RU2015144232A - Интегрированный приподнятый апертурный слой и дисплейное устройство - Google Patents

Интегрированный приподнятый апертурный слой и дисплейное устройство Download PDF

Info

Publication number
RU2015144232A
RU2015144232A RU2015144232A RU2015144232A RU2015144232A RU 2015144232 A RU2015144232 A RU 2015144232A RU 2015144232 A RU2015144232 A RU 2015144232A RU 2015144232 A RU2015144232 A RU 2015144232A RU 2015144232 A RU2015144232 A RU 2015144232A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
layer
eal
substrate
display elements
apertures
Prior art date
Application number
RU2015144232A
Other languages
English (en)
Inventor
Тимоти Дж. БРОСНИХАН
Юджин ФАЙК
Дзианру СИ
ЧЛЕЙРИХ Кейт НИ
Стефен ИНГЛИШ
Несбитт ХЕЙГУД
Стефен Р. ЛЬЮИС
Хавьер ВИЛЛАРРИЛ
Original Assignee
Пикстроникс, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Пикстроникс, Инк. filed Critical Пикстроникс, Инк.
Publication of RU2015144232A publication Critical patent/RU2015144232A/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/02Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the intensity of light
    • G02B26/023Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the intensity of light comprising movable attenuating elements, e.g. neutral density filters
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0002Arrangements for avoiding sticking of the flexible or moving parts
    • B81B3/001Structures having a reduced contact area, e.g. with bumps or with a textured surface
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • B81C1/00015Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
    • B81C1/00023Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems without movable or flexible elements
    • B81C1/00039Anchors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • B81C1/00436Shaping materials, i.e. techniques for structuring the substrate or the layers on the substrate
    • B81C1/00444Surface micromachining, i.e. structuring layers on the substrate
    • B81C1/00468Releasing structures
    • B81C1/00476Releasing structures removing a sacrificial layer
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/04Optical MEMS
    • B81B2201/047Optical MEMS not provided for in B81B2201/042 - B81B2201/045

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Claims (69)

