RU2010146244A - Производственная установка для осаждения материала и электрод для использования в ней - Google Patents

Abstract

1. Производственная установка для осаждения материала на несущую подложку, имеющую находящиеся на расстоянии друг от друга первый конец и второй конец, с контактным гнездом, расположенным на каждом конце несущей подложки, причем упомянутая установка содержит: ! корпус, образующий камеру; ! впуск, образованный через упомянутый корпус, для введения газа в упомянутую камеру; ! выпуск, образованный через упомянутый корпус, для отведения газа из упомянутой камеры; ! по меньшей мере один электрод, расположенный проходящим через упомянутый корпус, причем упомянутый электрод по меньшей мере частично расположен внутри упомянутой камеры для приема контактного гнезда и причем упомянутый электрод имеет внутреннюю поверхность, образующую канал; ! источник питания, соединенный с упомянутым электродом, для снабжения электрическим током упомянутого электрода; ! циркуляционную систему, расположенную внутри упомянутого канала, для циркуляции охладителя через упомянутый электрод и ! покрытие канала, расположенное на упомянутой внутренней поверхности, для сохранения теплопроводности между упомянутым электродом и охладителем. ! 2. Установка по п.1, при этом упомянутый по меньшей мере один электрод включает в себя первый электрод для приема контактного гнезда на первом конце несущей подложки и второй электрод для приема контактного гнезда на втором конце несущей подложки. ! 3. Установка по п.1, при этом упомянутый электрод дополнительно включает в себя ствол и головку, образующую область контакта, причем упомянутая головка расположена на упомянутом стволе. ! 4. Установка по п.3, при этом упомянутый ствол имеет первый конец и �

Claims (30)

1. Производственная установка для осаждения материала на несущую подложку, имеющую находящиеся на расстоянии друг от друга первый конец и второй конец, с контактным гнездом, расположенным на каждом конце несущей подложки, причем упомянутая установка содержит:

корпус, образующий камеру;

впуск, образованный через упомянутый корпус, для введения газа в упомянутую камеру;

выпуск, образованный через упомянутый корпус, для отведения газа из упомянутой камеры;

по меньшей мере один электрод, расположенный проходящим через упомянутый корпус, причем упомянутый электрод по меньшей мере частично расположен внутри упомянутой камеры для приема контактного гнезда и причем упомянутый электрод имеет внутреннюю поверхность, образующую канал;

источник питания, соединенный с упомянутым электродом, для снабжения электрическим током упомянутого электрода;

циркуляционную систему, расположенную внутри упомянутого канала, для циркуляции охладителя через упомянутый электрод и

покрытие канала, расположенное на упомянутой внутренней поверхности, для сохранения теплопроводности между упомянутым электродом и охладителем.

2. Установка по п.1, при этом упомянутый по меньшей мере один электрод включает в себя первый электрод для приема контактного гнезда на первом конце несущей подложки и второй электрод для приема контактного гнезда на втором конце несущей подложки.

3. Установка по п.1, при этом упомянутый электрод дополнительно включает в себя ствол и головку, образующую область контакта, причем упомянутая головка расположена на упомянутом стволе.

4. Установка по п.3, при этом упомянутый ствол имеет первый конец и второй конец и при этом упомянутый канал имеет длину, простирающуюся между упомянутым первым концом и упомянутым вторым концом упомянутого электрода.

5. Установка по п.4, при этом упомянутая циркуляционная система включает в себя внутреннюю трубку, установленную внутри упомянутого первого конца упомянутого электрода, причем упомянутая внутренняя трубка расположена внутри и простирающейся вдоль большей части упомянутой длины упомянутого канала.

6. Установка по любому предыдущему пункту, при этом упомянутое покрытие канала содержит по меньшей мере один элемент из серебра, золота, никеля и хрома.

7. Установка по любому из пп.1-5, при этом упомянутое покрытие канала содержит никель.

8. Установка по любому из пп.1-5, при этом упомянутое покрытие канала дополнительно содержит препятствующий потускнению слой, расположенный на упомянутом покрытии канала.

9. Электрод для использования с производственной установкой для осаждения материала на несущую подложку и для циркуляции охладителя через упомянутый электрод, причем упомянутый электрод содержит:

ствол, имеющий находящиеся на расстоянии друг от друга первый конец и второй конец;

головку, расположенную на упомянутом втором конце упомянутого ствола;

причем по меньшей мере одно из упомянутого ствола и упомянутой головки включает в себя внутреннюю поверхность, образующую канал;

покрытие канала, расположенное на упомянутой внутренней поверхности, для сохранения теплопроводности между упомянутым электродом и охладителем.

10. Электрод по п.9, в котором упомянутая внутренняя поверхность включает в себя контактный конец, находящийся на расстоянии от упомянутого первого конца упомянутого ствола.

11. Электрод по п.9, при этом упомянутый ствол образует упомянутый канал.

12. Электрод по п.9, при этом упомянутая головка является цельной с упомянутым стволом, и упомянутый ствол и упомянутая головка содержат медь.

13. Электрод по п.9, при этом упомянутая головка является цельной с упомянутым стволом и упомянутый ствол и упомянутая головка содержат бескислородную электролитическую медь.

14. Электрод по любому из пп.9-13, при этом упомянутое покрытие канала содержит по меньшей мере один элемент из серебра, золота, никеля и хрома.

15. Электрод по любому из пп.9-13, при этом упомянутое покрытие канала содержит никель.

16. Электрод по любому из пп.9-13, дополнительно содержащий препятствующий потускнению слой, расположенный на упомянутом покрытии канала.

17. Электрод по любому из пп.9-13, при этом упомянутый ствол имеет внешнюю поверхность, расположенную между упомянутым первым концом и упомянутым вторым концом упомянутого ствола.

18. Электрод по п.17, дополнительно включающий в себя покрытие ствола, расположенное на упомянутой внешней поверхности упомянутого ствола.

19. Электрод по п.18, при этом упомянутое покрытие ствола содержит по меньшей мере один элемент из серебра, золота, никеля и хрома.

20. Электрод по п.18, при этом упомянутое покрытие ствола содержит серебро.

21. Электрод по любому из пп.9-13, при этом упомянутая головка имеет внешнюю поверхность.

22. Электрод по п.21, дополнительно включающий в себя покрытие головки, расположенное на упомянутой внешней поверхности упомянутой головки.

23. Электрод по п.22, при этом упомянутое покрытие головки содержит по меньшей мере один элемент из серебра, золота, никеля и хрома.

24. Электрод по п.22, при этом упомянутое покрытие головки содержит никель.

25. Электрод по любому из пп.9-13, при этом несущая подложка имеет находящиеся на расстоянии друг от друга первый конец и второй конец, с контактным гнездом, расположенным на каждом конце несущей подложки.

26. Электрод по п.25, при этом упомянутая внешняя поверхность упомянутой головки образует область контакта для приема контактного гнезда на конце несущей подложки.

27. Электрод по п.26, дополнительно включающий в себя покрытие области контакта, расположенное на упомянутой внешней поверхности упомянутой области контакта.

28. Электрод по п.27, при этом упомянутое покрытие области контакта содержит по меньшей мере один элемент из серебра, золота и хрома.

29. Электрод по любому из пп.9-13, при этом упомянутое покрытие канала имеет теплопроводность от 70,3 до 427 Вт/(м∙К).

30. Электрод по любому из пп.9-13, при этом упомянутое покрытие канала имеет толщину от 0,0025 до 0,026 мм.