RU2013150131A - Lcst-полимеры - Google Patents
Lcst-полимеры Download PDFInfo
- Publication number
- RU2013150131A RU2013150131A RU2013150131/04A RU2013150131A RU2013150131A RU 2013150131 A RU2013150131 A RU 2013150131A RU 2013150131/04 A RU2013150131/04 A RU 2013150131/04A RU 2013150131 A RU2013150131 A RU 2013150131A RU 2013150131 A RU2013150131 A RU 2013150131A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- formula
- compounds
- molded product
- cloud point
- compound
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G65/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule
- C08G65/02—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from cyclic ethers by opening of the heterocyclic ring
- C08G65/30—Post-polymerisation treatment, e.g. recovery, purification, drying
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D171/00—Coating compositions based on polyethers obtained by reactions forming an ether link in the main chain; Coating compositions based on derivatives of such polymers
- C09D171/02—Polyalkylene oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F20/00—Homopolymers and copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride, ester, amide, imide or nitrile thereof
- C08F20/02—Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms, Derivatives thereof
- C08F20/10—Esters
- C08F20/22—Esters containing halogen
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F20/00—Homopolymers and copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride, ester, amide, imide or nitrile thereof
- C08F20/02—Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms, Derivatives thereof
- C08F20/10—Esters
- C08F20/34—Esters containing nitrogen, e.g. N,N-dimethylaminoethyl (meth)acrylate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G65/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule
- C08G65/02—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from cyclic ethers by opening of the heterocyclic ring
- C08G65/26—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from cyclic ethers by opening of the heterocyclic ring from cyclic ethers and other compounds
- C08G65/2618—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from cyclic ethers by opening of the heterocyclic ring from cyclic ethers and other compounds the other compounds containing nitrogen
- C08G65/2621—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from cyclic ethers by opening of the heterocyclic ring from cyclic ethers and other compounds the other compounds containing nitrogen containing amine groups
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G65/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule
- C08G65/02—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from cyclic ethers by opening of the heterocyclic ring
- C08G65/26—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from cyclic ethers by opening of the heterocyclic ring from cyclic ethers and other compounds
- C08G65/2618—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from cyclic ethers by opening of the heterocyclic ring from cyclic ethers and other compounds the other compounds containing nitrogen
- C08G65/2633—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from cyclic ethers by opening of the heterocyclic ring from cyclic ethers and other compounds the other compounds containing nitrogen the other compounds containing amide groups
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G65/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule
- C08G65/02—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from cyclic ethers by opening of the heterocyclic ring
- C08G65/26—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from cyclic ethers by opening of the heterocyclic ring from cyclic ethers and other compounds
- C08G65/2639—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from cyclic ethers by opening of the heterocyclic ring from cyclic ethers and other compounds the other compounds containing elements other than oxygen, nitrogen or sulfur
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G65/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule
- C08G65/02—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from cyclic ethers by opening of the heterocyclic ring
- C08G65/32—Polymers modified by chemical after-treatment
- C08G65/329—Polymers modified by chemical after-treatment with organic compounds
- C08G65/331—Polymers modified by chemical after-treatment with organic compounds containing oxygen
- C08G65/332—Polymers modified by chemical after-treatment with organic compounds containing oxygen containing carboxyl groups, or halides, or esters thereof
- C08G65/3322—Polymers modified by chemical after-treatment with organic compounds containing oxygen containing carboxyl groups, or halides, or esters thereof acyclic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G65/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule
- C08G65/02—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from cyclic ethers by opening of the heterocyclic ring
- C08G65/32—Polymers modified by chemical after-treatment
- C08G65/329—Polymers modified by chemical after-treatment with organic compounds
- C08G65/331—Polymers modified by chemical after-treatment with organic compounds containing oxygen
- C08G65/332—Polymers modified by chemical after-treatment with organic compounds containing oxygen containing carboxyl groups, or halides, or esters thereof
- C08G65/3324—Polymers modified by chemical after-treatment with organic compounds containing oxygen containing carboxyl groups, or halides, or esters thereof cyclic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
- C08J7/04—Coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
- C08J7/12—Chemical modification
- C08J7/16—Chemical modification with polymerisable compounds
- C08J7/18—Chemical modification with polymerisable compounds using wave energy or particle radiation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
- Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
- Polyoxymethylene Polymers And Polymers With Carbon-To-Carbon Bonds (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Processes Of Treating Macromolecular Substances (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Other Resins Obtained By Reactions Not Involving Carbon-To-Carbon Unsaturated Bonds (AREA)
- Polyesters Or Polycarbonates (AREA)
- Polyethers (AREA)
Abstract
1. Соединения общей формулы (I):,в которойRи R(независимо друг от друга) означают водород или алкильный остаток, в частности метил,А означает остаток, содержащий остатки А1 и А2, причем:А1 означаетА2 означаетR-Rодинаковые или разные и означают водород, алкил с 1-5 атомами углерода, в частности метил, этил или пропил, или арил, в частности фенил,l означает 1 или 0,m означает 1 или 0, причем (l+m) означает по меньшей мере 1,n означает число от 1 до 100,o означает число от 0 до 5,p означает число от 0 до 5, причем (o+p) означает число от 3 до 5,q означает число от 1 до 100,или А2 означает один из следующих остатков:отличающиеся тем, что температура помутнения соединений формулы (I) согласно немецкому стандарту DIN EN 1890 (сентябрь 2006, метод Е) составляет от 40 до 80°С, в частности от 60 до 80°С, причем структурные единицы А2 находятся на концах остатка А.2. Соединения по п.1, отличающиеся тем, что А состоит из остатков А1 и А2.3. Соединения по п.1 или 2, отличающиеся тем, что А1 означает один из следующих остатков:4. Соединения по п.1 или 2, отличающиеся тем, что А2 означает остаток:5. Соединения по п.1, отличающиеся тем, что А обладает одной из следующих структур:-(PO)-(EO)-(PO)или-(pTHF-)-(EO)-(pTHF)-,в которых ЕО, РО и pTHF такие, как указано в пп.2 и 3,х и z одинаковые или разные и означают число от 1 до 100, в частности от 1 до 10, иy означает число от 1 до 100, в частности от 10 до 90.6. Соединения по п.5, отличающиеся тем, чтоx и z одинаковые или разные и означают число от 5 до 20, иy означает число от 60 до 80, в частности от 65 до 75.7. Применение соединений по одному из пп.1-6 для получения покрытий путем нанесения соединений на поверхность подложки и полимеризации.8. Способ получения покрытий на основе соединения формулы (I) п
Claims (14)
1. Соединения общей формулы (I):
в которой
R1 и R2 (независимо друг от друга) означают водород или алкильный остаток, в частности метил,
А означает остаток, содержащий остатки А1 и А2, причем:
R3-R6 одинаковые или разные и означают водород, алкил с 1-5 атомами углерода, в частности метил, этил или пропил, или арил, в частности фенил,
l означает 1 или 0,
m означает 1 или 0, причем (l+m) означает по меньшей мере 1,
n означает число от 1 до 100,
o означает число от 0 до 5,
p означает число от 0 до 5, причем (o+p) означает число от 3 до 5,
q означает число от 1 до 100,
или А2 означает один из следующих остатков:
отличающиеся тем, что температура помутнения соединений формулы (I) согласно немецкому стандарту DIN EN 1890 (сентябрь 2006, метод Е) составляет от 40 до 80°С, в частности от 60 до 80°С, причем структурные единицы А2 находятся на концах остатка А.
2. Соединения по п.1, отличающиеся тем, что А состоит из остатков А1 и А2.
5. Соединения по п.1, отличающиеся тем, что А обладает одной из следующих структур:
-(PO)x-(EO)y-(PO)z или
-(pTHF-)x-(EO)y-(pTHF)z-,
в которых ЕО, РО и pTHF такие, как указано в пп.2 и 3,
х и z одинаковые или разные и означают число от 1 до 100, в частности от 1 до 10, и
y означает число от 1 до 100, в частности от 10 до 90.
6. Соединения по п.5, отличающиеся тем, что
x и z одинаковые или разные и означают число от 5 до 20, и
y означает число от 60 до 80, в частности от 65 до 75.
7. Применение соединений по одному из пп.1-6 для получения покрытий путем нанесения соединений на поверхность подложки и полимеризации.
