RU2013137228A

RU2013137228A - Устройство автоматического питания промышленного генератора пара металла

Info

Publication number: RU2013137228A
Application number: RU2013137228/02A
Authority: RU
Inventors: Пьер Банашак; Дидье Марнеф; Бруно ШМИТЦ; Эрик ЗИЛЬБЕРБЕРГ; Люк ВАНЕ
Original assignee: Арселормитталь Инвестигасион И Десаррольо
Priority date: 2011-01-14
Filing date: 2012-01-12
Publication date: 2015-02-20
Also published as: UA111602C2; PL2663665T3; WO2012095489A1; CN103328680B; BR112013018030A2; JP2014505794A; CA2824248A1; RU2584369C2; ES2538661T3; US20140127406A1; HUE026398T2; BR112013018030B1; MX342299B; EP2663665A1; JP6046051B2; EP2663665B1; KR101786160B1; KR20140041436A; US10011905B2; IN2013DN06279A

Abstract

1. Установка для непрерывного вакуумного осаждения металлического покрытия на движущуюся подложку, содержащая камеру (24) вакуумного осаждения, по меньшей мере, одну головку (25, 26) для нанесения покрытия струйным осаждением пара, соединенную с испарительным тиглем (9), содержащим металл покрытия в жидком виде (11), с помощью подающего пар трубопровода (20), снабженного распределительным клапаном (19), и печь (1) для плавления указанного металла, причем указанная печь находится под атмосферным давлением и расположена ниже уровня самой низкой части испарительного тигля (9) и соединена с испарительным тиглем (9) по меньшей мере одним трубопроводом (8) для автоматического питания испарительного тигля (9), снабженным питающим насосом (6), и по меньшей мере одним трубопроводом (8A, 18) для возврата жидкого металла, факультативно снабженным клапаном (16, 17), причем дополнительно предусмотрены средства регулирования питающего насоса, обеспечивающие регулирования определенного уровня жидкого металла в испарительном тигле (9), отличающаяся тем, что она содержит имеющуюся в каждом из указанных трубопроводов питания и возврата (8, 8A, 18) зону (7, 13, 15), называемую термоклапаном, которая снабжена устройством нагрева и устройством охлаждения для получения регулируемой температуры, независимой от температуры плавильной печи (1) и от температуры в остальной части указанных трубопроводов (8, 8A, 18) и в испарительном тигле (9), с целью расплавления или отверждения металла, находящегося в этом месте.2. Установка по п.1, содержащая средства, обеспечивающие локализованную генерацию пара металла между печью (1) и напыляющей головкой (25, 26).3. Установка по п.2, в к�

Claims

1. Установка для непрерывного вакуумного осаждения металлического покрытия на движущуюся подложку, содержащая камеру (24) вакуумного осаждения, по меньшей мере, одну головку (25, 26) для нанесения покрытия струйным осаждением пара, соединенную с испарительным тиглем (9), содержащим металл покрытия в жидком виде (11), с помощью подающего пар трубопровода (20), снабженного распределительным клапаном (19), и печь (1) для плавления указанного металла, причем указанная печь находится под атмосферным давлением и расположена ниже уровня самой низкой части испарительного тигля (9) и соединена с испарительным тиглем (9) по меньшей мере одним трубопроводом (8) для автоматического питания испарительного тигля (9), снабженным питающим насосом (6), и по меньшей мере одним трубопроводом (8A, 18) для возврата жидкого металла, факультативно снабженным клапаном (16, 17), причем дополнительно предусмотрены средства регулирования питающего насоса, обеспечивающие регулирования определенного уровня жидкого металла в испарительном тигле (9), отличающаяся тем, что она содержит имеющуюся в каждом из указанных трубопроводов питания и возврата (8, 8A, 18) зону (7, 13, 15), называемую термоклапаном, которая снабжена устройством нагрева и устройством охлаждения для получения регулируемой температуры, независимой от температуры плавильной печи (1) и от температуры в остальной части указанных трубопроводов (8, 8A, 18) и в испарительном тигле (9), с целью расплавления или отверждения металла, находящегося в этом месте.

2. Установка по п.1, содержащая средства, обеспечивающие локализованную генерацию пара металла между печью (1) и напыляющей головкой (25, 26).

3. Установка по п.2, в которой указанные средства, обеспечивающие локализованную генерацию пара металла, содержат устройство (43) для удержания жидкого металла, находящееся на дне испарительного тигля (9).

4. Установка по п.2, в которой указанные средства, обеспечивающие локализованную генерацию пара металла, содержат дополнительный тигель (44), соединенный с подающим пар трубопроводом (20).

5. Установка по любому из пп.1-4, в которой указанный(ые) термоклапан(ы) образован(ы) двойной оболочкой, в которой осуществляется охлаждение посредством инжекции и циркуляции хладагента.

6. Установка по любому из пп.1-4, в которой трубопровод (8) питания снабжен перепускным клапаном (14), обеспечивающим возможность использования трубопровода питания (8) в качестве сливной трубы.

7. Установка по любому из пп.1-4, в которой указанные трубопроводы (8, 8A, 18) выполнены из двух материалов, причем внутренний объем образован бесшовной трубой (C) из низкоуглеродистой стали, графита или керамики, покрытой или защищенной снаружи нержавеющей сталью (B).

8. Установка по п.7, в которой трубы (B, C) помещены во вторую металлическую оболочку (A) в форме сильфона.

9. Установка по любому из пп.1-4 или 8, в которой соединение между плавильной печью (1) и испарительным тиглем (9) обеспечено с помощью жесткого эталонного стержня, а трубопроводы (8; 8A, 18) выполнены в форме лиры.

10. Установка по п.9, в которой трубопроводы скреплены друг с другом, а также с печью (1) и испарительным тиглем (9) с помощью металлических фланцев, причем вакуумная герметизация достигается путем наложения надувного металлического уплотнения и графитового уплотнения.

11. Установка по любому из пп.1-4, 8 или 10, дополнительно содержащая устройство (37) для распределения инертного газа, сообщающееся с испарительным тиглем (9).

12. Способ запуска установки по любому из пп.2-11, в соответствии с которым:

- начинают плавление металла в печи (1), поддерживая в то же время твердое состояние металла в термоклапанах (7, 13, 15) трубопроводов питания и возврата (8; 8A, 18);

- нагревают остальную часть указанной установки до температуры, необходимой для приема жидкого металла и/или пара металла, закрывают распределительный клапан (19) трубопровода питания (20) и создают вакуум в камере осаждения (24);

- активируют указанные средства, обеспечивающие локализованную генерацию пара металла, при температуре, превышающей температуру жидкого металла в установке в процессе осаждения;

- расплавляют затвердевший металл, находящийся в термоклапанах (7, 13, 15);

- затем заполняют испарительный тигель (9) с помощью питающего насоса (6), открывают распределительный клапан (19) трубопровода питания (20) и приступают к осаждению металла на указанную движущуюся подложку.

13. Способ по п.12, в соответствии с которым высота испарительного тигля (9) относительно плавильной печи (1) выбрана таким образом, чтобы свободная поверхность жидкого металла в трубопроводе (8) питания была расположена под тиглем (9), когда в установке создан вакуум, при этом питающий насос (6) не работает.

14. Способ использования установки по любому из пп.1-11, в котором подложка представляет собой металлическую полосу, а металлическое покрытие представляет собой магний или цинк.