1. Устройство, содержащее:
прозрачную подложку;
блокирующий свет приподнятый апертурный слой (EAL), задающий множество апертур, сформированных сквозь него;
множество фиксаторов для поддержки слоя EAL над подложкой; и
множество элементов дисплея, помещенных между подложкой и слоем EAL, причем каждый из элементов дисплея соответствует по меньшей мере одной соответствующей апертуре из множества апертур, заданных слоем EAL, каждый элемент дисплея включает в себя подвижный участок, поддерживаемый над подложкой соответствующим фиксатором, поддерживающим слой EAL над подложкой, причем подвижный участок поддерживается над подложкой посредством фиксатора через электрод, проходящий от фиксатора над подложкой.
2. Устройство по п. 1, дополнительно содержащее вторую подложку, помещенную на стороне слоя EAL напротив подложки, причем слой EAL приклеен к поверхности второй подложки.
3. Устройство по п. 2, дополнительно содержащее слой отражающего материала, осажденный на одну из поверхности слоя EAL, ближайшей ко второй подложке, и второй подложки, обращенной к слою EAL.
4. Устройство по п. 1, в котором слой EAL включает в себя одно из множества ребер и множества выступов против залипания, проходящих к подложке.
5. Устройство по п. 1, в котором слой EAL включает в себя множество электрически изолированных электропроводных областей, относящихся к соответствующим элементам дисплея.
6. Устройство по п. 5, в котором электрически изолированные электропроводные области электрически соединены с участками соответствующих элементов дисплея.
7. Устройство по п. 1, дополнительно содержащее элементы рассеивания света, расположенные на оптических путях, проходящих
через апертуры, заданные слоем EAL.
8. Устройство по п. 7, в котором элементы рассеивания света включают в себя по меньшей мере одно из линзы и рассеивающего элемента.
9. Устройство по п. 7, в котором элемент рассеивания света включает в себя сформированный по шаблону диэлектрик.
10. Устройство по п. 1, в котором элементы дисплея включают в себя затворные элементы дисплея на основе микроэлектромеханических систем (MEMS).
11. Устройство по п. 1, дополнительно содержащее:
дисплей;
процессор, который выполнен с возможностью осуществлять связь с дисплеем, причем процессор выполнен с возможностью обрабатывать данные изображения; и
запоминающее устройство, которое выполнено с возможностью осуществлять связь с процессором.
12. Устройство по п. 11, дополнительно содержащее:
задающую схему, выполненную с возможностью отправлять по меньшей мере один сигнал дисплею; и причем
процессор дополнительно выполнен с возможностью отправлять по меньшей мере часть данных изображения задающей схеме.
13. Устройство по п. 11, дополнительно содержащее:
модуль источника изображения, выполненный с возможностью отправлять данные изображения процессору, причем модуль источника изображения включает в себя по меньшей мере один элемент из приемника, приемопередатчика и передатчика.
14. Устройство по п. 11, дополнительно содержащее:
устройство ввода, выполненное с возможностью принимать входные данные и сообщать входные данные процессору.
15. Способ формирования дисплейного устройства, содержащий этапы, на которых:
изготовляют множество элементов дисплея на лекале элемента дисплея, сформированном на подложке, причем элементы дисплея включают в себя соответствующие фиксаторы для поддержки участков соответствующих элементов дисплея над подложкой;
осаждают первый слой удаляемого материала поверх
изготовленных элементов дисплея;
формируют по шаблону первый слой удаляемого материала, чтобы открыть для воздействия фиксаторы элемента дисплея;
осаждают слой структурного материала поверх первого слоя удаляемого материала таким образом, что осажденный структурный материал осажден частично на открытых для воздействия фиксаторах дисплея;
формируют по шаблону слой структурного материала так, чтобы задать сквозь него множество апертур, соответствующих соответственным элементам дисплея, чтобы сформировать приподнятый апертурный слой (EAL); и
удаляют лекало элемента дисплея и первый слой удаляемого материала.
16. Способ по п. 15, дополнительно содержащий этапы, на которых осаждают второй слой удаляемого материала поверх первого слоя удаляемого материала и формируют по шаблону второй слой удаляемого материала, чтобы сформировать лекало для одного из множества ребер жесткости слоя EAL и множества выступов против залипания, проходящих от слоя EAL к подвешенным участкам соответствующих элементов дисплея.
17. Способ по п. 15, дополнительно содержащий этап, на котором приводят области слоя EAL в контакт с поверхностью второй подложки таким образом, что области слоя EAL приклеиваются к поверхности второй подложки.
18. Способ по п. 15, в котором слой структурного материала включает в себя электропроводный материал.