8. Способ получения покрытий на основе соединения формулы (I) по одному из пп.1-6 на поверхности формованного изделия из плавкой подложки S, в частности на волокнах в соответствии с технологией формования из расплава или пленках после экструзии, причем:
a) подложку переводят в расплавленную форму,
b) расплавленную подложку формуют посредством пригодного устройства V, предпочтительно фильеры или щели, получая формованное изделие, в частности волокно или пленку, причем
c) формованное изделие на выходе из устройства V обладает температурой, превышающей температуру помутнения соединения формулы (I), и
d) поверхность формованного изделия приводят в контакт с соединением формулы (I) при его осаждении, выполняемом при температуре выше температуры помутнения,
отличающийся тем, что после осаждения на поверхности инициируют полимеризацию соединения формулы (I) по двойным связям с образованием на поверхности предпочтительно сшитого покрытия.
9. Способ по п.8, отличающийся тем, что
- формованное изделие после выхода из устройства V направляют в предпочтительно водяную ванну, содержащую соединение формулы (I) и при необходимости инициатор полимеризации, причем температура формованного изделия при поступлении в ванну превышает температуру помутнения,
- соединение формулы (I) осаждается на формованном изделии,
- ванна обладает температурой ниже температуры помутнения, и
- полимеризацию осуществляют при температуре ниже температуры помутнения, или
- после осаждения предлагаемых в изобретении соединений формулы (I) на поверхности осуществляют их полимеризацию по двойным связям посредством фотополимеризации.
10. Способ по п.8, отличающийся тем, что формованное изделие с температурой выше температуры помутнения непосредственно после выхода из устройства V направляют в распылительное устройство, в котором его орошают соединением формулы (I) предпочтительно в виде водного раствора при осаждении соединения формулы (I) на поверхности подложки, причем температура распыляемого полимера ниже температуры помутнения.
11. Способ по п.8, отличающийся тем, что подложкой является полиамид, сложный полиэфир, полипропилен или полиуретан.
12. Способ по п.8, отличающийся тем, что формованное изделие после нанесения покрытия растягивают и наматывают.
13. Способ по одному из пп.8-12, отличающийся тем, что подложкой является стекло, сталь или древесина.
14. Способ по п.9, отличающийся тем, что полимеризацию по двойным связям осуществляют после обработки в ванне В.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP11162121.5 | 2011-04-12 | ||
EP11162121 | 2011-04-12 | ||
PCT/EP2012/056548 WO2012140059A1 (de) | 2011-04-12 | 2012-04-11 | Lcst-polymere |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2013150131A true RU2013150131A (ru) | 2015-05-20 |
Family
ID=45932355
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2013150131/04A RU2013150131A (ru) | 2011-04-12 | 2012-04-11 | Lcst-полимеры |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2697284A1 (ru) |
JP (1) | JP2014511927A (ru) |
KR (1) | KR20140038403A (ru) |
CN (1) | CN103476830A (ru) |
AU (1) | AU2012241931A1 (ru) |
BR (1) | BR112013023946A2 (ru) |
MX (1) | MX2013010424A (ru) |
RU (1) | RU2013150131A (ru) |
SG (1) | SG194002A1 (ru) |
WO (1) | WO2012140059A1 (ru) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9556395B2 (en) | 2013-03-11 | 2017-01-31 | Basf Se | Use of polyalkoxylates in lubricant compositions |
US20170174795A1 (en) * | 2014-07-24 | 2017-06-22 | Arlanxeo Singapore Pte. Ltd. | Ultrapure copolymers |
