RU2012157281A - Криогенный насос, снабженный устройством для предотвращения эффекта памяти - Google Patents

Криогенный насос, снабженный устройством для предотвращения эффекта памяти Download PDF

Info

Publication number
RU2012157281A
RU2012157281A RU2012157281/06A RU2012157281A RU2012157281A RU 2012157281 A RU2012157281 A RU 2012157281A RU 2012157281/06 A RU2012157281/06 A RU 2012157281/06A RU 2012157281 A RU2012157281 A RU 2012157281A RU 2012157281 A RU2012157281 A RU 2012157281A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cooling
stage
fence
guard
cooling stage
Prior art date
Application number
RU2012157281/06A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2565477C2 (ru
Inventor
Марсель КОЛЕР
Херберт ФОГТ
Урс ФРИК
Original Assignee
Хср Аг
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Хср Аг filed Critical Хср Аг
Publication of RU2012157281A publication Critical patent/RU2012157281A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2565477C2 publication Critical patent/RU2565477C2/ru

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
    • F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Abstract

1. Устройство (21) для предотвращения эффекта памяти у криогенных насосов, включающее в себя- первую ступень (23) охлаждения,- вторую ступень (25) охлаждения, которая в осевом направлении примыкает к первой ступени (23) охлаждения,- цилиндрическое ограждение (31), имеющее отверстие (37) и дно (35), причем через дно (35) проходит указанное двухступенчатое устройство (21) по центру таким образом, что первая ступень (23) охлаждения расположена вне ограждения (31), а вторая ступень (25) охлаждения расположена внутри ограждения (31), при этом между ограждением (31) и первой ступенью (23) охлаждения образовано промежуточное пространство (34), и дно ограждения (31) соединено теплопроводящим образом с первой ступенью (23) охлаждения посредством теплового мостика (33),- служащую в качестве поверхности насоса панель (43) охлаждения, которая соединена со второй ступенью (25) охлаждения и предусмотрена внутри ограждения (31), и- отражатель (39), который расположен в области отверстия (37) цилиндрического ограждения (31) и находится в теплопроводящем контакте с ограждением (31) и/или первой ступенью (23) охлаждения,отличающееся тем, чтотепловой мостик (33) предусмотрен между ограждением (31) и первой ступенью (23) охлаждения на расстоянии от ее торцевой стороны (55).2. Устройство (21) по п.1, отличающееся тем, что положение теплового мостика (33) на первой ступени (23) охлаждения задано таким образом, что при эксплуатации криогенного насоса на ограждении устанавливается температура от 70 до 90 К, предпочтительно примерно 80 К.3. Устройство (21) по п.1, отличающееся тем, что тепловой мостик имеет форму патрубка, причем патрубок (33) предусмотрен на дне ограждения (31) и только своим дистальным ко

Claims (12)

