RU2009129879A - Способ определения резонансных частот ротора на магнитных подшипниках - Google Patents

Способ определения резонансных частот ротора на магнитных подшипниках Download PDF

Info

Publication number
RU2009129879A
RU2009129879A RU2009129879/06A RU2009129879A RU2009129879A RU 2009129879 A RU2009129879 A RU 2009129879A RU 2009129879/06 A RU2009129879/06 A RU 2009129879/06A RU 2009129879 A RU2009129879 A RU 2009129879A RU 2009129879 A RU2009129879 A RU 2009129879A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
rotor
frequencies
mechanical vibrations
magnetic bearings
vibrations
Prior art date
Application number
RU2009129879/06A
Other languages
English (en)
Inventor
Ульрих ЮНГ (DE)
Ульрих ЮНГ
Original Assignee
Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх (De)
Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх (De), Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх filed Critical Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх (De)
Publication of RU2009129879A publication Critical patent/RU2009129879A/ru

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/048Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps comprising magnetic bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D27/00Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
    • F04D27/001Testing thereof; Determination or simulation of flow characteristics; Stall or surge detection, e.g. condition monitoring
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C39/00Relieving load on bearings
    • F16C39/06Relieving load on bearings using magnetic means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01HMEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H13/00Measuring resonant frequency
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M13/00Testing of machine parts
    • G01M13/04Bearings
    • G01M13/045Acoustic or vibration analysis
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K7/00Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
    • H02K7/08Structural association with bearings
    • H02K7/09Structural association with bearings with magnetic bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2360/00Engines or pumps
    • F16C2360/44Centrifugal pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2360/00Engines or pumps
    • F16C2360/44Centrifugal pumps
    • F16C2360/45Turbo-molecular pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

1. Способ определения резонансных частот ротора на магнитных подшипниках с шагами способа: ! генерирование механических колебаний ротора посредством электромагнитов магнитного подшипника, ! обнаружение колебаний ротора посредством датчиков положения ротора магнитного подшипника, и ! определение резонансных частот ротора на основании обнаруженных колебаний. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что частоты генерируемых колебаний по меньшей мере частично расположены выше частоты вращения ротора. ! 3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что частота вращения ротора во время генерирования колебаний является меньшей, чем 70% номинальной частоты вращения ротора, предпочтительно меньшей, чем 30%. ! 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что генерируют механические колебания различных частот колебаний. ! 5. Способ по п.4, отличающийся тем, что генерируют механические колебания различных частот колебаний одного частотного спектра. ! 6. Способ по п.1, отличающийся тем, что ротор с магнитными подшипниками представляет собой ротор турбомолекулярного вакуумного насоса.

Claims (6)

1. Способ определения резонансных частот ротора на магнитных подшипниках с шагами способа:
генерирование механических колебаний ротора посредством электромагнитов магнитного подшипника,
обнаружение колебаний ротора посредством датчиков положения ротора магнитного подшипника, и
определение резонансных частот ротора на основании обнаруженных колебаний.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что частоты генерируемых колебаний по меньшей мере частично расположены выше частоты вращения ротора.
3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что частота вращения ротора во время генерирования колебаний является меньшей, чем 70% номинальной частоты вращения ротора, предпочтительно меньшей, чем 30%.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что генерируют механические колебания различных частот колебаний.
5. Способ по п.4, отличающийся тем, что генерируют механические колебания различных частот колебаний одного частотного спектра.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что ротор с магнитными подшипниками представляет собой ротор турбомолекулярного вакуумного насоса.
RU2009129879/06A 2007-01-05 2008-01-03 Способ определения резонансных частот ротора на магнитных подшипниках RU2009129879A (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007001201A DE102007001201A1 (de) 2007-01-05 2007-01-05 Verfahren zur Ermittlung von Resonanzfrequenzen eines magnetgelagerten Rotors
DE102007001201.4 2007-01-05

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2009129879A true RU2009129879A (ru) 2011-02-10

Family

ID=39301082

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009129879/06A RU2009129879A (ru) 2007-01-05 2008-01-03 Способ определения резонансных частот ротора на магнитных подшипниках

Country Status (9)

