RU2013121897A - Спектрометр с регулируемым дефлектором для управления выравниванием рассеянного света на детекторе, предназначенный для оптической когерентной томографии - Google Patents
Спектрометр с регулируемым дефлектором для управления выравниванием рассеянного света на детекторе, предназначенный для оптической когерентной томографии Download PDFInfo
- Publication number
- RU2013121897A RU2013121897A RU2013121897/28A RU2013121897A RU2013121897A RU 2013121897 A RU2013121897 A RU 2013121897A RU 2013121897/28 A RU2013121897/28 A RU 2013121897/28A RU 2013121897 A RU2013121897 A RU 2013121897A RU 2013121897 A RU2013121897 A RU 2013121897A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- optical
- spectrometer according
- spectrometer
- adjustable
- light
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract 22
- 238000003325 tomography Methods 0.000 title 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract 6
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims abstract 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 6
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims 4
- 238000012014 optical coherence tomography Methods 0.000 claims 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02041—Interferometers characterised by particular imaging or detection techniques
- G01B9/02044—Imaging in the frequency domain, e.g. by using a spectrometer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/0209—Low-coherence interferometers
- G01B9/02091—Tomographic interferometers, e.g. based on optical coherence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0237—Adjustable, e.g. focussing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0289—Field-of-view determination; Aiming or pointing of a spectrometer; Adjusting alignment; Encoding angular position; Size of measurement area; Position tracking
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
- G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0875—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more refracting elements
- G02B26/0883—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more refracting elements the refracting element being a prism
- G02B26/0891—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more refracting elements the refracting element being a prism forming an optical wedge
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
1. Спектрометр, содержащий:Спектрально-рассеивающий оптический элемент, сконфигурированный для спектрального рассеивания принимаемого света;рычажно-оптический регулируемый дефлектор для регулируемого отклонения спектрально-рассеянного света; идетекторную матрицу для приема спектрально-рассеянного и регулируемо отклоненного света.2. Спектрометр по п. 1, в котором принимаемый свет содержит интерференционный пучок, составленный из отраженного, несущего изображение пучка и опорного пучка.3. Спектрометр по п. 1, в котором спектрально-рассеивающий оптический элемент содержит по меньшей мере одно из призмы, дифракционной решетки, оптического элемента с зависящим от длины волны показателем преломления, оптического элемента с зависящим от длины волны свойством пропускания и оптического элемента с зависящим от длины волны свойством отклонения.4. Спектрометр по п. 1, в котором детекторная матрица содержит по меньшей мере одну из линейной матрицы датчиков, двумерной матрицы датчиков и детекторной камеры.5. Спектрометр по п. 1, в котором рычажно-оптический регулируемый дефлектор содержит:оптический элемент с по меньшей мере одним из свойства регулируемого пропускания и свойства регулируемого отражения, при этом регулируемый дефлектор может регулироваться с помощью механической регулировки, оптически преобразуемой рычажной передачей в меньшую оптическую регулировку.6. Спектрометр по п. 5, в котором отношение угла механической регулировки к углу оптической регулировки превышает 10.7. Спектрометр по п. 6, в котором отношение угла механической регулировки к углу оптической регулировки превышает 100.8. Спектрометр по п.
Claims (18)
1. Спектрометр, содержащий:
Спектрально-рассеивающий оптический элемент, сконфигурированный для спектрального рассеивания принимаемого света;
рычажно-оптический регулируемый дефлектор для регулируемого отклонения спектрально-рассеянного света; и
детекторную матрицу для приема спектрально-рассеянного и регулируемо отклоненного света.
2. Спектрометр по п. 1, в котором принимаемый свет содержит интерференционный пучок, составленный из отраженного, несущего изображение пучка и опорного пучка.
3. Спектрометр по п. 1, в котором спектрально-рассеивающий оптический элемент содержит по меньшей мере одно из призмы, дифракционной решетки, оптического элемента с зависящим от длины волны показателем преломления, оптического элемента с зависящим от длины волны свойством пропускания и оптического элемента с зависящим от длины волны свойством отклонения.
4. Спектрометр по п. 1, в котором детекторная матрица содержит по меньшей мере одну из линейной матрицы датчиков, двумерной матрицы датчиков и детекторной камеры.
5. Спектрометр по п. 1, в котором рычажно-оптический регулируемый дефлектор содержит:
оптический элемент с по меньшей мере одним из свойства регулируемого пропускания и свойства регулируемого отражения, при этом регулируемый дефлектор может регулироваться с помощью механической регулировки, оптически преобразуемой рычажной передачей в меньшую оптическую регулировку.
6. Спектрометр по п. 5, в котором отношение угла механической регулировки к углу оптической регулировки превышает 10.
7. Спектрометр по п. 6, в котором отношение угла механической регулировки к углу оптической регулировки превышает 100.