19. Способ по п. 18, в котором формирование по шаблону слоя структурного материала электрически изолирует соседние области слоя EAL, причем каждая электрически изолированная область слоя EAL электрически соединена с подвешенным участком соответствующего элемента дисплея.
20. Способ по п. 15, дополнительно содержащий этапы, на которых осаждают слой диэлектрика поверх слоя структурного материала и формируют по шаблону слой диэлектрика, чтобы задать элементы рассеивания света над апертурами, заданными сквозь слой структурного материала.
21. Устройство, содержащее:
подложку;
приподнятый апертурный слой (EAL), включающий в себя полимерный материал, инкапсулированный посредством структурного материала, расположенного над полимерным материалом и в контакте с ним, слой EAL задает множество апертур, сформированных сквозь него; и
множество элементов дисплея, помещенных между подложкой и слоем EAL, причем каждый элемент дисплея соответствующий соответственной апертуре из множества апертур.
22. Устройство по п. 21, дополнительно содержащее поглощающий свет слой, осажденный на поверхности слоя EAL.
23. Устройство по п. 21, в котором подложка включает в себя слой блокирующего свет материала.
24. Устройство по п. 23, в котором слой блокирующего свет материала задает множество апертур подложки, относящихся к соответствующим апертурам слоя EAL.
25. Устройство по п. 21, в котором слой EAL включает в себя первый структурный слой, первый полимерный слой и второй структурный слой таким образом, что первый структурный слой и второй структурный слой инкапсулируют первый полимерный слой.
26. Устройство по п. 21, в котором слой EAL включает в себя множество электрически изолированных электропроводных областей, относящихся к соответствующим элементам дисплея.
27. Устройство по п. 26, в котором электрически изолированные электропроводные области электрически соединены с участками соответствующего элемента дисплея.
28. Устройство по п. 27, в котором электрически изолированные электропроводные области электрически соединены с участками соответствующих элементов дисплея через фиксаторы, которые поддерживают соответствующие элементы дисплея над подложкой.
29. Устройство по п. 28, в котором фиксаторы, поддерживающие участки соответствующих элементов дисплея над подложкой, также поддерживает слой EAL над элементами дисплея.
30. Способ формирования дисплейного устройства, содержащий
этапы, на которых:
формируют множество элементов дисплея на лекале форме элемента дисплея, сформированной на подложке;
осаждают первый слой удаляемого материала поверх элементов дисплея;
формируют по шаблону первый слой удаляемого материала так, чтобы открыть для воздействия множество фиксаторов;
формируют приподнятый апертурный слой (EAL) над первым слоем удаляемого материала посредством:
осаждения первого слоя структурного материала поверх первого слоя удаляемого материала таким образом, что осажденный структурный материал осаждается частично на открытые для воздействия фиксаторы;
формирования по шаблону первого слоя структурного материала, чтобы задать множество нижних апертур слоя EAL, соответствующим соответственным элементам дисплея;
осаждения слоя полимерного материала поверх первого слоя структурного материала;
формирования по шаблону слоя полимерного материала, чтобы задать множество средних апертур слоя EAL, по существу выровненных с соответствующими нижними апертурами слоя EAL;
осаждения второго слоя структурного материала поверх слоя полимерного материала, чтобы инкапсулировать слой полимерного материала между первым слоем структурного материала и вторым слоем структурного материала; и
формирования по шаблону второго слоя структурного материала, чтобы задать множество верхних апертур слоя EAL, по существу выровненных с соответствующими средними и нижними апертурами слоя EAL; и
удаления лекала элемента дисплея и первого слоя удаляемого материала.
31. Способ по п. 30, в котором открытые для воздействия фиксаторы поддерживают участки соответствующих элементов дисплея над подложкой.
32. Способ по п. 30, в котором открытые для воздействия фиксаторы отличаются от набора фиксаторов, поддерживающих
участки элементов дисплея над подложкой.
33. Способ по п. 30, дополнительно содержащий этап, на котором осаждают по меньшей мере один слой из поглощающего свет слоя или отражающего свет слоя поверх второго слоя структурного материала.
34. Устройство по п. 21, в котором структурный материал находится в контакте со всеми поверхностями полимерного материала.
RU2015144232A 2013-03-15 2014-03-03 Интегрированный приподнятый апертурный слой и дисплейное устройство RU2015144232A (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US13/842,436 2013-03-15
US13/842,436 US20140268273A1 (en) 2013-03-15 2013-03-15 Integrated elevated aperture layer and display apparatus
PCT/US2014/019900 WO2014149619A1 (en) 2013-03-15 2014-03-03 Integrated elevated aperture layer and display apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2015144232A true RU2015144232A (ru) 2017-04-21

