SU1250707A1 - Криогенный насос - Google Patents

Description

2.Насос по II. 1, отличающийс  тем, что откачивающий улемеит снабжен сквозными каналами, расноложенными соосно трубкам-подвесам, а трубки, сообщаюнхие кольцевой сосуд с заливным экраном, расно- л(JЖOны в Kaiia.iax с зазором относите,:1ьно их стенок,

3.Насос по и. 1, отличающийс  тем, что, с целью повышени  удобства :(кснлуа- гацни обеспечени  визуального копт1

Изобретение относитс  к вакуумной технике , а именно к конструкци м криогенных вакуумных насосов, нредназначенных дл  по.мучени  и поддержани  вакуума в нанылительных установках.

Нельк) изобретени   в.м етс  н(Л ЫЦ1ение )действи  при использовании насоса в нанылительных установках, а также повы- Н1ение удобства эксн.чуатации нутем обеспечени  визуальногч) кон1ро;1Я за работой этих установок и возможности достуна к нагпмл е- мому изделию.

На фиг. I представлен насос, установленный на п,тите на11Ы. 1ительной установки, продольный разрез; на фиг. 2узел I на фиг. 1; на фиг. 3 уз. 1ы II и 111 на фиг. 1.

Криогенный насос содержит вертикаль- 1н,|й корпус 1 с входным патрубком 2 в нижней часги, откачивак)Н1ий элеме|гг 3 и плоский нк вронпый экрап 4, размен1енные в кор- нусе 1 внут)н радиационного экрана 5, св - занно1() с за,чивн1)1м экраном (i, снабженным 1 рубками-нодвссами 7. Насос донолни- те, 1ьн() содержит ко.|ьцевой сосуд 8 дл  хлада1чч1та, охватьшаюший пкмфонный эк- )ан 4 и сообп1енный с заливн1)1м экраном 6 н)и Н()моп1и Iрубок 9, цн.пиндрический шев- )онный экран И), размешенный коаксиально внутри радиационного эк1 )ана 5 и соединенный с 1енловым контактом в верхней часги с кольцевым 8 и плоским шевронным экраном 4, а в нижней части с радиационным экраном 5, и криопанель, вы нолненную в виде обечайки 11, размен1енной коаксиа.тыю между радиационным и цилиндрическим шевронп1,1м экранами 5 и 10 и закрепленной с тенлов1 1м контактом на откачи- ваю1цем э,:1ементе 3, нричем радиационный экран Г) снабжен кольцевЬ)1мн ({)ланцем 12, закренленным на его нижнем торце при но- моши теплового моста 13, а заливной экран В CKB(j3nbiM цилинд()ическим осевым каналом 14 и размешенным в пос.чеднем доно.-щи ге.1ьным 1не; }М)Н1н,1м экраном 15.

рол  за работой нанылительных установок и возможности достуна к напыл емому из- де;1ИК1, Kcjpiiyc снабже) боковым натруб- ком, а в радиа 1иопном и ци.1индрическом шевронном экранах и обечайке соосно боковому патрубку вынолпены от1 ерсти , нричем упом нутые экраны снабжены )ас11о.-1()жен- 1П.1МИ в (ггверсти х патрубками и установленным в них с возможностью осево() нере меп1,ени  ко. нд1евым элементом, контактирующим с внутренними поверхност ми патрубков

5

0

5

5

()i качивающий элемент 3 снабжен сквозными каналами 16, расположепными соосно трубкам-подвесам 7, а трубки 9, сообщающие ко,. 1ьцевой сосуд 8 с заливным экраном В, расположены в каналах Hi с за.зором относительно их стенок. Корнус 1 снабжен боковым натрубком 17, а в радиационном и ци. 1индрическом П1европном экранах Г) и 10 и обечайке 11 соосно боковому патрубку 17 выполнены отве|)стин, п)ичем экраны 5 и 10 снабженЬ) расположенными в огверои ч нат- рубками 18 и 19 и установленным н них с возможностью осевого перемещени  кольцевым элеме1ггом 20, контак гпруюшим с внутренними новерхноет ми патрубков 18 н 19. В патрубке 17 установле1И), например, стек- . Ю 21, обеснечиваюн1ее визуа.чьный контроль за работой усланоики. 1 илип.чрически П1евронный экран 10 соединен в Bep.neii части с ко.тьцевьгм сосудом 8 н плоским П1евронным экраном 4 н)и HOMOIILH кренеж- Н1)1Х э.чеменгон 22 и 23, а в часги с радиационным экраном 5 при помощи крепежных элементов 24 и 25. Kopiiyc 1 уста- нсзвлен на н;1игу 2() напылите,11Л1ой установки , снабженную клапаном 27 np(.4 U apHTLMbH(j. го вакуумировапи  и сто.. 1ом 28. копчакги- руюнщм с K(j, ibneBbiM ф.чанцем 12 н имею- 1ПИМ нагекагель 29.

Насос работает следуюн1им об)азом.

