements, e.g. neutral density filters
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0002—Arrangements for avoiding sticking of the flexible or moving parts
- B81B3/001—Structures having a reduced contact area, e.g. with bumps or with a textured surface
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
- B81C1/00023—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems without movable or flexible elements
- B81C1/00039—Anchors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00436—Shaping materials, i.e. techniques for structuring the substrate or the layers on the substrate
- B81C1/00444—Surface micromachining, i.e. structuring layers on the substrate
- B81C1/00468—Releasing structures
- B81C1/00476—Releasing structures removing a sacrificial layer
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/04—Optical MEMS
- B81B2201/047—Optical MEMS not provided for in B81B2201/042 - B81B2201/045
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Claims (69)
1. Устройство, содержащее:
прозрачную подложку;
блокирующий свет приподнятый апертурный слой (EAL), задающий множество апертур, сформированных сквозь него;
множество фиксаторов для поддержки слоя EAL над подложкой; и
множество элементов дисплея, помещенных между подложкой и слоем EAL, причем каждый из элементов дисплея соответствует по меньшей мере одной соответствующей апертуре из множества апертур, заданных слоем EAL, каждый элемент дисплея включает в себя подвижный участок, поддерживаемый над подложкой соответствующим фиксатором, поддерживающим слой EAL над подложкой, причем подвижный участок поддерживается над подложкой посредством фиксатора через электрод, проходящий от фиксатора над подложкой.
2. Устройство по п. 1, дополнительно содержащее вторую подложку, помещенную на стороне слоя EAL напротив подложки, причем слой EAL приклеен к поверхности второй подложки.
3. Устройство по п. 2, дополнительно содержащее слой отражающего материала, осажденный на одну из поверхности слоя EAL, ближайшей ко второй подложке, и второй подложки, обращенной к слою EAL.
4. Устройство по п. 1, в котором слой EAL включает в себя одно из множества ребер и множества выступов против залипания, проходящих к подложке.
5. Устройство по п. 1, в котором слой EAL включает в себя множество электрически изолированных электропроводных областей, относящихся к соответствующим элементам дисплея.
6. Устройство по п. 5, в котором электрически изолированные электропроводные области электрически соединены с участками соответствующих элементов дисплея.
7. Устройство по п. 1, дополнительно содержащее элементы рассеивания света, расположенные на оптических путях, проходящих
через апертуры, заданные слоем EAL.
8. Устройство по п. 7, в котором элементы рассеивания света включают в себя по меньшей мере одно из линзы и рассеивающего элемента.
9. Устройство по п. 7, в котором элемент рассеивания света включает в себя сформированный по шаблону диэлектрик.
10. Устройство по п. 1, в котором элементы дисплея включают в себя затворные элементы дисплея на основе микроэлектромеханических систем (MEMS).
11. Устройство по п. 1, дополнительно содержащее:
дисплей;
процессор, который выполнен с возможностью осуществлять связь с дисплеем, причем процессор выполнен с возможностью обрабатывать данные изображения; и
запоминающее устройство, которое выполнено с возможностью осуществлять связь с процессором.
12. Устройство по п. 11, дополнительно содержащее:
задающую схему, выполненную с возможностью отправлять по меньшей мере один сигнал дисплею; и причем
процессор дополнительно выполнен с возможностью отправлять по меньшей мере часть данных изображения задающей схеме.
13. Устройство по п. 11, дополнительно содержащее:
модуль источника изображения, выполненный с возможностью отправлять данные изображения процессору, причем модуль источника изображения включает в себя по меньшей мере один элемент из приемника, приемопередатчика и передатчика.
14. Устройство по п. 11, дополнительно содержащее:
устройство ввода, выполненное с возможностью принимать входные данные и сообщать входные данные процессору.