Country Link
US (1) US20100072845A1 (ru)
EP (1) EP2106505A1 (ru)
JP (1) JP2010515004A (ru)
KR (1) KR20090098914A (ru)
CN (1) CN101583799A (ru)
CA (1) CA2674263A1 (ru)
DE (1) DE102007001201A1 (ru)
RU (1) RU2009129879A (ru)
WO (1) WO2008081030A1 (ru)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103196672B (zh) * 2013-03-01 2015-07-01 北京中科科仪股份有限公司 一种磁悬浮分子泵径向保护轴承检测方法
CN103994889B (zh) * 2014-05-27 2016-12-07 南京航空航天大学 一种基于电磁激励的滚动轴承故障检测平台及其检测方法
CN106969893B (zh) * 2017-05-26 2024-02-20 成都中科卓尔智能科技集团有限公司 非接触式构件刚度检测设备及方法
US11047387B2 (en) * 2017-09-27 2021-06-29 Johnson Controls Technology Company Rotor for a compressor
CN108429405B (zh) * 2018-01-26 2020-02-18 瑞声科技(南京)有限公司 线性电机共振频率的检测方法及装置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5258923A (en) * 1987-07-22 1993-11-02 General Electric Company System and method for detecting the occurrence, location and depth of cracks in turbine-generator rotors
JPH01116318A (ja) * 1987-10-28 1989-05-09 Natl Aerospace Lab 能動形磁気軸受
JP3090977B2 (ja) * 1991-05-31 2000-09-25 株式会社日立製作所 磁気軸受けの制御方法及び装置
EP0560234B1 (en) 1992-03-09 1998-06-10 Hitachi, Ltd. Method and apparatus for controlling a magnetic bearing
DE69423006T2 (de) * 1994-04-05 2000-09-14 Monitoring Tech Corp Nichtinvasives verfahren und vorrichtung zur feststellung der resonanzbedingungen von bauelementen einer rotierenden maschine mit vorhersage von bauelementfehlern durch änderung dieser bedingungen
JPH08121477A (ja) 1994-10-24 1996-05-14 Seiko Seiki Co Ltd 磁気軸受の制御装置
JP3083242B2 (ja) * 1995-04-27 2000-09-04 核燃料サイクル開発機構 回転体の静止場での振動評価方法
US5663894A (en) * 1995-09-06 1997-09-02 Ford Global Technologies, Inc. System and method for machining process characterization using mechanical signature analysis
US5818137A (en) * 1995-10-26 1998-10-06 Satcon Technology, Inc. Integrated magnetic levitation and rotation system
KR100622890B1 (ko) * 1995-12-25 2006-11-30 무네아끼 다까라 전자식피스톤엔진
JP3114085B2 (ja) * 1996-01-31 2000-12-04 セイコー精機株式会社 半径方向位置修正電磁石付磁気軸受装置
DE19619997A1 (de) * 1996-05-17 1997-11-20 Karlsruhe Forschzent Verfahren zum Bestimmen der Unwucht und zum Auswuchten eines supraleitend magnetgelagerten Rotors
JP3109023B2 (ja) * 1996-07-18 2000-11-13 セイコー精機株式会社 磁気軸受装置
DE19828498C2 (de) * 1998-06-26 2001-07-05 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zum Messen von Unwuchten rotierender Körper und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE20021970U1 (de) * 2000-12-30 2001-04-05 Igus Ingenieurgemeinschaft Umw Einrichtung zur Überwachung des Zustandes von Rotorblättern an Windkraftanlagen
JP2004286045A (ja) 2003-03-19 2004-10-14 Boc Edwards Kk 磁気軸受装置及び該磁気軸受装置を搭載したポンプ装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20090098914A (ko) 2009-09-17
CN101583799A (zh) 2009-11-18
DE102007001201A1 (de) 2008-07-10
US20100072845A1 (en) 2010-03-25
CA2674263A1 (en) 2008-07-10
WO2008081030A1 (de) 2008-07-10
EP2106505A1 (de) 2009-10-07
JP2010515004A (ja) 2010-05-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102425561B (zh) 一种磁悬浮分子泵动平衡方法
JP5827492B2 (ja) 振動特性測定装置および振動特性測定方法
RU2009129879A (ru) Способ определения резонансных частот ротора на магнитных подшипниках
CN102425562B (zh) 一种磁悬浮分子泵动平衡方法
WO2007007333A3 (en) System and method for active detection of asymmetry in rotating structures
JP6245730B2 (ja) 騒音低減装置及び騒音低減方法
RU2011153382A (ru) Машина и устройство для контролирования состояния предохранительного подшипника машины
RU2009135420A (ru) Способ определения усталости ротора газоперекачивающего турбонасоса
CN106323548A (zh) 基于双振动传感器的转子不平衡振动响应识别方法
JP2008175188A (ja) 回転式圧縮機、冷凍サイクル装置
GB2535161A (en) Power generator assembly for rotating applications
JP2017096922A (ja) 回転機械の静止部品の欠陥を検出するシステムおよび方法
EP2538182A3 (en) Severity analysis apparatus and method for shafts of rotating machinery
US20060018772A1 (en) Rotary vacuum pump, structure and method for the balancing thereof
US10612970B2 (en) Device for measuring dynamic characteristics of centrifugal rotating machine
CN102425560B (zh) 一种磁悬浮分子泵动平衡方法
Tan et al. An experimental study of cavitation detection in a centrifugal pump using envelope analysis
EA201270711A1 (ru) Способ регулировки частоты вращения барабана бытового прибора по уходу за бельем при центрифугировании
CN113646538A (zh) 用于泵中的振动避免的方法
CN110537082A (zh) 振动检测装置及异常判定系统
CN102410240B (zh) 一种磁悬浮分子泵动平衡方法
Algule et al. Experimental study of unbalance in shaft rotor system using vibration signature analysis
CN102444607B (zh) 一种磁悬浮分子泵动平衡方法
JP2015148516A (ja) 異常検出装置及び方法
RU2013135723A (ru) Способ определения характеристики колебательного движения элемента турбомашины

Legal Events

Date Code Title Description
FA93 Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination)

Effective date: 20110112