RU2013100524A - Способ получения стекла из пятиокиси фосфора - Google Patents
Способ получения стекла из пятиокиси фосфора Download PDFInfo
- Publication number
- RU2013100524A RU2013100524A RU2013100524/28A RU2013100524A RU2013100524A RU 2013100524 A RU2013100524 A RU 2013100524A RU 2013100524/28 A RU2013100524/28 A RU 2013100524/28A RU 2013100524 A RU2013100524 A RU 2013100524A RU 2013100524 A RU2013100524 A RU 2013100524A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- diffusant
- producing glass
- phosphorus pentoxide
- phosphorus
- phosphorus oxide
- Prior art date
Links
Landscapes
- Glass Compositions (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
Способ получения стекла из пятиокиси фосфора, включающий процесс образования фосфоро-силикатного стекла на поверхности кремниевой пластины, отличающийся тем, что в качестве источника диффузанта используется твердый источник диффузанта пятиокиси фосфора - фосфорный ангидрид (PO) при следующем соотношении компонентов: кислород -O=40 л/ч, азот -N=500 л/ч при температуре процесса 1050°C при времени диффузии фосфора -40 минут, причем поверхностное сопротивление равно -R=140±10 Ом/см.
Claims (1)
- Способ получения стекла из пятиокиси фосфора, включающий процесс образования фосфоро-силикатного стекла на поверхности кремниевой пластины, отличающийся тем, что в качестве источника диффузанта используется твердый источник диффузанта пятиокиси фосфора - фосфорный ангидрид (P2O5) при следующем соотношении компонентов: кислород -O2=40 л/ч, азот -N2=500 л/ч при температуре процесса 1050°C при времени диффузии фосфора -40 минут, причем поверхностное сопротивление равно -RS=140±10 Ом/см.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013100524/28A RU2524149C1 (ru) | 2013-01-09 | 2013-01-09 | Способ получения стекла из пятиокиси фосфора |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013100524/28A RU2524149C1 (ru) | 2013-01-09 | 2013-01-09 | Способ получения стекла из пятиокиси фосфора |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2013100524A true RU2013100524A (ru) | 2014-07-20 |
| RU2524149C1 RU2524149C1 (ru) | 2014-07-27 |
Family
ID=51215013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2013100524/28A RU2524149C1 (ru) | 2013-01-09 | 2013-01-09 | Способ получения стекла из пятиокиси фосфора |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2524149C1 (ru) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4433008A (en) * | 1982-05-11 | 1984-02-21 | Rca Corporation | Doped-oxide diffusion of phosphorus using borophosphosilicate glass |
| CN101139169A (zh) * | 2007-08-09 | 2008-03-12 | 东华大学 | 作为磷扩散源的微晶玻璃及其制备方法 |
| RU2407105C2 (ru) * | 2008-01-22 | 2010-12-20 | Государственное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Дагестанский Государственный Технический Университет" (Дгту) | Способ получения фосфоросиликатных пленок |
| RU2359355C1 (ru) * | 2008-03-12 | 2009-06-20 | Дагестанский государственный технический университет (ДГТУ) | Способ диффузии фосфора из твердого планарного источника |
| RU2371807C1 (ru) * | 2008-07-17 | 2009-10-27 | Государственное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Дагестанский Государственный Технический Университет" (Дгту) | Способ диффузии фосфора из фосфорно-силикатных пленок |
-
2013
- 2013-01-09 RU RU2013100524/28A patent/RU2524149C1/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2524149C1 (ru) | 2014-07-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW201614840A (en) | Semiconductor device and method for fabricating the same | |
| WO2018217698A3 (en) | SUBSTRATE CONTAINING SILICA WITH INTERCONNECTION HOLES HAVING AXIALLY VARIABLE SIDEWALL CONICITY AND METHODS OF FORMING THE SAME | |
| JP2013062499A5 (ru) | ||
| MY170621A (en) | Additive for preparing suede on polycrystalline silicon chip and use method thereof | |
| TWD153878S1 (zh) | 基板運送用固持構件 | |
| WO2014172159A8 (en) | Defective p-n junction for backgated fully depleted silicon on insulator mosfet | |
| JP2012209544A5 (ru) | ||
| JP2011199272A5 (ru) | ||
| GB2507188A (en) | Method for forming bonded structures and bonded structures formed thereby | |
| WO2008105136A1 (ja) | シリコン単結晶ウエーハの製造方法 | |
| WO2015038367A3 (en) | Forming through wafer vias in glass | |
| MY185237A (en) | Semiconductor wafer with a layer of al:ga1-zn and process for producing it | |
| MY161721A (en) | Bonding Wire for Semiconductor Device Use and Method of Production of Same | |
| JP2014007398A5 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
| WO2016142219A8 (de) | Leuchtstoffpartikel mit einer schutzschicht und verfahren zur herstellung der leuchtstoffpartikel mit der schutzschicht | |
| WO2017052308A3 (ko) | 유기소자에 사용되는 유기화합물 및 이를 이용한 유기소자의 제조방법 | |
| WO2015013656A3 (en) | Thieno-containing compounds and processes and uses thereof | |
| TW201611914A (en) | Method for cleaning semiconductor substrate and method for fabricating semiconductor device | |
| EP3002779A3 (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
| RU2013100524A (ru) | Способ получения стекла из пятиокиси фосфора | |
| WO2015084920A3 (en) | Glucoamylase variants | |
| MY167362A (en) | Disk-shaped glass substrate, magnetic-disk glass substrate, method for manufacturing magnetic-disk glass substrate, and magnetic disk | |
| MD4280C1 (ru) | Способ роста структуры pInP-nCdS | |
| RU2013101269A (ru) | Диффузия фосфора из нитрида фосфора (p2n5) | |
| WO2014200985A3 (en) | Chemical compositions for semiconductor manufacturing processes and/or methods, apparatus made with same |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20150110 |