RU2010141978A - Насос - Google Patents
Насос Download PDFInfo
- Publication number
- RU2010141978A RU2010141978A RU2010141978/06A RU2010141978A RU2010141978A RU 2010141978 A RU2010141978 A RU 2010141978A RU 2010141978/06 A RU2010141978/06 A RU 2010141978/06A RU 2010141978 A RU2010141978 A RU 2010141978A RU 2010141978 A RU2010141978 A RU 2010141978A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- pump according
- end wall
- pump
- side wall
- main cavity
- Prior art date
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims 3
- 230000003534 oscillatory effect Effects 0.000 claims 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
- F04B45/04—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B45/047—Pumps having electric drive
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
- F04F7/00—Pumps displacing fluids by using inertia thereof, e.g. by generating vibrations therein
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
- F04B45/08—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having peristaltic action
- F04B45/10—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having peristaltic action having plate-like flexible members
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
1. Насос для текучей субстанции, содержащий: ! - камеру, которая во время работы вмещает перекачиваемую текучую субстанцию, причем камера включает в себя основную полость, имеющую, по существу, цилиндрическую форму, ограниченную первой и второй торцевыми стенками и боковой стенкой, и дополнительную полость, продолжающуюся в радиальном направлении от основной полости; ! - один или более приводов, которые во время работы вызывают колебательное перемещение первой торцевой стенки в направлении, по существу, перпендикулярном плоскости первой торцевой стенки; причем ! во время работы осевые колебания торцевых стенок вызывают радиальные колебания давления текучей субстанции в основной полости; а ! дополнительная полость отделяет боковую стенку от первой торцевой стенки таким образом, что первая торцевая стенка при включенном приводе может перемещаться относительно боковой стенки. ! 2. Насос для текучей субстанции по п.1, в котором между верхней поверхностью боковой стенки и первой торцевой стенкой выполнен зазор. ! 3. Насос по п.2, в котором между верхней поверхностью боковой стенки и первой торцевой стенкой предусмотрен слой совместимого материала. ! 4. Насос по любому из предыдущих пунктов, в котором дополнительная полость включает в себя более тонкий участок между боковой стенкой и первой торцевой стенкой и более глубокий участок в радиальном направлении от этой боковой стенки. ! 5. Насос по п.4, в котором боковая стенка сужается в направлении первой торцевой стенки. ! 6. Насос по п. 1, в котором первая торцевая стенка установлена на радиально самом внешнем участке вторичной полости. ! 7. Насос по п. 1, дополнительно со�
Claims (31)
1. Насос для текучей субстанции, содержащий:
- камеру, которая во время работы вмещает перекачиваемую текучую субстанцию, причем камера включает в себя основную полость, имеющую, по существу, цилиндрическую форму, ограниченную первой и второй торцевыми стенками и боковой стенкой, и дополнительную полость, продолжающуюся в радиальном направлении от основной полости;
- один или более приводов, которые во время работы вызывают колебательное перемещение первой торцевой стенки в направлении, по существу, перпендикулярном плоскости первой торцевой стенки; причем
во время работы осевые колебания торцевых стенок вызывают радиальные колебания давления текучей субстанции в основной полости; а
дополнительная полость отделяет боковую стенку от первой торцевой стенки таким образом, что первая торцевая стенка при включенном приводе может перемещаться относительно боковой стенки.
2. Насос для текучей субстанции по п.1, в котором между верхней поверхностью боковой стенки и первой торцевой стенкой выполнен зазор.
3. Насос по п.2, в котором между верхней поверхностью боковой стенки и первой торцевой стенкой предусмотрен слой совместимого материала.
4. Насос по любому из предыдущих пунктов, в котором дополнительная полость включает в себя более тонкий участок между боковой стенкой и первой торцевой стенкой и более глубокий участок в радиальном направлении от этой боковой стенки.
5. Насос по п.4, в котором боковая стенка сужается в направлении первой торцевой стенки.
6. Насос по п. 1, в котором первая торцевая стенка установлена на радиально самом внешнем участке вторичной полости.
7. Насос по п. 1, дополнительно содержащий по меньшей мере два отверстия, проходящих через стенки камеры, по меньшей мере одно из которых является отверстием, оснащенным клапаном.
8. Насос по п. 1, дополнительно содержащий второй привод, в котором во время работы второй привод вызывает колебательное перемещение второй торцевой стенки в направлении, по существу, перпендикулярном второй торцевой стенке.
9. Насос по п. 1, в котором привод включает в себя активный элемент, который является либо пьезоэлектрическим, либо магнитострикционным диском.
