RU2012138293A - Система распределения воды в реакторе газификации - Google Patents
Система распределения воды в реакторе газификации Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012138293A RU2012138293A RU2012138293/05A RU2012138293A RU2012138293A RU 2012138293 A RU2012138293 A RU 2012138293A RU 2012138293/05 A RU2012138293/05 A RU 2012138293/05A RU 2012138293 A RU2012138293 A RU 2012138293A RU 2012138293 A RU2012138293 A RU 2012138293A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- water
- distribution system
- reactor
- distribution channel
- holes
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C10—PETROLEUM, GAS OR COKE INDUSTRIES; TECHNICAL GASES CONTAINING CARBON MONOXIDE; FUELS; LUBRICANTS; PEAT
- C10J—PRODUCTION OF PRODUCER GAS, WATER-GAS, SYNTHESIS GAS FROM SOLID CARBONACEOUS MATERIAL, OR MIXTURES CONTAINING THESE GASES; CARBURETTING AIR OR OTHER GASES
- C10J3/00—Production of combustible gases containing carbon monoxide from solid carbonaceous fuels
- C10J3/72—Other features
- C10J3/78—High-pressure apparatus
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C10—PETROLEUM, GAS OR COKE INDUSTRIES; TECHNICAL GASES CONTAINING CARBON MONOXIDE; FUELS; LUBRICANTS; PEAT
- C10J—PRODUCTION OF PRODUCER GAS, WATER-GAS, SYNTHESIS GAS FROM SOLID CARBONACEOUS MATERIAL, OR MIXTURES CONTAINING THESE GASES; CARBURETTING AIR OR OTHER GASES
- C10J3/00—Production of combustible gases containing carbon monoxide from solid carbonaceous fuels
- C10J3/46—Gasification of granular or pulverulent flues in suspension
- C10J3/48—Apparatus; Plants
- C10J3/52—Ash-removing devices
- C10J3/526—Ash-removing devices for entrained flow gasifiers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C10—PETROLEUM, GAS OR COKE INDUSTRIES; TECHNICAL GASES CONTAINING CARBON MONOXIDE; FUELS; LUBRICANTS; PEAT
- C10J—PRODUCTION OF PRODUCER GAS, WATER-GAS, SYNTHESIS GAS FROM SOLID CARBONACEOUS MATERIAL, OR MIXTURES CONTAINING THESE GASES; CARBURETTING AIR OR OTHER GASES
- C10J3/00—Production of combustible gases containing carbon monoxide from solid carbonaceous fuels
- C10J3/46—Gasification of granular or pulverulent flues in suspension
- C10J3/48—Apparatus; Plants
- C10J3/52—Ash-removing devices
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C10—PETROLEUM, GAS OR COKE INDUSTRIES; TECHNICAL GASES CONTAINING CARBON MONOXIDE; FUELS; LUBRICANTS; PEAT
- C10J—PRODUCTION OF PRODUCER GAS, WATER-GAS, SYNTHESIS GAS FROM SOLID CARBONACEOUS MATERIAL, OR MIXTURES CONTAINING THESE GASES; CARBURETTING AIR OR OTHER GASES
- C10J3/00—Production of combustible gases containing carbon monoxide from solid carbonaceous fuels
- C10J3/72—Other features
- C10J3/74—Construction of shells or jackets
- C10J3/76—Water jackets; Steam boiler-jackets
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C10—PETROLEUM, GAS OR COKE INDUSTRIES; TECHNICAL GASES CONTAINING CARBON MONOXIDE; FUELS; LUBRICANTS; PEAT
- C10J—PRODUCTION OF PRODUCER GAS, WATER-GAS, SYNTHESIS GAS FROM SOLID CARBONACEOUS MATERIAL, OR MIXTURES CONTAINING THESE GASES; CARBURETTING AIR OR OTHER GASES
- C10J3/00—Production of combustible gases containing carbon monoxide from solid carbonaceous fuels
- C10J3/72—Other features
- C10J3/82—Gas withdrawal means
- C10J3/84—Gas withdrawal means with means for removing dust or tar from the gas
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C10—PETROLEUM, GAS OR COKE INDUSTRIES; TECHNICAL GASES CONTAINING CARBON MONOXIDE; FUELS; LUBRICANTS; PEAT
- C10J—PRODUCTION OF PRODUCER GAS, WATER-GAS, SYNTHESIS GAS FROM SOLID CARBONACEOUS MATERIAL, OR MIXTURES CONTAINING THESE GASES; CARBURETTING AIR OR OTHER GASES
- C10J3/00—Production of combustible gases containing carbon monoxide from solid carbonaceous fuels
- C10J3/72—Other features
- C10J3/82—Gas withdrawal means
- C10J3/84—Gas withdrawal means with means for removing dust or tar from the gas
- C10J3/845—Quench rings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17D—PIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
- F17D1/00—Pipe-line systems
- F17D1/08—Pipe-line systems for liquids or viscous products
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C10—PETROLEUM, GAS OR COKE INDUSTRIES; TECHNICAL GASES CONTAINING CARBON MONOXIDE; FUELS; LUBRICANTS; PEAT
- C10J—PRODUCTION OF PRODUCER GAS, WATER-GAS, SYNTHESIS GAS FROM SOLID CARBONACEOUS MATERIAL, OR MIXTURES CONTAINING THESE GASES; CARBURETTING AIR OR OTHER GASES
