RU2011118455A - Датчик направленности света - Google Patents

Датчик направленности света Download PDF

Info

Publication number
RU2011118455A
RU2011118455A RU2011118455/07A RU2011118455A RU2011118455A RU 2011118455 A RU2011118455 A RU 2011118455A RU 2011118455/07 A RU2011118455/07 A RU 2011118455/07A RU 2011118455 A RU2011118455 A RU 2011118455A RU 2011118455 A RU2011118455 A RU 2011118455A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
light
matrix
absorbing
structures
sensor according
Prior art date
Application number
RU2011118455/07A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2538428C2 (ru
Inventor
БОММЕЛ Тис ВАН (NL)
БОММЕЛ Тис ВАН
Эдуард Й. МЕЙЕР (NL)
Эдуард Й. МЕЙЕР
Рифат А. М. ХИКМЕТ (NL)
Рифат А. М. ХИКМЕТ
СПРАНГ Хендрик А. ВАН (NL)
СПРАНГ Хендрик А. ВАН
Маркус А. ВЕРСХЮИРЕН (NL)
Маркус А. ВЕРСХЮИРЕН
Original Assignee
Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. (Nl)
Конинклейке Филипс Электроникс Н.В.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. (Nl), Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. filed Critical Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. (Nl)
Publication of RU2011118455A publication Critical patent/RU2011118455A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2538428C2 publication Critical patent/RU2538428C2/ru

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14601Structural or functional details thereof
    • H01L27/1462Coatings
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/02Details
    • G01J1/04Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/02Details
    • G01J1/04Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
    • G01J1/0407Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/02Details
    • G01J1/04Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
    • G01J1/0407Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
    • G01J1/0429Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings using polarisation elements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/02Details
    • G01J1/04Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
    • G01J1/06Restricting the angle of incident light
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • G01J1/4257Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S3/00Direction-finders for determining the direction from which infrasonic, sonic, ultrasonic, or electromagnetic waves, or particle emission, not having a directional significance, are being received
    • G01S3/78Direction-finders for determining the direction from which infrasonic, sonic, ultrasonic, or electromagnetic waves, or particle emission, not having a directional significance, are being received using electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S3/782Systems for determining direction or deviation from predetermined direction
    • G01S3/783Systems for determining direction or deviation from predetermined direction using amplitude comparison of signals derived from static detectors or detector systems
    • G01S3/784Systems for determining direction or deviation from predetermined direction using amplitude comparison of signals derived from static detectors or detector systems using a mosaic of detectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14601Structural or functional details thereof
    • H01L27/14625Optical elements or arrangements associated with the device
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14683Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
    • H01L27/14685Process for coatings or optical elements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/02Details
    • G01J1/04Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
    • G01J1/06Restricting the angle of incident light
    • G01J2001/061Baffles

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

1. Датчик направленности света, содержащий: ! - фотодатчик (2), содержащий множество фоточувствительных элементов (3), каждый из которых предназначен для восприятия силы света; и ! - множество светопоглощающих структур (1) выбора света, размещаемых на упомянутом фотодатчике так, чтобы формировать матрицу светопоглощающих структур выбора света, при этом последовательность из, по меньшей мере, некоторых из светопоглощающих структур выбора света имеет варьирующиеся структурные характеристики посредством размещения каждой отдельной структуры последовательности так, что она дает возможность восприятия света в пределах различных и перекрывающихся интервалов углов относительно матрицы. ! 2. Датчик направленности света по п.1, в котором структурные характеристики являются одними в группе, состоящей из следующего: ! - разнесение между светопоглощающими структурами выбора света, ! - высота светопоглощающей структуры выбора света, и ! - геометрическая форма светопоглощающей структуры выбора света. ! 3. Датчик направленности света по п.1, дополнительно содержащий структуру (4) блокирования электромагнитного излучения. ! 4. Датчик направленности света по п.1, дополнительно содержащий цветной фильтр (11) для фильтрации света по диапазону длин волн. !5. Датчик направленности света по п.1, дополнительно содержащий фильтр (12) цветовой температуры для фильтрации света по диапазону цветовых температур. ! 6. Датчик направленности света по п.1, дополнительно содержащий поляризующий фильтр (13) для фильтрации света определенной поляризации. ! 7. Способ для формирования датчика направленности света, при этом способ содержит этапы, на кото

