RU2011149318A

RU2011149318A - Способ подвода зонда к образцу для сканирующего зондового микроскопа

Info

Publication number: RU2011149318A
Application number: RU2011149318/28A
Authority: RU
Inventors: Иван Михайлович Маловичко
Original assignee: Закрытое акционерное общество "Инструменты нанотехнологии"
Priority date: 2011-12-05
Filing date: 2011-12-05
Publication date: 2013-06-10
Also published as: RU2497134C2

Abstract

1. Способ подвода зонда к образцу для сканирующего зондового микроскопа, в процессе которого происходит чередование этапов работы двигателя подвода с полностью втянутым сканером и этапов выдвижения сканера с неработающим двигателем подвода до тех пор, пока на одном из этапов выдвижения сканера, острие зонда не окажется вблизи образца, отличающийся тем, что на этапах выдвижения сканера, сканером управляет цепь обратной связи, рабочая точка цепи обратной связи на каждом этапе выдвижения сканера постепенно изменяется, начиная с величины входного сигнала цепи обратной связи в момент начала этого этапа, таким образом, чтобы обратная связь, выдвигая сканер, начиная с полностью втянутого состояния, отрабатывала эти изменения до тех пор, пока сканер не окажется полностью выдвинутым или острие зонда не окажется вблизи образца.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что близость острия зонда к образцу определяется по резкому уменьшению скорости выдвижения сканера.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве зонда используют силовой зондовый датчик с оптической системой регистрации, на протяжении процесса подвода происходит возбуждение колебаний консоли силового зондового датчика, и близость острия зонда к образцу определяется по резкому скачку сигнала фазы колебаний.4. Способ по п.1, отличающийся тем, что первый этап работы двигателей подвода не прекращается до тех пор, пока входной сигнал цепи обратной связи не изменится на заданную заранее величину, вследствие взаимодействия острия зонда с образцом.5. Способ по п.1, отличающийся тем, что скорость изменения рабочей точки цепи обратной связи на этапах выдвижения скан

Claims

1. Способ подвода зонда к образцу для сканирующего зондового микроскопа, в процессе которого происходит чередование этапов работы двигателя подвода с полностью втянутым сканером и этапов выдвижения сканера с неработающим двигателем подвода до тех пор, пока на одном из этапов выдвижения сканера, острие зонда не окажется вблизи образца, отличающийся тем, что на этапах выдвижения сканера, сканером управляет цепь обратной связи, рабочая точка цепи обратной связи на каждом этапе выдвижения сканера постепенно изменяется, начиная с величины входного сигнала цепи обратной связи в момент начала этого этапа, таким образом, чтобы обратная связь, выдвигая сканер, начиная с полностью втянутого состояния, отрабатывала эти изменения до тех пор, пока сканер не окажется полностью выдвинутым или острие зонда не окажется вблизи образца.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что близость острия зонда к образцу определяется по резкому уменьшению скорости выдвижения сканера.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве зонда используют силовой зондовый датчик с оптической системой регистрации, на протяжении процесса подвода происходит возбуждение колебаний консоли силового зондового датчика, и близость острия зонда к образцу определяется по резкому скачку сигнала фазы колебаний.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что первый этап работы двигателей подвода не прекращается до тех пор, пока входной сигнал цепи обратной связи не изменится на заданную заранее величину, вследствие взаимодействия острия зонда с образцом.

5. Способ по п.1, отличающийся тем, что скорость изменения рабочей точки цепи обратной связи на этапах выдвижения сканера регулируется таким образом, чтобы скорость выдвижения сканера была максимальной, и сигнал ошибки рассогласования не превышал заданной величины.

6. Способ по п.1, отличающийся тем, что после того, как острие зонда оказывается вблизи образца, продолжает подстраиваться рабочая точка цепи обратной связи.

7. Способ по п.1, отличающийся тем, что по скорости выдвижения сканера в последний момент перед прекращением подвода происходит автоматическое определение угла наклона кривой входной сигнал обратной связи от расстояния острие зонда - образец.

8. Способ по п.6, отличающийся тем, что во время подстраивания рабочей точки цепи обратной связи, достаточная близость острия зонда к образцу определяется по резкому уменьшению скорости выдвижения сканера.

9. Способ по п.6, отличающийся тем, что в качестве зонда используют силовой зондовый датчик с оптической системой регистрации, происходит возбуждение колебаний консоли силового зондового датчика, а во время подстраивания рабочей точки цепи обратной связи, достаточная близость острия зонда к образцу определяется по резкому скачку сигнала фазы колебаний.

10. Способ по п.7, отличающийся тем, что по углу наклона кривой входной сигнал обратной связи от расстояния острие зонда - образец происходит автоматическая калибровка входного сигнала цепи обратной связи.