- C10J2200/00—Details of gasification apparatus
- C10J2200/15—Details of feeding means
- C10J2200/152—Nozzles or lances for introducing gas, liquids or suspensions
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/0318—Processes
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Public Health (AREA)
- Water Supply & Treatment (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Nozzles (AREA)
- Devices And Processes Conducted In The Presence Of Fluids And Solid Particles (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Abstract
1. Система распределения воды в реакторе газификации для осуществления процесса шлакообразования в потоке, в котором выделяемый синтез-газ во время реакции газификации течет вниз, причем указанный реактор газификации содержит- первую реакционную камеру, расположенную в верхней части реактора, в верхней области которой размещено устройство подачи исходного материала и боковые стенки которой оснащены трубками, содержащими внутреннее охлаждение в виде мембранной стенки, или трубчатыми змеевиками, из которых жидкий расплавленный шлак может свободно течь вниз без затвердевания поверхности этого шлака, а нижняя часть которой снабжена отверстием с обтекаемой кромкой,- вторую камеру, расположенную в нижней части в продолжении указанного отверстия, в которой синтез-газ поддерживается сухим и охлаждается радиационным охлаждением, причем предусмотрена система распределения воды для создания водяной завесы (7) в форме раструба,- третью камеру, которая расположена в нижней части в продолжении второй камеры, где устройство выпуска синтез-газа из реактора установлено снизу или сбоку третьей камеры,отличающаяся тем, чтодля формирования водяной завесы (7) концентрический кольцевой распределительный канал (3) в сочетании с осесимметричной отклоняющей поверхностью (11), вогнутой в ее поперечном сечении, выполнен в качестве системы распределения воды, где- кольцевой распределительный канал (3) содержит по меньшей мере одно отверстие для подачи воды,- кольцевой распределительный канал (3) содержит отверстия (10), которые надлежащим образом рассчитаны и сконструированы для обеспечения выпуска воды в виде струи,- направление
Claims (14)
1. Система распределения воды в реакторе газификации для осуществления процесса шлакообразования в потоке, в котором выделяемый синтез-газ во время реакции газификации течет вниз, причем указанный реактор газификации содержит
- первую реакционную камеру, расположенную в верхней части реактора, в верхней области которой размещено устройство подачи исходного материала и боковые стенки которой оснащены трубками, содержащими внутреннее охлаждение в виде мембранной стенки, или трубчатыми змеевиками, из которых жидкий расплавленный шлак может свободно течь вниз без затвердевания поверхности этого шлака, а нижняя часть которой снабжена отверстием с обтекаемой кромкой,
- вторую камеру, расположенную в нижней части в продолжении указанного отверстия, в которой синтез-газ поддерживается сухим и охлаждается радиационным охлаждением, причем предусмотрена система распределения воды для создания водяной завесы (7) в форме раструба,
- третью камеру, которая расположена в нижней части в продолжении второй камеры, где устройство выпуска синтез-газа из реактора установлено снизу или сбоку третьей камеры,
отличающаяся тем, что
для формирования водяной завесы (7) концентрический кольцевой распределительный канал (3) в сочетании с осесимметричной отклоняющей поверхностью (11), вогнутой в ее поперечном сечении, выполнен в качестве системы распределения воды, где
- кольцевой распределительный канал (3) содержит по меньшей мере одно отверстие для подачи воды,
- кольцевой распределительный канал (3) содержит отверстия (10), которые надлежащим образом рассчитаны и сконструированы для обеспечения выпуска воды в виде струи,
- направление струи из отверстий (10) указывает вовнутрь вогнутой отклоняющей поверхности,
- в направлении струи из отверстий (10) плоскостная ориентация вогнутой поверхности (11) характеризуется так, что направление струи и тангенциальная плоскость площади поперечного сечения выровнены относительно друг друга в точке встречи со струей под острым углом, находящимся в диапазоне от 0 до 45 градусов, и где
- отклоняющая поверхность (11) характеризуется такой кривизной в поперечном сечении, что ее угол (Бета) отклонения превышает 60 градусов.