11осле установки корнуса 1 насоса па плиту 26 и 1Ч ).метизации входною патрубка 2 производ т предварительное вакчлми ровапие нолс)сти корнуса 1 через клапан 27. Затем заливаю жидкий азот в заливной экран 6 и ко.чьневой сосуд 8, ч ю нрнводит к охлаждению экранов 4, 5, 6 и 15. /la.iee за:1ивают жидкий гелий в откачивающий э.че- ме}1т 3 и после ох,1аждени  его и обечайки 1 1 насос готов к раб(.)те с га.зово на- 1 рузкой, обусловленной нроведепием технологических операций с изделием, нредвари Te ibHo ycTafioB, u4{nbiM на стг),1е 28. Нсли технологические опе)ацин сопровождай)iс 

Г)()/1Ы11ими г a:u)i 1)1 делени м и водород;, то в насос подают чере.ч натекатсч н. 29 газообразный азот иди а)гон. который, конденсиру сь на 11ове),хност . откачивающего мента 3 и обечайки 11, ()Г)|)азует с,той крио- сорбента.

В процессе проведени  ix XHo. югических операций над издедием осушесги.т ют ви- зуадьный контро,:|Ь за iifionecc OM через стекло 21 натрубка 17 На же патрубке может быть уетанои.1ена )азлпчна  тс хноло- гическа  оснастка д/1  доступа к изделию, например манипул тор. Наличие подвижного кольцевого элемента 20 позво,1 ет легко, в случае необходимости, разобрать насос или сн ть один из экранов 5 и.пи И).

Нред,чагаемый иас ос нозиол  исиоль . ва-|Ь корпус I насоса в качес1ве колпака на11Ы,1Ительи(П1 установки, чго обеии-чниас разме цение наньм емого нзде.ш  иепосре i стиенно в обьеме насоса и тем самым по иьппает быстроде11С1 вис.

Иа.тпчпс теп.юио о Moc i;i 1.4 н жд ра диационным :(крапом и и колыцчи, (|)л; и нем 12 снижает i еп/юпри юк к ткрапх и: cro.ia 28, к которому (fj.iaiien 12 ii. O ino ii) мыкас т, обеспечива  минпмчм га-ювом) потока из полости между корпус ом I и радиационным :1краном 5. котора  рус К   откачивак)пи1м :(, 1ем(Ч1Т)М 3 ;io ИО.1ПИТ1МЫ1ЫЙ шевронный :)К)аи 1 Г) и oceBoit капа, 1 14 за. пниюго скрапа Г.

Pr.uiK I lp : I Ь Вхан -i,ik;i t 1 i8,4 L 7

KI )гк 11 ;i

i In -.IIMi lli (

(j)CT;iMn 14.II, И Ь I -iKi. Гехрсл M lir;,, ( Тираж ВИИИ11И Госуларстш-инп.:, кпмикч.) ((. P

no .Н Лам изобретший и г к;|| ;гии

||.().ЗГ), Миеква, Ж- 35. Ра 11И-ка  .:-С).. л t .

Филиа.и ПИП «Патент, i .V/tM (ii-.i:.;. .i Прш-к i iiisi 4

KI )гк 11 ;i 111.1: Mil

i In -.IIMi lli (

((. P

Claims (3)

1. КРИОГЕННЫЙ НАСОС, содержащий вертикальный корпус с входным патрубком в нижней части, откачивающий элемент и плоский шевронный экран, размешенные в корпусе внутри радиационного экрана, связанного с заливным экраном, снабженным трубками-подвесами, отличающийся тем, что, с целью повышения быстродействия при использовании насоса в напылительных установках, он дополнительно содержит кольцевой сосуд для хладагента, охватывающий шевронный экран и сообщен ный с заливным экраном при помощи трубок, цилиндрический шевронный экран, размещенный коаксиально внутри радиационного экрана и соединенный с тепловым контактом в верхней части с кольцевым сосудом и плоским шевронным экраном, а в нижней части — с радиационным экраном и криопанель, выполненную в виде обечайки, размещенной коаксиально между радиационным и цилиндрическим шевронным экранами и закрепленной с тепловым контактом на откачивающем элементе, причем радиационный экран снабжен кольцевым фланцем, закрепленным на его нижнем торце при помощи теплового моста, а заливной экран — сквозным цилиндрическим осевым каналом и размещенным в по следнем дополнительным шевронным экраном.

Фиг!

?В ?6

2. Насос no и. 1, отличающийся тем, что откачивающий элемент снабжен сквозными каналами, расположенными соосно трубкам подвесам, а трубки, сообщающие кольцевой сосуд с заливным экраном, расположены в каналах с зазором относительно их стенок.

3. Насос по и. 1. отличающийся гем. что, с целью повышения удобства эксплуатации путем обеспечения визуального конт роля за работой напылительных установок и возможности доступа к напыляемому изделию, корпус снабжен боковым патрубком, а в радиационном и цилиндрическом шевронном экранах и обечайке соосно боковому патрубку выполнены отверстия, причем упомянутые экраны снабжены расположенными в отверстиях патрубками и установленным в них с возможностью осевого перемещения кольцевым элементом, контактирующим с внутренними поверхностями патрубков.