10. Насос по п. 1, в котором привод включает в себя активный элемент, который является либо пьезоэлектрическим, либо магнитострикционным кольцом.
11. Насос по п. 1, в котором в активном элементе возбуждены радиальные колебания для индуцирования осевого отклонения одной или обеих торцевых стенок.
12. Насос по п.11, в котором радиальное расстояние между внутренней и внешней окружностями кольца активного элемента составляет приблизительно половину длины волны моды привода.
13. Насос по п.12, в котором внутренняя и внешняя окружности кольца активного элемента расположены, по существу, в узлах моды вибрации привода.
14. Насос по п.11, в котором расстояние между внутренней и внешней окружностями кольца составляет приблизительно одну четверть длины волны моды привода.
15. Насос по п.14, в котором внешняя окружность кольца, по существу, смежна с радиально самым внешним участком вторичной полости.
16. Насос по п. 1, в котором привод включает в себя электромагнитную катушку.
17. Насос по п. 1, в котором форма толщины первой торцевой стенки образована с возможностью оптимизации распределения смещения привода для согласования мод.
18. Насос по п. 9, в котором привод выполнен таким образом, что в выключенном состоянии привода пьезоэлектрический или магнитострикционный материал предварительно сжат.
19. Насос по п. 1, в котором радиус а основной полости и высота h удовлетворяют следующим неравенствам:
a/h больше чем 1,2 и
h2/а больше чем 4×10-10 м.
21. Насос по п. 1, в котором во время работы движение приводимой торцевой стенки, стенок и колебание давления в основной полости согласованы по модам, а частота колебательного движения находится в пределах 20% от нижней резонансной частоты радиальных колебаний давления в основной полости.
22. Насос по п. 19, в котором отношение a/h больше чем 20.
23. Насос по п. 1, в котором объем основной камеры меньше чем 10 мл.
24. Насос по п. 1, в котором во время работы частота колебательных движений, равна самой нижней резонансной частоте радиальных колебаний давления в основной полости.
25. Насос по п. 1, в котором во время работы самая нижняя резонансная частота радиальных колебаний давления в основной полости больше чем 500 Гц.
26. Насос по п. 1, в котором одна или обе торцевые стенки имеют усеченную коническую форму, такую, что торцевые стенки в центре разделены минимальным расстоянием, а по краям - максимальным расстоянием.
27. Насос по п. 1, в котором перемещение торцевой стенки спрофилировано в соответствии с колебаниями давления в основной полости.
28. Насос по п. 1, в котором амплитуда перемещения торцевой стенки аппроксимируется формой функции Бесселя.
29. Насос по п. 1, в котором любые не имеющие клапанов отверстия в стенках камеры расположены на расстоянии 0,63а ± 0,2а от центра основной полости, где а - радиус основной полости.
30. Насос по п. 1, в котором любые отверстия в стенках камеры, имеющие клапаны, расположены около центра основной полости.
31. Насос по п. 19, в котором отношение h 2 /а предпочтительно больше чем 10-7 м, а рабочей текучей субстанцией является газ.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB0804739.1 | 2008-03-14 | ||
| GBGB0804739.1A GB0804739D0 (en) | 2008-03-14 | 2008-03-14 | Pump |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2010141978A true RU2010141978A (ru) | 2012-04-20 |
| RU2459114C2 RU2459114C2 (ru) | 2012-08-20 |
Family
ID=39328110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2010141978/06A RU2459114C2 (ru) | 2008-03-14 | 2009-03-13 | Насос |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8734131B2 (ru) |