Claims (15)

1. Датчик направленности света, содержащий:
- фотодатчик (2), содержащий множество фоточувствительных элементов (3), каждый из которых предназначен для восприятия силы света; и
- множество светопоглощающих структур (1) выбора света, размещаемых на упомянутом фотодатчике так, чтобы формировать матрицу светопоглощающих структур выбора света, при этом последовательность из, по меньшей мере, некоторых из светопоглощающих структур выбора света имеет варьирующиеся структурные характеристики посредством размещения каждой отдельной структуры последовательности так, что она дает возможность восприятия света в пределах различных и перекрывающихся интервалов углов относительно матрицы.
2. Датчик направленности света по п.1, в котором структурные характеристики являются одними в группе, состоящей из следующего:
- разнесение между светопоглощающими структурами выбора света,
- высота светопоглощающей структуры выбора света, и
- геометрическая форма светопоглощающей структуры выбора света.
3. Датчик направленности света по п.1, дополнительно содержащий структуру (4) блокирования электромагнитного излучения.
4. Датчик направленности света по п.1, дополнительно содержащий цветной фильтр (11) для фильтрации света по диапазону длин волн.
5. Датчик направленности света по п.1, дополнительно содержащий фильтр (12) цветовой температуры для фильтрации света по диапазону цветовых температур.
6. Датчик направленности света по п.1, дополнительно содержащий поляризующий фильтр (13) для фильтрации света определенной поляризации.
7. Способ для формирования датчика направленности света, при этом способ содержит этапы, на которых:
- применяют растворитель (6), содержащий частицы блокирования электромагнитного излучения на подложке (5), чтобы формировать слой на подложке, причем подложка содержит фотодатчик, содержащий множество фоточувствительных элементов, каждый из которых предназначен для восприятия силы света; и
- формируют слой в матрицу твердотельных структур (7) выбора света на подложке, при этом последовательность из, по меньшей мере, некоторых из светопоглощающих структур выбора света обеспечена варьирующими структурными характеристиками посредством формирования каждой отдельной структуры последовательности так, что она дает возможность восприятия света в пределах различных и перекрывающихся интервалов углов относительно матрицы.
8. Способ по п.7, в котором структурные характеристики являются одними из группы, состоящей из:
- разнесения между светопоглощающими структурами выбора света,
- высоты светопоглощающей структуры выбора света, и
- геометрической формы светопоглощающей структуры выбора света.
9. Способ по п.7, в котором этап формирования слоя в матрицу структур выбора света на подложке выполняется с использованием процесса микрообработки.
10. Способ по п.9, в котором процессом микрообработки является процесс формовки, процесс тиснения или литографический процесс.
11. Способ по п.10, в котором процесс тиснения выполняется с использованием штемпеля (9), изготовленного из гибкого материала.
12. Способ по п.7, дополнительно содержащий этап, на котором травят матрицу твердотельных структур выбора света.
13. Способ по п.12, в котором этап травления матрицы твердотельных структур выбора света содержит использование одного или более из реактивного ионного травления и ионно-лучевого травления.
14. Способ по п.7, дополнительно содержащий этап, на котором наносят рентгенопрозрачный материал (8) на матрицу твердотельных структур выбора света.
15. Матрица датчиков (10) направленности света по любому из пп.1-6, в которой датчики направленности света в матрице размещаются так, что, по меньшей мере, некоторые из датчиков направленности света ориентированы по-разному относительно друг друга.
RU2011118455/28A 2008-10-10 2009-10-06 Датчик направленности света RU2538428C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP08166294.2 2008-10-10
EP08166294 2008-10-10
PCT/IB2009/054375 WO2010041198A1 (en) 2008-10-10 2009-10-06 Light directionality sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2011118455A true RU2011118455A (ru) 2012-11-20
RU2538428C2 RU2538428C2 (ru) 2015-01-10