15. Способ формирования дисплейного устройства, содержащий этапы, на которых:
изготовляют множество элементов дисплея на лекале элемента дисплея, сформированном на подложке, причем элементы дисплея включают в себя соответствующие фиксаторы для поддержки участков соответствующих элементов дисплея над подложкой;
осаждают первый слой удаляемого материала поверх
изготовленных элементов дисплея;
формируют по шаблону первый слой удаляемого материала, чтобы открыть для воздействия фиксаторы элемента дисплея;
осаждают слой структурного материала поверх первого слоя удаляемого материала таким образом, что осажденный структурный материал осажден частично на открытых для воздействия фиксаторах дисплея;
формируют по шаблону слой структурного материала так, чтобы задать сквозь него множество апертур, соответствующих соответственным элементам дисплея, чтобы сформировать приподнятый апертурный слой (EAL); и
удаляют лекало элемента дисплея и первый слой удаляемого материала.
16. Способ по п. 15, дополнительно содержащий этапы, на которых осаждают второй слой удаляемого материала поверх первого слоя удаляемого материала и формируют по шаблону второй слой удаляемого материала, чтобы сформировать лекало для одного из множества ребер жесткости слоя EAL и множества выступов против залипания, проходящих от слоя EAL к подвешенным участкам соответствующих элементов дисплея.
17. Способ по п. 15, дополнительно содержащий этап, на котором приводят области слоя EAL в контакт с поверхностью второй подложки таким образом, что области слоя EAL приклеиваются к поверхности второй подложки.
18. Способ по п. 15, в котором слой структурного материала включает в себя электропроводный материал.
19. Способ по п. 18, в котором формирование по шаблону слоя структурного материала электрически изолирует соседние области слоя EAL, причем каждая электрически изолированная область слоя EAL электрически соединена с подвешенным участком соответствующего элемента дисплея.
20. Способ по п. 15, дополнительно содержащий этапы, на которых осаждают слой диэлектрика поверх слоя структурного материала и формируют по шаблону слой диэлектрика, чтобы задать элементы рассеивания света над апертурами, заданными сквозь слой структурного материала.
21. Устройство, содержащее:
подложку;
приподнятый апертурный слой (EAL), включающий в себя полимерный материал, инкапсулированный посредством структурного материала, расположенного над полимерным материалом и в контакте с ним, слой EAL задает множество апертур, сформированных сквозь него; и
множество элементов дисплея, помещенных между подложкой и слоем EAL, причем каждый элемент дисплея соответствующий соответственной апертуре из множества апертур.
22. Устройство по п. 21, дополнительно содержащее поглощающий свет слой, осажденный на поверхности слоя EAL.
23. Устройство по п. 21, в котором подложка включает в себя слой блокирующего свет материала.
24. Устройство по п. 23, в котором слой блокирующего свет материала задает множество апертур подложки, относящихся к соответствующим апертурам слоя EAL.
25. Устройство по п. 21, в котором слой EAL включает в себя первый структурный слой, первый полимерный слой и второй структурный слой таким образом, что первый структурный слой и второй структурный слой инкапсулируют первый полимерный слой.
26. Устройство по п. 21, в котором слой EAL включает в себя множество электрически изолированных электропроводных областей, относящихся к соответствующим элементам дисплея.
27. Устройство по п. 26, в котором электрически изолированные электропроводные области электрически соединены с участками соответствующего элемента дисплея.
28. Устройство по п. 27, в котором электрически изолированные электропроводные области электрически соединены с участками соответствующих элементов дисплея через фиксаторы, которые поддерживают соответствующие элементы дисплея над подложкой.
29. Устройство по п. 28, в котором фиксаторы, поддерживающие участки соответствующих элементов дисплея над подложкой, также поддерживает слой EAL над элементами дисплея.
