RU2012147519A - Газоселективная мембрана и способ ее изготовления - Google Patents
Газоселективная мембрана и способ ее изготовления Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012147519A RU2012147519A RU2012147519/28A RU2012147519A RU2012147519A RU 2012147519 A RU2012147519 A RU 2012147519A RU 2012147519/28 A RU2012147519/28 A RU 2012147519/28A RU 2012147519 A RU2012147519 A RU 2012147519A RU 2012147519 A RU2012147519 A RU 2012147519A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- plate
- gas
- selective
- membrane
- depressions
- Prior art date
Links
- 239000012528 membrane Substances 0.000 title claims abstract 15
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 12
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract 12
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract 6
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims abstract 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract 4
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims abstract 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims abstract 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims abstract 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000006100 radiation absorber Substances 0.000 claims 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D69/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor
- B01D69/02—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor characterised by their properties
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
- G01M3/205—Accessories or associated equipment; Pump constructions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D69/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor
- B01D69/10—Supported membranes; Membrane supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2325/00—Details relating to properties of membranes
- B01D2325/20—Specific permeability or cut-off range
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
1. Способ изготовления мембраны с газопроницаемыми окошками (26), включающий:- изготовление из кремния первой пластины (10),- формирование в первой пластине (10) впадин (11) или проходов,- наложение на первую пластину (10) второй кремниевой пластины (20), содержащей слой (21) с селективной газопроницаемостью из кремнийсодержащего материала,- формирование во второй пластине (20) впадин (22, 40), по меньшей мере частично перекрывающихся с впадинами (11) или проходами в первой пластине, так что две пластины (10, 20) образуют тело (25) мембраны с окошками (26), каждое из которых имеет слой (21) с селективной газопроницаемостью.2. Способ по п.1, в котором формирование впадин или сквозных отверстий выполняют путем травления.3. Способ по п.2, в котором газоселективный слой (21) выполнен из диоксида кремния (SiO) и образует нижнюю стенку второй пластины (20).4. Способ по п.1, в котором все впадины (11) первой пластины (10) содержат донышки, снабженные порами и проницаемые для газа.5. Газоселективная мембрана, тело (25) которой содержит:- первую пластину (10) из кремния, имеющую впадины (11) или проходы, и- вторую пластину (20) из кремния, имеющую проходы (22, 40), перекрытые нижней стенкой, образованной тонким газоселективным слоем (21), причем пластины (10, 20) плашмя прилегают друг другу.6. Мембрана по п.5, в которой впадины (11) первой пластины (10) имеют пористые донышки (13).7. Газоселективная мембрана, содержащее тело (25), имеющее окошки (26) с селективной газопроницаемостью, в которых находится слой (21) кремнийсодержащего материала, и нагреватель (35) для нагрева окошек (26), образованный излучающим нагревательным элементом, нагревающим совместно несколько окошек (26), причем тело (25) мембраны �
Claims (9)
1. Способ изготовления мембраны с газопроницаемыми окошками (26), включающий:
- изготовление из кремния первой пластины (10),
- формирование в первой пластине (10) впадин (11) или проходов,
- наложение на первую пластину (10) второй кремниевой пластины (20), содержащей слой (21) с селективной газопроницаемостью из кремнийсодержащего материала,
- формирование во второй пластине (20) впадин (22, 40), по меньшей мере частично перекрывающихся с впадинами (11) или проходами в первой пластине, так что две пластины (10, 20) образуют тело (25) мембраны с окошками (26), каждое из которых имеет слой (21) с селективной газопроницаемостью.
2. Способ по п.1, в котором формирование впадин или сквозных отверстий выполняют путем травления.
3. Способ по п.2, в котором газоселективный слой (21) выполнен из диоксида кремния (SiO2) и образует нижнюю стенку второй пластины (20).
4. Способ по п.1, в котором все впадины (11) первой пластины (10) содержат донышки, снабженные порами и проницаемые для газа.
5. Газоселективная мембрана, тело (25) которой содержит:
- первую пластину (10) из кремния, имеющую впадины (11) или проходы, и
- вторую пластину (20) из кремния, имеющую проходы (22, 40), перекрытые нижней стенкой, образованной тонким газоселективным слоем (21), причем пластины (10, 20) плашмя прилегают друг другу.
6. Мембрана по п.5, в которой впадины (11) первой пластины (10) имеют пористые донышки (13).
7. Газоселективная мембрана, содержащее тело (25), имеющее окошки (26) с селективной газопроницаемостью, в которых находится слой (21) кремнийсодержащего материала, и нагреватель (35) для нагрева окошек (26), образованный излучающим нагревательным элементом, нагревающим совместно несколько окошек (26), причем тело (25) мембраны служит в качестве поглотителя излучения.
8. Мембрана по п.7, в которой нагреватель (35) содержит электрически нагреваемое тело (36).
9. Мембрана по п.7, тело (25) которой содержит теплоотражающий слой (38).