1. Устройство (21) для предотвращения эффекта памяти у криогенных насосов, включающее в себя
- первую ступень (23) охлаждения,
- вторую ступень (25) охлаждения, которая в осевом направлении примыкает к первой ступени (23) охлаждения,
- цилиндрическое ограждение (31), имеющее отверстие (37) и дно (35), причем через дно (35) проходит указанное двухступенчатое устройство (21) по центру таким образом, что первая ступень (23) охлаждения расположена вне ограждения (31), а вторая ступень (25) охлаждения расположена внутри ограждения (31), при этом между ограждением (31) и первой ступенью (23) охлаждения образовано промежуточное пространство (34), и дно ограждения (31) соединено теплопроводящим образом с первой ступенью (23) охлаждения посредством теплового мостика (33),
- служащую в качестве поверхности насоса панель (43) охлаждения, которая соединена со второй ступенью (25) охлаждения и предусмотрена внутри ограждения (31), и
- отражатель (39), который расположен в области отверстия (37) цилиндрического ограждения (31) и находится в теплопроводящем контакте с ограждением (31) и/или первой ступенью (23) охлаждения,
отличающееся тем, что
тепловой мостик (33) предусмотрен между ограждением (31) и первой ступенью (23) охлаждения на расстоянии от ее торцевой стороны (55).
2. Устройство (21) по п.1, отличающееся тем, что положение теплового мостика (33) на первой ступени (23) охлаждения задано таким образом, что при эксплуатации криогенного насоса на ограждении устанавливается температура от 70 до 90 К, предпочтительно примерно 80 К.
3. Устройство (21) по п.1, отличающееся тем, что тепловой мостик имеет форму патрубка, причем патрубок (33) предусмотрен на дне ограждения (31) и только своим дистальным концом теплопроводящим образом соединен с первой ступенью (23) охлаждения.
4. Устройство (21) по п.3, отличающееся тем, что внутренний диаметр (53) патрубка (33) больше, чем наружный диаметр (51) первой ступени (23) охлаждения.
5. Устройство (21) по п.3, отличающееся тем, что патрубок (33) на обращенной к ограждению (31) стороне имеет фланец (46), который служит в качестве теплового мостика между патрубком (33) и ограждением (31).
6. Устройство (21) по п.5, отличающееся тем, что между фланцем (46) и первой ступенью (25) охлаждения предусмотрен зазор (49).
7. Устройство (21) по п.5, отличающееся тем, что фланец (46) находится на расстоянии от второй ступени (25) охлаждения.
8. Устройство (21) по п.1, отличающееся тем, что внутри отражателя (39) расположена крышка (57), которая посредством по меньшей мере одной перемычки (59) соединена с патрубком (33).
9. Устройство (21) по п.3, отличающееся тем, что патрубок (33) изготовлен из меди.
10. Устройство (21) по п.5, отличающееся тем, что фланец (46) изготовлен из меди.
11. Устройство (21) по п.1, отличающееся тем, что устройство (21) размещено в корпусе (12).
12. Криогенный насос (11), включающий в себя
- корпус (12), содержащий
- первый соединительный фланец (13) с первым отверстием (15) для соединения с камерой, подлежащей вакуумированию, и
- второй соединительный фланец (17) для крепления охлаждающей головки (21) в корпусе (12), и
- размещенное в корпусе (12) устройство (21) по одному из пп.1-10.
RU2012157281/06A 2010-05-27 2011-05-25 Криогенный насос, снабженный устройством для предотвращения эффекта памяти RU2565477C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH00833/10A CH703216A1 (de) 2010-05-27 2010-05-27 Vorrichtung zur Verhinderung des Memory-Effekts bei Kryopumpen.
CH833/10 2010-05-27
PCT/CH2011/000122 WO2011147042A1 (de) 2010-05-27 2011-05-25 Kryopumpe mit einer vorrichtung zur verhinderung des memory - effekts

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012157281A true RU2012157281A (ru) 2014-07-10
RU2565477C2 RU2565477C2 (ru) 2015-10-20

Family

ID=43480880

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012157281/06A RU2565477C2 (ru) 2010-05-27 2011-05-25 Криогенный насос, снабженный устройством для предотвращения эффекта памяти

Country Status (6)

Country Link
US (1) US8955339B2 (ru)
EP (1) EP2577064B1 (ru)
BR (1) BR112012029924A2 (ru)
CH (1) CH703216A1 (ru)
RU (1) RU2565477C2 (ru)
WO (1) WO2011147042A1 (ru)