8. Спектрометр по п. 1, в котором отношение угла механической регулировки к углу оптической регулировки больше чем 5 и меньше чем 100.
9. Спектрометр по п. 1, в котором регулируемый дефлектор содержит по меньшей мере одну поворотную клиновидную оптическую пластинку.
10. Спектрометр по п. 1, причем спектрометр представляет собой формирующий изображение спектрометр, содержащий
коллиматор, преобразующий принимаемый свет в параллельные лучи света; и
фокусирующую линзу, фокусирующую и отображающую спектрально-рассеянный свет на детекторную матрицу.
11. Спектрометр по п. 1, в котором первый диапазон положений пучка на детекторе, связанный с диапазоном регулировки отклонения дефлектора, превышает второй диапазон положений пучка на детекторе, связанный с суммарной величиной допуска на положение компонентов спектрометра.
12. Спектрометр по п. 1, в котором первый диапазон положений пучка на детекторе, связанный с диапазоном регулировки отклонения дефлектора, превышает эксплуатационный диапазон положений пучка на детекторе спектрометра.
13. Спектрометр по п. 1, в котором эксплуатационное смещение пучка, обусловленное рычажно-оптическим регулируемым дефлектором, меньше, чем допуск на смещение детектора.
14. Спектрометр по п. 1, в котором регулируемый дефлектор сконфигурирован для компенсации поперечного смещения спектрально-рассеянного света без внесения углового смещения, большего, чем отношение размеров детектора.
15. Спектрометр по п. 1, причем спектрометр сконфигурирован для обеспечения компенсации продольного смещения посредством повторной калибровки его датчиков с использованием света известной длины волны.
16. Устройство спектральной оптической когерентной томографии (SD-OCT), содержащее:
средство для разложения спектра, сконфигурированное
для приема интерферирующего света и
для создания полосы интерферирующего света путем поперечного разделения спектральных составляющих интерферирующего света;
матрицу датчиков для обнаружения различных спектральных составляющих полосы интерферирующего света различными датчиками; и
регулируемый контроллер выравнивания с рычажной передачей для управления выравниванием полосы света с матрицей датчиков.
17. Устройство спектральной оптической когерентной томографии по п. 16, в котором контроллер выравнивания содержит поворотную клиновидную призму.
18. Спектрометр, содержащий:
спектральный рассеиватель для поперечного рассеивания спектральных составляющих несущего изображения света;
матрицу датчиков для восприятия спектральных составляющих несущего изображения света; и
контроллер выравнивания с оптической рычажной передачей, способный компенсировать суммарное смещение положения пучка, обусловленное позиционным отклонением элементов спектрометра.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US12/904,681 | 2010-10-14 | ||
| US12/904,681 US8049886B1 (en) | 2010-10-14 | 2010-10-14 | Spectrometer with adjustable-deflector-controlled alignment for optical coherence tomography |
| PCT/US2011/056051 WO2012051363A1 (en) | 2010-10-14 | 2011-10-13 | Spectrometer with adjustable deflector for controlling alignment of dispersed light on detector, for optical coherence tomography |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2013121897A true RU2013121897A (ru) | 2014-11-20 |
| RU2589505C2 RU2589505C2 (ru) | 2016-07-10 |
Family
ID=44839622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2013121897/28A RU2589505C2 (ru) | 2010-10-14 | 2011-10-13 | Спектрометр с регулируемым дефлектором для управления выравниванием рассеянного света на детекторе, предназначенный для оптической когерентной томографии |
Country Status (16)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8049886B1 (ru) |
| EP (1) | EP2627978B1 (ru) |
| JP (1) | JP5947306B2 (ru) |
| KR (1) | KR101792775B1 (ru) |
| CN (1) | CN103250035B (ru) |
| AU (1) | AU2011316508B2 (ru) |
| BR (1) | BR112013009188A2 (ru) |
| CA (1) | CA2811921C (ru) |
| DK (1) | DK2627978T3 (ru) |