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US12/757,611 | 2010-04-09 | ||
| US12/757,611 US8361196B2 (en) | 2010-04-09 | 2010-04-09 | Gas-selective membrane and method of its production |
| PCT/EP2011/055371 WO2011124618A1 (en) | 2010-04-09 | 2011-04-06 | A gas-selective membrane and method of its production |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012147519A true RU2012147519A (ru) | 2014-05-20 |
| RU2558644C2 RU2558644C2 (ru) | 2015-08-10 |
Family
ID=44065638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012147519/28A RU2558644C2 (ru) | 2010-04-09 | 2011-04-06 | Газоселективная мембрана и способ ее изготовления |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US8361196B2 (ru) |
| EP (2) | EP3029446B1 (ru) |
| JP (1) | JP5758981B2 (ru) |
| KR (1) | KR101811694B1 (ru) |
| CN (1) | CN102884409B (ru) |
| RU (1) | RU2558644C2 (ru) |
| WO (1) | WO2011124618A1 (ru) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5518039B2 (ja) * | 2011-12-28 | 2014-06-11 | 株式会社日立製作所 | フィルター、及びその製造方法 |
| KR101759093B1 (ko) * | 2015-07-01 | 2017-07-18 | 서울대학교산학협력단 | 나노포어 구조체, 나노포어 구조를 이용한 이온소자 및 나노멤브레인 구조체 제조방법 |
| US10782237B2 (en) | 2015-10-16 | 2020-09-22 | Inficon Holding Ag | Optical detection of tracer gases in a gas discharge cell having unexposed electrodes |
| DE102021134647A1 (de) * | 2021-12-23 | 2023-06-29 | Inficon Gmbh | Vakuumlecksucher mit Ansprüh-Membran-Testleck und Verfahren |
Family Cites Families (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3274750A (en) * | 1962-12-28 | 1966-09-27 | Gen Electric | Permeable polymeric membrane gas separation |
| DE1648367A1 (de) * | 1967-06-05 | 1971-04-15 | Varian Mat Gmbh | Diffusionsmembran-Anordnung,insbesondere fuer Lecksuchroehren |
| US3880684A (en) * | 1973-08-03 | 1975-04-29 | Mitsubishi Electric Corp | Process for preparing semiconductor |
| US4384919A (en) * | 1978-11-13 | 1983-05-24 | Sperry Corporation | Method of making x-ray masks |
| US5335256A (en) * | 1991-03-18 | 1994-08-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Semiconductor substrate including a single or multi-layer film having different densities in the thickness direction |
| DE4326265A1 (de) * | 1993-08-05 | 1995-02-09 | Leybold Ag | Testgasdetektor, vorzugsweise für Lecksuchgeräte, sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser Art |
| DE19521275A1 (de) * | 1995-06-10 | 1996-12-12 | Leybold Ag | Gasdurchlaß mit selektiv wirkender Durchtrittsfläche sowie Verfahren zur Herstellung der Durchtrittsfläche |
| CA2351325A1 (en) * | 1998-12-02 | 2000-06-08 | Aleksander J. Franz | Integrated palladium-based micromembranes for hydrogen separation and hydrogenation/dehydrogenation reactions |
| MX250079B (es) * | 1999-06-11 | 2007-10-08 | Gas Separation Technology Inc | Material poroso permeable al gas para separacion de gases.. |
| US6784485B1 (en) * | 2000-02-11 | 2004-08-31 | International Business Machines Corporation | Diffusion barrier layer and semiconductor device containing same |
| US6405066B1 (en) * | 2000-03-17 | 2002-06-11 | The Regents Of The University Of California | Implantable analyte sensor |
| DE10122733A1 (de) * | 2001-05-10 | 2002-11-14 | Inficon Gmbh | Testleckvorrichtung |
| DE10162126A1 (de) * | 2001-12-18 | 2003-07-03 | Inficon Gmbh | Gasdurchlass mit selektiv wirkenden Gasdurchtrittsflächen |
| WO2004011130A1 (ja) * | 2002-07-25 | 2004-02-05 | Dai Nippon Insatsu Kabushiki Kaisha | 水素製造用フィルタに用いる薄膜支持基板および水素製造用フィルタの製造方法 |
| JP4027218B2 (ja) * | 2002-12-13 | 2007-12-26 | キヤノン株式会社 | 濾過膜の製造方法 |
| ITTO20030032A1 (it) * | 2003-01-24 | 2004-07-25 | Varian Spa | Membrana permeabile selettivamente ai gas e metodo per la sua realizzazione. |
| US7393391B2 (en) * | 2003-10-24 | 2008-07-01 | Stc.Unm | Fabrication of an anisotropic super hydrophobic/hydrophilic nanoporous membranes |
| US7303681B2 (en) * | 2003-11-18 | 2007-12-04 | Exxonmobil Research And Engineering Company | Dynamic membrane wafer assembly and method |
| EP1726349A4 (en) * | 2004-01-26 | 2008-11-19 | Ngk Insulators Ltd | SELECTIVELY PERMEABLE MEMBRANE TYPE REACTOR |
| DE102004062101A1 (de) * | 2004-12-23 | 2006-07-13 | Inficon Gmbh | Selektiver Gassensor |