Family

ID=41426269

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011118455/28A RU2538428C2 (ru) 2008-10-10 2009-10-06 Датчик направленности света

Country Status (8)

Country Link
US (1) US8462325B2 (ru)
EP (1) EP2342578B1 (ru)
JP (1) JP5539998B2 (ru)
KR (1) KR101633637B1 (ru)
CN (1) CN102177442B (ru)
RU (1) RU2538428C2 (ru)
TW (1) TW201022701A (ru)
WO (1) WO2010041198A1 (ru)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5663900B2 (ja) 2010-03-05 2015-02-04 セイコーエプソン株式会社 分光センサー装置及び電子機器
JP5862025B2 (ja) * 2011-03-16 2016-02-16 セイコーエプソン株式会社 光学センサー及び電子機器
JP6015034B2 (ja) * 2012-03-07 2016-10-26 セイコーエプソン株式会社 光学センサー及び電子機器
EP2847797B1 (en) 2012-05-11 2018-04-04 Nxp B.V. Integrated circuit with directional light sensor, device including such an ic
EP2662895B1 (en) * 2012-05-11 2014-06-25 Nxp B.V. Integrated circuit including a directional light sensor
US9116046B2 (en) * 2013-03-15 2015-08-25 Infineon Technologies Austria Ag Device and method for determining a direction from a surface of one or more photodetector elements of an integrated circuit to a source providing electromagnetic waves and method for manufacturing an device
CN104393931B (zh) * 2014-11-17 2018-12-25 北京智谷睿拓技术服务有限公司 可见光信号接收控制方法、控制装置及接收设备
CN106160856B (zh) * 2015-04-07 2019-06-18 北京智谷睿拓技术服务有限公司 可见光信号接收控制方法及控制装置、可见光信号接收设备
CN106159093B (zh) * 2015-04-20 2018-10-16 北京纳米能源与系统研究所 柔性光传感器及其制备方法
RU2602399C1 (ru) * 2015-05-15 2016-11-20 Вячеслав Данилович Глазков Способ и устройство формирования апертурной характеристики датчика угловой позиции отдалённого источника излучения
CN108510755A (zh) * 2017-03-07 2018-09-07 詹水旺 一种自动识别违规使用汽车远光灯的方法
US10620054B2 (en) * 2018-05-09 2020-04-14 Wisconsin Alumni Research Foundation Wavefront detector