30. Способ формирования дисплейного устройства, содержащий
этапы, на которых:
формируют множество элементов дисплея на лекале форме элемента дисплея, сформированной на подложке;
осаждают первый слой удаляемого материала поверх элементов дисплея;
формируют по шаблону первый слой удаляемого материала так, чтобы открыть для воздействия множество фиксаторов;
формируют приподнятый апертурный слой (EAL) над первым слоем удаляемого материала посредством:
осаждения первого слоя структурного материала поверх первого слоя удаляемого материала таким образом, что осажденный структурный материал осаждается частично на открытые для воздействия фиксаторы;
формирования по шаблону первого слоя структурного материала, чтобы задать множество нижних апертур слоя EAL, соответствующим соответственным элементам дисплея;
осаждения слоя полимерного материала поверх первого слоя структурного материала;
формирования по шаблону слоя полимерного материала, чтобы задать множество средних апертур слоя EAL, по существу выровненных с соответствующими нижними апертурами слоя EAL;
осаждения второго слоя структурного материала поверх слоя полимерного материала, чтобы инкапсулировать слой полимерного материала между первым слоем структурного материала и вторым слоем структурного материала; и
формирования по шаблону второго слоя структурного материала, чтобы задать множество верхних апертур слоя EAL, по существу выровненных с соответствующими средними и нижними апертурами слоя EAL; и
удаления лекала элемента дисплея и первого слоя удаляемого материала.
31. Способ по п. 30, в котором открытые для воздействия фиксаторы поддерживают участки соответствующих элементов дисплея над подложкой.
32. Способ по п. 30, в котором открытые для воздействия фиксаторы отличаются от набора фиксаторов, поддерживающих
участки элементов дисплея над подложкой.
33. Способ по п. 30, дополнительно содержащий этап, на котором осаждают по меньшей мере один слой из поглощающего свет слоя или отражающего свет слоя поверх второго слоя структурного материала.
34. Устройство по п. 21, в котором структурный материал находится в контакте со всеми поверхностями полимерного материала.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/842,436 | 2013-03-15 | ||
US13/842,436 US20140268273A1 (en) | 2013-03-15 | 2013-03-15 | Integrated elevated aperture layer and display apparatus |
PCT/US2014/019900 WO2014149619A1 (en) | 2013-03-15 | 2014-03-03 | Integrated elevated aperture layer and display apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2015144232A true RU2015144232A (ru) | 2017-04-21 |
Family
ID=50424716
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2015144232A RU2015144232A (ru) | 2013-03-15 | 2014-03-03 | Интегрированный приподнятый апертурный слой и дисплейное устройство |
Country Status (17)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20140268273A1 (ru) |
EP (1) | EP2972554A1 (ru) |
JP (1) | JP2016512898A (ru) |
KR (1) | KR20150131245A (ru) |
CN (1) | CN105051588B (ru) |
AR (1) | AR095546A1 (ru) |
AU (1) | AU2014237972A1 (ru) |
BR (1) | BR112015023805A2 (ru) |
CA (1) | CA2900407A1 (ru) |
HK (1) | HK1212453A1 (ru) |
IL (1) | IL240208A0 (ru) |
PH (1) | PH12015502139A1 (ru) |
RU (1) | RU2015144232A (ru) |
SG (1) | SG11201506083PA (ru) |
TW (1) | TWI576309B (ru) |
WO (1) | WO2014149619A1 (ru) |
ZA (1) | ZA201507668B (ru) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9181086B1 (en) | 2012-10-01 | 2015-11-10 | The Research Foundation For The State University Of New York | Hinged MEMS diaphragm and method of manufacture therof |