KR20210013652A (ko) | 2015-12-31 | 2021-02-04 | 써튼티드 엘엘씨 | 내후성 배리어를 포함하는 건축용 조립체, 내후성 배리어로 사용하기 위한 시트, 액체 코팅 조성물, 및 이들을 제조하는 방법 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2909992A1 (de) | 1979-03-14 | 1980-10-02 | Basf Ag | Photopolymerisierbare aufzeichnungsmassen, insbesondere zur herstellung von druckplatten und reliefformen |
DE10006538C2 (de) | 2000-02-15 | 2002-11-28 | Forsch Pigmente Und Lacke E V | Verfahren zur Beschichtung von Partikeln mit LCST-Polymeren |
US20030154881A1 (en) * | 2002-02-19 | 2003-08-21 | Spectra Systems Corporation | Gels exhibiting reversible opacity change |
DE10254430A1 (de) | 2002-11-21 | 2004-06-03 | Süd-Chemie AG | LCST-Polymere |
-
2012
- 2012-04-11 RU RU2013150131/04A patent/RU2013150131A/ru not_active Application Discontinuation
- 2012-04-11 AU AU2012241931A patent/AU2012241931A1/en not_active Abandoned
- 2012-04-11 BR BR112013023946A patent/BR112013023946A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2012-04-11 JP JP2014504292A patent/JP2014511927A/ja active Pending
- 2012-04-11 EP EP12712692.8A patent/EP2697284A1/de not_active Withdrawn
- 2012-04-11 SG SG2013073010A patent/SG194002A1/en unknown
- 2012-04-11 CN CN2012800179114A patent/CN103476830A/zh active Pending
- 2012-04-11 KR KR1020137029540A patent/KR20140038403A/ko not_active Application Discontinuation
- 2012-04-11 MX MX2013010424A patent/MX2013010424A/es not_active Application Discontinuation
- 2012-04-11 WO PCT/EP2012/056548 patent/WO2012140059A1/de active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20140038403A (ko) | 2014-03-28 |
CN103476830A (zh) | 2013-12-25 |
MX2013010424A (es) | 2013-10-03 |
JP2014511927A (ja) | 2014-05-19 |
AU2012241931A1 (en) | 2013-10-24 |
EP2697284A1 (de) | 2014-02-19 |
SG194002A1 (en) | 2013-11-29 |
BR112013023946A2 (pt) | 2016-12-13 |
WO2012140059A1 (de) | 2012-10-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102588033B1 (ko) | 함불소 에테르 화합물, 함불소 에테르 조성물, 코팅액, 물품 및 그 제조 방법 | |
JP5720103B2 (ja) | シリコーンハイドロゲル、眼用レンズおよびコンタクトレンズ | |
RU2013150131A (ru) | Lcst-полимеры | |
SI2613819T1 (en) | Lubricating coatings for medical devices | |
KR20120123250A (ko) | 방담 도료 조성물 | |
MX370256B (es) | Monomeros multifuncionales, procedimientos para la preparación de monomeros multifuncionales, composiciones polimerizables y productos formados a partir de los mismos. | |
MX355156B (es) | Metodo para la elaboracion de un separador polimerico con electrolito, y el separador polimerico con electrolito resultante. | |
JP2011137156A5 (ru) | ||
JP6768196B2 (ja) | シリコーンアクリルアミド共重合体 | |
DE502007005986D1 (de) | Verfahren zur herstellung wasserabsorbierender polymerpartikel durch polymerisation von tropfen einer monomerlösung | |
NO309611B1 (no) | Initiatorer, blanding inneholdende denne, fremgangsmåte og anvendelse av blandingen for anti-adhesjon samt papir eller polymerfilm belagt dermed | |
RU2015105311A (ru) | Мембрана с изопористым активным разделяющим слоем и способ получения мембраны | |
ATE528337T1 (de) | Verfahren zur herstellung von kompositpartikeln | |
JP2018519409A5 (ru) | ||
ATE468359T1 (de) | Verfahren zur herstellung wasserabsorbierender polymerpartikel | |
JP6812798B2 (ja) | シリコーンアクリルアミド共重合体 | |
CN109715711A (zh) | 树脂膜、隔离膜及导电性膜以及它们的制造方法 | |
CN107652871B (zh) | 金属模板涂料及其制备方法、金属模板的涂装生产线 | |
CN103753740B (zh) | 一种环氧树脂制品用脱模剂组合物 | |
MX344267B (es) | Caucho de estireno-butadieno de alto contenido de estireno alto contenido de vinilo y metodos para la preparacion del mismo. | |
JP2011502745A5 (ru) | ||
US9518194B2 (en) | Toughened arylcyclobutene polymers | |
TWI583708B (zh) | 聚合物及其製備方法 | |
GB2579525A (en) | Photoresist patterning on silicon nitride | |
JP2013227421A5 (ru) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20150413 |