| ES (1) | ES2585633T3 (ru) |
| MX (1) | MX2013003955A (ru) |
| PL (1) | PL2627978T3 (ru) |
| PT (1) | PT2627978T (ru) |
| RU (1) | RU2589505C2 (ru) |
| TW (1) | TWI504866B (ru) |
| WO (1) | WO2012051363A1 (ru) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2847572A4 (en) * | 2012-05-08 | 2016-01-13 | Univ King Abdullah Sci & Tech | OPTICAL SPECTRAL DOMAIN COHERENCE TOMOGRAPHY WITH SUBMICRON RESOLUTION |
| EP3003177B1 (en) | 2013-05-31 | 2021-03-10 | Covidien LP | Surgical device with an end-effector assembly for monitoring of tissue during a surgical procedure |
| KR101803250B1 (ko) * | 2016-01-20 | 2017-11-30 | (주)아이에스엠아이엔씨 | 광대역 필터를 이용한 분광 광도 측정 기술 및 장치 |
| CN106052868B (zh) * | 2016-05-16 | 2019-02-12 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 凝视型多光谱成像方法 |
| CN106017675B (zh) * | 2016-05-16 | 2019-02-19 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 凝视型多光谱成像系统 |
| FR3053529B1 (fr) * | 2016-06-30 | 2022-11-04 | E2V Semiconductors | Capteur lineaire pour appareil d'imagerie de tomographie par coherence optique a spectrometre |
| US10151631B2 (en) | 2016-10-04 | 2018-12-11 | Kla-Tencor Corporation | Spectroscopy with tailored spectral sampling |
| US10379195B2 (en) * | 2017-05-24 | 2019-08-13 | Honeywell International Inc. | Risley prism based star tracker and celestial navigation systems |
| US10557980B2 (en) | 2017-06-22 | 2020-02-11 | Honeywell International Inc. | Apparatus and method for a holographic optical field flattener |
| US10690876B2 (en) | 2017-09-22 | 2020-06-23 | Honeywell International Inc. | Enhanced image detection for celestial-aided navigation and star tracker systems |
| US10338013B1 (en) * | 2018-01-25 | 2019-07-02 | Kla-Tencor Corporation | Position feedback for multi-beam particle detector |
| CN108234958B (zh) * | 2018-02-06 | 2024-04-05 | 长沙学院 | 举高喷射消防车及其成像系统、成像方法 |
| US11441948B2 (en) * | 2019-03-25 | 2022-09-13 | Mks Technology, Inc. | Multi-dispersive spectrometer |
| CN110018563A (zh) * | 2019-03-29 | 2019-07-16 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 基于自反射光的扩束光路补偿的激光扩束传输系统及方法 |
| CN110031967B (zh) * | 2019-05-18 | 2021-03-26 | 深圳市麓邦技术有限公司 | 光学镜片组、光束扫描器及其光束扫描方法 |
| CN111610534B (zh) * | 2020-05-07 | 2022-12-02 | 广州立景创新科技有限公司 | 成像装置及成像方法 |
| CN111999886B (zh) * | 2020-09-07 | 2022-03-01 | 哈尔滨工业大学 | 反射式光学偏转器 |
| CN113532641B (zh) * | 2021-07-30 | 2022-06-21 | 季华实验室 | 一种光谱分量的对准可调整光谱仪 |
| WO2023128625A1 (ko) * | 2021-12-28 | 2023-07-06 | 삼성전자 주식회사 | 렌즈 어셈블리 및 그를 포함하는 전자 장치 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU505905A1 (ru) * | 1974-04-04 | 1976-03-05 | Предприятие П/Я Р-6681 | Спектометр с интерференционной селективной амплитудой модул цией |
| JPS60263114A (ja) * | 1984-06-11 | 1985-12-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光偏向装置 |
| CA2069895C (en) | 1990-08-22 | 2002-09-17 | William D. Fountain | System for scanning a surgical laser beam |
| JPH0720390A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-01-24 | Canon Inc | レーザ案内装置 |
| JPH09311073A (ja) * | 1996-05-23 | 1997-12-02 | Shimadzu Corp | 波長走査型分光器 |
| US6437867B2 (en) * | 1996-12-04 | 2002-08-20 | The Research Foundation Of The City University Of New York | Performing selected optical measurements with optical coherence domain reflectometry |
| JP3619370B2 (ja) * | 1998-07-31 | 2005-02-09 | ペンタックス株式会社 | レーザ測量装置 |
| JP4464519B2 (ja) * | 2000-03-21 | 2010-05-19 | オリンパス株式会社 | 光イメージング装置 |
| US6628383B1 (en) * | 1999-10-22 | 2003-09-30 | Ronnie Lewis Hilliard | Imaging spectrograph for multiorder spectroscopy |
| US7035025B2 (en) | 2003-05-28 | 2006-04-25 | Agilent Technologies, Inc. | Compact precision beam manipulators |
| US7813644B2 (en) | 2004-05-10 | 2010-10-12 | Raytheon Company | Optical device with a steerable light path |
| US7480058B2 (en) | 2006-01-19 | 2009-01-20 | Optovue, Inc. | Fourier-domain optical coherence tomography imager |