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3131396A (en) * 1960-09-30 1964-04-28 Gen Electric Cryogenic pumping apparatus
CH628959A5 (en) * 1978-04-18 1982-03-31 Balzers Hochvakuum Cryopump with a fitted refrigerating machine
SU769080A1 (ru) * 1978-07-31 1980-10-07 Предприятие П/Я В-8851 Криогенный вакуумный насос
EP0155700B1 (en) * 1984-03-22 1990-01-31 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Apparatus for quantitative secondary ion mass spectrometry
SU1250707A1 (ru) * 1985-03-15 1986-08-15 Организация П/Я М-5273 Криогенный насос
DE3512614A1 (de) * 1985-04-06 1986-10-16 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Verfahren zur inbetriebnahme und/oder regenerierung einer kryopumpe und fuer dieses verfahren geeignete kryopumpe
SU1698481A1 (ru) * 1987-12-17 1991-12-15 Институт Аналитического Приборостроения Научно-Технического Объединения Ан Ссср Криогенный адсорбционный насос
US4873833A (en) * 1988-11-23 1989-10-17 American Telephone Telegraph Company, At&T Bell Laboratories Apparatus comprising a high-vacuum chamber
EP0384922B1 (de) * 1989-02-28 1993-07-14 Leybold Aktiengesellschaft Mit einem zweistufigen Refrigerator betriebene Kryopumpe
GB2234988B (en) * 1989-08-16 1993-12-08 Qpl Limited Improvements in vacuum deposition machines
DE59101463D1 (de) * 1990-11-19 1994-05-26 Leybold Ag Verfahren zur regeneration einer kryopumpe sowie zur durchführung dieses verfahrens geeignete kryopumpe.
US5231840A (en) * 1991-03-28 1993-08-03 Daikin Industries, Ltd. Cryopump
US5537833A (en) * 1995-05-02 1996-07-23 Helix Technology Corporation Shielded cryogenic trap
DE19632123A1 (de) * 1996-08-09 1998-02-12 Leybold Vakuum Gmbh Kryopumpe
US6122920A (en) * 1998-12-22 2000-09-26 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy High specific surface area aerogel cryoadsorber for vacuum pumping applications
DE10331201A1 (de) * 2003-07-10 2005-01-27 Leybold Vakuum Gmbh Kryopumpe
CN100458310C (zh) * 2004-08-25 2009-02-04 爱发科低温泵株式会社 蓄冷器及克莱欧泵
US8291717B2 (en) * 2008-05-02 2012-10-23 Massachusetts Institute Of Technology Cryogenic vacuum break thermal coupler with cross-axial actuation
JP5184995B2 (ja) * 2008-07-04 2013-04-17 住友重機械工業株式会社 クライオポンプ
JP4843067B2 (ja) * 2009-04-08 2011-12-21 住友重機械工業株式会社 パルスチューブ冷凍機

Also Published As

Publication number Publication date
BR112012029924A2 (pt) 2019-09-24
US8955339B2 (en) 2015-02-17
US20130104571A1 (en) 2013-05-02
RU2565477C2 (ru) 2015-10-20
WO2011147042A1 (de) 2011-12-01
EP2577064A1 (de) 2013-04-10
CH703216A1 (de) 2011-11-30
EP2577064B1 (de) 2014-03-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI567335B (zh) 具電動渦輪式軸流扇之散熱燈具裝置
ES2528953T3 (es) Dispositivo de iluminación
CN103998862A (zh) Led照明装置
TWM468568U (zh) 機油濾芯散熱器
WO2015129419A1 (ja) Ｌｅｄランプ
RU2020106717A (ru) Изолированное устройство для хранения
RU2012116069A (ru) Резонатор гельмгольца для камеры сгорания газовой турбины
JP5975303B2 (ja) Ｌｅｄランプ及びそれに使用するヒートシンク
US8167460B2 (en) LED lamp having heat radiating housing
RU2007135200A (ru) Статор турбины газотурбинного двигателя и газотурбинный двигатель
JP2015111540A (ja) 照明器具およびヒートシンク
JPWO2011162048A1 (ja) Ｌｅｄ光源装置
JP2016070114A (ja) エンジンの水冷装置
US20130049594A1 (en) Electric axial-flow fan having turbine type waterproof enclosure and application thereof
RU2012157281A (ru) Криогенный насос, снабженный устройством для предотвращения эффекта памяти
JP2016115655A (ja) Ｌｅｄランプ
WO2006120076A3 (de) Kältegerät mit umluftkühlung
TWI584872B (zh) Installation of cold trap and cold trap
TW202123861A (zh) 氣泡水機之冷膽
RU2014148714A (ru) Теплоизолирующий приводной тяговый элемент
KR101292443B1 (ko) 휠로더의 배기장치
CN104384768A (zh) 出水管路设有蛇形盘管冷却器的高效冷却机
RU2005131235A (ru) Тепловая труба
RU2014134971A (ru) Газоразрядная лампа
RU2010134118A (ru) Конденсационный котел наружного размещения