| EP (1) | EP2268923B1 (ru) |
| JP (1) | JP5335003B2 (ru) |
| CN (1) | CN101986787A (ru) |
| AU (1) | AU2009223958B2 (ru) |
| CA (1) | CA2718390A1 (ru) |
| GB (1) | GB0804739D0 (ru) |
| RU (1) | RU2459114C2 (ru) |
| WO (1) | WO2009112866A1 (ru) |
Families Citing this family (66)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB0224986D0 (en) | 2002-10-28 | 2002-12-04 | Smith & Nephew | Apparatus |
| GB0325129D0 (en) | 2003-10-28 | 2003-12-03 | Smith & Nephew | Apparatus in situ |
| CA2604623C (en) | 2006-09-28 | 2018-10-30 | Tyco Healthcare Group Lp | Portable wound therapy system |
| CN104382691B (zh) | 2007-11-21 | 2018-08-31 | 史密夫及内修公开有限公司 | 伤口包敷物 |
| GB0723855D0 (en) | 2007-12-06 | 2008-01-16 | Smith & Nephew | Apparatus and method for wound volume measurement |
| US8371829B2 (en) | 2010-02-03 | 2013-02-12 | Kci Licensing, Inc. | Fluid disc pump with square-wave driver |
| US8646479B2 (en) | 2010-02-03 | 2014-02-11 | Kci Licensing, Inc. | Singulation of valves |
| FR2960922B1 (fr) * | 2010-06-08 | 2013-04-19 | Centre Nat Rech Scient | Micro pompe a onde progressive ultrasonore pour liquide |
| GB201015656D0 (en) | 2010-09-20 | 2010-10-27 | Smith & Nephew | Pressure control apparatus |
| EP3205317A1 (en) * | 2010-10-26 | 2017-08-16 | 5I Sciences, Inc. | Device for opening an airway |
| GB201101870D0 (en) * | 2011-02-03 | 2011-03-23 | The Technology Partnership Plc | Pump |
| US9067003B2 (en) | 2011-05-26 | 2015-06-30 | Kalypto Medical, Inc. | Method for providing negative pressure to a negative pressure wound therapy bandage |
| US9084845B2 (en) | 2011-11-02 | 2015-07-21 | Smith & Nephew Plc | Reduced pressure therapy apparatuses and methods of using same |
| GB201120887D0 (en) | 2011-12-06 | 2012-01-18 | The Technology Partnership Plc | Acoustic sensor |
| GB201202346D0 (en) | 2012-02-10 | 2012-03-28 | The Technology Partnership Plc | Disc pump with advanced actuator |
| EP3660308B1 (en) * | 2012-03-07 | 2021-07-14 | 3M Innovative Properties Company | Two-cavity disc pump |
| CN104507513B (zh) | 2012-03-20 | 2017-04-12 | 史密夫及内修公开有限公司 | 基于动态占空比阈值确定的减压治疗系统的控制操作 |
| WO2013158659A1 (en) * | 2012-04-19 | 2013-10-24 | Kci Licensing, Inc. | Disc pump with perimeter valve configuration |
| US9427505B2 (en) | 2012-05-15 | 2016-08-30 | Smith & Nephew Plc | Negative pressure wound therapy apparatus |
| CN104364526B (zh) * | 2012-06-11 | 2016-08-24 | 株式会社村田制作所 | 鼓风机 |
| GB2513884B (en) | 2013-05-08 | 2015-06-17 | Univ Bristol | Method and apparatus for producing an acoustic field |
| TWI552838B (zh) | 2013-06-24 | 2016-10-11 | 研能科技股份有限公司 | 微型氣壓動力裝置 |
| CN106062364B (zh) * | 2014-02-21 | 2018-03-13 | 株式会社村田制作所 | 鼓风机 |
| JP6065160B2 (ja) * | 2014-05-20 | 2017-01-25 | 株式会社村田製作所 | ブロア |
| WO2016027817A1 (ja) * | 2014-08-20 | 2016-02-25 | 株式会社村田製作所 | ブロア |
| GB2530036A (en) | 2014-09-09 | 2016-03-16 | Ultrahaptics Ltd | Method and apparatus for modulating haptic feedback |
| US10737002B2 (en) | 2014-12-22 | 2020-08-11 | Smith & Nephew Plc | Pressure sampling systems and methods for negative pressure wound therapy |
| WO2016132144A1 (en) | 2015-02-20 | 2016-08-25 | Ultrahaptics Ip Limited | Perceptions in a haptic system |
| US10101811B2 (en) | 2015-02-20 | 2018-10-16 | Ultrahaptics Ip Ltd. | Algorithm improvements in a haptic system |
| US10818162B2 (en) | 2015-07-16 | 2020-10-27 | Ultrahaptics Ip Ltd | Calibration techniques in haptic systems |
| US11189140B2 (en) | 2016-01-05 | 2021-11-30 | Ultrahaptics Ip Ltd | Calibration and detection techniques in haptic systems |
