RU2012156045A

RU2012156045A - Вакуумнодуговой испаритель для генерирования катодной плазмы

Info

Publication number: RU2012156045A
Application number: RU2012156045/02A
Authority: RU
Inventors: Владимир Васильевич Васильев; Владимир Евгениевич СТРЕЛЬНИЦКИЙ
Original assignee: Национальный Научный Центр "Харьковский Физико-Технический Институт" (Ннц Хфти)
Priority date: 2011-04-08
Filing date: 2012-02-29
Publication date: 2014-09-10
Also published as: WO2012138311A1; UA101678C2; RU2536126C2

Abstract

1. Вакуумнодуговой испаритель для генерирования катодной плазмы, содержащий: анод, корпус в виде отрезка трубы, выполненный из немагнитного металла, закрытый с внешнего торца, электромагнитную катушку, охватывающую корпус, цилиндрический катод с торцевой испаряемой поверхностью, прикрепленный к держателю, который введен внутрь корпуса сквозь осевое отверстие в его внешнем торце с использованием вакуумного уплотнения, ферромагнитную втулку, которая охватывает держатель катода, ферромагнитное кольцо с диаметром отверстия большим чем диаметр катода, размещенное вблизи его торцовой испаряемой поверхности соосно с ним, электроразрядное поджигающее устройство, закрепленное вблизи боковой поверхности катода, отличающийся тем, что он включает два дополнительных кольцевых ферромагнитных элемента, соосных с держателем катода, один из которых охватывает корпус у внешнего торца электромагнитной катушки на корпусе, а второй охватывает ферромагнитную втулку или держатель катода, при этом электромагнитная катушка на корпусе охвачена ферромагнитным экраном в виде отрезка трубы, анод расположен вне вышеупомянутого корпуса, электроизолирован от него и охвачен отдельной электромагнитной катушкой, торцевая испаряемая поверхность катода находится вблизи плоскости внутреннего открытого торца корпуса, держатель катода вместе с катодом выполнен подвижным вдоль оси испарителя, при условии, что ферромагнитная втулка не меняет своего положения.2. Вакуумнодуговой испаритель по п.1, отличающийся тем, что вышеуказанные дополнительные ферромагнитные кольцевые элементы выполнены в виде двух коаксиально расположенных к�

Claims

1. Вакуумнодуговой испаритель для генерирования катодной плазмы, содержащий: анод, корпус в виде отрезка трубы, выполненный из немагнитного металла, закрытый с внешнего торца, электромагнитную катушку, охватывающую корпус, цилиндрический катод с торцевой испаряемой поверхностью, прикрепленный к держателю, который введен внутрь корпуса сквозь осевое отверстие в его внешнем торце с использованием вакуумного уплотнения, ферромагнитную втулку, которая охватывает держатель катода, ферромагнитное кольцо с диаметром отверстия большим чем диаметр катода, размещенное вблизи его торцовой испаряемой поверхности соосно с ним, электроразрядное поджигающее устройство, закрепленное вблизи боковой поверхности катода, отличающийся тем, что он включает два дополнительных кольцевых ферромагнитных элемента, соосных с держателем катода, один из которых охватывает корпус у внешнего торца электромагнитной катушки на корпусе, а второй охватывает ферромагнитную втулку или держатель катода, при этом электромагнитная катушка на корпусе охвачена ферромагнитным экраном в виде отрезка трубы, анод расположен вне вышеупомянутого корпуса, электроизолирован от него и охвачен отдельной электромагнитной катушкой, торцевая испаряемая поверхность катода находится вблизи плоскости внутреннего открытого торца корпуса, держатель катода вместе с катодом выполнен подвижным вдоль оси испарителя, при условии, что ферромагнитная втулка не меняет своего положения.

2. Вакуумнодуговой испаритель по п.1, отличающийся тем, что вышеуказанные дополнительные ферромагнитные кольцевые элементы выполнены в виде двух коаксиально расположенных колец, одно из которых охватывает корпус и примыкает к ферромагнитному экрану у внешнего торца электромагнитной катушки на корпусе, а второе кольцо размещено внутри корпуса и охватывает ферромагнитную втулку.

3. Вакуумнодуговой испаритель по п.1, отличающийся тем, что одним из вышеупомянутых дополнительных кольцевых элементов является внешний фланец корпуса, выполненный из ферромагнитного металла, а вторым кольцевым элементом является выполненный из ферромагнитного металла, торец корпуса в виде крышки, с отверстием для держателя катода, которая примыкает к внешнему фланцу корпуса и к ферромагнитной втулке.

4. Вакуумнодуговой испаритель по одному из пп.1-3, отличающийся тем, что длина вышеупомянутой ферромагнитной втулки не меньше величины, которая составляет половину длины электромагнитной катушки, охватывающей корпус, плюс толщина вышеупомянутого дополнительного кольцевого ферромагнитного элемента, который охватывает корпус.

5. Вакуумнодуговой испаритель по п.4, отличающийся тем, что корпус выполнен с водоохлаждаемой боковой поверхностью, которая имеет тепловой контакт с охватывающей его электромагнитной катушкой.