US9897796B2 (en) | 2014-04-18 | 2018-02-20 | Snaptrack, Inc. | Encapsulated spacers for electromechanical systems display apparatus |
JP2017015766A (ja) * | 2015-06-26 | 2017-01-19 | 富士フイルム株式会社 | 画像表示装置 |
US9818347B2 (en) | 2016-03-29 | 2017-11-14 | Snaptrack, Inc. | Display apparatus including self-tuning circuits for controlling light modulators |
JP6770991B2 (ja) | 2018-03-26 | 2020-10-21 | 株式会社城南製作所 | ウインドレギュレータ |
EP3793216B1 (en) * | 2019-09-13 | 2023-12-06 | ams International AG | Membrane structure, transducer device and method of producing a membrane structure |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5062689A (en) * | 1990-08-21 | 1991-11-05 | Koehler Dale R | Electrostatically actuatable light modulating device |
JPH1039239A (ja) * | 1996-07-18 | 1998-02-13 | Ricoh Co Ltd | 空間光変調素子 |
US6873098B2 (en) * | 1998-12-22 | 2005-03-29 | Alton O. Christensen, Sr. | Electroluminescent devices and displays with integrally fabricated address and logic devices fabricated by printing or weaving |
DE10247487A1 (de) * | 2002-10-11 | 2004-05-06 | Infineon Technologies Ag | Membran und Verfahren zu deren Herstellung |
JP2005004077A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-06 | Ricoh Co Ltd | 光変調装置およびその駆動方法 |
US20060067650A1 (en) * | 2004-09-27 | 2006-03-30 | Clarence Chui | Method of making a reflective display device using thin film transistor production techniques |
US7368803B2 (en) * | 2004-09-27 | 2008-05-06 | Idc, Llc | System and method for protecting microelectromechanical systems array using back-plate with non-flat portion |
US7349136B2 (en) * | 2004-09-27 | 2008-03-25 | Idc, Llc | Method and device for a display having transparent components integrated therein |
US7999994B2 (en) * | 2005-02-23 | 2011-08-16 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus and methods for manufacture thereof |
CN102060258B (zh) * | 2005-02-23 | 2013-07-10 | 皮克斯特隆尼斯有限公司 | 微电子机械快门组件 |
US20080158635A1 (en) * | 2005-02-23 | 2008-07-03 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus and methods for manufacture thereof |
WO2007013939A1 (en) * | 2005-07-22 | 2007-02-01 | Qualcomm Incorporated | Support structure for mems device and methods therefor |
CN102116964B (zh) * | 2006-04-04 | 2015-07-29 | 夏普株式会社 | 液晶显示装置 |
US7852546B2 (en) * | 2007-10-19 | 2010-12-14 | Pixtronix, Inc. | Spacers for maintaining display apparatus alignment |
EP2015354A1 (en) * | 2007-07-11 | 2009-01-14 | S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies | Method for recycling a substrate, laminated wafer fabricating method and suitable recycled donor substrate |
US20100181652A1 (en) * | 2009-01-16 | 2010-07-22 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for stiction reduction in mems devices |
KR101614463B1 (ko) * | 2009-11-05 | 2016-04-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 멤스 소자를 이용한 표시 장치 및 그 제조 방법 |
US8681297B2 (en) * | 2010-02-24 | 2014-03-25 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display panel, and liquid crystal display device |
US20120242638A1 (en) * | 2011-03-24 | 2012-09-27 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Dielectric spacer for display devices |
KR20120111809A (ko) * | 2011-04-01 | 2012-10-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치 |
JP5801602B2 (ja) * | 2011-05-12 | 2015-10-28 | ピクストロニクス,インコーポレイテッド | 画像表示装置 |
JP5798373B2 (ja) * | 2011-05-12 | 2015-10-21 | ピクストロニクス,インコーポレイテッド | 表示装置 |
KR20120129256A (ko) * | 2011-05-19 | 2012-11-28 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 기판, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 표시 패널 |