| DE102016200256A1 (de) * | 2016-01-13 | 2017-07-13 | Robert Bosch Gmbh | Pumpvorrichtung und Partikeldetektor mit einer Pumpvorrichtung |
| US10268275B2 (en) | 2016-08-03 | 2019-04-23 | Ultrahaptics Ip Ltd | Three-dimensional perceptions in haptic systems |
| TWI606936B (zh) * | 2016-09-05 | 2017-12-01 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置 |
| TWI602995B (zh) * | 2016-09-05 | 2017-10-21 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置 |
| TWI625468B (zh) | 2016-09-05 | 2018-06-01 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置 |
| TWI613367B (zh) | 2016-09-05 | 2018-02-01 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置 |
| US10943578B2 (en) | 2016-12-13 | 2021-03-09 | Ultrahaptics Ip Ltd | Driving techniques for phased-array systems |
| RU175857U1 (ru) * | 2016-12-28 | 2017-12-21 | федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Научно-исследовательский институт перспективных материалов и технологий" | Пьезоэлектрический микронасос |
| CN109505764B (zh) * | 2017-09-15 | 2021-04-06 | 研能科技股份有限公司 | 气体输送装置 |
| TWI646261B (zh) | 2017-09-15 | 2019-01-01 | 研能科技股份有限公司 | 氣體輸送裝置 |
| US11531395B2 (en) | 2017-11-26 | 2022-12-20 | Ultrahaptics Ip Ltd | Haptic effects from focused acoustic fields |
| US11704983B2 (en) | 2017-12-22 | 2023-07-18 | Ultrahaptics Ip Ltd | Minimizing unwanted responses in haptic systems |
| WO2019122912A1 (en) | 2017-12-22 | 2019-06-27 | Ultrahaptics Limited | Tracking in haptic systems |
| SG11202010752VA (en) | 2018-05-02 | 2020-11-27 | Ultrahaptics Ip Ltd | Blocking plate structure for improved acoustic transmission efficiency |
| GB2569417B (en) * | 2018-07-31 | 2020-06-17 | Ttp Ventus Ltd | Microfluidic drive system |
| CN110821804B (zh) * | 2018-08-10 | 2021-03-23 | 研能科技股份有限公司 | 微型泵的驱动扫频补偿方法 |
| US11098951B2 (en) | 2018-09-09 | 2021-08-24 | Ultrahaptics Ip Ltd | Ultrasonic-assisted liquid manipulation |
| US11378997B2 (en) | 2018-10-12 | 2022-07-05 | Ultrahaptics Ip Ltd | Variable phase and frequency pulse-width modulation technique |
| RU2702624C1 (ru) * | 2018-10-19 | 2019-10-09 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем управления им. В.А. Трапезникова Российской академии наук | Пьезоэлектрический электроструйный преобразователь |
| US12373033B2 (en) | 2019-01-04 | 2025-07-29 | Ultrahaptics Ip Ltd | Mid-air haptic textures |
| WO2020141330A2 (en) | 2019-01-04 | 2020-07-09 | Ultrahaptics Ip Ltd | Mid-air haptic textures |
| US11842517B2 (en) | 2019-04-12 | 2023-12-12 | Ultrahaptics Ip Ltd | Using iterative 3D-model fitting for domain adaptation of a hand-pose-estimation neural network |
| JP7611244B2 (ja) | 2019-10-13 | 2025-01-09 | ウルトラリープ リミテッド | 仮想マイクロフォンによる動的キャッピング |
| US11374586B2 (en) | 2019-10-13 | 2022-06-28 | Ultraleap Limited | Reducing harmonic distortion by dithering |
| US11169610B2 (en) | 2019-11-08 | 2021-11-09 | Ultraleap Limited | Tracking techniques in haptic systems |
| US11715453B2 (en) | 2019-12-25 | 2023-08-01 | Ultraleap Limited | Acoustic transducer structures |
| US11816267B2 (en) | 2020-06-23 | 2023-11-14 | Ultraleap Limited | Features of airborne ultrasonic fields |
| GB2583880A (en) | 2020-07-31 | 2020-11-11 | Ttp Ventus Ltd | Actuator for a resonant acoustic pump |
| US11886639B2 (en) | 2020-09-17 | 2024-01-30 | Ultraleap Limited | Ultrahapticons |
| EP4006367B1 (en) | 2020-11-27 | 2024-05-22 | European Space Agency | Gas bearing system |
| GB2606743B (en) | 2021-05-19 | 2023-12-27 | Lee Ventus Ltd | Microfluidic pump control |