2. Система распределения воды по п.1, отличающаяся тем, что отверстия (10) рассчитаны и сконструированы в виде направленных вверх форсунок.
3. Система распределения воды по п.2, отличающаяся тем, что направленные вверх форсунки характеризуются тангенциальным наклоном в направлении периметра реактора.
4. Система распределения воды по любому из предыдущих пп.2 и 3, отличающаяся тем, что направленные вверх форсунки характеризуются наклоном по направлению к центральной оси реактора.
5. Система распределения воды по п.1, отличающаяся тем, что кольцевой распределительный канал (3) рассчитан и сконструирован с различными поперечными сечениями (4) потока, которые сужаются от впуска (9) кольцевого распределительного канала (3) по направлению к каждому из отверстий (10).
6. Система распределения воды по п.1, отличающаяся тем, что радиус кривизны отклоняющей поверхности (11) составляет менее 0,3 м.
7. Система распределения воды по п.1, отличающаяся тем, что вогнутая поверхность (11) составлена из сшиваемых друг с другом секций.
8. Система распределения воды по любому из предыдущих пп.1, 6-7, отличающаяся тем, что прямолинейный участок расположен после изогнутой части отклоняющей поверхности (11).
9. Система распределения воды по п.1, отличающаяся тем, что в кольцевом распределительном канале выполнены дополнительные боковые отверстия и лежащие напротив них отклоняющие поверхности.
10. Способ распределения воды в реакторе газификации при осуществлении процесса шлакообразования в потоке, в котором выделяемый синтез-газ во время реакции газификации течет вниз, и в котором создают водяную завесу (7) в форме раструба, которая замкнутая на границе,
отличающийся тем, что
- воду под повышенным давлением вводят в кольцевой распределительный канал (3), через который она быстро проходит до тех пор, пока не покинет кольцевой распределительный канал (3) через отверстия (10),
- каждую из струй воды, сформированных на выходе из отверстий (10), сталкивают с отклоняющей поверхностью (11),
- каждая из струй воды отклоняется при скольжении вдоль отклоняющей поверхности (11) и смешивается со струей воды из соседнего отверстия (10) для формирования сплошной водяной пленки,
- эту сплошную водяную пленку вводят вовнутрь реактора после того, как она покидает отклоняющую поверхность (11) в направлении вниз.
11. Способ по п.10, отличающийся тем, что струи воды направляют на отклоняющую поверхность (11) с таким наклоном, что сплошная водяная пленка совершает вращение вокруг оси реактора
12. Способ по п.10, отличающийся тем, что при помощи боковых отверстий (12) и лежащих напротив этих отверстий отклоняющих поверхностей (13) создают, по меньшей мере, другую водяную пленку, причем указанная водяная пленка (15) прилипает к охлаждаемым стенкам кольцевого распределительного канала или камеры быстрого охлаждения, которые подвержены воздействию вырабатываемого газа.
13. Способ по любому из предыдущих пп.10-12, отличающийся тем, что воду, содержащую твердые вещества и поступающую из шлаковой ванны реактора газификации, используют в качестве воды.
