UA10775A - СПОСОБ ВАКУУМнО-ДУГОВОГО НАНЕСЕННЯ ПОКРЫТИЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО осуществления - Google Patents
СПОСОБ ВАКУУМнО-ДУГОВОГО НАНЕСЕННЯ ПОКРЫТИЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО осуществления Download PDFInfo
- Publication number
- UA10775A UA10775A UA96041562A UA96041562A UA10775A UA 10775 A UA10775 A UA 10775A UA 96041562 A UA96041562 A UA 96041562A UA 96041562 A UA96041562 A UA 96041562A UA 10775 A UA10775 A UA 10775A
- Authority
- UA
- Ukraine
- Prior art keywords
- cathode
- vacuum
- working
- anode
- coating
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 13
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 58
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 13
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 6
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract description 2
- 238000011089 mechanical engineering Methods 0.000 abstract 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 46
- 239000000463 material Substances 0.000 description 33
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 27
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 19
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 10
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 7
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 7
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 238000011161 development Methods 0.000 description 6
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000010406 cathode material Substances 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 2
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 2
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 2
- -1 plastics Chemical class 0.000 description 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000001364 causal effect Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000011819 refractory material Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910001256 stainless steel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Заявленная группа изобретений относится к отрасли техники ионно-плазменного вакуумно-дугового нанесения защитно-декоративных и функциональных покрытий с заданными свойствами в машиностроении, приборостроении и других областях, где необходимо целенаправленное изменение физических характеристик, и состава поверхности изделий. Способ включает испарение электрически проводящих материалов при наличии аксиально-симметричного катода, воздействие на торцевую рабочую поверхность катода параллельного ей постоянного аксиально-симметричного магнитного поля.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| UA96041562A UA10775A (ru) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | СПОСОБ ВАКУУМнО-ДУГОВОГО НАНЕСЕННЯ ПОКРЫТИЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО осуществления |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| UA96041562A UA10775A (ru) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | СПОСОБ ВАКУУМнО-ДУГОВОГО НАНЕСЕННЯ ПОКРЫТИЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО осуществления |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| UA10775A true UA10775A (ru) | 1996-12-25 |
Family
ID=74552432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| UA96041562A UA10775A (ru) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | СПОСОБ ВАКУУМнО-ДУГОВОГО НАНЕСЕННЯ ПОКРЫТИЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО осуществления |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| UA (1) | UA10775A (ru) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012138311A1 (ru) * | 2011-04-08 | 2012-10-11 | Национальный Научный Центр "Харьковский Физико-Технический Институт" (Ннц Хфти) | Вакуумнодуговой испаритель для генерирования катодной плазмы |
| RU2483500C2 (ru) * | 2010-07-02 | 2013-05-27 | Наталия Аркадьевна Мискинова | Способ локального нагрева участка поверхности катода |
| RU2499080C2 (ru) * | 2008-06-11 | 2013-11-20 | Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах | Кассета для обрабатываемых деталей |
| WO2015005888A1 (ru) * | 2013-07-09 | 2015-01-15 | Товарыство З Обмэжэною Видповидальнистю "Грэсэм Иновэйшн" | Плазменно-дуговое устройство формирования покрытий |
-
1996
- 1996-04-19 UA UA96041562A patent/UA10775A/ru unknown
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2499080C2 (ru) * | 2008-06-11 | 2013-11-20 | Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах | Кассета для обрабатываемых деталей |
| RU2483500C2 (ru) * | 2010-07-02 | 2013-05-27 | Наталия Аркадьевна Мискинова | Способ локального нагрева участка поверхности катода |
| WO2012138311A1 (ru) * | 2011-04-08 | 2012-10-11 | Национальный Научный Центр "Харьковский Физико-Технический Институт" (Ннц Хфти) | Вакуумнодуговой испаритель для генерирования катодной плазмы |
| WO2015005888A1 (ru) * | 2013-07-09 | 2015-01-15 | Товарыство З Обмэжэною Видповидальнистю "Грэсэм Иновэйшн" | Плазменно-дуговое устройство формирования покрытий |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1038045B1 (en) | A method for magnetically enhanced sputtering | |
| US4551221A (en) | Vacuum-arc plasma apparatus | |
| US4673477A (en) | Controlled vacuum arc material deposition, method and apparatus | |
| US10056237B2 (en) | Low pressure arc plasma immersion coating vapor deposition and ion treatment | |
| RU2557078C2 (ru) | Устройство генерирования электронного луча | |
| JP5160730B2 (ja) | ビーム状プラズマ源 | |
| CA2205576C (en) | An apparatus for generation of a linear arc discharge for plasma processing | |
| EP0905272B1 (en) | Cathodic arc vapor deposition apparatus (annular cathode) | |
| KR100260601B1 (ko) | 기판 코팅장치 | |
| JP5232190B2 (ja) | 真空処理プロセスのためのソース | |
| US6756596B2 (en) | Filtered ion source | |
| UA10775A (ru) | СПОСОБ ВАКУУМнО-ДУГОВОГО НАНЕСЕННЯ ПОКРЫТИЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО осуществления | |
| KR20060066632A (ko) | 기판에 재료를 캐소드 아크 증착시키기 위한 방법 및 장치 | |
| Rother et al. | Cathodic arc evaporation of graphite with controlled cathode spot position | |
| GB2255105A (en) | Dual magnetron/cathodic arc vapour source | |
| RU2607398C2 (ru) | Способ нанесения покрытий путем плазменного напыления и устройство для его осуществления | |
| RU2098512C1 (ru) | Вакуумно-дуговой источник плазмы | |
| RU2171314C2 (ru) | Плазматрон для лазерно-плазменного нанесения покрытия | |
| RU2022493C1 (ru) | Плазменный ускоритель с замкнутым дрейфом электронов | |
| RU2037559C1 (ru) | Способ нанесения покрытий на изделия методом ионного распыления и устройство для его осуществления | |
| RU2039849C1 (ru) | Вакуумно-дуговое устройство | |
| RU2096520C1 (ru) | Электродуговой испаритель | |
| RU2037561C1 (ru) | Устройство для упрочняющей поверхностной обработки | |
| Falabella et al. | Continuous cathodic arc sources | |
| Oks et al. | Some Features of the Vacuum Arc Ion Source Operation with Lanthanum Hexaboride Cathodes |