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4874938A (en) 1988-03-16 1989-10-17 Prospects Corp. Automatic motor vehicle visor system
JPH01270607A (ja) 1988-04-22 1989-10-27 Nec Corp 光方向指示装置
JPH05256691A (ja) 1992-03-13 1993-10-05 Fujitsu Ltd 赤外線検知素子用アパーチャおよびその取り付け方法
US5428215A (en) 1994-05-27 1995-06-27 Her Majesty The Queen In Right Of Canada, As Represented By Minister Of National Defence Of Her Majesty's Canadian Government Digital high angular resolution laser irradiation detector (HARLID)
JPH0843200A (ja) 1994-07-29 1996-02-16 Sanyo Electric Co Ltd 光軸センサ
FR2726903B1 (fr) 1994-11-10 1996-12-06 Thomson Csf Ecartometre integre
US5745229A (en) * 1996-01-02 1998-04-28 Lj Laboratories, L.L.C. Apparatus for determining optical characteristics of an object
JP3692665B2 (ja) 1996-11-12 2005-09-07 三菱電機株式会社 照度センサおよびその照度センサを利用した照度制御装置
US6521882B1 (en) * 1998-03-27 2003-02-18 Denso Corporation Optical sensor with directivity controlled
US6362888B1 (en) 1999-12-23 2002-03-26 Lj Laboratories, L.L.C. Spectrometer assembly
JP2001318154A (ja) * 2000-05-10 2001-11-16 Shimadzu Corp 放射線検出器とその製造方法及びx線ct装置のデータ補正方法
US6783900B2 (en) * 2002-05-13 2004-08-31 Micron Technology, Inc. Color filter imaging array and method of formation
JP4639081B2 (ja) 2002-05-27 2011-02-23 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ スタンプから基板にパターンを転写する方法及び装置
US6770865B2 (en) 2002-06-20 2004-08-03 Engineered Support Systems, Inc. Systems, methods, and devices for detecting light and determining its source
EP1852716A3 (en) 2002-10-07 2007-11-14 Hitachi, Ltd. Radiation detector, radiation detector element, and radiation imaging apparatus
RU43086U1 (ru) * 2004-06-29 2004-12-27 Великанов Александр Владимирович Фильтр направления излучения
ATE385044T1 (de) 2005-09-19 2008-02-15 Fiat Ricerche Multifunktioneller optischer sensor mit einer an mikrolinsen gekoppelten matrix von photodetektoren
US7751667B2 (en) 2005-12-21 2010-07-06 Xerox Corporation Microfabricated light collimating screen
CN100579451C (zh) * 2006-04-21 2010-01-13 佳能株式会社 成像装置、放射线成像装置和放射线成像系统
US7466002B2 (en) 2006-06-19 2008-12-16 Mitutoyo Corporation Incident light angle detector for light sensitive integrated circuit
JP2008016967A (ja) * 2006-07-03 2008-01-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光空間伝送システムに用いる光受信装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW201022701A (en) 2010-06-16
WO2010041198A1 (en) 2010-04-15
US20110242526A1 (en) 2011-10-06
EP2342578B1 (en) 2014-08-20
KR20110069856A (ko) 2011-06-23
RU2538428C2 (ru) 2015-01-10
CN102177442B (zh) 2014-10-22
CN102177442A (zh) 2011-09-07
JP2012505540A (ja) 2012-03-01
US8462325B2 (en) 2013-06-11
KR101633637B1 (ko) 2016-06-27
EP2342578A1 (en) 2011-07-13
JP5539998B2 (ja) 2014-07-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2011118455A (ru) Датчик направленности света
JP2020537193A (ja) 透過型メタサーフェスレンズ統合
JP2009134287A5 (ru)
US20150234102A1 (en) Dynamically focusable multispectral light field imaging
WO2016197145A1 (en) Subwavelength structured lens, use and methods of making the same
US9952367B2 (en) Wire grid polarizer and manufacturing method thereof, and display device
EP3036775B1 (en) Opto-electronic unit composed of an opto-photonic platform for light processing, photonic converters and one or more light-to-electricity converters to form a solar light converter
JP2015015295A5 (ru)
WO2010090429A3 (ko) 입체영상 표시장치용 광학필터 제조방법
JP2006049721A5 (ru)
CN102362547A (zh) 发光器件
US9240428B1 (en) Image sensor and manufacturing method thereof
CN208705505U (zh) 一种集成有聚光和滤光功能的一体式微透镜
US9933601B2 (en) Stacked wafer lens and camera
CN102969321A (zh) 相机模块的制造方法
US20090284837A1 (en) Method and apparatus providing uniform separation of lens wafer and structure bonded thereto
US20090206430A1 (en) Solid-state imaging device and method for manufacturing the same
KR20170072255A (ko) 광학 소자 스택 어셈블리들
TW200727465A (en) Microlens structure for image sensors
CN101523245B (zh) 成形体及其制造方法
JP2016528527A (ja) 変換要素の製造方法
WO2011016650A3 (ko) 광학소자의 투광부 패키지 방법 및 장치
CN104253307B (zh) 超材料复合结构及其制造方法
KR20130045029A (ko) 표시 패널 및 그 제조 방법
JP2011221124A (ja) 光学的ローパスフィルタ及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
PD4A Correction of name of patent owner
PC41 Official registration of the transfer of exclusive right

Effective date: 20170331