RU2014100407A

RU2014100407A - Способ получения углеродных нанотрубок

Info

Publication number: RU2014100407A
Application number: RU2014100407/02A
Authority: RU
Inventors: Вячеслав Евгеньевич Архипов; Артем Владимирович Гусельников; Александр Владимирович Окотруб; Александр Леонидович Смирнов; Геннадий Николаевич Грачев; Сергей Николаевич Багаев
Priority date: 2014-01-09
Filing date: 2014-01-09
Publication date: 2015-07-20
Also published as: RU2561616C2

Abstract

1. Способ получения углеродных нанотрубок, включающий напыление на обрабатываемые подложки углеродных пленок, содержащих названные углеродные нанотрубки, отличающийся тем, что формируют поток рабочего газа, содержащего газ-носитель, газообразный углеводород и летучий предшественник катализатора, который направляют на обрабатываемую поверхность подложки, при этом вдоль потока рабочего газа направляют инфракрасное лазерное импульсное излучение, мощность которого достаточна для активации названного потока рабочего газа и локального нагрева поверхности подложки, причем поток рабочего газа перемещают над обрабатываемой поверхностью подложки.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что на обрабатываемую поверхность подложки дополнительно направляют поток инертного газа при его давлении выше, чем давление потока рабочего газа.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что поток рабочего газа формируют в реакционной камере, выполненной с возможностью перемещения над обрабатываемой поверхностью подложки.4. Способ по п.1, отличающийся тем, что локальный нагрев поверхности подложки достигает температуры 600-1000°C.

Claims

1. Способ получения углеродных нанотрубок, включающий напыление на обрабатываемые подложки углеродных пленок, содержащих названные углеродные нанотрубки, отличающийся тем, что формируют поток рабочего газа, содержащего газ-носитель, газообразный углеводород и летучий предшественник катализатора, который направляют на обрабатываемую поверхность подложки, при этом вдоль потока рабочего газа направляют инфракрасное лазерное импульсное излучение, мощность которого достаточна для активации названного потока рабочего газа и локального нагрева поверхности подложки, причем поток рабочего газа перемещают над обрабатываемой поверхностью подложки.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что на обрабатываемую поверхность подложки дополнительно направляют поток инертного газа при его давлении выше, чем давление потока рабочего газа.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что поток рабочего газа формируют в реакционной камере, выполненной с возможностью перемещения над обрабатываемой поверхностью подложки.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что локальный нагрев поверхности подложки достигает температуры 600-1000°C.