| US8570525B2 (en) * | 2006-06-23 | 2013-10-29 | Optopol Technology S.A. | Apparatus for optical frequency domain tomography with adjusting system |
| JP2008066397A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Nikon Corp | 光検出装置およびカメラ |
| WO2008106016A2 (en) * | 2007-02-27 | 2008-09-04 | Metrosol, Inc. | Prism spectrometer with moveable detector element and with collimated input light |
| US7898712B2 (en) | 2008-06-27 | 2011-03-01 | Lockheed Martin Corporation | Risley integrated steering module |
-
2010
- 2010-10-14 US US12/904,681 patent/US8049886B1/en active Active
-
2011
- 2011-10-13 CA CA2811921A patent/CA2811921C/en active Active
- 2011-10-13 TW TW100137133A patent/TWI504866B/zh not_active IP Right Cessation
- 2011-10-13 EP EP11771380.0A patent/EP2627978B1/en active Active
- 2011-10-13 CN CN201180049294.1A patent/CN103250035B/zh active Active
- 2011-10-13 MX MX2013003955A patent/MX2013003955A/es active IP Right Grant
- 2011-10-13 PL PL11771380.0T patent/PL2627978T3/pl unknown
- 2011-10-13 DK DK11771380.0T patent/DK2627978T3/en active
- 2011-10-13 KR KR1020137012304A patent/KR101792775B1/ko active IP Right Grant
- 2011-10-13 WO PCT/US2011/056051 patent/WO2012051363A1/en active Application Filing
- 2011-10-13 RU RU2013121897/28A patent/RU2589505C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2011-10-13 AU AU2011316508A patent/AU2011316508B2/en active Active
- 2011-10-13 JP JP2013533988A patent/JP5947306B2/ja active Active
- 2011-10-13 BR BR112013009188A patent/BR112013009188A2/pt active Search and Examination
- 2011-10-13 ES ES11771380.0T patent/ES2585633T3/es active Active
- 2011-10-13 PT PT117713800T patent/PT2627978T/pt unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| MX2013003955A (es) | 2013-06-05 |
| AU2011316508A1 (en) | 2013-04-11 |
| CN103250035A (zh) | 2013-08-14 |
| RU2589505C2 (ru) | 2016-07-10 |
| DK2627978T3 (en) | 2016-08-15 |
| AU2011316508B2 (en) | 2015-06-11 |
| JP5947306B2 (ja) | 2016-07-06 |
| TWI504866B (zh) | 2015-10-21 |
| EP2627978A1 (en) | 2013-08-21 |
| TW201229466A (en) | 2012-07-16 |
| KR20130138262A (ko) | 2013-12-18 |
| CN103250035B (zh) | 2017-03-01 |
| EP2627978B1 (en) | 2016-05-04 |
| PL2627978T3 (pl) | 2016-11-30 |
| PT2627978T (pt) | 2016-08-03 |
| US8049886B1 (en) | 2011-11-01 |
| BR112013009188A2 (pt) | 2016-07-26 |
| JP2013543120A (ja) | 2013-11-28 |
| KR101792775B1 (ko) | 2017-11-01 |
| CA2811921A1 (en) | 2012-04-19 |
| WO2012051363A1 (en) | 2012-04-19 |
| CA2811921C (en) | 2017-07-04 |
| ES2585633T3 (es) | 2016-10-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2013121897A (ru) | Спектрометр с регулируемым дефлектором для управления выравниванием рассеянного света на детекторе, предназначенный для оптической когерентной томографии | |
| KR101768050B1 (ko) | 스펙트럼 분석을 위한 분광 기기 및 방법 | |
| JP2013543120A5 (ru) | ||
| JP5419301B2 (ja) | 試料分析装置 | |
| JP6744005B2 (ja) | 分光測定装置 | |
| US9618390B2 (en) | Optical device and electronic apparatus | |
| EP2821777B1 (en) | Spectral characteristics measurement device and method for measuring spectral characteristics | |
| CN101666681B (zh) | 使用moems可动闪耀光栅阵列的光谱仪 | |
| US9509893B2 (en) | Imaging device and analyzing apparatus using the imaging device | |
| RU2015116588A (ru) | Спектроскопическое измерительное устройство | |
| EP2365304A3 (en) | Spectroscopic characteristics acquisition unit, image evaluation unit, and image forming apparatus | |
| MX2013009423A (es) | Aparato y metodo para tomografia de coherencia optica. | |
| JP6732339B2 (ja) | 分光測定装置 | |
| US20160363481A1 (en) | Spectrometer and analysis apparatus | |
| EP3598060A1 (en) | Measurement device | |
| JP2014025899A5 (ru) | ||
| RU66523U1 (ru) | Спектрофотометр многоканальный | |
| RU158242U1 (ru) | Спектрограф | |
| JP4622467B2 (ja) | 微分スペクトル測定装置及びそれを用いた測定方法、並びに測定装置 | |
| KR20150145536A (ko) | 광도파로 기반 분광기 및 그를 구비한 광간섭성 단층 촬영 장치 | |
| JP2014157164A (ja) | 光学装置 | |
| JP2017150980A (ja) | ガスセンサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20201014 |