14. Способ по любому из предыдущих пп.10-12, отличающийся тем, что воду, поступающую из циркулирующего потока воды, находящегося ниже по потоку шлаковой ванны реактора газификации, используют в качестве воды.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE201010009721 DE102010009721B4 (de) | 2010-03-01 | 2010-03-01 | Wasserverteilsystem und Verfahren zur Wasserverteilung in einem Vergasungsreaktor zur Durchführung eines schlackebildenden Flugstromverfahrens |
DE102010009721.7 | 2010-03-01 | ||
PCT/EP2011/000863 WO2011107228A2 (de) | 2010-03-01 | 2011-02-23 | Wasserverteilsystem in einem vergasungsreaktor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2012138293A true RU2012138293A (ru) | 2014-04-10 |
RU2570866C2 RU2570866C2 (ru) | 2015-12-10 |
Family
ID=44501987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2012138293/05A RU2570866C2 (ru) | 2010-03-01 | 2011-02-23 | Система распределения воды в реакторе газификации |
Country Status (15)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9175809B2 (ru) |
EP (1) | EP2542653B8 (ru) |
JP (1) | JP2013521353A (ru) |
KR (1) | KR101805220B1 (ru) |
CN (1) | CN102844411B (ru) |
AU (1) | AU2011223250B2 (ru) |
BR (1) | BR112012021871A2 (ru) |
CA (1) | CA2791819C (ru) |
CU (1) | CU23995B1 (ru) |
DE (1) | DE102010009721B4 (ru) |
HK (1) | HK1180000A1 (ru) |
RU (1) | RU2570866C2 (ru) |
TW (1) | TWI522455B (ru) |
UA (1) | UA110784C2 (ru) |
WO (1) | WO2011107228A2 (ru) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012001986A1 (de) | 2012-02-03 | 2013-08-08 | Thyssenkrupp Uhde Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Vergasung von staubförmigen, festen, kohlenstoffhaltigen Brennstoffen im Flugstrom |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4218423A (en) * | 1978-11-06 | 1980-08-19 | Texaco Inc. | Quench ring and dip tube assembly for a reactor vessel |
US4466808A (en) * | 1982-04-12 | 1984-08-21 | Texaco Development Corporation | Method of cooling product gases of incomplete combustion containing ash and char which pass through a viscous, sticky phase |
US4474584A (en) * | 1983-06-02 | 1984-10-02 | Texaco Development Corporation | Method of cooling and deashing |
JPH02202992A (ja) * | 1989-01-30 | 1990-08-13 | Texaco Dev Corp | ガス化装置用改良型クエンチリング |
SE465731B (sv) * | 1990-02-07 | 1991-10-21 | Kamyr Ab | Utvinning av energi och kemikalier ur massaavlutar under exponering av laagfrekvent ljud |
EP0604826A1 (de) * | 1992-12-24 | 1994-07-06 | Balaton Holding Sa | Anlage und Verfahren zur Verwertung brennbarer Stoffe, insbesondere Industrieabfälle und Hausmüll |
DE19714376C1 (de) * | 1997-04-08 | 1999-01-21 | Gutehoffnungshuette Man | Synthesegaserzeuger mit Brenn- und Quenchkammer |
RU2217477C1 (ru) * | 2002-12-16 | 2003-11-27 | Государственное унитарное предприятие Научно-производственное объединение "Гидротрубопровод" | Установка для получения синтез-газа из водоугольного топлива |
US7587995B2 (en) * | 2005-11-03 | 2009-09-15 | Babcock & Wilcox Power Generation Group, Inc. | Radiant syngas cooler |
US9051522B2 (en) * | 2006-12-01 | 2015-06-09 | Shell Oil Company | Gasification reactor |
UA97835C2 (ru) * | 2007-03-15 | 2012-03-26 | Шелл Інтернаціонале Рісерч Маатшаппідж Б.В. | Сосуд реактора газификации (варианты) |
US8236071B2 (en) * | 2007-08-15 | 2012-08-07 | General Electric Company | Methods and apparatus for cooling syngas within a gasifier system |
NZ584044A (en) * | 2007-09-18 | 2012-06-29 | Thyssenkrupp Uhde Gmbh | Gasification reactor and method for entrained-flow gasification |
CN101245263B (zh) * | 2008-01-27 | 2011-07-20 | 中国石油化工集团公司 | 劣质原料非催化部分氧化气化炉 |
CN201172654Y (zh) * | 2008-01-27 | 2008-12-31 | 中国石油化工集团公司 | 劣质碳氢化合物气化炉 |
US8062602B2 (en) * | 2008-11-25 | 2011-11-22 | Universal Acoustic & Emission Technologies, Inc. | Catalyst housing |
US20100139581A1 (en) * | 2008-12-04 | 2010-06-10 | Thomas Ebner | Vessel for cooling syngas |