| JP5015766B2 (ja) * | 2005-02-04 | 2012-08-29 | 日本碍子株式会社 | 選択透過膜型反応器 |
| JP4562565B2 (ja) * | 2005-03-23 | 2010-10-13 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 無機多孔質分離膜およびその製造方法 |
| US7604690B2 (en) * | 2005-04-05 | 2009-10-20 | Wostec, Inc. | Composite material for ultra thin membranes |
| US7922795B2 (en) * | 2005-04-29 | 2011-04-12 | University Of Rochester | Ultrathin nanoscale membranes, methods of making, and uses thereof |
| EP1874443A4 (en) * | 2005-04-29 | 2009-09-16 | Univ Rochester | ULTRA-THAN POROUS NANOSCAL MEMBRANES, MANUFACTURING METHOD AND USES THEREOF |
| DE102006026125A1 (de) * | 2006-06-03 | 2007-12-06 | Inficon Gmbh | Gassensor |
| US8043418B2 (en) * | 2006-12-08 | 2011-10-25 | General Electric Company | Gas separator apparatus |
| RU2422942C1 (ru) * | 2009-12-25 | 2011-06-27 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт "Элпа" с опытным производством" (ОАО "НИИ "Элпа") | Способ изготовления мембранных структур |
-
2010
- 2010-04-09 US US12/757,611 patent/US8361196B2/en active Active
-
2011
- 2011-04-06 KR KR1020127029149A patent/KR101811694B1/ko active IP Right Grant
- 2011-04-06 RU RU2012147519/28A patent/RU2558644C2/ru active
- 2011-04-06 EP EP16152458.2A patent/EP3029446B1/en active Active
- 2011-04-06 WO PCT/EP2011/055371 patent/WO2011124618A1/en active Application Filing
- 2011-04-06 CN CN201180015925.8A patent/CN102884409B/zh active Active
- 2011-04-06 EP EP11712856.1A patent/EP2556358B1/en active Active
- 2011-04-06 JP JP2013503102A patent/JP5758981B2/ja active Active
-
2012
- 2012-08-10 US US13/571,851 patent/US8425672B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20120304863A1 (en) | 2012-12-06 |
| JP2013524228A (ja) | 2013-06-17 |
| US8425672B2 (en) | 2013-04-23 |
| CN102884409A (zh) | 2013-01-16 |
| EP3029446A1 (en) | 2016-06-08 |
| RU2558644C2 (ru) | 2015-08-10 |
| EP2556358A1 (en) | 2013-02-13 |
| EP2556358B1 (en) | 2017-08-30 |
| JP5758981B2 (ja) | 2015-08-05 |
| KR20130048729A (ko) | 2013-05-10 |
| CN102884409B (zh) | 2015-08-19 |
| KR101811694B1 (ko) | 2018-01-25 |
| US8361196B2 (en) | 2013-01-29 |
| US20110247498A1 (en) | 2011-10-13 |
| WO2011124618A1 (en) | 2011-10-13 |
| EP3029446B1 (en) | 2017-09-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2012147519A (ru) | Газоселективная мембрана и способ ее изготовления | |
| JP2008294417A5 (ru) | ||
| JP2013110425A5 (ja) | 半導体装置 | |
| RU2010135354A (ru) | Мембрана облегченного переноса со2 и способ ее получения | |
| JP2008311621A5 (ru) | ||
| WO2006112995A3 (en) | Glass-based semiconductor on insulator structures and methods of making same | |
| JP2013080891A5 (ru) | ||
| JP2010514099A5 (ru) | ||
| JP2009010353A5 (ru) | ||
| JP2011142310A5 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
| JP2009111363A5 (ru) | ||
| SG170089A1 (en) | Formation method of single crystal semiconductor layer, formation method of crystalline semiconductor layer, formation method of polycrystalline layer, and method for manufacturing semiconductor device | |
| FR2895275B1 (fr) | Membranes de separation de gaz contenant une couche de silice microporeuse a base de silice dopee par un element trivalent | |
| JP2009135469A5 (ru) | ||
| JP2012049516A5 (ru) | ||
| ES2749948T3 (es) | Vidrio multicapa al vacío y procedimiento de fabricación de vidrio multicapa al vacío | |
| JP2014154239A5 (ru) | ||
| JP2011100985A5 (ru) | ||
| JP2009135472A5 (ru) | ||
| JP2010199353A5 (ru) | ||
| WO2008147113A3 (en) | High efficiency solar cell, method of fabricating the same and apparatus for fabricating the same | |
| RU2016134449A (ru) | Элемент солнечной батареи и способ изготовления элемента солнечной батареи | |
| JP2012190865A5 (ru) | ||
| WO2013126033A3 (en) | Apparatus and methods for uniformly forming porous semiconductor on a substrate | |
| RU2018101463A (ru) | Адсорбент для способа адсорбции при переменной температуре |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TK4A | Correction to the publication in the bulletin (patent) |
Free format text: AMENDMENT TO CHAPTER -FG4A- IN JOURNAL: 22-2015 |
|
| PC43 | Official registration of the transfer of the exclusive right without contract for inventions |
Effective date: 20210421 |