Family

ID=50424716

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015144232A RU2015144232A (ru) 2013-03-15 2014-03-03 Интегрированный приподнятый апертурный слой и дисплейное устройство

Country Status (17)

Country Link
US (1) US20140268273A1 (ru)
EP (1) EP2972554A1 (ru)
JP (1) JP2016512898A (ru)
KR (1) KR20150131245A (ru)
CN (1) CN105051588B (ru)
AR (1) AR095546A1 (ru)
AU (1) AU2014237972A1 (ru)
BR (1) BR112015023805A2 (ru)
CA (1) CA2900407A1 (ru)
HK (1) HK1212453A1 (ru)
IL (1) IL240208A0 (ru)
PH (1) PH12015502139A1 (ru)
RU (1) RU2015144232A (ru)
SG (1) SG11201506083PA (ru)
TW (1) TWI576309B (ru)
WO (1) WO2014149619A1 (ru)
ZA (1) ZA201507668B (ru)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9181086B1 (en) 2012-10-01 2015-11-10 The Research Foundation For The State University Of New York Hinged MEMS diaphragm and method of manufacture therof
US9897796B2 (en) 2014-04-18 2018-02-20 Snaptrack, Inc. Encapsulated spacers for electromechanical systems display apparatus
JP2017015766A (ja) * 2015-06-26 2017-01-19 富士フイルム株式会社 画像表示装置
US9818347B2 (en) 2016-03-29 2017-11-14 Snaptrack, Inc. Display apparatus including self-tuning circuits for controlling light modulators
JP6770991B2 (ja) 2018-03-26 2020-10-21 株式会社城南製作所 ウインドレギュレータ
EP3793216B1 (en) * 2019-09-13 2023-12-06 ams International AG Membrane structure, transducer device and method of producing a membrane structure