US9057030B2 (en) * | 2010-10-30 | 2015-06-16 | General Electric Company | System and method for protecting gasifier quench ring |
-
2010
- 2010-03-01 DE DE201010009721 patent/DE102010009721B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-02-23 WO PCT/EP2011/000863 patent/WO2011107228A2/de active Application Filing
- 2011-02-23 CN CN201180019012.3A patent/CN102844411B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-02-23 AU AU2011223250A patent/AU2011223250B2/en not_active Ceased
- 2011-02-23 US US13/581,593 patent/US9175809B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-02-23 UA UAA201210200A patent/UA110784C2/uk unknown
- 2011-02-23 JP JP2012555323A patent/JP2013521353A/ja active Pending
- 2011-02-23 KR KR1020127025480A patent/KR101805220B1/ko active IP Right Grant
- 2011-02-23 EP EP11708399.8A patent/EP2542653B8/de not_active Not-in-force
- 2011-02-23 RU RU2012138293/05A patent/RU2570866C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2011-02-23 CA CA2791819A patent/CA2791819C/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-02-23 BR BR112012021871-9A patent/BR112012021871A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2011-02-25 TW TW100106306A patent/TWI522455B/zh not_active IP Right Cessation
-
2012
- 2012-08-31 CU CU20120130A patent/CU23995B1/es active IP Right Grant
-
2013
- 2013-06-20 HK HK13107228.4A patent/HK1180000A1/xx not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI522455B (zh) | 2016-02-21 |
CA2791819A1 (en) | 2011-09-09 |
US20130118587A1 (en) | 2013-05-16 |
CN102844411A (zh) | 2012-12-26 |
DE102010009721B4 (de) | 2012-01-19 |
CU20120130A7 (es) | 2013-01-30 |
DE102010009721A1 (de) | 2011-09-01 |
EP2542653B1 (de) | 2018-07-25 |
KR101805220B1 (ko) | 2018-01-10 |
CU23995B1 (es) | 2014-04-24 |
TW201137109A (en) | 2011-11-01 |
BR112012021871A2 (pt) | 2021-03-30 |
CN102844411B (zh) | 2014-08-27 |
CA2791819C (en) | 2018-05-08 |
UA110784C2 (uk) | 2016-02-25 |
HK1180000A1 (en) | 2013-10-11 |
AU2011223250B2 (en) | 2015-09-03 |
JP2013521353A (ja) | 2013-06-10 |
EP2542653B8 (de) | 2018-10-17 |
KR20130048721A (ko) | 2013-05-10 |
WO2011107228A3 (de) | 2012-01-19 |
WO2011107228A2 (de) | 2011-09-09 |
RU2570866C2 (ru) | 2015-12-10 |
US9175809B2 (en) | 2015-11-03 |
AU2011223250A1 (en) | 2012-09-13 |
EP2542653A2 (de) | 2013-01-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA2698909C (en) | Process and device for treating charged hot gas | |
RU2013117097A (ru) | Устройство и способ обработки содержащего шлак потока горячего газа, газогенераторная установка | |
EP2364345B1 (en) | Vessel for cooling syngas | |
EP1687391B1 (en) | Spray ring and reactor vessel provided with such a spray ring and a method of wetting char and/or slag in a water bath | |
RU2012138293A (ru) | Система распределения воды в реакторе газификации | |
ES2702800T3 (es) | Reactor de carbonización hidrotermal con mezcla optimizada de lodo y vapor | |
PT1289649E (pt) | Metodo e dispositivo para a produção continua de mono ou poliisocianatos orgânicos | |
JP2009519127A5 (ru) | ||
JP2010527286A (ja) | 浮上分離による水処理設備および水処理方法 | |
RU2009122697A (ru) | Способ и устройство для нагнетания кислорода в реакционный газ, протекающий через реактор синтеза | |
US20180053670A1 (en) | Upper cone for epitaxy chamber | |
JP2010248449A (ja) | ガスハイドレート製造方法及び装置 | |
CN208472001U (zh) | 一种用于高温气体管道内表面实现冷却剂膜的装置及应用该装置的系统 | |
RU2279302C1 (ru) | Способ сепарации жидкости от газа и устройство для его осуществления | |
RU156526U1 (ru) | Установка для перемешивания жидкостей в резервуарах | |
JP2013521353A5 (ru) | ||
RU2004137268A (ru) | Способ и устройство для непрерывной обработки воды | |
CN104220565B (zh) | 用于夹带气流中以颗粒形式存在的固体含烃燃料气化的设备和工艺方法 | |
KR101564739B1 (ko) | 장축 관입형 다중 볼텍스 노즐 시스템 | |
JP2017190283A (ja) | 多結晶シリコン製造装置及び製造方法 | |
JP2017177086A (ja) | スラリーディストリビューター | |
TH129118B (th) | ระบบจ่ายน้ำในห้องปฏิกรณ์สำหรับแปรสภาพให้เป็นก๊าซ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190224 |