| US12517585B2 (en) | 2021-07-15 | 2026-01-06 | Ultraleap Limited | Control point manipulation techniques in haptic systems |
| GB2622575B (en) | 2022-09-11 | 2025-01-08 | Bioliberty Ltd | Soft robotic assistive device |
| GB2624475B (en) | 2023-02-08 | 2025-06-18 | Foster & Freeman Ltd | Volatile sampling device |
| WO2025190946A1 (en) | 2024-03-12 | 2025-09-18 | Bioliberty Ltd | Soft robotic assistive device |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR910012538A (ko) * | 1989-12-27 | 1991-08-08 | 야마무라 가쯔미 | 마이크로 펌프 및 그 제조 방법 |
| SE508435C2 (sv) | 1993-02-23 | 1998-10-05 | Erik Stemme | Förträngningspump av membranpumptyp |
| DE4422743A1 (de) * | 1994-06-29 | 1996-01-04 | Torsten Gerlach | Mikropumpe |
| JP2002227770A (ja) * | 2001-02-02 | 2002-08-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 小型ポンプ |
| JP2003139064A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 小型ポンプ |
| US20070065308A1 (en) * | 2003-08-04 | 2007-03-22 | Mitsuru Yamamoto | Diaphragm pump and cooling system with the diaphragm pump |
| JP3951998B2 (ja) * | 2003-09-29 | 2007-08-01 | ブラザー工業株式会社 | 液体移送装置 |
| JP4383207B2 (ja) * | 2004-03-01 | 2009-12-16 | アルプス電気株式会社 | 流体ポンプ |
| US7290993B2 (en) | 2004-04-02 | 2007-11-06 | Adaptivenergy Llc | Piezoelectric devices and methods and circuits for driving same |
| GB0508194D0 (en) * | 2005-04-22 | 2005-06-01 | The Technology Partnership Plc | Pump |
| JP2007046551A (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-22 | Alps Electric Co Ltd | 圧電ポンプ |
| CN2818844Y (zh) * | 2005-08-12 | 2006-09-20 | 北京工业大学 | 无阀压电泵 |
| US8211054B2 (en) | 2006-05-01 | 2012-07-03 | Carefusion 303, Inc. | System and method for controlling administration of medical fluid |
| CN200955485Y (zh) * | 2006-07-14 | 2007-10-03 | 北京工业大学 | 单片式流管无阀压电泵 |
| CN200989293Y (zh) * | 2006-10-19 | 2007-12-12 | 吉林大学 | 微型喷水推进泵 |
| JP4600403B2 (ja) * | 2007-02-23 | 2010-12-15 | ブラザー工業株式会社 | 液体移送装置 |
-
2008
- 2008-03-14 GB GBGB0804739.1A patent/GB0804739D0/en not_active Ceased
-
2009
- 2009-03-13 AU AU2009223958A patent/AU2009223958B2/en active Active
- 2009-03-13 JP JP2010550268A patent/JP5335003B2/ja active Active
- 2009-03-13 RU RU2010141978/06A patent/RU2459114C2/ru active
- 2009-03-13 EP EP09720214.7A patent/EP2268923B1/en active Active
- 2009-03-13 CN CN2009801090360A patent/CN101986787A/zh active Pending
- 2009-03-13 WO PCT/GB2009/050245 patent/WO2009112866A1/en not_active Ceased
- 2009-03-13 CA CA2718390A patent/CA2718390A1/en not_active Abandoned
- 2009-03-13 US US12/922,589 patent/US8734131B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| AU2009223958A1 (en) | 2009-09-17 |
| RU2459114C2 (ru) | 2012-08-20 |
| US20110081267A1 (en) | 2011-04-07 |
| CN101986787A (zh) | 2011-03-16 |
| EP2268923B1 (en) | 2019-01-09 |
| CA2718390A1 (en) | 2009-09-17 |
| JP2011513649A (ja) | 2011-04-28 |
| GB0804739D0 (en) | 2008-04-16 |
| US8734131B2 (en) | 2014-05-27 |
| WO2009112866A1 (en) | 2009-09-17 |
| JP5335003B2 (ja) | 2013-11-06 |
| AU2009223958B2 (en) | 2012-01-19 |
| EP2268923A1 (en) | 2011-01-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5335003B2 (ja) | ポンプ | |
| RU2011154213A (ru) | Гидравлический дисковый насос | |
| JP4795428B2 (ja) | ポンプ | |
| US8821134B2 (en) | Fluid disc pump | |
| CN104066990B (zh) | 带有高级致动器的盘泵 | |
| US10087923B2 (en) | Disc pump with advanced actuator | |
| CN102459899B (zh) | 具有盘形腔的泵 | |
| US10697450B2 (en) | Pump having a top portion fixed to an external structure | |
| US10125760B2 (en) | Pump | |
| JP2011190733A (ja) | 超音波定在波駆動マイクロポンプ | |
| JP2006105068A (ja) | 電磁式ポンプ |