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5062689A (en) * 1990-08-21 1991-11-05 Koehler Dale R Electrostatically actuatable light modulating device
JPH1039239A (ja) * 1996-07-18 1998-02-13 Ricoh Co Ltd 空間光変調素子
US6873098B2 (en) * 1998-12-22 2005-03-29 Alton O. Christensen, Sr. Electroluminescent devices and displays with integrally fabricated address and logic devices fabricated by printing or weaving
DE10247487A1 (de) * 2002-10-11 2004-05-06 Infineon Technologies Ag Membran und Verfahren zu deren Herstellung
JP2005004077A (ja) * 2003-06-13 2005-01-06 Ricoh Co Ltd 光変調装置およびその駆動方法
US20060067650A1 (en) * 2004-09-27 2006-03-30 Clarence Chui Method of making a reflective display device using thin film transistor production techniques
US7368803B2 (en) * 2004-09-27 2008-05-06 Idc, Llc System and method for protecting microelectromechanical systems array using back-plate with non-flat portion
US7349136B2 (en) * 2004-09-27 2008-03-25 Idc, Llc Method and device for a display having transparent components integrated therein
US7999994B2 (en) * 2005-02-23 2011-08-16 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
CN102060258B (zh) * 2005-02-23 2013-07-10 皮克斯特隆尼斯有限公司 微电子机械快门组件
US20080158635A1 (en) * 2005-02-23 2008-07-03 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
WO2007013939A1 (en) * 2005-07-22 2007-02-01 Qualcomm Incorporated Support structure for mems device and methods therefor
CN102116964B (zh) * 2006-04-04 2015-07-29 夏普株式会社 液晶显示装置
US7852546B2 (en) * 2007-10-19 2010-12-14 Pixtronix, Inc. Spacers for maintaining display apparatus alignment
EP2015354A1 (en) * 2007-07-11 2009-01-14 S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies Method for recycling a substrate, laminated wafer fabricating method and suitable recycled donor substrate
US20100181652A1 (en) * 2009-01-16 2010-07-22 Honeywell International Inc. Systems and methods for stiction reduction in mems devices
KR101614463B1 (ko) * 2009-11-05 2016-04-22 삼성디스플레이 주식회사 멤스 소자를 이용한 표시 장치 및 그 제조 방법
US8681297B2 (en) * 2010-02-24 2014-03-25 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display panel, and liquid crystal display device
US20120242638A1 (en) * 2011-03-24 2012-09-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Dielectric spacer for display devices
KR20120111809A (ko) * 2011-04-01 2012-10-11 삼성디스플레이 주식회사 표시장치
JP5801602B2 (ja) * 2011-05-12 2015-10-28 ピクストロニクス,インコーポレイテッド 画像表示装置
JP5798373B2 (ja) * 2011-05-12 2015-10-21 ピクストロニクス,インコーポレイテッド 表示装置
KR20120129256A (ko) * 2011-05-19 2012-11-28 삼성디스플레이 주식회사 표시 기판, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 표시 패널
US9213181B2 (en) * 2011-05-20 2015-12-15 Pixtronix, Inc. MEMS anchor and spacer structure
JP5856758B2 (ja) * 2011-05-23 2016-02-10 ピクストロニクス,インコーポレイテッド 表示装置及びその製造方法
JP5856760B2 (ja) * 2011-06-03 2016-02-10 ピクストロニクス,インコーポレイテッド 表示装置及び表示装置の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
ZA201507668B (en) 2017-11-29
SG11201506083PA (en) 2015-09-29
IL240208A0 (en) 2015-09-24
JP2016512898A (ja) 2016-05-09
KR20150131245A (ko) 2015-11-24
TWI576309B (zh) 2017-04-01
WO2014149619A1 (en) 2014-09-25
CN105051588A (zh) 2015-11-11
CN105051588B (zh) 2018-01-05
CA2900407A1 (en) 2014-09-25
HK1212453A1 (en) 2016-06-10
AR095546A1 (es) 2015-10-28
TW201500272A (zh) 2015-01-01
AU2014237972A1 (en) 2015-09-24
US20140268273A1 (en) 2014-09-18
PH12015502139A1 (en) 2016-01-25
EP2972554A1 (en) 2016-01-20
BR112015023805A2 (pt) 2017-07-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2015144232A (ru) Интегрированный приподнятый апертурный слой и дисплейное устройство
KR102057568B1 (ko) 지문인식센서가 결합된 디스플레이 장치
TWI635601B (zh) 製造被動光學元件的方法及包含該元件的裝置
KR101552974B1 (ko) 양면 패턴된 투명 전도성 필름 및 이의 제조 방법
TWI610150B (zh) 製造導電網孔圖樣之方法、以該方法製造之網狀電極及層板
TWI638470B (zh) 具有屏蔽以減少光漏或漫射光的光電模組及此模組之製造方法
WO2010090429A3 (ko) 입체영상 표시장치용 광학필터 제조방법
CN206584063U (zh) 一种基于表面等离激元的光谱成像微滤光片
US20120287507A1 (en) Wire grid polarizers, methods of fabricating a wire grid polarizer, and display panels including a wire grid polarizer
CN102809876A (zh) 相机模块及其制造方法
CN106653742B (zh) 邻近传感器、电子设备以及制造邻近传感器的方法
RU2011118455A (ru) Датчик направленности света
CN104541155A (zh) 表面增强拉曼散射元件
CN106441565A (zh) 一种集成式带通滤波器及其制造方法和光谱仪
CN102007433B (zh) 薄膜悬浮光学元件及相关方法
KR20140141469A (ko) 터치 스크린 전도성 필름 및 그 제조 방법
JP4509178B2 (ja) 光電気混載基板の製造方法
US10877239B2 (en) Optical element stack assemblies
CN104267857B (zh) 光电感测阵列、制作光电感测阵列的方法及显示装置
JP2013026565A5 (ru)
CN105137658B (zh) 柔性基板的制作方法
CN107425030A (zh) 光学晶片的制造
CN109314061A (zh) 通孔器件的制作方法、生物特征识别模组及终端设备
US8658049B2 (en) Method for manufacturing a touch panel
WO2014201754A1 (zh) 隔垫物的制作方法、基板、显示装置及电子产品