US9213181B2 (en) * | 2011-05-20 | 2015-12-15 | Pixtronix, Inc. | MEMS anchor and spacer structure |
JP5856758B2 (ja) * | 2011-05-23 | 2016-02-10 | ピクストロニクス,インコーポレイテッド | 表示装置及びその製造方法 |
JP5856760B2 (ja) * | 2011-06-03 | 2016-02-10 | ピクストロニクス,インコーポレイテッド | 表示装置及び表示装置の製造方法 |
-
2013
- 2013-03-15 US US13/842,436 patent/US20140268273A1/en not_active Abandoned
-
2014
- 2014-03-03 AU AU2014237972A patent/AU2014237972A1/en not_active Abandoned
- 2014-03-03 SG SG11201506083PA patent/SG11201506083PA/en unknown
- 2014-03-03 CN CN201480013893.1A patent/CN105051588B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2014-03-03 JP JP2016500549A patent/JP2016512898A/ja not_active Ceased
- 2014-03-03 RU RU2015144232A patent/RU2015144232A/ru unknown
- 2014-03-03 EP EP14714834.0A patent/EP2972554A1/en not_active Withdrawn
- 2014-03-03 WO PCT/US2014/019900 patent/WO2014149619A1/en active Application Filing
- 2014-03-03 BR BR112015023805A patent/BR112015023805A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2014-03-03 KR KR1020157029098A patent/KR20150131245A/ko not_active Application Discontinuation
- 2014-03-03 CA CA2900407A patent/CA2900407A1/en not_active Abandoned
- 2014-03-14 AR ARP140101163A patent/AR095546A1/es unknown
- 2014-03-14 TW TW103109333A patent/TWI576309B/zh not_active IP Right Cessation
-
2015
- 2015-07-29 IL IL240208A patent/IL240208A0/en unknown
- 2015-09-15 PH PH12015502139A patent/PH12015502139A1/en unknown
- 2015-10-14 ZA ZA2015/07668A patent/ZA201507668B/en unknown
-
2016
- 2016-01-06 HK HK16100084.9A patent/HK1212453A1/xx unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ZA201507668B (en) | 2017-11-29 |
SG11201506083PA (en) | 2015-09-29 |
IL240208A0 (en) | 2015-09-24 |
JP2016512898A (ja) | 2016-05-09 |
KR20150131245A (ko) | 2015-11-24 |
TWI576309B (zh) | 2017-04-01 |
WO2014149619A1 (en) | 2014-09-25 |
CN105051588A (zh) | 2015-11-11 |
CN105051588B (zh) | 2018-01-05 |
CA2900407A1 (en) | 2014-09-25 |
HK1212453A1 (en) | 2016-06-10 |
AR095546A1 (es) | 2015-10-28 |
TW201500272A (zh) | 2015-01-01 |
AU2014237972A1 (en) | 2015-09-24 |
US20140268273A1 (en) | 2014-09-18 |
PH12015502139A1 (en) | 2016-01-25 |
EP2972554A1 (en) | 2016-01-20 |
BR112015023805A2 (pt) | 2017-07-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2015144232A (ru) | Интегрированный приподнятый апертурный слой и дисплейное устройство | |
KR102057568B1 (ko) | 지문인식센서가 결합된 디스플레이 장치 | |
TWI635601B (zh) | 製造被動光學元件的方法及包含該元件的裝置 | |
KR101552974B1 (ko) | 양면 패턴된 투명 전도성 필름 및 이의 제조 방법 | |
TWI610150B (zh) | 製造導電網孔圖樣之方法、以該方法製造之網狀電極及層板 | |
TWI638470B (zh) | 具有屏蔽以減少光漏或漫射光的光電模組及此模組之製造方法 | |
WO2010090429A3 (ko) | 입체영상 표시장치용 광학필터 제조방법 | |
CN206584063U (zh) | 一种基于表面等离激元的光谱成像微滤光片 | |
US20120287507A1 (en) | Wire grid polarizers, methods of fabricating a wire grid polarizer, and display panels including a wire grid polarizer | |
CN102809876A (zh) | 相机模块及其制造方法 | |
CN106653742B (zh) | 邻近传感器、电子设备以及制造邻近传感器的方法 | |
RU2011118455A (ru) | Датчик направленности света | |
CN104541155A (zh) | 表面增强拉曼散射元件 | |
CN106441565A (zh) | 一种集成式带通滤波器及其制造方法和光谱仪 | |
CN102007433B (zh) | 薄膜悬浮光学元件及相关方法 | |
KR20140141469A (ko) | 터치 스크린 전도성 필름 및 그 제조 방법 | |
JP4509178B2 (ja) | 光電気混載基板の製造方法 | |
US10877239B2 (en) | Optical element stack assemblies | |
CN104267857B (zh) | 光电感测阵列、制作光电感测阵列的方法及显示装置 | |
JP2013026565A5 (ru) | ||
CN105137658B (zh) | 柔性基板的制作方法 | |
CN107425030A (zh) | 光学晶片的制造 | |
CN109314061A (zh) | 通孔器件的制作方法、生物特征识别模组及终端设备 | |
US8658049B2 (en) | Method for manufacturing a touch panel | |
WO2014201754A1 (zh) | 隔垫物的制作方法、基板、显示装置及电子产品 |